JPH07115274B2 - 基板の交換装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえば、プリント基板（以下、単に基板と
いう）に穴明け加工を行う加工機における基板の交換装
置に関するものである。

〔従来の技術〕

加工機を長時間無人運転するために、加工機に対して基
板を自動供給、排出する基板の交換装置として、たとえ
ば、特開昭60−259351号に開示された交換装置が提案さ
れている。

この交換装置においては、基板を交換する場合、加工機
上にある全ての加工済の基板を、加工機から供給装置の
マガジンへ戻した後、次に加工する未加工の基板をマガ
ジンから引き出して加工機上へ供給するようになってい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

このため、加工機に対する基板の交換時間がかかり、加
工機の稼動効率を低下させていた。

上記の事情に鑑み、本発明の目的は、加工機に対する基
板の交換時間を短縮して、加工機の稼動効率を向上させ
るようにした基板の交換装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明においては、加工機
に組み込まれ、加工機に対する基板の受け渡しを可能に
する受け渡し装置と、前記加工機および加工機に付設さ
れた供給装置と所定の間隔で対向するように、その配列
方向に沿って所定の間隔で配置され、基板を移送する第
２の移送装置と、前記第２の移送装置を挟んで前記供給
装置と対向するように配置され、供給装置と第２の移送
装置との間で基板の出し入れを行う第１の移送装置と、
前記加工機と第２の移送装置との間に位置するように配
置され、上下２段に配置された支持部材上に加工済の基
板と未加工の基板を待機させる待機装置と、前記第２の
移送装置および待機装置を挟んで前記加工機と対向する
ように配置され、前記待機装置と加工機に組み込まれた
受け渡し装置との間で基板の受け渡しを行う第３の移送
装置とを設けた。

〔作用〕

待機装置の上段の支持部材上に未加工の基板が載置され
た状態で、加工機による基板の加工が終了すると、加工
機のテーブルが待機装置側の移動端へ移動する。する
と、受け渡し装置が、加工済の基板を受け渡し位置へ移
動させる。同時に、待機装置は、空いている下段の支持
部材を基板の受け渡しが可能な位置へ上昇させる。

第３の移送装置が、加工機の上方へ移動して、受け渡し
装置上にある加工済の基板を待機装置の下段の支持部材
上に引き出す。待機装置が上段の支持部材を受け渡し可
能な位置へ下降させる。第３の移送装置が、上段の支持
部材に載置された未加工の基板を受け渡し装置に押し込
む。

受け渡し装置に未加工の基板が載置されると、受け渡し
装置は下降して、未加工の基板を加工機のテーブル上に
載置し、加工機による基板の加工を開始する。一方、待
機装置は、下段の支持部材を移送可能な位置へ移動さ
せ、加工済の基板の移送に備える。

加工機で基板を加工している間に、待機装置の下段の支
持部材上に載置されている加工済の基板を、第２の移送
装置によって順次供給装置と対向する位置へ移送し、第
１の移送装置によって供給装置内へ送り込む。

待機装置上の全ての加工済の基板が供給装置に移送され
ると、待機装置は、上段の支持部材が基板の受け渡しが
可能な位置へ下降する。一方、供給装置は、全ての加工
済の基板を収納すると、第１の移送装置と対向する位置
へ未加工の基板を移動させる。

第１の移送装置が、未加工の基板を供給装置から第２の
移送装置上へ引き出し、第２の移送装置に未加工の基板
を載置する。第２の移送装置は、未加工の基板を待機装
置へ移送し、待機装置の上段の支持部材上に未加工の基
板を載置する。待機装置は、上段の支持部材上に未加工
の基板を載置した状態で待機する。

上述のように、本発明においては、加工機に対する基板
の交換を加工機と待機装置の間で連続して行い、加工機
による基板の加工中に、待機装置と供給装置との間で、
加工済および未加工の基板の移送を行うようにしたの
で、加工機に対する基板の交換時間を短縮し、加工機の
稼動効率を向上させることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を、第１図ないし第11図に基づ
いて説明する。

第10図は、本発明における各装置の配置を示すもので、
同図において、 Ａは、基板Ｗの加工を行う加工機。

Ｂは、加工済の基板Ｗを回収し、未加工の基板Ｗを供給
するための供給装置で、加工機Ａの側面に付設されてい
る。

Ｃは、供給装置Ｂから未加工の基板Ｗを引き出し、ある
いは、加工済の基板Ｗを供給装置Ｂに押し込む第１の移
送装置で、供給装置Ｂと対向するように所定の間隔で配
置されている。

Ｄは、第１の移送装置Ｃと、後述する待機装置Ｅの間で
基板Ｗを移送するための第２の移送装置で、前記供給装
置Ｂと待機装置Ｅに沿って配置されている。

Ｅは、加工済の基板Ｗと未加工の基板Ｗを一時待機させ
るための待機装置で、前記加工機Ａと対向するように所
定の間隔で配置されている。

Ｆは、加工機Ａと待機装置Ｅの間で、加工済の基板Ｗと
未加工の基板Ｗを交換するための第３の移送装置で、前
記第２の移送装置Ｄと待機装置Ｅを挟んで前記加工機Ａ
と対向するように配置されている。

Ｇは、加工機Ａに対する基板Ｗの受け渡しを可能にする
ための受け渡し装置で、加工機Ａに配置されている。

前記加工機Ａは、第１図に示すような構成になってい
る。

同図において、１はベッド。２はテーブルで、図示しな
い案内手段によって、ベッド１にＸ方向に移動可能に支
持されている。2aはサブテーブルで、テーブル２上に固
定されている。３はナットで、テーブル２の下面に固定
されている。４はギアボックスで、ベッド１に固定され
ている。５はモータで、ギアボックス４に取付けられて
いる。６は送りねじで、ナット３に螺合し、その一端は
ギアボックス４の出力軸に結合され、他の一端はベッド
１に固定されたブラケット７に回転可能に支持されてい
る。

８は門形のコラムで、ベッド１上にテーブル２を跨よう
に支持されている。９はガイドバーで、コラム８の上部
に水平に固定されている。10は送りねじで、コラム８の
上部に、ガイドバー９と平行に、回転可能に支持され、
図示しないモータによって回転駆動される。11はサドル
で、軸受12を介してガイドバー９に沿ってＹ方向（図の
前後方向）に摺動可能に支持されている。13はナット
で、サドル11に固定され、送りねじ10と螺合している。

14はガイドバーで、サドル11に垂直に固定されている。
15は送りねじで、サドル11にガイドバー14と平行に、回
転可能に支持されている。16はモータで、サドル11に支
持され、送りねじ15を回転駆動する。17は主軸頭で、図
示しない軸受を介してガイドバー14に沿ってＺ方向に摺
動可能に支持されている。18はナットで、主軸頭17に固
定され、送りねじ15と螺合している。

19はスピンドルで、主軸頭17に回転可能に支持され、主
軸頭17の上部に固定されたモータ20によって回転駆動さ
れる。21はドリルで、スピンドル19内に組み込まれた図
示しないコレットチャックに着脱可能に支持されてい
る。

加工機Ａは、このような構成であるから、サブテーブル
2a上に基板Ｗを固定し、スピンドル19にドリル21を装着
した状態でドリル21を回転させ、テーブル２をＸ方向
に、サドル11をＹ方向にそれぞれ所望量移動させ、ドリ
ル21と基板Ｗの位置決めを行い、主軸頭17をＺ方向に移
動させることにより、基板Ｗの所望の位置に穴明けを行
うことができる。

前記供給装置Ｂは、第10図に示すように、加工機Ａの側
面に配置され、第２図に示すような構成になっている。

同図において、26は筐体。27はレールで、筐体26の内部
に垂直に固定されている。28は送りねじで、ブラケット
29を介してレール27に回転可能に支持されている。30は
傘歯車で、送りねじ28の下端に固定されている。31は伝
動軸で、筐体26の下部に回転可能に支持されている。32
は傘歯車で、傘歯車30と噛み合うように伝動軸31の一端
に固定されている。33はプーリで、伝動軸31の他端に固
定されている。34はモータで、台35を介して筐体26に固
定されている。36はプーリで、モータ34の回転軸に固定
されている。37はベルトで、プーリ33とプーリ36に掛け
渡されている。40はナットで、送りねじ28に螺合してい
る。39はブラケットで、ナット40に固定されている。38
はリフタで、レール27の間に昇降可能に配置され、ブラ
ケット39に固定されている。

41はカートリッジタイプのマガジンで、枠体42の下面に
軸受43を介して車輪44が回転可能に支持されている。45
は取手で、枠体42の上端に固定されている。46は棚で、
枠体42の内部に所定の間隔で取付けられている。

供給装置Ｂは、このような構成であるから、リフタ38を
下降端に置き、マガジン41をＸ方向に移動させることに
より、リフタ38に対してマガジン41の出し入れを行うこ
とができる。また、マガジン41をリフタ38上に搭載し
て、モータ34を作動させ、送りねじ28を回転させること
により、リフタ38をレール27に沿ってＺ方向に移動させ
て、マガジン41内の任意の棚46を所定の位置へ移動させ
ることができる。

前記第１の移送装置Ｃは、第10図に示すように、前記供
給装置Ｂと対向するように配置され、第２図ないし第４
図に示すような構成になっている。

同図において、51は支柱で、前記供給装置Ｂの筐体26上
に所定の間隔で立設されている。52は梁で、Ｙ方向と平
行に支柱51の中間に固定されている。53は受け板で、所
定の間隔で対向するように梁52からＸ方向に櫛状に突出
している。54は軸で、梁52と平行に支柱51の上端にブラ
ケット55を介して回転可能に支持されている。56はモー
タで、筐体26に支持され、その回転軸が軸54に結合され
ている。57はスプロケットで、軸54の両端部に固定され
ている。58はチェーンで、Ｘ方向に平行にスプロケット
57に掛け渡されている。59はビームで、チェーン58の間
に、Ｙ方向と平行に固定されている。

C1はチャックで、ブラケット60を介して、ビーム59に所
定の間隔で固定されている。このチャックC1は、第４図
に示すような構成になっている。

同図において、61はチャックC1のベースで、ブラケット
60に固定されている。62は軸で、ベース61に所定の間隔
で立設されている。63は上爪、64は下爪で、各々軸62に
回転可能に支持されている。65はローラで、それぞれ上
爪63、下爪64に立設された軸66に回転可能に支持されて
いる。67はばねで、上爪63、下爪64に立設されたピン68
に掛け渡され、上爪63と下爪64を閉じる方向に付勢して
いる。69はプラスチックなどの軟質材で形成されたチッ
プで、それぞれ上爪63と下爪64の先端に固定されてい
る。70はシリンダで、ベース61に固定されている。71は
カムで、ローラ65の間に位置するように、シリンダ70の
可動部材に固定されている。

第１の移送装置Ｃは、このような構成であるから、モー
タ56を作動させ軸54を回転させると、スプロケット57が
回転してチェーン58を走行させ、ビーム59をＸ方向に移
動させることができる。すると、ビーム59に支持された
チャックC1が供給装置Ｂに近接、離間するＸ方向に移動
する。

一方、シリンダ70を作動させ、カム71をチップ69側に移
動させると、上爪63と下爪64を開き、シリンダ70側へ移
動させると、ばね67の抗張力によって上爪63と下爪64を
閉じることができ、基板Ｗの挟持、開放を行うことがで
きる。

前記第２の移送装置Ｄは、第10図に示すように、第１の
移送装置Ｃと待機装置Ｅに沿って配置され、第１図、第
５図ないし第７図に示すような構成になっている。な
お、図示の都合上、第５図においては、キャリアD1の幅
を狭く表示してある。

同図において、72はベース。73は支柱で、前記供給装置
Ｂの筐体26に立設されている。74、75は支柱で、それぞ
れ所定の間隔でベース72に立設されている。76はブラケ
ットで、支柱74に固定されている。77は桁で、支柱73、
75およびブラケット76に固定されている。78はレール
で、桁77の上下面に固定されている。79はチェーンガイ
ドで、桁77の側面に固定されている。

80はモータで、ベース72に固定されている。81はプーリ
で、モータ80の回転軸に固定されている。82は一対の軸
で、桁77の両端部に、それぞれ桁77を貫通し回転可能に
支持されている。83はプーリで、一方の軸82の一端に固
定されている。84はスプロケットで、各軸82の一端に互
いに対向するように固定されている。85はベルトで、プ
ーリ81とプーリ83の間に掛け渡されている。85bはチェ
ーンで、前記スプロケット84間に掛け渡され、チェーン
ガイド79にＹ方向に摺動可能に支持されている。

チェーン85bには、レール78に沿ってＹ方向に移動可能
なキャリアD1が結合されている。

このキャリアD1は、第６図および第７図に示すような構
成になっている。

同図において、86は一対のガイドで、それぞれ案内用の
突起86aが垂直に形成されている。87は桁で、一対のガ
イド86の上下を所定の間隔で結合している。88はブラケ
ットで、ガイド86と桁87で構成される枠の外側に突出す
るように、レール78に沿って各ガイド86の上下部に固定
されている。89はローラで、レール78に３方向から接す
るように各ブラケット88に３個づつ回転可能に支持され
ている。90はジョイントで、それぞれブラケット88に固
定され、チェーン85bの各端部が結合されている。91は
ブラケットで、桁87に固定されている。92はシリンダ
で、その一端がブラケット91に固定されている。93はジ
ョイントで、シリンダ92のロッドに固定されている。

94はホルダで、その幅が移送する基板Ｗの幅より小さい
“H"形に形成され、その長さ方向の中心がシリンダ92の
軸心よりレール78側に位置するように、偏心位置がジョ
イント93に固定されている。95は吸着用のパッドで、ホ
ルダ94の四隅に取付けられ、真空圧供給源に接続されて
いる。96はガイドで、ジョイント93に懸垂固定されてい
る。97はアームで、ガイド86の突起86aに向けて突出す
るようにガイド96に固定されている。98は軸受で、突起
86aと摺動可能に嵌合し、アーム97に固定されている。

第２の移送装置Ｄは、このような構成であるから、モー
タ80が作動し軸82を回転させると、スプロケット84を介
してチェーン85bを走行させ、キャリアD1をレール78に
沿ってＹ方向に移動させることができる。また、シリン
ダ92を作動させると、ホルダ94をＺ方向に移動させるこ
とができる。

このとき、ホルダ94は、前記第１の移送装置Ｃのガイド
53の間、または、後述する待機装置Ｅのガイド108（も
しくはスペーサ106とガイド108）の間、または、ガイド
109の間を通って移動する。したがって、ホルダ94が上
昇するとき、ガイド53の間、ガイド108（もしくはスペ
ーサ106とガイド108）の間、ガイド109の間に基板Ｗが
載置されていると、ホルダ94が基板Ｗを押し上げて保持
し、基板Ｗの移送を可能にする。また、基板Ｗを保持し
たホルダ94が下降するときには、基板Ｗをガイド53の
間、ガイド108（もしくはスペーサ106とガイド108）の
間、ガイド109の間に載置することができる。

前記待機装置Ｅは、第10図に示すように、加工機Ａに沿
って配置され、第１図および第８図に示すような構成に
なっている。

同図において、100は支柱で、加工機Ａと第２の移送装
置Ｄの間に位置するように、前記ベース72に立設されて
いる。101は直線案内用の軸受で、支柱100に所定の間隔
で固定されている。102はシリンダで、ベース72に立設
されている。103はブラケットで、シリンダ102のロッド
の上端に固定されている。104はフレームで、ブラケッ
ト103に固定されている。105は直線案内用のレールで、
フレーム104に軸受101と摺動可能に嵌合するように固定
されている。

106はスペーサで、フレーム104の両端に、前記第２の移
送装置によって移送される基板の移送方向と直交する方
向に、基板の重心位置の移送路を超えキャリアD1と干渉
しない位置まで突出するように固定されている。このス
ペーサ106は、フレーム104への固定部が高く、フレーム
104から突出した部分は、基板Ｗを載置するように低く
形成されている。107はプレートで、スペーサ106の上端
に固定されている。108はガイドで、スペーサ106と同じ
長さに形成され、フレーム104のスペーサ106の間に、ス
ペーサ106との間およびガイド108相互の間で、基板Ｗを
その幅方向の両側で支持し得るように、スペーサ106と
平行に所定の間隔で固定されている。109はガイドで、
スペーサ106と同じ長さに形成され、プレート107に、ス
ペーサ106およびガイド108と同じ間隔で、スペーサ106
と平行に所定の間隔で固定されている。そして、スペー
サ106およびガイド108で下段の支持部材を構成し、ガイ
ド109が上段の支持部材を構成する。上下の支持部材の
一方に加工済の基板Ｗを載置し、他方に未加工の基板Ｗ
を載置する。

待機装置Ｅは、このような構成であるから、シリンダ10
2を作動させることにより、フレーム104をＺ方向に移動
させることができる。そして、フレーム104を下降端に
移動させたとき、ガイド109で構成される上段の支持部
材が、前記受け渡し装置Ｇとの間で基板Ｗの受け渡しが
可能な位置に位置決めされ、フレーム104を上昇端に移
動させたとき、スペーサ106とガイド108で構成される下
段の支持部材が、前記受け渡し装置Ｇとの間で基板Ｗの
受け渡しが可能な位置に位置決めされる。

前記第３の移送装置Ｆは、第10図に示すように、待機装
置Ｅを挟んで加工機Ａと対向するように配置され、第１
図および第９図に示すような構成になっている。

同図において、110は支柱で、前記ベース72の四隅に立
設されている。111は桁で、支柱110の上部にＸ方向と並
行に固定されている。

112はモータで、ベース72に固定されている。113はスプ
ロケットで、モータ112の回転軸に固定されている。114
は一対のスプロケットで、加工機Ａから離れた側の支柱
110の一本に、回転可能に支持された軸115に所定の間隔
で固定されている。116は３個のスプロケットで、加工
機Ａから離れた側の支柱110の間に、Ｙ方向と平行に回
転可能に支持された軸117の両端部に固定されている。
すなわち、軸117の一方の端部には、スプロケット114の
一方と対向するスプロケット116と、このスプロケット1
16と所定の間隔で配置されたスプロケット116とが固定
され、他方の端部には、一個のスプロケット116がそれ
ぞれ固定されている。118はスプロケットで、加工機Ａ
に近い支柱110に回転可能に支持された軸119に固定され
ている。120はチェーンで、スプロケット113とスプロケ
ット114の間に掛け渡されている。121はチェーンで、ス
プロケット114とスプロケット116の間に、Ｚ方向と平行
に掛け渡されている。122は一対のチェーンで、スプロ
ケット116とスプロケット118の間に、Ｘ方向と平行に掛
け渡されている。

123はブラケットで、各チェーン122の所定の位置に固定
されている。124はビームで、ブラケット123にＹ方向と
平行に固定されている。F1はチャックで、ビーム124に
前記待機装置Ｅに載置された基板Ｗと対向するように、
所定の間隔で固定されている。なお、チャックF1は、第
３図に示すチャックC1と同一の構成であるため、説明を
省略する。

第３の移送装置Ｆは、上記のような構成であるから、モ
ータ112を作動させると、ビーム124を介してチャックF1
を、第２の移送装置Ｄと待機装置Ｅを横切って、加工機
Ａに近接、離間するＸ方向に移動させることができる。

したがって、第３の移送装置Ｆは、加工済の基板Ｗを、
加工機Ａに配置された受け渡し装置Ｇから待機装置Ｅへ
引き出し、あるいは、未加工の基板Ｗを待機装置Ｅから
受け渡し装置Ｇへ押し込むことができる。

前記受け渡し装置Ｇは、第10図に示すように、加工機Ａ
に配置され、第１図に示すような構成になっている。

同図において、125はガイドで、加工機Ａのサブテーブ
ル2aの中央に形成された長穴と、両側に形成された切欠
きに昇降可能に配置され、下降したとき、その上面がサ
ブテーブル2aの表面と同じ高さになるように形成されて
いる。126は軸受で、テーブル２の所定の位置にガイド1
25と対向するように配置されている。127は軸で、軸受1
26を摺動可能に貫通し、その上端がガイド125に固定さ
れ、その下端にはフランジが形成されている。128はば
ねで、軸受126とフランジの間に位置するように軸127に
装着され、軸127を下降する方向に付勢している。129は
シリンダで、テーブル２が前記待機装置Ｅ側の移動端に
位置したとき、軸127の下端と対向するように、加工機
Ａのベッド１に固定されている。

受け渡し装置Ｇは、このような構成であるから、加工機
Ａのテーブル２が待機装置Ｅ側の移動端に位置している
とき、シリンダ129を作動させ、軸127を押し上げると、
ガイド125をサブテーブル2aの上方の受け渡し位置へ移
動させることができる。また、シリンダ129を作動さ
せ、そのロッドを下降させると、ばね128の作用により
軸127が押し下げられ、ガイド125がサブテーブル2aの長
穴および切欠き内に下降する。

上記の構成において、第11図に示す工程にしたがって動
作を説明する。

第11図は、本発明の動作を示すため、各構成要素を簡略
に示してある。同図において、（ａ）〜（ｆ）、
（ｋ）、（ｐ）は、第１図のと同じ断面を、（ｇ）、
（ｈ）、（ｎ）、（ｏ）は、第５図のと同じ正面図を、
（ｉ）、（ｊ）、（ｌ）、（ｍ）は、第２図のと同じ断
面を示してある。なお、待機装置Ｅにおけるスペーサ10
6は、ガイド108として表示してある。

また、第11図においては、待機装置Ｅのガイド109上に
未加工の基板Ｗが載置された状態で、加工機Ａに対し、
加工済の基板Ｗと未加工の基板Ｗを交換し、加工機Ａで
基板Ｗを加工している間に、加工済の基板Ｗを供給装置
Ｂへ回収した後、供給装置Ｂ内の未加工の基板Ｗを待機
装置Ｅのガイド109上に供給するまでの工程を示してあ
る。

第11図（ａ）、 加工機Ａによる基板Ｗの加工が終了すると、加工機Ａの
テーブル２が、矢印で示すように、待機装置Ｅ側の移
動端へ移動する。

すると、受け渡し装置Ｇが作動して、矢印で示すよう
に、ガイド125を上昇させ、加工済の基板Ｗを受け渡し
位置へ移動させる。

一方、待機装置Ｅは、矢印で示すように、フレーム10
4を上昇端へ移動させ、ガイド108をガイド125と同じ高
さに位置させる。

第３の移送装置Ｆは、爪が開放した状態のチャックF1
を、矢印で示すように、待機装置Ｅのガイド108とガ
イド109の間を通して、加工機Ａ側に移動させる。そし
て、チャックF1が受け渡し位置にある加工済の基板Ｗを
挾持可能な位置まで移動すると、チャックF1で加工済の
基板Ｗを挟持する。

第11図（ｂ）、 第３の移送装置Ｆは、矢印で示すように、チャックF1
を後退させ、挾持した加工済の基板Ｗをガイド125上か
らガイド108上に引き出す。所定の位置まで加工済の基
板Ｗが引き出されると、チャックF1を一旦停止させ、チ
ャックF1を開いて加工済の基板Ｗを開放する。そして、
矢印で示すように、チャックF1をその待機位置へ後退
させる。

第11図（ｃ）、 待機装置Ｅは、矢印で示すように、フレーム104を下
降端へ移動させ、ガイド109をガイド125と同じ高さに位
置させる。

すると、第３の移送装置Ｆは、矢印で示すように、爪
が開放した状態のチャックF1を、ガイド109に載置され
た未加工の基板Ｗを挾持可能な位置まで移動させ、チャ
ックF1に未加工の基板Ｗを挾持させた後、チャックF1を
加工機Ａ側に移動させ、チャックF1で挾持した未加工の
基板Ｗを、受け渡し装置Ｇのガイド125上に送り込む。

第11図（ｄ）、 未加工の基板Ｗがガイド125上の所定の位置まで送り込
まれると、第３の移送装置Ｆは、チャックF1を開き、未
加工の基板Ｗを開放し、未加工の基板Ｗをガイド125上
に載置した後、矢印で示すように、チャックF1をその
待機位置まで後退させる。

ガイド125上に基板Ｗが載置されると、受け渡し装置Ｇ
は、矢印で示すように、ガイド125を下降させ、未加
工の基板Ｗをテーブル２（第１図では、サブテーブル2
a）上に載置する。

このようにして、加工機Ａに対する加工済の基板Ｗと未
加工の基板Ｗの交換が終了すると、加工機Ａは、矢印
で示すように、テーブル２を加工位置へ移動させて、供
給された未加工の基板Ｗの加工を開始する。

第11図（ｅ） 一方、待機装置Ｅは、矢印で示すように、フレーム10
4を上昇端へ移動させて待機する。

すると、第３の移送装置Ｆは、矢印で示すように、爪
を開放した状態のチャックF1を、ガイド108上に載置さ
れた加工済の基板Ｗの挾持が可能な位置まで移動させ
る。

第11図（ｆ）、 チャックF1で基板Ｗを挾持すると、第３の移送装置Ｆ
は、矢印で示すように、加工済の基板Ｗを第２の移送
装置ＤのキャリアD1のホルダ94の移動経路へ引き出す。

そして、加工済の基板Ｗがホルダ94の移動経路に引き出
されると、第３の移送装置Ｆは、チャックF1を開き、加
工済の基板Ｗを開放して、矢印で示すように、チャッ
クF1をその待機位置へ後退させる。

第11図（ｇ）、 第２の移送装置Ｄは、矢印で示すように、供給装置Ｂ
側で待機していたキャリアD1を、レール78に沿って移動
させ、ホルダ94を待機装置Ｅ上で供給装置Ｂに最も近い
位置にある加工済の基板Ｗの下方に位置させる。

キャリアD1が所定の位置に到達すると、第２の移送装置
Ｄは、矢印で示すように、シリンダ92を作動させ、ホ
ルダ94をガイド108の間を通して、ガイド108とガイド10
9の中間まで上昇させる。

このとき、ホルダ94は、ガイド108に載置されている加
工済の基板Ｗを押し上げ、ホルダ94が基板Ｗを支持する
状態にある。この状態で、ホルダ94に配置されたパット
に真空圧を供給すると、加工済の基板Ｗはホルダ94に吸
着保持される。

第11図（ｈ）、 この状態で、第２の移送装置Ｄは、矢印で示すよう
に、キャリアD1をレール78に沿って移動させ、ホルダ94
に保持された加工済の基板Ｗを、第１の移送装置Ｃの受
け板53の上方に位置させる。すると、ホルダ94に配置さ
れたパットが大気圧に連通され、加工済の基板Ｗの吸着
を解放し、基板Ｗはホルダ94に載置されただけの状態に
なる。

この状態で、第２の移送装置ＤのキャリアD1のシリンダ
92が作動して、矢印で示すように、ホルダ94を受け板
53の間を通して、受け板53の下方へ移動させる。この
時、ホルダ94に載置されていた加工済の基板Ｗは、第１
の移送装置Ｃの受け板53に移動を阻止されて、受け板53
上に載置される。

すると、第２の移送装置Ｄは、キャリアD1を次の加工済
の基板Ｗを移送するために、待機装置Ｅ側へ移動させ
る。

第11図（ｉ）、 供給装置Ｂは、マガジン41内の空いている棚46を、第１
の移送装置Ｃの受け板53と同じ高さに位置決めする。

第11図（ｊ）、 第１の移送装置Ｃは、矢印で示すように、爪が開放さ
れた状態のチャックC1を供給装置Ｂ側へ移動させる。そ
して、受け板53に載置された加工済の基板Ｗの挾持が可
能な位置までチャックC1を移動させ、加工済の基板Ｗを
挾持させた後、チャックC1を供給装置Ｂ側へ移動させ
る。すると、チャックC1に挾持された加工済の基板Ｗが
マガジン41の棚46上に押し込まれ、マガジン41に収納さ
れる。

第１の移送装置Ｃは、チャックC1が供給装置Ｂ側の移動
端に到達すると、加工済の基板Ｗを解放させ、チャック
C1を反供給装置Ｂ側の移動端へ移動させて、次の基板Ｗ
の収納に備える。

このように、第11図（ｆ）から（ｊ）に示すの工程を繰
返して、待機装置Ｅ上に載置された全ての加工済みの基
板Ｗをマガジン41内に収納する。

第11図（ｋ）、 待機装置Ｅは、全ての加工済の基板Ｗがマガジン41に収
納されると、フレーム104をその下降端まで下降させ
る。

第11図（ｌ）、 一方、供給装置Ｂは、マガジン41内の未加工の基板Ｗを
載置した棚46を、第１の移送装置Ｃの受け板53と同じ高
さに位置決めする。この時、第２の移送装置Ｄのキャリ
アD1のホルダ94は、受け板53の下方で待機している。

第11図（ｍ）、 第１の移送装置Ｃは、爪が開放された状態のチャックC1
を、供給装置Ｂ側の移動端まで移動させる。すると、チ
ャックC1は、爪で棚46に載置された未加工の基板Ｗの挾
持が可能な位置になり、未加工の基板Ｗを挾持する。

第１の移送装置Ｃは、矢印で示すように、未加工の基
板Ｗを挾持したチャックC1を反供給装置Ｂ側へ移動さ
せ、未加工の基板Ｗをマガジン41から受け板53上へ引き
出す。

そして、未加工の基板Ｗがホルダ94の上方の所定の位置
まで引き出されると、第１の移送装置Ｃは、チャックC1
を開き、挾持した未加工の基板Ｗを解放し、矢印で示
すように、チャックC1を反供給装置Ｂ側の待機位置へ移
動させる。

第11図（ｎ）、 第２の移送装置Ｄは、キャリアD1のシリンダ92を作動さ
せ、矢印で示すように、受け板53の間を通してホルダ94
を上昇させる。すると、受け板53上に載置されていた未
加工の基板Ｗがホルダ94に押し上げられて、受け板53か
ら浮上してホルダ94に載置されることになる。この時、
ホルダ94に配置されたパットに真空圧が供給され、未加
工の基板Ｗがホルダ94に吸着保持される。

第11図（ｏ）、 第２の移送装置Ｄは、矢印で示すように、キャリアD1
をレール78に沿って、待機装置Ｅの基板Ｗを移送すべき
範囲の中で、供給装置Ｂから最も遠い位置まで移動させ
る。この時、ホルダ94および未加工の基板Ｗは、待機装
置Ｅのガイド109の上方を通ることになる。

そして、キャリアD1が所定の位置に到達すると、キャリ
アD1が停止する。すると、ホルダ94に配置されたパット
が大気圧に連通されて、未加工の基板Ｗの吸着を解放
し、未加工の基板Ｗはホルダ94に載置されただけの状態
になる。

キャリアD1のシリンダ92が作動して、矢印で示すよう
に、ガイド109の間を通して、ホルダ94を待機装置Ｅの
ガイド108とガイド109の間まで下降させる。この時、未
加工の基板Ｗはガイド109に下降を阻止され、ホルダ94
から離れてガイド109上に載置されることになる。

ホルダ94が下降すると、第２の移送装置Ｄは、キャリア
D1を第１の移送装置Ｃの受け板53の下方の所定の位置に
移動させる。

このように、第11図（ｌ）から（ｏ）に示す工程を繰返
して、未加工の基板Ｗを順次供給装置Ｂから待機装置Ｅ
のガイド109上へ移送する。

第11図（ｐ）、 ガイド109上に所定数の未加工の基板Ｗが供給される
と、第３の移送装置Ｆは、爪が開放した状態のチャック
F1を、待機装置Ｅのガイド109に載置されている未加工
の基板Ｗを挾持可能な位置まで移動させ、チャックF1で
未加工の基板Ｗを挾持した後、矢印で示すように、チャ
ックF1を加工機Ａ側へ移動させ、挾持した基板Ｗをガイ
ド109上の加工機Ａ側に設定された待機位置へ移動させ
る。

そして、第３の移送装置Ｆは、チャックF1を開いて基板
Ｗを解放し、チャックF1を所定の待機位置まで後退さ
せ、加工機Ａにおける基板Ｗの加工が終了するのを待
つ。

上述のように、供給装置Ｂと待機装置Ｅの間の基板Ｗの
交換を、加工機Ａにおける基板Ｗの加工中に行い、加工
機Ａに対する基板Ｗの交換は、加工機Ａと待機装置Ｅの
間のみで行うようにしたので、加工機Ａに対する基板Ｗ
の交換時間を大幅に短縮し、加工機Ａの稼動率を向上さ
せることができる。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明によれば、加工機に対する基板
の交換は、加工機と待機装置の間のみで行い、供給装置
と待機装置の間の基板の交換を、加工機における基板の
加工中に行うようにしたので、加工機に対する基板の交
換時間を短縮し、加工機の稼動効率を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による基板の交換装置の加工機側の側
面断面図、第２図は、同じく供給装置側の側面断面図、
第３図は、第１の移送装置の平面図、第４図は、チャッ
クの拡大図、第５図は、第２の移送装置の正面図、第６
図は、第２の移送装置におけるキャリアの側面図、第７
図は、第２の移送装置におけるキャリアの正面図、第８
図は、待機装置の（加工機側から見た）背面図、第９図
は、第３の移送装置の平面図、第10図は、加工機および
各装置の配置関係を示す平面図、第11図は、基板の交換
過程を示す工程図である。 Ａ……加工機、１……ベッド、２……テーブル、 Ｂ……供給装置、41……マガジン、46……棚、 Ｃ……第１の移送装置、C1……チャック、53……受け板 Ｄ……第２の移送装置、D1……キャリア、78……レー
ル、92……シリンダ、94……ホルダ Ｅ……待機装置、102……シリンダ、104……フレーム、
108、109……ガイド、 Ｆ……第３の移送装置、F1……チャック Ｇ……受け渡し装置、125……ガイド、129……シリンダ Ｗ……基板、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の基板を同時に加工するための加工機
   と、この加工機の側面に付設された供給装置と、前記加
   工機の前面に沿って配置された待機装置と、前記供給装
   置と待機装置に沿って配置された第２の移送装置と、前
   記第２の移送装置を挟んで前記供給装置と対向するよう
   に配置された第１の移送装置と、前記第２の移送装置を
   挟んで前記加工機及び待機装置と対向するように配置さ
   れた第３の移送装置と、前記待機装置と対向するように
   前記加工機のテーブルに配置された受け渡し装置とから
   なり、 前記供給装置は、内部に基板を載置するための複数の棚
   が設置されたマガジンと、このマガジンを搭載して昇降
   するリフタとを備え、 前記待機装置は、前記加工機に支持される複数の基板の
   配列と同じ間隔で水平方向に配置するように構成され、
   かつ、それぞれ複数の基板を、一方には未加工の基板
   を、他方には加工済の基板を配置するように、所定の間
   隔で上下２段に配置された一対の支持部材と、この支持
   部材を昇降させるシリンダとを備え、 前記第２の移送装置は、前記供給装置と前記待機装置に
   沿って配置されたレールと、このレールに沿って水平方
   向に往復移動するキャリアと、このキャリアに昇降可能
   に配置され、基板を支持するホルダとを備え、 前記第１の移送装置は、前記第２の移送装置を横切って
   前記供給装置の内部で基板を挟持し得る位置まで移動可
   能なチャックと、供給装置の前面で基板を載置する受け
   板とを備え、 前記第３の移送装置は、前記第２の移送装置および待機
   装置を横切って前記受け渡し装置の上の基板を挟持し得
   る位置まで移動可能なチャックを備え、 前記加工機のテーブルは、テーブル自身と前記受け渡し
   装置とを加工位置と受け渡し位置との間で水平方向に移
   動させるための機構を備え、 前記受け渡し装置は、前記加工機のテーブルに昇降可能
   に支持されたガイドと、加工機のベッドに配置され、前
   記テーブルが基板の受け渡し位置側の移動端にあると
   き、前記ガイドを受け渡し位置へ押し上げるシリンダと
   を備え、 前記加工機により基板を加工している間に、第１の移送
   装置が、供給装置のマガジンから受け板上に、未加工の
   基板を１枚引き出し、第２の移送装置が、ホルダを上昇
   させて、受け板上にある未加工の基板をホルダで受け取
   り、順次待機装置の所定の位置まで移送し、ホルダを下
   降させることによりホルダで支持していた未加工の基板
   を、待機装置の未加工の基板を配置する支持部材上に渡
   すことを複数回基板の数だけ繰り返して、所要数の基板
   を、待機装置の未加工の基板を配置する支持部材上に待
   機させ、加工機による基板の加工の終了により、加工機
   のテーブルが基板の加工位置から受け渡し位置へ移動
   し、受け渡し装置が、加工済の基板を載置しているガイ
   ドを、受け渡し位置へ押し上げると共に、待機装置が、
   シリンダの作動により各支持部材を上下方向に移動さ
   せ、加工済の基板を配置する支持部材を、前記受け渡し
   装置の押し上げられたガイドと同じ高さに位置決めし、
   第３の移送装置が、受け渡し装置から全ての加工済の基
   板を同時に、待機装置の加工済の基板を配置する支持部
   材上に引き出し、待機装置が、シリンダの作動により各
   支持部材を上下方向に移動させ、未加工の基板を配置し
   た支持部材を、前記受け渡し装置の押し上げられたガイ
   ドと同じ高さに位置決めし、第３の移送装置が、支持部
   材上の全ての未加工の基板を同時に受け渡し装置のガイ
   ド上に送りこみ、加工機が、新たに供給された未加工の
   基板を加工するため、受け渡し装置を下降させ、さらに
   テーブルと受け渡し装置を受け渡し位置から加工位置へ
   移動させると共に、待機装置の支持部材上に載置された
   加工済の基板を、未加工の基板の移送手順と逆の移送手
   順で、第２の移送装置、第１の移送装置を介して供給装
   置のマガジンに送りこむ一連の動作を制御する手段とを
   設けたことを特徴とする基板の交換装置。