JPH07118624B2 - 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 - Google Patents
圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法Info
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- JPH07118624B2 JPH07118624B2 JP2322373A JP32237390A JPH07118624B2 JP H07118624 B2 JPH07118624 B2 JP H07118624B2 JP 2322373 A JP2322373 A JP 2322373A JP 32237390 A JP32237390 A JP 32237390A JP H07118624 B2 JPH07118624 B2 JP H07118624B2
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜発明の目的＞ 「産業上の利用分野」 本発明は、周波数を測定しながらプラズマイオンエッチ
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
「従来の技術」 従来より圧電素子の周波数調整方法としては、励振電極
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。また最近ではイオン
ビームにより電極にイオンをぶつけることによりエッチ
ングし、周波数を上げる方法もとられている。第３図
は、従来のイオンエッチングの原理説明図である。イオ
ンガン20から発生するイオン粒子21を圧電素子22に当て
ることにより電極の金属をエッチングして周波数を上げ
ている。
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。また最近ではイオン
ビームにより電極にイオンをぶつけることによりエッチ
ングし、周波数を上げる方法もとられている。第３図
は、従来のイオンエッチングの原理説明図である。イオ
ンガン20から発生するイオン粒子21を圧電素子22に当て
ることにより電極の金属をエッチングして周波数を上げ
ている。
「発明が解決しようとする課題」 しかし従来のイオンビームによるエッチングでは圧電素
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまい、周波数を測定しな
がらエッチングすると発振回路を破壊したり、正しく周
波数を測定出来ないため、測定とエッチングの工程を分
けてこれを繰り返して行う必要がある。
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまい、周波数を測定しな
がらエッチングすると発振回路を破壊したり、正しく周
波数を測定出来ないため、測定とエッチングの工程を分
けてこれを繰り返して行う必要がある。
「発明の目的」 本発明の目的は、前述した欠点を除去し、圧電素子の周
波数を測定しながらイオンビームによるエッチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
波数を測定しながらイオンビームによるエッチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
＜本発明の構成＞ 「課題を解決する手段」 そこで本発明では、イオンガンから発生するイオンのう
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエッチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間に直流電圧を印加した電極を配置して解決して
いる。
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエッチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間に直流電圧を印加した電極を配置して解決して
いる。
「作用」 本発明では、イオンガンと圧電素子との間に直流電圧の
印加した電極があるため、プラスかマイナスに帯電した
イオンは電極によりその経路が曲がるため直進するのは
中性粒子のみであり、従来のように圧電素子に帯電する
ことはなくなり、エッチングしながら周波数の測定が出
来るようになった。
印加した電極があるため、プラスかマイナスに帯電した
イオンは電極によりその経路が曲がるため直進するのは
中性粒子のみであり、従来のように圧電素子に帯電する
ことはなくなり、エッチングしながら周波数の測定が出
来るようになった。
「実施例」 第１図は、本発明の周波数調整装置の原理図である。イ
オンガン１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
オンガン１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
従来使用されていたイオンガンは、ECR（電子サイクロ
トロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励振さ
れたイオンがイオンガン前面に配置されたグリットに直
流電圧を印加されているため、加速され放出される。EC
Rタイプでは中性粒子は少なく、プラスやマイナスに帯
電したイオンが多く放出される。
トロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励振さ
れたイオンがイオンガン前面に配置されたグリットに直
流電圧を印加されているため、加速され放出される。EC
Rタイプでは中性粒子は少なく、プラスやマイナスに帯
電したイオンが多く放出される。
しかし本発明で使用されるイオンガン１は、第２図に示
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからな
り、陰極３には２個の放射孔4,4′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ状電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔4,4′から飛び出していく。この時マ
イナスイオンも同時に飛び出してプラスイオンと中和し
て中性な粒子を発生させる。
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからな
り、陰極３には２個の放射孔4,4′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ状電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔4,4′から飛び出していく。この時マ
イナスイオンも同時に飛び出してプラスイオンと中和し
て中性な粒子を発生させる。
イオンビームのビーム方向に周波数調整する水晶振動子
５が配置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（CF
4）等のガスが入れられ10-2〜10-3pa（パスカル）程度
の真空度に維持されている。
５が配置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（CF
4）等のガスが入れられ10-2〜10-3pa（パスカル）程度
の真空度に維持されている。
イオンガン１と水晶振動子５との間には対向し直流電圧
がかかった電極６が配置され、この電極６の間をイオン
が通過するとプラスやマイナスに帯電したイオンは電極
６の電解によって進路が曲げられ、真っ直ぐ進むのは中
性粒子だけとなる。本発明で使用されるイオンガン１で
は中性粒子が多く発生しているが、それでも帯電したイ
オンが含まれているため、それらイオンを電極６によっ
て除去される。
がかかった電極６が配置され、この電極６の間をイオン
が通過するとプラスやマイナスに帯電したイオンは電極
６の電解によって進路が曲げられ、真っ直ぐ進むのは中
性粒子だけとなる。本発明で使用されるイオンガン１で
は中性粒子が多く発生しているが、それでも帯電したイ
オンが含まれているため、それらイオンを電極６によっ
て除去される。
本発明によってイオンビームから発生するイオン流のう
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエッ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエッ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
なお本実施例では、圧電素子として水晶振動子を例に挙
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
また圧電素子として弾性表面波素子の周波数調整にも有
効である。
効である。
＜本発明の効果＞ 本発明による周波数調整方法および周波数調整装置によ
って、周波数を測定しながらエッチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった。
って、周波数を測定しながらエッチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった。
第１図は本発明の原理を示す説明図、第２図は本発明に
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １……イオンガン、 ５……圧電素子、 ６……電極
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １……イオンガン、 ５……圧電素子、 ６……電極
Claims (3)
- 【請求項１】周波数を調整すべき圧電素子にイオンビー
ムを当てて周波数を調整する圧電素子の周波数調整装置
において、イオンガンと周波数調整する圧電素子との間
に直流電圧をかける電極を配置したことを特徴とする圧
電素子の周波数調整装置。 - 【請求項２】イオンガンから発生するイオンビームを直
流電圧を印加した電極間に通すことにより中性粒子のみ
を圧電素子に当てて周波数を調整する圧電素子の周波数
調整方法。 - 【請求項３】該イオンガンがサドル・フィールド型イオ
ンガンであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の圧電素子の周波数調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322373A JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322373A JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196708A JPH04196708A (ja) | 1992-07-16 |
| JPH07118624B2 true JPH07118624B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=18142923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2322373A Expired - Lifetime JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118624B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2699765B1 (fr) * | 1992-12-22 | 1995-01-20 | Cepe | Procédé d'ajustage en fréquence d'un dispositif piézoélectrique et équipement pour la mise en Óoeuvre du procédé. |
| JP3525120B2 (ja) * | 1993-05-27 | 2004-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子の周波数調整方法 |
| JP3525119B2 (ja) * | 1993-05-27 | 2004-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 周波数調整加工装置 |
| JP3252542B2 (ja) * | 1993-07-12 | 2002-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子の周波数調整方法 |
| JP3157433B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2001-04-16 | トッキ株式会社 | 周波数調整装置 |
| JPH10126186A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水晶振動子の周波数調整装置 |
| JP3470678B2 (ja) | 2000-03-31 | 2003-11-25 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の周波数調整方法 |
| JP5906505B2 (ja) * | 2012-03-22 | 2016-04-20 | 株式会社昭和真空 | 圧電素子の周波数測定方法及び周波数調整方法並びに圧電素子の製造方法 |
| EP3067723A1 (en) * | 2015-03-13 | 2016-09-14 | Université Paris Diderot - Paris 7 | Method for tuning one or more resonator(s) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2602215B2 (ja) * | 1986-12-15 | 1997-04-23 | 日本電波工業 株式会社 | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPS63240112A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Tokyo Butsuri Gakuen | 水晶振動子の電極形成装置 |
| JPH07120914B2 (ja) * | 1989-03-07 | 1995-12-20 | ミヨタ株式会社 | 音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2322373A patent/JPH07118624B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04196708A (ja) | 1992-07-16 |
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