JPH07121843A - ヘッド位置調整方法 - Google Patents

ヘッド位置調整方法

Info

Publication number
JPH07121843A
JPH07121843A JP27044593A JP27044593A JPH07121843A JP H07121843 A JPH07121843 A JP H07121843A JP 27044593 A JP27044593 A JP 27044593A JP 27044593 A JP27044593 A JP 27044593A JP H07121843 A JPH07121843 A JP H07121843A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
tape
magnetic
heads
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27044593A
Other languages
English (en)
Inventor
Takekatsu Matsumoto
武勝 松本
Hiroshi Morita
博司 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP27044593A priority Critical patent/JPH07121843A/ja
Publication of JPH07121843A publication Critical patent/JPH07121843A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 容易で且つ種々の磁気ヘッドにも適用可能な
高精度な位置調整を行うことを可能とするヘッド位置調
整方法を提供することを目的とする。 【構成】 記録ヘッド、再生ヘッド又は消去ヘッド若し
くはテープ受けのうち1以上のヘッド若しくはテープ受
けを複合して複合ヘッド装置を製造する際に、テープ摺
動面にテープを当接せしめて各磁気ヘッドの突き出し量
を調整する。突き出し量を把握する方法としては、テー
プとして透明もしくは半透明のテープを用い、このテー
プの当り幅を測定する方法が挙げられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばアナログオーデ
ィオ、ディジタルオーディオやコンピューターのデータ
レコーダー等に搭載される,いわゆる複合型の磁気ヘッ
ドを組み立てる際のヘッド位置調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】例えばアナログオーディオ、ディジタル
オーディオやコンピューターのデータレコーダー等の記
録再生装置を製造する際には、その特性上、記録・再生
及び消去を行うための磁気ヘッドを個別に製造した後、
各磁気ヘッドを装置にそれぞれ搭載するのが一般的とさ
れている。
【0003】しかし、このように個別に製造した磁気ヘ
ッドを使用した記録再生装置では、大きなスペースが必
要となり、近年重要視されている小型化、低コスト化を
考えた場合、非常に不利である。そこで、記録ヘッド、
再生ヘッド及び消去ヘッドを接合し1つの複合ヘッドと
したものを使用する方法が開発され、3ヘッド搭載型の
アナログオーディオやコンピューターのデータレコーダ
ー等において既に採用されている。
【0004】この複合ヘッドを製造するに際し、良好な
当たり特性を確保するために、各ヘッド間に位置ズレが
生じないように良好に接合することが望まれる。従来、
2つのヘッドを接合する場合には、主として治具に突き
当てることにより各ヘッド間の位置を調整している。し
かし、このようなヘッド位置調整方法では、精度がせい
ぜい±5〜10μmであり、十分な信頼性を期待するこ
とはできない。
【0005】そこで、例えばアナログオーディオ用3ヘ
ッド等のような小型化が特に要求される磁気ヘッドにお
いては、各ヘッド同士を接合した後にテープラップを行
い、他のヘッドより突き出している(突き出し量の大き
い)ヘッドの頭部を研磨することにより形状補正を行っ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、例えば高容
量データレコーダー用等の磁気ヘッドは、デプスが5μ
mと小さく、上述のようなテープラップによる形状補正
を行うと、規格よりもデプスが小さくなり、最悪の場合
には磁気ギャップ部分が失われてしまう虞れがある。従
って、デプスの小さな磁気ヘッドにおいては、各ヘッド
同士を接合する際に、サブミクロンオーダーで位置調整
を制御することが要求される。
【0007】このような要求から、図18に示すよう
に、複合磁気ヘッド50のテープ摺動面と対向配置され
た顕微鏡51,51の焦点深度によりヘッドの位置を確
認しながら突き出し量を調整する方法も提案されている
が、直接摺動面を顕微鏡を用いて観察するのでは、精度
は±3μm程度が限度であり、各ヘッド間の位置ズレを
高精度に調整することには限界がある。
【0008】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであって、種々の磁気ヘッドにも適用
可能で、容易に高精度な位置調整を行うことが可能なヘ
ッド位置調整方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッド位置調整
方法は、上述の目的を達成するために提案されたもので
ある。即ち、本発明は、複数の磁気ヘッド若しくは1以
上の磁気ヘッドとテープ受けを複合してなる複合磁気ヘ
ッド装置を組み立てるに際し、各磁気ヘッド及び/又は
テープ受けの摺動面にテープを当接せしめて突き出し量
を調整することを特徴とするものである。
【0010】本発明のヘッド位置調整方法においては、
記録ヘッド、再生ヘッド、消去ヘッドから選ばれる複数
の磁気ヘッド同士或いは磁気ヘッドとテープ受けを接合
する際に、磁気ヘッドのテープ摺動面にテープを当接せ
しめて突き出し量を求めることにより、突き出している
磁気ヘッド又はテープ受けの位置を調整する。これによ
り、容易に且つ高精度にヘッド間の位置ズレを調整する
ことができ、良好な当たり特性を確保することが可能な
信頼性に優れた磁気ヘッドを製造することができる。
【0011】上記突き出し量を求める方法としては、磁
気ヘッドのテープ摺動面に当接されたテープの当り幅よ
り算出する方法が挙げられる。この場合、テープの当り
幅の測定方法としては、通常用いられている磁気テープ
を磁気ヘッドのテープ摺動面に突き当て、顕微鏡により
上記ヘッドの側方から測定する方法が考えられる。但
し、この方法では、ヘッドの左右両方の側面から測定す
る必要があり、顕微鏡を左右1台ずつ装備した装置が必
要となる。
【0012】また、テープとして透明もしくは半透明の
ものを使用し、顕微鏡により上記ヘッドの上方から測定
する方法でも良い。この方法によれば、磁気ヘッドがマ
ルチチャンネルのヘッドである場合において、各ヘッド
間のトラック合わせが可能になるといる効果が得られ、
工数の削減に大きく寄与できる。
【0013】上記顕微鏡としては、2眼2視野の顕微鏡
が使用可能である。この場合、該2眼2視野の顕微鏡に
より左右の当り幅を比較することによってヘッドブロッ
クの位置調整を行うことが可能となる。この場合では、
作業効率が著しく向上し、高精度な測定が可能となる。
【0014】また、上記顕微鏡として、通常用いられて
いる1眼1視野の顕微鏡を使用しても良い。この場合に
おいては、ヘッドブロックを左右に送るステップ機構が
必要になるが、顕微鏡自体の価格が安いことから、低コ
スト化が可能となる。
【0015】或いは、これら顕微鏡の中間的な存在であ
る1眼2視野の顕微鏡も使用可能であり、この場合には
上記2種類の顕微鏡の中間的な効果を期待することが可
能となる。これら顕微鏡の種類は、測定すべき磁気ヘッ
ドの大きさ等の条件に応じて適宜選択すれば良い。
【0016】
【作用】記録ヘッド、再生ヘッド又は消去ヘッド若しく
はテープ受けのうち1以上のヘッド若しくはテープ受け
を複合してなる複合ヘッドを組み立てるに際し、この複
合ヘッドのテープ摺動面にテープを当接せしめると、そ
の当たり状態、例えば当たり幅によって各磁気ヘッドの
突き出し量を把握することができる。そして、この当た
り状態(当たり幅)を見ながら突き出し量を調整するこ
とにより、非常に簡単且つ高精度に各磁気ヘッドの位置
が調整される。
【0017】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例により説明す
るが、本発明がこの実施例に限定されるものではないこ
とは言うまでもない。本実施例は、デプスの異なる2種
類のコンピューターのデータレコーダー用の磁気ヘッド
を組み合わせて複合磁気ヘッド装置を製造するに際し、
磁気ヘッドのテープ摺動面に透明テープを接触させ、こ
の透明テープの当たり幅を測定することによりヘッド位
置の調整をそれぞれ行った例である。
【0018】先ず、本実施例で使用した磁気ヘッド装置
の構成について説明する。この磁気ヘッド装置は、図1
及び図2に示すように、消去ヘッド1、再生ヘッド2、
記録ヘッド3、再生ヘッド4、テープ受け5の5つのブ
ロックが接合された構成をそれぞれ有する。
【0019】上記消去ヘッド1は、この種の磁気ヘッド
において通常使用されているバルクヘッドからなる。ま
た、上記再生ヘッド2,4は、同一の構成を有し、それ
ぞれ磁気抵抗効果型薄膜ヘッドからなり、信号引き出し
用フレキシブル基板6を有してなる。これら再生ヘッド
2,4は、図3に示すように、一対の基板7と保護基板
9との突き合わせ面にテープ摺動面に臨んで磁気抵抗効
果素子8が形成されてなるもので、さらにバック側に上
記磁気抵抗効果素子8と接続して配設される信号引出し
線10が形成された構成からなる。
【0020】上記記録ヘッド3は、誘導型薄膜ヘッドで
あり、やはり信号引き出し用フレキシブル基板6を有し
てなる。この記録ヘッド3においては、図4に示すよう
に、一対の基板11と保護基板13の間に磁気ギャップ
12を介して閉磁路を構成する下層コア15及び上層コ
ア16が挟持され、これら下層コア15と上層コア16
の間には、薄膜コイル14が形成されてなる。
【0021】テープ受け5は、セラミック材料からなる
単一ブロックである。
【0022】ここで、この磁気ヘッド装置において、各
ヘッドブロックの接合を行う際のヘッド位置調整による
影響を考える。なお、上記磁気ヘッド装置は、上述のよ
うに5つのブロックが接合された構成を有するが、ここ
では説明を簡略化するために2つのヘッドブロックを接
合する場合についてのみ説明することにする。(図5、
図7及び図9は、デプスを20μmとした場合、図6、
図8及び図10は、デプスを5μmとした場合をそれぞ
れ示す。)
【0023】図5乃至図10においては、使用時におけ
る理想的なテープの経路17を破線で表した。即ち、2
つのヘッドブロック18、19を接合した後、テープラ
ップにより形状の補正がなされると、上記破線より上の
部分は研磨除去されることになる。
【0024】先ず、図5及び図6に、2つのヘッドブロ
ック18、19間に位置のズレが生じていない理想的な
接合状態を示した。この場合、テープラップによる形状
補正は必要なく、得られた磁気ヘッドにおいてデプスは
それぞれ20μm、5μmとなった。
【0025】次に、図7及び図8に、図中右側のヘッド
ブロック19が3μm突き出して接合された場合の接合
状態を示した。この場合、テープラップによる形状補正
を行うと、右側のヘッドブロック19の突出部分が研磨
され、結果的にデプスが3μm減少してしまった。この
ため、デプスが20μmに設定されている場合(図7)
には、ヘッドブロック19の初期デプスが減少分に対し
て十分確保されているので影響は比較的少ないが、デプ
スが5μmに設定されている場合(図8)には、ヘッド
ブロック19の形状補正後のデプスは2μm足らずとな
り、磁気ヘッドとしての寿命が激減することになった。
【0026】更に、図9及び図10に、図中右側のヘッ
ドブロック19が5μm以上突き出して接合された場合
の接合状態を示した。この場合、テープラップにより突
出部分を研磨し形状補正を行うと、デプスは5μm以上
減少することになる。この結果、図9に示すようにデプ
スが20μmに設定されている場合には、ヘッドブロッ
ク19のデプスは十数μm程度残るものの、図12に示
すようにデプスが5μmに設定されている場合には、ヘ
ッドブロック19のギャップ部がなくなってしまい、磁
気ヘッドとして使用不可能となってしまった。
【0027】従って、デプスが小さい磁気ヘッドほど、
ヘッドブロックを接合する際のヘッドブロック間の位置
合わせに、高精度な調整が要求されることがわかった。
【0028】そこで、以下のようにしてヘッドブロック
間の突き出し量をテープの当り幅の関数として求めて位
置調整を行った。なお、テープの当り幅はどの5つのヘ
ッドでも同じ値を持つことを前提とした。また、本来は
5つのヘッドを複合するための計算をしなければない
が、左右対称の構造を持つため、ここでは便宜上3つの
ヘッドの関係を求めた。
【0029】最初に、当たり角θと該当たり角θに対す
る円弧lとの関係を求めた(図11参照)。これを
(1)式及び(2)式に示す。なお、式中πは円周率を
表す。
【0030】
【数1】
【0031】次に、記録ヘッド22におけるギャップラ
イン23とテープ接点24の距離W 1 、再生ヘッド25
におけるギャップライン26とRトップ27とR中心2
8をむすんだ線29の距離W2 、消去ヘッド30におけ
るRトップ31とR中心32をむすんだ線33とテープ
接点34の距離W3 、消去ヘッド30におけるRトップ
31とR中心32をむすんだ線33とギャップライン3
5の距離W4 をそれぞれ半径Rと当たり角θとの関係よ
り求めた。
【0032】 W1 =Rsin θ ・・・(3) W2 =Rsin2θ ・・・(4) W3 =Rsin3θ ・・・(5) W4 =Rsin4θ ・・・(6)
【0033】また、記録ヘッド22と再生ヘッド25に
おけるギャップライン距離S1 、再生ヘッド25と消去
ヘッド30におけるギャップライン距離S2 を、記録ヘ
ッド22と再生ヘッド25におけるRトップ27,36
とR中心28,37をむすんだ線29,38の距離
1 、再生ヘッド25と消去ヘッド30におけるRヘッ
ドにおけるRトップ27,31とR中心28,32をむ
すんだ線の距離L2 と上記距離W2 、距離W4 との関係
より求めた。
【0034】 S1 =L1 +W2 ・・・(7) S2 =L2 +W2 +W4 ・・・(8)
【0035】ここで、記録ヘッド22と再生ヘッド2
5、消去ヘッド30の最適な位置関係を求めた。突き出
し量は図13中矢印Z方向(Z軸)のズレ幅の大きさと
して考えられる。但し、この計算過程において、Z軸は
実際の突き出し方向と逆向き(マイナス方向)として捉
える。
【0036】再生ヘッド25のR中心位置Z2 は記録ヘ
ッド22のR中心位置Z1 を基準にして求め、消去ヘッ
ド30のR中心位置Z3 は再生ヘッド25のR中心位置
2を基準にして計算すると以下の(9)式及び(1
0)式ようになる。
【0037】
【数2】
【0038】以上の計算結果に、本実施例で使用したヘ
ッドブロックの寸法を代入して計算した。先ず、テープ
の当り幅が900μmの場合について検討した。この場
合、円弧lは450μmとなる。また、半径Rは17m
m、ギャップライン距離S1 は1.524mm、ギャッ
プライン距離S2 は2.92mmとした。
【0039】この結果、Z2 −Z1 は16.5μm、Z
3 −Z2 は16.1μmとなった。
【0040】次に、当り幅が800μm、1000μm
の場合についてそれぞれ検討した。この結果、当り幅8
00μmのとき、Z2 −Z1 は17.0μm、Z3 −Z
2は15.0μmとなり、当り幅1000μmのときZ
2 −Z1 は15.4μm、Z3 −Z2 は17.0μmと
なった。
【0041】従って、当り幅を100μm変化させるに
は、突き出し量を1μm変化させれば良く、逆に突き出
し量1μmの誤差が発生すれば、当り幅において100
μmと非常に大きな誤差が生じてしまうことが判った。
【0042】即ち、ヘッドの突き出し量がミクロンオー
ダーでズレると、テープの当り幅は100μmのオーダ
ーでずれてしまうことになる。逆に言えば、テープの当
り幅のずれを100μm以下の精度で測定し調整すれば
突き出し量をサブミクロンオーダーで制御することがで
きる。
【0043】そこで、以上の計算結果をもとにして、テ
ープの当たり幅を測定することによりヘッドブロック間
の位置調整を行った。
【0044】上記テープの当り幅は、図12に示すよう
に、上記磁気ヘッド41のテープ摺動面に当接せしめら
れた透明テープ42を介して上記複合ヘッド41の上方
に対向配置されてなる2眼2視野の顕微鏡40,40を
用いて測定した。
【0045】ここで、上記テープの当り幅測定によるヘ
ッド位置調整の原理を説明する。図16に示すように、
ヘッド位置の微調整にはアクチュエーターとして圧電素
子43a,43b,43cを使用した。即ち、上記磁気
ヘッド41の側方及び下方にトラック調整用圧電素子4
3a、左側調整用圧電素子43b及び右側調整用圧電素
子43cをそれぞれ配設し、これら圧電素子43a,4
3b,43cによって上記磁気ヘッド41の位置を適宜
調整した。これら圧電素子43a,43b,43cは、
近年、優れたセラミック材料の開発によって極めて手軽
に利用できるという利点を有するとともに、その変位の
分解能が大変優れており、nm単位の微動を行うことが
可能であることから、精密位置調整装置のアクチュエー
ターとしては最も適している。
【0046】本実施例においては、上述の設備を5つ並
列に配置した構造を有する装置を用いてヘッド位置調整
を行ったが、ここでは1つの設備についてのみ説明す
る。先ず、この装置に上記磁気ヘッド41を配置した時
点では、例えば図13に示すように、左右の当り幅
1 ,l2 のバランスはとれていない。
【0047】そこで、この場合には、上記左側調整用圧
電素子43bにより上記磁気ヘッド41の左側を持ち上
げる。これにより、左側の当り幅l2 が広くされ、図1
4に示すように、左右のバランスがとれた状態に位置調
整される。
【0048】或いは、上記右側調整用圧電素子43cを
下げることにより、図15に示すように、右側の当り幅
1 を狭めた状態でバランスをとっても良い。
【0049】また、図14に示す状態から両方の圧電素
子43b,43cを下げることによって図15に示す状
態へ、逆に図15に示す状態から両方の圧電素子43
b,43cを持ち上げることによって図14に示す状態
へ、それぞれ位置調整することも可能である。
【0050】なお、この他ヘッド位置の微調整にアクチ
ュエーターとして上記圧電素子43a,43b,43c
の代わりに、図17に示すように、マイクロメーター4
4a,44b,44cを使用することも可能である。ま
た、簡単なネジを用いて微調整を行うことも可能である
が、上述のようにマイクロメーターを使用することによ
り高精度で、且つ作業性に優れたヘッド位置調整を行う
ことが可能となる。また、この場合、圧電素子を用いた
場合に比べて電源等を必要としないため、低コスト化に
有利である。
【0051】以上のようにして、適当なアクチュエータ
ーを用い、テープの当り幅がバランス良い状態となるよ
うにヘッドの位置を調整することにより、各ヘッドブロ
ック間の突き出し量を容易に且つ高精度に制御すること
ができた。
【0052】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
においては、1以上の磁気ヘッド若しくはテープ受けを
接合する際に、磁気ヘッドのテープ摺動面にテープを当
接せしめて各磁気ヘッドの突き出し量を規定しているの
で、高精度かつ安定したヘッド位置調整を容易に行うこ
とが可能となる。このため、本発明によれば、接合後に
テープラップ等の研磨工程を行う必要が全くなく、工数
削減、品質の向上を図る上で非常に有利である。また、
本発明は、テープの当り幅を精度良く測定することも可
能であることから、信頼性に優れ工業的利用価値が大き
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用して製造される複合ヘッドの一構
成例を示す斜視図である。
【図2】本発明を適用して製造される磁気ヘッドの接合
前の各部材の一構成例を示す分解斜視図である。
【図3】再生ヘッドの一構成例を示す模式的な断面図で
ある。
【図4】記録ヘッドの一構成例を示す模式的な断面図で
ある。
【図5】再生ヘッドと記録ヘッドを接合した時の理想的
な接合状態の一例を示す模式図である。
【図6】再生ヘッドと記録ヘッドを接合した時の理想的
な接合状態の他の例を示す模式図である。
【図7】再生ヘッドより記録ヘッドの方が3μm突き出
して接合された状態の一例を示す模式図である。
【図8】再生ヘッドより記録ヘッドの方が3μm突き出
して接合された状態の他の例を示す模式図である。
【図9】再生ヘッドより記録ヘッドの方が5μm突き出
して接合された状態の一例を示す模式図である。
【図10】再生ヘッドより記録ヘッドの方が5μm突き
出して接合された状態の他の例を示す模式図である。
【図11】ヘッドブロック間の突き出し量をテープの当
り幅の関数として求める方法を説明するための模式図で
ある。
【図12】ヘッドのテープ摺動面に当接せしめられたテ
ープの当り幅を測定する装置の一構成例を示す模式的な
斜視図である。
【図13】ヘッドのテープ摺動面にテープが当接せしめ
られた状態の一例を示す模式図である。
【図14】ヘッド位置調整を行った後のテープとヘッド
の摺接状態の一例を示す模式図である。
【図15】ヘッド位置調整を行った後のテープとヘッド
の摺接状態の他の例を示す模式図である。
【図16】ヘッド位置の微調整を行う装置の一構成例を
示す模式的な斜視図である。
【図17】ヘッド位置の微調整を行う装置の他の構成例
を示す模式的な斜視図である。
【図18】従来のヘッド位置調整を行う装置の一構成例
を示す模式的な斜視図である。
【符号の説明】
1・・・消去ヘッド 2,4・・・再生ヘッド 3・・・記録ヘッド 5・・・テープ受け 40・・・2眼2視野の顕微鏡

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の磁気ヘッド若しくは1以上の磁気
    ヘッドとテープ受けを複合してなる複合磁気ヘッド装置
    を組み立てるに際し、各磁気ヘッド及び/又はテープ受
    けの摺動面にテープを当接せしめて突き出し量を調整す
    ることを特徴とするヘッド位置調整方法。
  2. 【請求項2】 テープとして透明もしくは半透明のテー
    プを用い、このテープの当り幅を測定して突き出し量を
    調整することを特徴とする請求項1記載のヘッド位置調
    整方法。
  3. 【請求項3】 テープの当り幅を2眼2視野の顕微鏡に
    より測定することを特徴とする請求項2記載のヘッド位
    置調整方法。
  4. 【請求項4】 圧電素子により各磁気ヘッド及び/又は
    テープ受けの位置を調整することを特徴とする請求項1
    記載のヘッド位置調整方法。
  5. 【請求項5】 マイクロメーターにより各磁気ヘッド及
    び/又はテープ受けの位置を調整することを特徴とする
    請求項1記載のヘッド位置調整方法。
JP27044593A 1993-10-28 1993-10-28 ヘッド位置調整方法 Pending JPH07121843A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27044593A JPH07121843A (ja) 1993-10-28 1993-10-28 ヘッド位置調整方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27044593A JPH07121843A (ja) 1993-10-28 1993-10-28 ヘッド位置調整方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07121843A true JPH07121843A (ja) 1995-05-12

Family

ID=17486390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27044593A Pending JPH07121843A (ja) 1993-10-28 1993-10-28 ヘッド位置調整方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07121843A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6700729B1 (en) Alignment marks for tape head positioning
US20090284871A1 (en) Head gimbal assembly and manufacturing method thereof, and disk drive device with the same
JPH11191204A (ja) 薄膜磁気ヘッドの製造方法
JPH11185218A (ja) 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法
JPS6391817A (ja) ベリ−ドサ−ボ方式用薄膜磁気ヘツド
JPH04205705A (ja) 薄膜磁気ヘッド及び磁気デイスク装置
JP2000123313A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH103605A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JP2613218B2 (ja) 磁気ヘッド
JP4209580B2 (ja) ヘッドスライダ加工方法
JPH0863725A (ja) 磁気ヘッド装置
JPH10269518A (ja) 磁気ヘッドの製造装置及び磁気ヘッドの製造方法
JPH07176013A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPS6247814A (ja) ダブルアジマス薄膜磁気ヘツド
JPS62267912A (ja) 磁気ヘツド
JPH11242806A (ja) 薄膜磁気ヘッド、磁気ディスク装置及び研磨加工方法並びにその測定方法
JPH07235002A (ja) 磁気ディスク装置
JPS6226618A (ja) 薄膜磁気ヘツド
JPH10269516A (ja) 磁気ヘッドの製造装置及び磁気ヘッドの製造方法
JPH04305811A (ja) 薄膜磁気ヘッドの製造方法
JPH06131643A (ja) 磁気ヘッド位置調整方法及び装置
JPH08235524A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JP2001155304A (ja) 磁気ヘッドのギャップ位置の検出方法および磁気ヘッドの接着装置
JPH07326019A (ja) 複合型磁気ヘッド及びその製造方法
JPH11328623A (ja) 磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010515