JPH06221635A - クリーンルーム構造 - Google Patents
クリーンルーム構造Info
- Publication number
- JPH06221635A JPH06221635A JP2727393A JP2727393A JPH06221635A JP H06221635 A JPH06221635 A JP H06221635A JP 2727393 A JP2727393 A JP 2727393A JP 2727393 A JP2727393 A JP 2727393A JP H06221635 A JPH06221635 A JP H06221635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- grating
- air
- underfloor space
- room structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多大な設備コストを費やすことなく、製造装
置からの有害物質の放出に伴う製品の歩留り低下を防止
する。 【構成】 クリーンルーム１の天井に設置された高性能
エアフィルタ２と、クリーンルーム１の床面を形成する
グレーチング３と、グレーチング３の下方に形成された
床下空間４とを備えた垂直層流式のクリーンルーム構造
において、床下空間４の所定領域Ｓをその床下空間４に
設置した仕切枠５で取り囲み、グレーチング３を通して
所定領域Ｓに流れ込んだ空気を屋外に排出可能とした。
置からの有害物質の放出に伴う製品の歩留り低下を防止
する。 【構成】 クリーンルーム１の天井に設置された高性能
エアフィルタ２と、クリーンルーム１の床面を形成する
グレーチング３と、グレーチング３の下方に形成された
床下空間４とを備えた垂直層流式のクリーンルーム構造
において、床下空間４の所定領域Ｓをその床下空間４に
設置した仕切枠５で取り囲み、グレーチング３を通して
所定領域Ｓに流れ込んだ空気を屋外に排出可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々のクリーンルーム
の中でも、特に天井から垂直に吹き出された空気を床下
空間を通してクリーンルーム内に循環させる垂直層流式
のクリーンルーム構造に関するものである。
の中でも、特に天井から垂直に吹き出された空気を床下
空間を通してクリーンルーム内に循環させる垂直層流式
のクリーンルーム構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、クリーンルームの形式を分類す
ると、乱流（コンベンショナル）式、水平層流（クロス
フロー）式、垂直層流（ダウンフロー）式の三つに大別
されるが、その中でも、特に高い清浄度が要求される生
産工場、例えば半導体製造工場などでは、垂直層流式の
クリーンルーム構造が採用される。この種のクリーンル
ーム構造では、天井全面に高性能エアフィルタ（ＨＥＰ
Ａフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）が設置されており、
こうした高性能エアフィルタを通して清浄化された空気
が天井から床面に向けて垂直に流れるようになってい
る。
ると、乱流（コンベンショナル）式、水平層流（クロス
フロー）式、垂直層流（ダウンフロー）式の三つに大別
されるが、その中でも、特に高い清浄度が要求される生
産工場、例えば半導体製造工場などでは、垂直層流式の
クリーンルーム構造が採用される。この種のクリーンル
ーム構造では、天井全面に高性能エアフィルタ（ＨＥＰ
Ａフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）が設置されており、
こうした高性能エアフィルタを通して清浄化された空気
が天井から床面に向けて垂直に流れるようになってい
る。
【０００３】また、かかるクリーンルーム構造では、ク
リーンルームの床面がグレーチングによって形成されて
おり、このグレーチングの下方に床下空間が形成されて
いる。そして、グレーチングを通して床下空間に流れ込
んだ空気は、空調機などによりクリーンルームの天井部
分に送り戻されて、再び高性能エアフィルタを通してク
リーンルーム内に供給されるようになっている。
リーンルームの床面がグレーチングによって形成されて
おり、このグレーチングの下方に床下空間が形成されて
いる。そして、グレーチングを通して床下空間に流れ込
んだ空気は、空調機などによりクリーンルームの天井部
分に送り戻されて、再び高性能エアフィルタを通してク
リーンルーム内に供給されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のクリーンルーム構造においては、上述したようにグレ
ーチングから床下空間に流れ込んだ空気を繰り返しクリ
ーンルーム内に循環させる方式であるため、例えばクリ
ーンルームに設置された製造装置から有害物質が放出さ
れるような場合は、装置から放出された有害物質がクリ
ーンルーム全体に拡散されて、製品の歩留りを著しく低
下させてしまうという問題があった。
のクリーンルーム構造においては、上述したようにグレ
ーチングから床下空間に流れ込んだ空気を繰り返しクリ
ーンルーム内に循環させる方式であるため、例えばクリ
ーンルームに設置された製造装置から有害物質が放出さ
れるような場合は、装置から放出された有害物質がクリ
ーンルーム全体に拡散されて、製品の歩留りを著しく低
下させてしまうという問題があった。
【０００５】そこで、この対策としては、有害物質を放
出する製造装置だけを他の製造装置とは別の場所に隔離
して設置し、さらに専用の排気システムにより有害物質
を含んだ空気を屋外に排気するという方式も採用されて
いるが、そうした場合は、設備全体が大掛かりになって
設備投資に多大なコストが必要となるうえ、工程順に製
造装置が設置されないといったレイアウト上の不都合も
生じる。
出する製造装置だけを他の製造装置とは別の場所に隔離
して設置し、さらに専用の排気システムにより有害物質
を含んだ空気を屋外に排気するという方式も採用されて
いるが、そうした場合は、設備全体が大掛かりになって
設備投資に多大なコストが必要となるうえ、工程順に製
造装置が設置されないといったレイアウト上の不都合も
生じる。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、多大な設備コス
トを費やすことなく、製造装置からの有害物質の放出に
伴う製品の歩留り低下を防止することができるクリーン
ルーム構造を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、多大な設備コス
トを費やすことなく、製造装置からの有害物質の放出に
伴う製品の歩留り低下を防止することができるクリーン
ルーム構造を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、クリーンルームの天井に
設置された高性能エアフィルタと、クリーンルームの床
面を形成するグレーチングと、グレーチングの下方に形
成された床下空間とを備えた垂直層流式のクリーンルー
ム構造において、床下空間の所定領域をその床下空間に
設置した仕切枠で取り囲み、グレーチングを通して所定
領域に流れ込んだ空気を屋外に排出可能としたものであ
る。
成するためになされたもので、クリーンルームの天井に
設置された高性能エアフィルタと、クリーンルームの床
面を形成するグレーチングと、グレーチングの下方に形
成された床下空間とを備えた垂直層流式のクリーンルー
ム構造において、床下空間の所定領域をその床下空間に
設置した仕切枠で取り囲み、グレーチングを通して所定
領域に流れ込んだ空気を屋外に排出可能としたものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明のクリーンルーム構造においては、クリ
ーンルームの天井から高性能エアフィルタを通して吹き
出された空気が床面に向けて垂直に流れ、そのままグレ
ーチングを介して床下空間に流れ込む。その際、床下空
間の所定領域に流れ込んだ空気は、そこに設置された仕
切枠の中に捕集され、そのまま屋外へと排気される。
ーンルームの天井から高性能エアフィルタを通して吹き
出された空気が床面に向けて垂直に流れ、そのままグレ
ーチングを介して床下空間に流れ込む。その際、床下空
間の所定領域に流れ込んだ空気は、そこに設置された仕
切枠の中に捕集され、そのまま屋外へと排気される。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を基に詳
細に説明する。図１は本発明に係わるクリーンルーム構
造の一実施例を説明する側面概略図であり、図２はその
要部平面図である。図示したクリーンルーム構造におい
て、１はクリーンルームであり、このクリーンルーム１
の天井にはその全面にわたって高性能エアフィルタ２
（ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）が設置され
ている。
細に説明する。図１は本発明に係わるクリーンルーム構
造の一実施例を説明する側面概略図であり、図２はその
要部平面図である。図示したクリーンルーム構造におい
て、１はクリーンルームであり、このクリーンルーム１
の天井にはその全面にわたって高性能エアフィルタ２
（ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）が設置され
ている。
【００１０】一方、クリーンルーム１の床部分にはグレ
ーチング３が敷き詰められており、このグレーチング３
によってクリーンルーム１の床面が形成されている。グ
レーチング３は図示せぬ支持部材によって下側から支持
され、クリーンルーム１内に搬入される製造装置はこの
グレーチング３上に設置される。また、グレーチング３
の下方には床下空間４が形成されており、この床下空間
４とクリーンルーム１とはグレーチング３を介して連通
している。
ーチング３が敷き詰められており、このグレーチング３
によってクリーンルーム１の床面が形成されている。グ
レーチング３は図示せぬ支持部材によって下側から支持
され、クリーンルーム１内に搬入される製造装置はこの
グレーチング３上に設置される。また、グレーチング３
の下方には床下空間４が形成されており、この床下空間
４とクリーンルーム１とはグレーチング３を介して連通
している。
【００１１】本実施例のクリーンルーム構造において
は、グレーチング３の下方に形成された床下空間４に箱
形の仕切枠５が設置されており、この仕切枠５によって
床下空間４の所定領域Ｓ（後述）が取り囲まれている。
ここで、クリーンルーム１内においては、例えば二台の
製造装置６が互いに対向した状態でグレーチング３上に
設置されており、各製造装置６からはそれぞれ二点鎖線
の矢印で示す方向に有害物質が放出されるものとする。
は、グレーチング３の下方に形成された床下空間４に箱
形の仕切枠５が設置されており、この仕切枠５によって
床下空間４の所定領域Ｓ（後述）が取り囲まれている。
ここで、クリーンルーム１内においては、例えば二台の
製造装置６が互いに対向した状態でグレーチング３上に
設置されており、各製造装置６からはそれぞれ二点鎖線
の矢印で示す方向に有害物質が放出されるものとする。
【００１２】そうした場合、各製造装置６から放出され
た有害物質はグレーチング３を介して床下空間４に流れ
込むことになる。そこで本実施例では、床下空間４のエ
リア内で、製造装置６からの有害物質の放出によって汚
染される領域を所定領域Ｓとし、その周りを図例のよう
に仕切枠５で取り囲むようにした。
た有害物質はグレーチング３を介して床下空間４に流れ
込むことになる。そこで本実施例では、床下空間４のエ
リア内で、製造装置６からの有害物質の放出によって汚
染される領域を所定領域Ｓとし、その周りを図例のよう
に仕切枠５で取り囲むようにした。
【００１３】加えて、本実施例のクリーンルーム構造で
は、仕切枠５で取り囲んだ領域に排気ダクト７が接続さ
れおり、さらに各排気ダクト７はそれぞれメインの排気
ダクト８に接続されている。そして、メインの排気ダク
ト８の途中には図示せぬ排気ファンが接続され、この排
気ファンの駆動によって仕切枠５内の空気が排気ダクト
７に吸い込まれ、そのまま排気ダクト８を通して屋外へ
と排気される構成となっている。
は、仕切枠５で取り囲んだ領域に排気ダクト７が接続さ
れおり、さらに各排気ダクト７はそれぞれメインの排気
ダクト８に接続されている。そして、メインの排気ダク
ト８の途中には図示せぬ排気ファンが接続され、この排
気ファンの駆動によって仕切枠５内の空気が排気ダクト
７に吸い込まれ、そのまま排気ダクト８を通して屋外へ
と排気される構成となっている。
【００１４】上記構成からなる本実施例のクリーンルー
ム構造においては、高性能エアフィルタ２を通して天井
から清浄空気が吹き出され、この吹き出された清浄空気
がクリーンルーム１内を垂直に流れて、いわゆるダウン
フローによる清浄空間を作り出す。また、グレーチング
３を介して床下空間４に流れ込んだ空気は、空調機（不
図示）の駆動により図中一点鎖線の矢印で示すようにク
リーンルーム１の天井部分に送り戻されて、再び高性能
エアフィルタ２を通してクリーンルーム１内に供給され
る。
ム構造においては、高性能エアフィルタ２を通して天井
から清浄空気が吹き出され、この吹き出された清浄空気
がクリーンルーム１内を垂直に流れて、いわゆるダウン
フローによる清浄空間を作り出す。また、グレーチング
３を介して床下空間４に流れ込んだ空気は、空調機（不
図示）の駆動により図中一点鎖線の矢印で示すようにク
リーンルーム１の天井部分に送り戻されて、再び高性能
エアフィルタ２を通してクリーンルーム１内に供給され
る。
【００１５】その際、例えば図示のようにクリーンルー
ム１内に製造装置６が設置され、この製造装置６から有
害物質が放出されるような場合でも、本実施例のクリー
ンルーム構造においては、上述したように有害物質の汚
染領域Ｓが仕切枠５によって取り囲まれているため、有
害物質を含んだ空気はグレーチング３を介して仕切枠５
の中に捕集され、さらにこうして捕集された空気は、図
示せぬ排気ファンの駆動により排気ダクト７、８を通し
て全て屋外に排気される。
ム１内に製造装置６が設置され、この製造装置６から有
害物質が放出されるような場合でも、本実施例のクリー
ンルーム構造においては、上述したように有害物質の汚
染領域Ｓが仕切枠５によって取り囲まれているため、有
害物質を含んだ空気はグレーチング３を介して仕切枠５
の中に捕集され、さらにこうして捕集された空気は、図
示せぬ排気ファンの駆動により排気ダクト７、８を通し
て全て屋外に排気される。
【００１６】これにより、製造装置６から放出された有
害物質が床下空間４を通して循環される空気中に混合す
ることがなくなるため、高性能エアフィルタ２からは有
害物質を含まない清浄な空気が吹き出され、これによっ
てクリーンルーム１内は常に高い清浄度に維持される。
つまり、従来のように製造装置６から放出された有害物
質がクリーンルーム全体に拡散されるようなことがなく
なり、もって製造装置６からの有害物質の放出に伴う製
品の歩留り低下が確実に防止される。
害物質が床下空間４を通して循環される空気中に混合す
ることがなくなるため、高性能エアフィルタ２からは有
害物質を含まない清浄な空気が吹き出され、これによっ
てクリーンルーム１内は常に高い清浄度に維持される。
つまり、従来のように製造装置６から放出された有害物
質がクリーンルーム全体に拡散されるようなことがなく
なり、もって製造装置６からの有害物質の放出に伴う製
品の歩留り低下が確実に防止される。
【００１７】また、本実施例のクリーンルーム構造は、
床下空間４に仕切枠５を設置して、この仕切枠５で取り
囲まれた領域の空気を、排気ダクト７、８等を介して屋
外に排気するといった非常に簡単な構成であるため、設
備投資に多大なコストを要することがないうえに、既存
のクリーンルームであっても部分的な改造で容易に実現
することができる。
床下空間４に仕切枠５を設置して、この仕切枠５で取り
囲まれた領域の空気を、排気ダクト７、８等を介して屋
外に排気するといった非常に簡単な構成であるため、設
備投資に多大なコストを要することがないうえに、既存
のクリーンルームであっても部分的な改造で容易に実現
することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上、説明したように本発明のクリーン
ルーム構造によれば、クリーンルーム内に有害物質を放
出する製造装置を設置した場合でも、その有害物質の汚
染領域を仕切枠で取り囲むことにより、そこに流れ込ん
だ空気、つまり有害物質を含んだ空気を捕集し、さらに
その捕集した空気を屋外に排気できるようにしたので、
従来のように有害物質を含んだ空気がクリーンルーム全
体に拡散されるようなことがなく、これにより製造装置
からの有害物質の放出に伴う製品の歩留り低下が確実に
防止されるようになる。その結果、有害物質を放出する
製造装置を別個に隔離して設置する必要がなくなり、工
程順に従って各製造装置を所定の場所に設置することが
可能となる。さらに、本発明のクリーンルーム構造は、
床下空間に仕切枠を設置して、この仕切枠で取り囲まれ
た領域の空気を排気ダクト等を介して屋外に排気するだ
けの構成であるため、設備投資に多大なコストを要する
こともない。
ルーム構造によれば、クリーンルーム内に有害物質を放
出する製造装置を設置した場合でも、その有害物質の汚
染領域を仕切枠で取り囲むことにより、そこに流れ込ん
だ空気、つまり有害物質を含んだ空気を捕集し、さらに
その捕集した空気を屋外に排気できるようにしたので、
従来のように有害物質を含んだ空気がクリーンルーム全
体に拡散されるようなことがなく、これにより製造装置
からの有害物質の放出に伴う製品の歩留り低下が確実に
防止されるようになる。その結果、有害物質を放出する
製造装置を別個に隔離して設置する必要がなくなり、工
程順に従って各製造装置を所定の場所に設置することが
可能となる。さらに、本発明のクリーンルーム構造は、
床下空間に仕切枠を設置して、この仕切枠で取り囲まれ
た領域の空気を排気ダクト等を介して屋外に排気するだ
けの構成であるため、設備投資に多大なコストを要する
こともない。
【図１】本発明に係わるクリーンルーム構造の一実施例
を説明する側面概略図である。
を説明する側面概略図である。
【図２】図１に示すクリーンルーム構造の要部平面図で
ある。
ある。
１ クリーンルーム ２ 高性能エアフィルタ ３ グレーチング ４ 床下空間 ５ 仕切板
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルームの天井に設置された高性
能エアフィルタと、前記クリーンルームの床面を形成す
るグレーチングと、前記グレーチングの下方に形成され
た床下空間とを備えた垂直層流式のクリーンルーム構造
において、 前記床下空間の所定領域を該床下空間に設置した仕切枠
で取り囲むとともに、前記グレーチングを通して前記所
定領域に流れ込んだ空気を屋外に排出可能としたことを
特徴とするクリーンルーム構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2727393A JPH06221635A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | クリーンルーム構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2727393A JPH06221635A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | クリーンルーム構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06221635A true JPH06221635A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=12216477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2727393A Pending JPH06221635A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | クリーンルーム構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06221635A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020176786A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 乾燥装置 |
-
1993
- 1993-01-22 JP JP2727393A patent/JPH06221635A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020176786A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 乾燥装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6033301A (en) | Fan filter unit and a clean room for using the same | |
| US20020062633A1 (en) | Reticle storage and retrieval system | |
| JPS5950369B2 (ja) | 清浄空気領域形成装置 | |
| JPH02126912A (ja) | 空気清浄装置及びこれを用いたクリーンルーム | |
| JP3427921B2 (ja) | 半導体装置生産用クリーンルームおよび半導体装置の生産方法 | |
| US5069113A (en) | Stacked and cross-connected recirculating fans in a semiconductor manufacturing cleanroom | |
| JPH06221635A (ja) | クリーンルーム構造 | |
| JP3878275B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JP2536957B2 (ja) | クリ―ンル―ム | |
| JP3400145B2 (ja) | クリーン搬送通路 | |
| JP2000084326A (ja) | ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置とその利用設備 | |
| JP2580375B2 (ja) | クリ―ンル―ム | |
| JPH10311556A (ja) | 空調方法及び空調装置 | |
| JP3163722B2 (ja) | クリーンルーム用給気装置 | |
| JPH07310941A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH09159239A (ja) | クリーンルーム | |
| JP2580893B2 (ja) | クリーンルームのファンフイルタユニット | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH08247512A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH11253732A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH08114342A (ja) | クリーンルーム装置 | |
| JPS62182541A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JP3491242B2 (ja) | クリーンルームにおける空気処理装置 | |
| JP2000314544A (ja) | クリーンルーム | |
| JP2904011B2 (ja) | クリーンルーム |