JPH0799145A - 生産制御方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 多品種少量生産用の生産制御方法の精度を向
上する。 【構成】 先行ウエハ枚数決定工程６６で、所定の受注
６５に対応した先行数を決定する。先行ウエハ群のロッ
ト編成工程６７で、保管された各ロット群からウエハを
少数宛抜き取り決定枚数の先行ウエハ群を編成し、カス
タム工程６４に投入する。カスタム工程６４およびウエ
ハ検査工程６８終了後、各ロット歩留り演算工程６９で
先行ウエハ群の前記各ロット毎に歩留りを求める。以降
の受注７０に際して、受注数に対応した最適投入数を、
先行ワーク群につき各ロット毎に求められた歩留り群の
うち最適値に適合する歩留りを使用して求め、その使用
歩留りに対応するロットをカスタム工程６４へ投入す
る。 【効果】 カスタム工程の生産に際し、保管された各ロ
ットの歩留りが、先行ワーク群により確認されるため、
歩留り変動の影響を抑制でき、制御精度が高められる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、生産制御技術、特に、
カスタム製品やセミカスタム製品等の生産方法について
の制御技術に関し、例えば、半導体装置の生産方法のう
ち、マスクＲＯＭ（リード オンリー メモリー）や、
特別注文の半導体集積回路装置（以下、ＡＳＩＣとい
う。）等のような多品種少量生産が要求される製品の生
産方法について利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程におけるワークと
しての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の生産制
御方法のうち、ＲＡＭ（ランダム アクセス メモリ
ー）等の半導体記憶装置（メモリー）のような少品種大
量生産向きの製品については、見込み生産制御方法、ま
たは、長期間にわたる受注計画生産制御方法を採用する
ことが可能である。

【０００３】しかしながら、マスクＲＯＭ（リード オ
ンリー メモリー）や、ＡＳＩＣ等の多品種少量生産が
要求される製品については、受注品種が多岐にわたるば
かりでなく、受注期間が短かったり、受注量等の変動が
頻発したりするため、見込み生産制御方法や、長期間に
わたる受注計画生産制御方法を、単純に採用することが
できない。

【０００４】そこで、このようなマスクＲＯＭやＡＳＩ
Ｃ等のウエハの生産については、次のような生産制御方
法を採用することが考えられる。すなわち、まず、マス
クＲＯＭ等の多品種少量生産が要求される製品（以下、
マスクＲＯＭという。）のウエハの生産方法について
は、マスタ工程と、保管工程と、カスタム工程に大別す
る。マスタ工程においては、マスクＲＯＭのウエハにつ
いて見込み生産を進行することができるプロセス工程
迄、ウエハ群を多数組のロットに順次編成して見込み生
産制御方法によって生産を進行させる。マスタ工程にて
見込み生産されたウエハ群が先のロットを維持した状態
で、ワークストッカーに保管される。その後、実際に受
注があった際に、受注製品個数に見合うウエハの枚数が
算出され、その枚数に対応したウエハ群の分だけロット
が選定されて、カスタム工程に投入され、所定のカスタ
ムプロセスによって適宜に生産されて行く。

【０００５】そして、受注製品個数に見合うウエハ枚数
Ｘは、次式（１）によって算出される。 Ｘ＝Ｐ／Ｎ×Ｙ・・・（１） 式（１）中、Ｐはペレット必要数（受注製品個数から後
工程歩留りおよび仕掛量を考慮して算出される数に相当
する。）、Ｎはウエハ１枚当たりのペレット取得個数、
Ｙは過去に生産したウエハ群についての各ロットにおけ
る平均歩留りである。

【０００６】なお、多品種少量生産制御方法を述べてあ
る例として、特開昭５５−１６１７０１号公報および特
開昭５６−１１４６５０号公報、がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記したマス
クＲＯＭウエハの生産制御方法においては、カスタム工
程へのウエハ投入枚数の算出に際して、過去に生産した
ウエハ群についてのロットの平均歩留りが使用されてい
るため、これからカスタム工程に投入されるロットのウ
エハ群における実際の歩留りと、過去に生産したウエハ
群のロットの平均歩留りとが大幅に相違した場合には、
所期の生産が確保されない事態が発生する。すなわち、
実際の生産量と、期待した生産量との差が大きくなる。

【０００８】換言すれば、前記した生産制御方法におい
ては、生産制御の精度が低いという問題点があること
が、本発明者によって明らかにされた。そして、生産制
御方法の精度が低いと、その分を見込んで製品を多めに
生産せざるを得ず、作り過ぎた分は、最終的には廃棄せ
ざるを得ない。したがって、生産性が低下し、利益率が
低くなってしまう。

【０００９】ちなみに、前記した生産制御方法における
生産制御精度の低下の原因は、過去の歩留りと、実際の
歩留りとの不一致であるが、その不一致の原因は結局、
各ロット相互間における歩留りの変動にある。つまり、
歩留りはロットのそれぞれにおいて相違する。この各ロ
ット相互間の歩留りの相違は、各ロットをそれぞれ構成
するウエハの素材（ウエハの結晶等）の違いや、ロット
のそれぞれが経る製造プロセス（使用された製造装置
や、製造条件の変動等）の違いによって発生するもので
ある。したがって、各ロット相互間の歩留りの相違は、
その相違幅を小さくすることができても、無くすことは
できない。

【００１０】本発明の目的は、生産制御精度を向上する
ことができる多品種少量生産に好適な生産制御技術を提
供することにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１３】すなわち、多数のワークが多数組のロット
に順次編成されて見込み生産されて行くマスタ工程と、
マスタ工程にて生産されたワーク群が先のロットを維持
した状態で保管される保管工程と、受注に対応して保管
されているワーク群が先のロットを維持した状態で投入
されて生産されて行くカスタム工程とを備えている生産
方法についての生産制御方法であって、前記カスタム工
程において、任意時の受注数に対応した先行数が決定さ
れるとともに、前記保管されたワーク群のうちからこの
決定数のワークが、各ロットから少数宛それぞれ抜き取
られて用意され、この抜き取られた先行数のワークがカ
スタム工程に投入されて生産されて行き、カスタム工程
終了後、検査工程にて先行ワーク群について各ロット毎
に歩留りがそれぞれ求められ、以降の受注に際して、受
注数に対応したカスタム工程への最適投入数が、前記先
行ワーク群について各ロット毎に求められた前記歩留り
群のうち最適値に適合する歩留りが使用されて求められ
るとともに、その使用された歩留りに対応するロットが
選定されて、そのロットのカスタム工程へ投入されるこ
とを特徴とする。

【００１４】

【作用】前記した手段によれば、カスタム工程における
生産に際して、保管された各ロットについての歩留りの
それぞれが、先行ワーク群によって予備的に確認される
ことになるため、歩留りの変動による影響を抑制するこ
とができる。すなわち、まず、各ロットを構成するワー
ク自体の素質による歩留りの相違の影響は抑止すること
ができる。カスタム工程においてワークが経るプロセス
の違いによる歩留りの相違の影響は、完全に無くすこと
はできないが、マスタ工程におけるプロセスの違いによ
る歩留りの相違の影響は、先行ワーク群によって確認さ
れるため、無くすことができる。したがって、ワークが
経るプロセスの違いによる歩留りの相違の影響は、半減
ないしは抑制することができる。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハの生産
制御方法を示す工程図である。図２は本発明の一実施例
であるウエハの生産制御装置を示すブロック図である。
図３はそれに使用される先行ウエハ群の編成装置を示す
模式図、図４はその斜視図、図５は先行ウエハ群の編成
方法を示す模式図である。図６はウエハを示す模式的平
面図、図７はカセットを示す斜視図である。

【００１６】本実施例において、本発明に係る生産制御
方法は、マスクＲＯＭウエハ（以下、ウエハという。）
の生産方法を制御するのに使用される。このウエハの生
産方法は、マスタ工程と、保管工程と、カスタム工程に
大別することができる。マスタ工程においては、マスク
ＲＯＭのウエハについて見込み生産を進行することがで
きるプロセス工程迄、ウエハ群が多数組のロットに順次
編成されて見込み生産制御方法によって生産が進行され
る。

【００１７】保管工程においては、マスタ工程にて見込
み生産されたウエハ群が先のロットを維持した状態で、
ワークストッカーであるウエハストッカーに保管され
る。カスタム工程においては、実際に受注があった際
に、後述する制御方法によって、ウエハストッカーに保
管された各ロットのウエハ群が工程に投入され、所定の
カスタムプロセスによって適宜に受注生産されて行く。

【００１８】本実施例において、本発明に係る生産制御
装置５０は、マスクＲＯＭウエハの生産方法を制御する
ものとして構成されている。このウエハの生産制御装置
５０は、識別コード付け装置５１と、マスタ工程ウエハ
群のロット編成装置５２と、ウエハストッカー５３と、
先行ウエハ群編成装置１１と、コンピュータ等によって
構築されている第１データ処理装置４０と、ウエハ検査
装置５５と、コンピュータ等によって構築されている第
２データ処理装置５６とを備えている。

【００１９】前記識別コード付け装置５１は、マスタ工
程において多数のワークに光学的に読み取り可能なロッ
ト識別コードを含むウエハ識別コードを付するように構
成されている。マスタ工程ウエハ群のロット編成装置５
２は、マスタ工程においてロット識別コードを読み取っ
てウエハ群を指定されたロットに編成するように構成さ
れている。なお、マスタ工程ウエハ群のロット編成装置
５２の構成は、後述する先行ウエハ群のロット編成装置
の構成と同様であるので、その詳細な説明は省略する。

【００２０】ウエハストッカー５３は、マスタ工程後の
保管工程においてウエハ群を各ロットをそれぞれ維持し
た状態で保管するように構成されている。また、ウエハ
ストッカー５３はデータ処理装置の指令によって指定さ
れたロットを収容したカセットを払い出すように構成さ
れている。

【００２１】先行ウエハ群編成装置１１は、カスタム工
程において、ウエハストッカー５３に保管された各ロッ
トのウエハにそれぞれ付されたロット識別コードを読み
取って、各ロット毎に記憶するとともに、各ロットから
ウエハを少数枚宛抜き取って先行ウエハ群を編成するよ
うに構成されている。

【００２２】第１データ処理装置４０は、カスタム工程
において任意時の受注枚数に対応した先行枚数を決定す
るとともに、先行ウエハ群編成装置をして、ウエハスト
ッカー５３に保管されたウエハ群のうちからこの決定数
のウエハを各ロットから少数宛それぞれ抜き取らせて用
意させ、かつ、この抜き取られた先行数のウエハをカス
タム工程のプロセス５４に投入させて生産させて行くよ
うに構成されている。

【００２３】ウエハ検査装置５５はウエハプローバ等か
ら構成されてウエハ検査工程に配置されており、カスタ
ム工程におけるプロセス５４の終了後、先行ウエハ群に
ついて各ロット毎に歩留りをそれぞれ求めるとともに、
各ロット毎の歩留りを第２データ処理装置５６に送信す
るように構成されている。

【００２４】第２データ処理装置５６は、先行ウエハ群
の生産以降の受注生産に際して、受注枚数に対応したカ
スタム工程への最適投入枚数を、先行ウエハ群について
各ロット毎に求められた歩留り群のうち最適値に適合す
る歩留りを使用して求めるとともに、その使用された歩
留りに対応するロットを指定して、ウエハストッカー５
３からカスタム工程へ投入させるように構成されてい
る。

【００２５】本実施例において、ワークとしてのマスク
ＲＯＭウエハ１には、図６に示されているように、ワー
ク識別コードとしてのウエハ識別コード（以下、単に、
識別コードという。）４がウエハ１の第１主面２におけ
るオリエンテーションフラット３と反対側の位置に配さ
れて、エッチング加工法やレーザ刻印法等のような手段
が用いられて数字および英文字により描画されている。
本実施例において、識別コード４は、ウエハ１のロット
番号を表示する識別コード（以下、ロットコードとい
う。）５と、当該ロット中の個々のウエハ番号を表示す
る識別コード（以下、ウエハコード）６とにより構成さ
れている。

【００２６】本実施例に係るウエハの生産制御方法に使
用される先行ウエハ群のロット編成装置（以下、ロット
編成装置ということがある。）１１は、大略箱形状に形
成されている機枠１２を備えており、この機枠１２上に
は４台のローディングおよびアンローディング兼用形の
ステーション１３、１４、１５、１６と、搬送装置とし
ての多関節ロボット（以下、ロボットという。）２１
と、識別コード読み取り装置３０とがそれぞれ設備され
ている。

【００２７】第１ステーション１３は機枠１２上の中央
部分における片側位置に配設されている。第２ステーシ
ョン１４、第３ステーション１５および第４ステーショ
ン１６は機枠１２上の片側位置に横並びに配設されてい
る。図３において、第１ステーション１３により代表的
に示されているように、各ステーション１３、１４、１
５、１６はコントローラ１９により制御されるエレベー
タ１８を備えており、エレベータ１８上に乗せられる空
カセット２０に対してエレベータ１８の制御により、ウ
エハ１を１枚宛受け渡して行くことができるように構成
されている。

【００２８】ちなみに、図７に示されているように、各
カセット２０には多数条の保持溝（スロット）Ｓ１〜Ｓ
２５が、多数段（本実施例においては、２５段）列設さ
れており、この保持溝内にウエハがそれぞれ挿入される
ことにより、複数枚（本実施例においては、１ロット
分）のウエハが規則的に整列された状態で収納されるよ
うになっている。

【００２９】搬送装置としてのロボット２１は機枠１２
上の中央部分における片側位置に配設されている。ロボ
ット２１はコントローラ２２により制御されるアーム２
３を備えており、アーム２３の先端部にはウエハ１を保
持するためのグリップ２４が装置されている。ロボット
２１はコントローラ２２により制御されるアーム２３の
操作により、グリップ２４において所定のステーション
における実カセットからウエハ１を１枚宛取り出して識
別コード読み取り装置３０に搬送し、さらに、当該ウエ
ハ１を識別コード読み取り装置３０から他のステーショ
ンへ搬送して、そのステーションに保持された空カセッ
トのスロットに収納するように構成されている。

【００３０】識別コード読み取り装置３０は、機枠１２
上の後側部分における略中央位置に配設されている。識
別コード読み取り装置３０にはアライメント装置３１が
それぞれ設備されており、このアライメント装置３１は
ウエハ１を保持するとともに、コントローラ３２を介し
て位置合わせ作業や、ヨーイング補正作業を実行するよ
うに構成されている。

【００３１】アライメント装置３１の上にはスタンドが
機枠１２上に立設されており、スタンドには照明装置３
３および画像取り込み装置としてのテレビカメラ３５が
支持されている。照明装置３３には光源３４が光学的に
接続されており、この照明装置３３により光源３４から
の光がアライメント装置３１のステージに向けて調光さ
れて照射されるようになっている。テレビカメラ３５は
アライメント装置３１のステージ上において照明された
ウエハ１の識別コード４および８を撮映するように構成
されている。

【００３２】テレビカメラ３５には識別コード認識装置
３６が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置３６は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ３
５からの撮像信号に基づいてウエハ１に付された識別コ
ード４および８を認識し得るように構成されている。ま
た、識別コード認識装置３６にはモニタ３７が接続され
ており、このモニタ３７によりテレビカメラ３５の撮映
状況がモニタリングされるようになっている。

【００３３】さらに、識別コード認識装置３６には識別
コードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８は識別コード
認識装置３６により認識された識別コード４および８を
逐次記録するように構成されている。このメモリー３８
はコンピュータ等から構築されているデータ処理装置４
０に接続されており、データ処理装置４０によりメモリ
ー３８に記録されたデータが随時読み出されるようにな
っている。なお、メモリー３８はデータ処理装置４０側
に装備してもよい。

【００３４】そして、本実施例において、データ処理装
置４０はメモリー３８から読み出したデータに基づいて
後述するような各種の演算並びに照合および指令作業を
それぞれ実行するように構成されている。

【００３５】ここで、前記構成に係るロット編成装置１
１の識別コード読み取り作用を、予め、説明する。ウエ
ハのロット編成装置１１において、マスタ工程を通過し
たウエハ１が収納された実カセット１７は４基のステー
ション１３〜１６のうち、例えば、第１ステーション１
３のエレベータ１８上に供給される。第１ステーション
１３のエレベータ１８上に実カセット１７が供給される
と、ロボット２１はアーム２３の操作によって実カセッ
ト１７内のウエハ１を１枚宛、グリップ２４により保持
して実カセット１７内から取り出し、第１識別コード読
み取り装置３０のステージ３１に順次供給して行く。

【００３６】アライメント装置３１のステージにおい
て、ウエハ１は水平に支持されるとともに、識別コード
読み取り装置３０の照明装置３３およびテレビカメラ３
５に正対される。ウエハ１がテレビカメラ３５に正対さ
れると、識別コード読み取り装置３０において識別コー
ド４の読み取り作業が実行される。

【００３７】このようにして読み取られた識別コード４
は、識別コード認識装置３６に接続されているメモリー
３８に記録される。そして、この記録データにより、後
述する通り先行ウエハ群のロット編成作業が実施され
る。

【００３８】そして、識別コード４が読み取られると、
ウエハ１は第１〜第４ステーション１３〜１６のうちコ
ントローラ２２に指定された例えば第２ステーション１
４にロボット２１により搬送されて、図７に示されてい
るように、そのステーション１４のエレベータ１８上に
供給されている空カセット２０における所定のスロット
Ｓｎに挿入される。

【００３９】今、例えば、識別コード読み取り装置３０
によって読み取られた識別コード４のウエハコード６の
番号が、Ｎ０．１、であった場合、搬送された第２ステ
ーション１４のコントローラ１９の指令によりエレベー
タ１８が１ピッチ送られ、空カセット２０における第１
スロットＳ１が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。そし
て、第１スロットＳ１が挿入作動位置にセットされる
と、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
Ｏ．１のウエハ１がこの第１スロットＳ１に挿入され
る。

【００４０】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号
が、Ｎ０．３、であった場合には、第２ステーション１
４のコントローラ１９の指令によってエレベータ１８が
さらに２ピッチ送られ、空カセット２０における第３ス
ロットＳ３が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続い
て、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
０．３のウエハ１が、この第３スロットＳ３に挿入され
る。

【００４１】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号
が、ＮＯ．２、であった場合、第２ステーション１４の
コントローラ１９の指令によりエレベータ１８が１ピッ
チ戻されるように送られ、空カセット２０における第２
スロットＳ２が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続い
て、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
０．２のウエハ１が、この第２スロットＳ２に挿入され
る。

【００４２】このような作動が繰り返されることによ
り、指定されたウエハコード６のウエハ１群が第２ステ
ーション１４の空カセット２０内へ、各ウエハコード６
による順番に従ってスロット番号通りに並べられて収容
させることも可能になる。つまり、このような場合、第
１スロットＳ１にはウエハコードＮ０．１のウエハが、
第２スロットＳ２にはウエハコードＮ０．２のウエハ
が、第ＮスロットＳｎにはウエハコードＮ０．ｎのウエ
ハがそれぞれ挿入されていることになる。

【００４３】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびロット編成作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、識別コード読み取り装置３０の読み
取りデータに基づき、メモリー３８において各ウエハの
処理およびロット来歴ファイルが仮想的に作成される
（図示せず）。

【００４４】次に、前記の構成に係るウエハの生産制御
装置５０の作用を説明することにより、本発明の一実施
例であるウエハの生産制御方法６０を、前記ウエハのロ
ット編成装置１１が使用される場合について、図１の工
程図を参照にして説明する。

【００４５】また、ここでは、製品であるマスクＲＯＭ
（読み出し専用メモリー）が製造されるウエハ群に対し
て、前記構成に係るウエハのロット編成装置１１が使用
されてウエハのロット編成方法が実施される場合につい
て説明する。前述した通り、マスクＲＯＭは多品種少量
生産される場合があり、しかも、その所謂前工程におい
て、前段階がマスタ工程またはベース工程として共通化
が図られ、後段階がカスタム工程として個別化ないしは
専用化されている。

【００４６】図１に示されているように、マスクＲＯＭ
ウエハの生産ラインのマスタ工程６２に投入される前
に、識別コード付けおよびカセットへのロット詰め工程
６１において、各ウエハ１にはロットコード５、ウエハ
コード６から成る識別コード４が、エッチング加工法や
レーザ刻印法等のような適当な手段が用いられてそれぞ
れ付けられる。この際、前記した識別コード付け装置５
１およびマスタ工程ウエハのロット編成装置５２が使用
される。

【００４７】そして、１ロット当たり２５枚のウエハ１
がロットコード５毎に、各カセットにそれぞれ収納され
る。ＲＡＭウエハ等の通常のウエハ生産の場合、この１
ロット当たり２５枚のウエハにより一貫生産されること
になるが、前述した通り、マスクＲＯＭウエハの生産に
おいてはカスタム工程において受注に応じた生産制御方
法を実施することが望ましい。

【００４８】そこで、本実施例においては、マスクＲＯ
Ｍウエハの生産に際して、生産プロセスが共通である工
程をマスタ工程６２としてまとめ、マスタ工程は見込み
生産をもって生産を進行させて行く。そして、生産プロ
セスが個別化ないしは専用化する工程をカスタム工程６
４としてまとめ、カスタム工程６４は受注に応じた生産
制御方法をもって生産を進行させて行く。

【００４９】識別コード付けおよびカセットへのロット
詰め工程６１において、識別コード４が付され、かつ、
所定のロットに編成されたウエハ群は、各ロットを維持
された状態で、マスタ工程６２に投入され、マスタ工程
６２における各プロセスをもって見込み生産されて行
く。前述した通り、マスタ工程６２においては、マスク
ＲＯＭのウエハについて見込み生産を進行することがで
きるプロセス工程迄、見込み生産制御方法によって生産
が進行されることになる。

【００５０】図１に示されているように、マスタ工程６
２において生産されたウエハ群は保管工程６３におい
て、ウエハストッカー５３にマスタ工程前に編成された
ロットの構成を維持した状態で、それぞれ保管される。

【００５１】一方、図１に示されているように、所定の
受注６５がなされた時に先行ウエハ枚数決定工程６６に
おいて、先行ウエハ群の枚数が決定される。この所定の
受注がなされた時とは、カスタム工程６４において、各
ロットの歩留りを先行して確認する必要がある時を意味
する。例えば、最初の受注時や、後述する先行生産され
たウエハ群についてのロット群が全て無くなった時、ま
たは、そのロット群が少なくなった時ということにな
る。

【００５２】この所定の受注６５がなされると、第１デ
ータ処理装置４０は、次式（２）から先行ウエハ群枚数
Ｘａを算出する。 Ｘａ＝Ｐ／Ｎ×Ｙ・・・（２） 式（２）において、Ｐは必要ペレット数、Ｎはウエハ１
枚から得られるペレットの取得数、Ｙは過去の生産にお
ける各ロットの平均歩留りである。

【００５３】このようにして先行ウエハ群の枚数Ｘａが
決定されると、先行ウエハ群のロット編成工程６７にお
いて、先行ウエハ群が編成される。この際、先行ウエハ
群のロット編成装置１１が使用され、ウエハストッカー
５３に保管されたロットからウエハが少数枚宛それぞれ
抜き取られて、先行ウエハ群が編成される。

【００５４】次に、先行ウエハ群のロット編成方法につ
いて説明する。ここでは、３組のロットからウエハが各
１枚宛抜き取られて、１組の先行ウエハ群が編成される
場合を例にして説明する。

【００５５】すなわち、図５に示されているように、Ｎ
Ｏ．１マスタロットのウエハ群が収容された実カセット
（以下、第１実カセットＭ１とする。）のウエハが１
枚、ＮＯ．２マスタロットのウエハ群が収容された実カ
セット（以下、第２実カセットＭ２とする。）のウエハ
が１枚、および、ＮＯ．３マスタロットのウエハ群が収
容された実カセット（以下、第３実カセットＭ３とす
る。）のウエハが１枚、空カセットＡにそれぞれ移し替
えられて、１組の先行ウエハ群が合成される。

【００５６】まず、図５に示されているように、空カセ
ットＡがロット編成装置１１における第１ステーション
１３にセッティングされる。また、第１実カセットＭ１
が第２ステーション１４にセッティングされ、第２実カ
セットＭ２が第３ステーション１５にセッティングさ
れ、第３実カセットＭ３が第４ステーション１６にセッ
ティングされる。

【００５７】この際、データ処理装置４０には合成先の
空カセットＡに収容すべきウエハのロットコード５およ
びウエハ枚数が、合成先のロットに関するデータとして
入力される。また、データ処理装置４０には合成元の第
１実カセットＭ１、第２実カセットＭ２および第３実カ
セットＭ３から空カセットＤへそれぞれに移し替えるべ
きウエハのロットコードおよび枚数が、合成元のロット
に関するデータとして入力される。。

【００５８】次いで、第２〜第４ステーション１４、１
５、１６にそれぞれセッティングされた実カセットＭ
１、Ｍ２、Ｍ３からウエハが１枚宛払い出されて、前述
したコード読み取り装置３０によって識別コード４が順
次読み取られながら、データ処理装置４０によって指定
された枚数のウエハが合成先の空カセットＡにそれぞれ
移し替えられて行く。

【００５９】例えば、第２ステーション１４にセッティ
ングされた第１実カセットＭ１におけるＮＯ．１のウエ
ハが識別コード４を読み取り装置３０によって読み取ら
れた後、第１ステーションにセッティングされた空カセ
ットＡにおけるＮＯ．１スロットに移し替えられる。ま
た、第３ステーションにセッティングされた第２実カセ
ットＭ２におけるＮＯ．１のウエハが識別コード４を読
み取り装置３０によって読み取られた後、空カセットＡ
のＮＯ．２スロットに移し替えられる。さらに、第４ス
テーションにセッティングされた第３実カセットＭ３に
おけるＮＯ．１のウエハが識別コード４を読み取り装置
３０によって読み取られた後、空カセットＤのＮＯ．３
スロットに移し替えられる。

【００６０】このようにして編成された１組の先行ウエ
ハ群は、図１に示されているように、カスタム工程６４
に投入される。カスタム工程６４において、先行ウエハ
群は所定のカスタムプロセスにて生産された後、ウエハ
検査工程６８に送られる。

【００６１】ウエハ検査工程６８において、先行ウエハ
群は各ウエハ毎に検査を実行される。このウエハ検査の
データは第２データ処理装置５６に送信される。

【００６２】次に、図１に示されているように、先行ウ
エハ群の各ロット歩留り演算工程６９において、先行ウ
エハ群は先に編成された各ロット単位に歩留りを求めら
れる。この演算は第２データ処理装置５６によって実行
され、各ロット毎に各歩留りＹ₁ 、Ｙ₂ 、Ｙ₃ をそれぞ
れメモリーに記憶される。ここで、Ｙ₁ はＮＯ．１ロッ
トについて求めれた歩留り、Ｙ₂ はＮＯ．２ロットにつ
いて求めれた歩留り、Ｙ₃ はＮＯ．３ロットについて求
めれた歩留りとする。

【００６３】以上のようにして先行ウエハ群において各
ロット毎の歩留りＹ₁ 、Ｙ₂ 、Ｙ₃が求められた以降
に、次の受注があると、カスタム工程へのウエハ最適投
入枚数決定工程７１において、受注製品個数に対応した
カスタム工程へのウエハ最適枚数Ｘｂが次式（３）に基
づいて、各ロット毎に求められた前記歩留りＹ₁ 、
Ｙ₂、Ｙ₃ のうち最適値Ｘｂに適合する歩留りＹｂが使
用されて算出される。 Ｘｂ＝Ｐ／Ｎ×Ｙｂ・・・（３）

【００６４】この演算処理は第２データ処理装置５６に
よって実行され、この際、メモリーに記憶された前記各
ロット毎の歩留りＹ₁ 、Ｙ₂ 、Ｙ₃ が適宜読み出されて
使用される。

【００６５】例えば、受注製品個数に対応したカスタム
工程へのウエハ最適枚数Ｘｂが、次式（４）によって満
足される場合には、ＮＯ．１のロットのウエハがカスタ
ム工程６４に投入されて流されることになる。 Ｘｂ＝Ｐ／Ｎ×Ｙ₁ ・・・（４）

【００６６】以上のようにして、ウエハ最適枚数が算出
されると、図１に示されているように、ロット搬出工程
７２において、前記算出に使用された歩留りＹ₁ のＮ
Ｏ．１ロットがウエハストッカー５３に保管されたロッ
ト群のうちから搬出され、カスタム工程６４に投入され
る。

【００６７】以降、次の受注７０の都度、ウエハ最適枚
数決定工程７１およびロット搬出工程７２が繰り返えさ
れることにより、各受注製品個数にそれぞれ対応したカ
スタム工程６４へのウエハ最適枚数Ｘｂが、各ロット毎
に求められた前記歩留りＹ₁、Ｙ₂ 、Ｙ₃ のうち最適値
Ｘｂに適合する歩留りＹｂが使用されて算出されるとと
もに、その算出に使用された歩留りのロットのウエハ群
がカスタム工程６４に順次されて行く。

【００６８】そして、先行ウエハ群に使用したロットの
ウエハ群が全てカスタム工程に流された時、または、そ
れが少数になった時に、前述した所定の受注６５、先行
ウエハ枚数決定工程６６、先行ウエハ群編成工程６７お
よび先行ウエハ群の各ロット歩留り演算工程６９が実施
される。以降、前述した工程が繰り返されることによ
り、マスクＲＯＭウエハについての受注生産が継続され
て行く。

【００６９】なお、カスタム工程６４およびウエハ検査
工程６８を経たマスクＲＯＭウエハは、先行ウエハ群お
よび後行ウエハ群のいずれも後工程７３へ送られて行
く。

【００７０】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。

【００７１】（１） マスクＲＯＭウエハのカスタム工
程におけるウエハ生産に際して、保管されたウエハ群の
各ロットについての歩留りのそれぞれを先行ウエハ群に
よって予備的に確認することができるため、歩留りの変
動による影響を抑制することができ、その結果、マスク
ＲＯＭウエハのカスタム工程における生産制御方法の精
度を高めることができる。

【００７２】（２） 前記（１）により、マスクＲＯＭ
ウエハのカスタム工程におけるウエハの生産制御方法の
精度を高めることができるため、受注量に見合った生産
量を確保することができ、生産性を高めることができ
る。

【００７３】（３） マスクＲＯＭウエハの生産工程の
うち、マスタ工程は見込み生産を継続することができる
ため、マスクＲＯＭウエハの生産全体としての生産性の
低下を抑制することができる。

【００７４】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００７５】例えば、ウエハの生産制御装置や、先行ウ
エハ群のロット編成装置の具体的構造、並びに、先行ウ
エハ群のロット編成方法の具体的構成は、前記実施例に
限らず、使用条件や環境等に対応して適宜選定すること
ができる。

【００７６】第１データ処理装置および第２データ処理
装置は、コンピュータ等によって構築されるため、一体
的に構成してもよいし、また、生産管理を統括するホス
トコンピュータ等に組み込んで構成してもよい。

【００７７】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるマスク
ＲＯＭウエハの生産制御技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、その他の半
導体装置のウエハ、フロッピディスク、ハードディス
ク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体や、その
他、マスタ工程およびカスタム工程に分けて生産するこ
とが可能なワーク全般の生産制御技術に適用することが
できる。

【００７８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００７９】カスタム工程において、任意時の受注数に
対応した先行数を決定するとともに、保管されたワーク
群のうちからこの決定数のワークを各ロットから少数宛
それぞれ抜き取って用意し、この抜き取られた先行数の
ワークをカスタム工程に投入して生産して行き、カスタ
ム工程終了後、検査工程にて先行ワーク群について各ロ
ット毎に歩留りをそれぞれ求め、以降の受注に際して、
受注数に対応したカスタム工程への最適投入数を、先行
ワーク群について各ロット毎に求められた歩留り群のう
ち最適値に適合する歩留りを使用して求めるとともに、
その使用された歩留りに対応するロットを選定して、そ
のロットをカスタム工程へ投入することにより、カスタ
ム工程における生産に際して、保管された各ロットにつ
いての歩留りのそれぞれが、先行ワーク群によって予備
的に確認されることになるため、歩留りの変動による影
響を抑制することができ、生産制御方法の精度を高める
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハの生産制御方法
を示す工程図である。

【図２】本発明の一実施例であるウエハの生産制御装置
を示すブロック図である。

【図３】それに使用される先行ウエハ群の編成装置を示
す模式図である。

【図４】その斜視図である。

【図５】先行ウエハ群のロット編成方法を示す模式図で
ある。

【図６】ウエハを示す模式的平面図である。

【図７】カセットを示す斜視図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…識別コード、５…ロットコード、６…ウエ
ハコード、１１…先行ウエハ群のロット編成装置、１２
…機枠、１３…第１ステーション、１４…第２ステーシ
ョン、１５…第３ステーション、１６…第４ステーショ
ン、１７…実カセット、１８…コンベア、１９…コント
ローラ、２０…空カセット、２１…ロボット、２２…コ
ントローラ、２３…アーム、２４…グリップ、３０…第
１識別コード読み取り装置、３１…アライメント装置、
３２…コントローラ、３３…照明装置、３４…光源、３
５…テレビカメラ、３６…識別コード認識装置、３７…
モニタ、３８…メモリー、４０…第１データ処理装置、
５０…ウエハの生産制御装置、５１…ウエハ識別コード
付け装置、５２…マスタ工程ウエハのロット編成装置、
５３…ウエハストッカー、５４…カスタムプロセス装
置、５５…ウエハ検査装置、５６…第２データ処理装
置、Ｍ１…第１実カセット、Ｍ２…第２実カセット、Ｍ
３…第３実カセット、Ａ…空カセット、６０…ウエハの
生産制御方法、６１…ロット詰め工程、６２…マスタ工
程、６３…保管工程、６４…カスタム工程、６５…所定
の受注、６６…先行ウエハ枚数決定工程、６７…先行ウ
エハ群のロット編成工程、６８…ウエハ検査工程、６９
…先行ウエハ群の各ロット歩留り演算工程、７０…受
注、７１…ウエハ最適投入枚数決定工程、７２…ロット
搬出工程、７３…後工程。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 敏之 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数のワークが多数組のロットに順次編
   成されて見込み生産されて行くマスタ工程と、マスタ工
   程にて生産されたワーク群が先のロットを維持した状態
   で保管される保管工程と、受注に対応して保管されてい
   るワーク群が先のロットを維持した状態で投入されて生
   産されて行くカスタム工程とを備えている生産方法につ
   いての生産制御方法であって、 前記カスタム工程において、任意時の受注数に対応した
   先行数が決定されるとともに、前記保管されたワーク群
   のうちからこの決定数のワークが、各ロットから少数宛
   それぞれ抜き取られて用意され、この抜き取られた先行
   数のワークがカスタム工程に投入されて生産されて行
   き、 カスタム工程終了後、検査工程にて先行ワーク群につい
   て各ロット毎に歩留りがそれぞれ求められ、 以降の受注に際して、受注数に対応したカスタム工程へ
   の最適投入数が、前記先行ワーク群について各ロット毎
   に求められた前記歩留り群のうち最適値に適合する歩留
   りが使用されて求められるとともに、その使用された歩
   留りに対応するロットが選定されて、そのロットのカス
   タム工程へ投入されることを特徴とする生産制御方法。
2. 【請求項２】 前記マスタ工程におけるロット編成に際
   して、各ワークに光学的に読み取り可能な固有のロット
   識別コードがそれぞれ付されるとともに、 前記先行ワーク群が各ロットから少数宛それぞれ抜き取
   られるに際して、各ワークに予め付されたロット識別コ
   ードが読み取られるとともに、読み取られたロット識別
   コードが記憶され、 前記カスタム工程終了後、検査工程にて先行ワーク群に
   ついて各ロット毎に歩留りがそれぞれ求められるに際し
   て、各ロット毎の歩留りが前記記憶されたロット識別コ
   ード毎に対応されて記憶され、 前記以降の受注におけるロットが選定されるに際して、
   前記記憶されたロット識別コードが使用されることを特
   徴とする請求項１に記載の生産制御方法。
3. 【請求項３】 多数のワークが多数組のロットに順次編
   成されて見込み生産されて行くマスタ工程と、マスタ工
   程にて生産されたワーク群が先のロットを維持した状態
   で保管される保管工程と、受注に対応して保管されてい
   るワーク群が先のロットを維持した状態で投入されて生
   産されて行くカスタム工程とを備えている生産方法につ
   いての生産制御装置であって、 前記マスタ工程において、多数のワークに光学的に読み
   取り可能なロット識別コードを付する識別コード付け装
   置と、 前記マスタ工程において、前記ロット識別コードを読み
   取ってワーク群を指定されたロットに編成するロット編
   成装置と、 前記保管工程において、ワーク群をロットを維持した状
   態で保管するワークストッカーと、 前記カスタム工程において、ワークストッカーに保管さ
   れた各ロットのワークにそれぞれ付されたロット識別コ
   ードを読み取って、各ロット毎に記憶するとともに、各
   ロットからワークを抜き取って先行ワーク群を編成する
   先行ワーク群編成装置と、 コンピュータ等によって構築されたデータ処理装置であ
   って、前記カスタム工程において、任意時の受注数に対
   応した先行数を決定するとともに、前記先行ワーク群編
   成装置をして、前記保管されたワーク群のうちからこの
   決定数のワークを各ロットから少数宛それぞれ抜き取ら
   せて用意させ、かつ、この抜き取らせた先行数のワーク
   をカスタム工程に投入させて生産させて行くデータ処理
   装置と、 カスタム工程終了後、検査工程にて先行ワーク群につい
   て各ロット毎に歩留りをそれぞれ求める検査装置と、 コンピュータ等によって構築されたデータ処理装置であ
   って、以降の受注に際して、受注数に対応したカスタム
   工程への最適投入数を、前記先行ワーク群について各ロ
   ット毎に求められた前記歩留り群のうち最適値に適合す
   る歩留りを使用して求めるとともに、その使用された歩
   留りに対応するロットを指定して、そのロットをカスタ
   ム工程へ投入させるデータ処理装置と、を備えているこ
   とを特徴とする生産制御装置。