JPH04196708A - 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 - Google Patents
圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法Info
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- JPH04196708A JPH04196708A JP2322373A JP32237390A JPH04196708A JP H04196708 A JPH04196708 A JP H04196708A JP 2322373 A JP2322373 A JP 2322373A JP 32237390 A JP32237390 A JP 32237390A JP H04196708 A JPH04196708 A JP H04196708A
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- Japan
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- frequency adjustment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の目的〉
「産業上の利用分野」
本発明は、周波数を測定しながらプラズマイオンエツチ
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
「従来の技術」
従来より圧電素子の周波数調整方法としては、励振電極
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。
また最近ではイオンビームにより電極にイオンをぶつけ
ることによりエツチングし、周波数を上げる方法もとら
れている。第３図は、従来のイオンエツチングの原理説
明図である。イオンガン２０から発生するイオン粒子２
１を圧電素子２２に当てることにより電極の金属をエツ
チングして周波数を上げている。
ることによりエツチングし、周波数を上げる方法もとら
れている。第３図は、従来のイオンエツチングの原理説
明図である。イオンガン２０から発生するイオン粒子２
１を圧電素子２２に当てることにより電極の金属をエツ
チングして周波数を上げている。
「発明が解決しようとする課題」
しかし従来のイオンビームによるエツチングでは圧電素
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまい、周波数を測定しな
がらエツチングすると発振回路を破壊したり、正しく周
波数を測定出来ないため、測定とエツチングの工程を分
けてこれを繰り返して行う必要がある。
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまい、周波数を測定しな
がらエツチングすると発振回路を破壊したり、正しく周
波数を測定出来ないため、測定とエツチングの工程を分
けてこれを繰り返して行う必要がある。
「発明の目的」
本発明の目的は、前述した欠点を除去し、圧電素子の周
波数を測定しながらイオンビームによるエツチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
波数を測定しながらイオンビームによるエツチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
〈本発明の構成〉
「課題を解決する手段」
そこで本発明では、イオンがンから発生するイオンのう
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエツチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間に直流電圧を印加した電極を配置して解決して
いる。
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエツチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間に直流電圧を印加した電極を配置して解決して
いる。
「作用」
本発明では、イオンガンと圧電素子との間に直流電圧の
印加した電極があるため、プラスかマイナスに帯電した
イオンは電極によりその経路が曲がるため直進するのは
中性粒子のみであり、従来のように圧電素子に帯電する
ことはなくなり、エツチングしながら周波数の測定が出
来るようになった。
印加した電極があるため、プラスかマイナスに帯電した
イオンは電極によりその経路が曲がるため直進するのは
中性粒子のみであり、従来のように圧電素子に帯電する
ことはなくなり、エツチングしながら周波数の測定が出
来るようになった。
「実施例」
第１図は、本発明の周波数調整装置の原理図である。イ
オンが７１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
オンが７１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
従来使用されていたイオンガンは、ＥＣＲ（電子サイク
ロトロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励振
されたイオンがイオンガン前面に配置されたグリッドに
直流電圧を印加されているため、加速され放出される。
ロトロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励振
されたイオンがイオンガン前面に配置されたグリッドに
直流電圧を印加されているため、加速され放出される。
ＥＣＲタイプでは中性粒子は少なく、プラスやマイナス
に帯電したイオンが多（放出される。
に帯電したイオンが多（放出される。
しかし本発明で使用されるイオンガン１は、第２図に示
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからなり
、陰極３には２個の放射孔４゜４′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ状電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔４．４′から飛び出していく。
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからなり
、陰極３には２個の放射孔４゜４′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ状電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔４．４′から飛び出していく。
この時マイナスイオンも同時に飛び出してプラスイオン
と中和して中性な粒子を発生させる。
と中和して中性な粒子を発生させる。
イオンビームのビーム方向に周波数調整する水晶振動子
５が配置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（Ｃ
Ｆ、）等のガスが入れられ１０１〜１０−３ｐ ａ （
パスカル）程度の真空度に維持されている。
５が配置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（Ｃ
Ｆ、）等のガスが入れられ１０１〜１０−３ｐ ａ （
パスカル）程度の真空度に維持されている。
イオンが７１と水晶振動子５との間には対向し直流電圧
がかかった電極６が配置され、この電極６の間をイオン
が通過するとプラスやマイナスに帯電したイオンは電極
６の電界によって進路が曲げられ、真っ直ぐ進むのは中
性粒子だけとなる。
がかかった電極６が配置され、この電極６の間をイオン
が通過するとプラスやマイナスに帯電したイオンは電極
６の電界によって進路が曲げられ、真っ直ぐ進むのは中
性粒子だけとなる。
本発明で使用されるイオンガン１では中性粒子が多く発
生しているが、それでも帯電したイオンが含まれている
ため、それらイオンを電極６によって除去される。
生しているが、それでも帯電したイオンが含まれている
ため、それらイオンを電極６によって除去される。
本発明によってイオンビームから発生するイオン流のう
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエツ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエツ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
なお本実施例では、圧電素子として水晶振動子を例に挙
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
また圧電素子として弾性表面波素子の周波数調整にも盲
動である。
動である。
く本発明の効果〉
本発明による周波数調整方法および周波数調整装置によ
って、周波数を測定しながらエツチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった０
って、周波数を測定しながらエツチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった０
第１図は本発明の原理を示す説明図、第２図は本発明に
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １・・・・・・・・・イオンガン、 ５・・・・・・・・・圧電素子、 ６・・・・・・・・・電極
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １・・・・・・・・・イオンガン、 ５・・・・・・・・・圧電素子、 ６・・・・・・・・・電極
Claims (4)
- （１）周波数を調整すべき圧電素子にイオンビームを当
てて周波数を調整する圧電素子の周波数調整装置におい
て、イオンガンと周波数調整する圧電素子との間に直流
をかける電極を配置したことを特徴とする圧電素子の周
波数調整装置。 - （２）イオンガンから発生するイオンビームを直流電圧
を印加した電極間に通すことにより中性粒子のみを圧電
素子に当てて周波数を調整する圧電素子の周波数調整方
法。 - （３）該イオンガンがサドル・フィールド型イオンガン
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
電素子の周波数調整装置。 - （４）該圧電素子が弾性表面波素子であることを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の圧電素子の周波数調整
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322373A JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322373A JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196708A true JPH04196708A (ja) | 1992-07-16 |
| JPH07118624B2 JPH07118624B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=18142923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2322373A Expired - Lifetime JPH07118624B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118624B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2699765A1 (fr) * | 1992-12-22 | 1994-06-24 | Cepe | Procédé d'ajustage en fréquence d'un dispositif piézoélectrique et équipement pour la mise en Óoeuvre du procédé. |
| JPH0730355A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の周波数調整方法および装置 |
| JPH08154028A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-06-11 | Tokki Kk | 周波数調整装置 |
| JPH10126186A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水晶振動子の周波数調整装置 |
| JP2001332948A (ja) * | 1993-05-27 | 2001-11-30 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の周波数調整加工装置 |
| JP2002016465A (ja) * | 1993-05-27 | 2002-01-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の周波数調整加工装置 |
| US6707228B2 (en) | 2000-03-31 | 2004-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for adjusting frequency of electronic component |
| JP2013198080A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Showa Shinku:Kk | 圧電素子の周波数測定方法及び周波数調整方法並びに圧電素子の製造方法 |
| CN107430244A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-12-01 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS63151103A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法および装置 |
| JPS63240112A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Tokyo Butsuri Gakuen | 水晶振動子の電極形成装置 |
| JPH02233009A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Miyota Seimitsu Kk | 音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2322373A patent/JPH07118624B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
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| EP0604280A1 (fr) * | 1992-12-22 | 1994-06-29 | Compagnie D'electronique Et De Piezo-Electricite - C.E.P.E. | Procédé d'ajustage en fréquence d'un dispositif piézoélectrique et équipement pour la mise en oeuvre du procédé |
| US5407525A (en) * | 1992-12-22 | 1995-04-18 | Compagnie D'electronique Et De Piezo-Electricite C.E.P.E. | Method of frequency tuning a piezoelectric device and apparatus for the implementation of the method |
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| CN107430244A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-12-01 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
| CN107430244B (zh) * | 2015-03-13 | 2019-10-22 | 狄德罗-巴黎第七大学 | 使用一个或多个谐振器的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118624B2 (ja) | 1995-12-18 |
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