JPH07124853A - ウェーハのノッチ部研磨装置 - Google Patents

ウェーハのノッチ部研磨装置

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JPH07124853A
JPH07124853A JP5294387A JP29438793A JPH07124853A JP H07124853 A JPH07124853 A JP H07124853A JP 5294387 A JP5294387 A JP 5294387A JP 29438793 A JP29438793 A JP 29438793A JP H07124853 A JPH07124853 A JP H07124853A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハのノッチ部を効果的かつ効率的に研
磨可能な研磨装置を提供する。 【構成】 ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装
置であって、表面に砥粒が担持された可撓性テープと、
このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰
出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出さ
れたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用
リールを回転させるモータと、前記テープの裏面に流体
を吹き付けて当該テープの表面を前記ノッチ部内面に押
し付ける流体吹付け手段と、前記テープをその幅方向に
振動させる振動付与手段とを備えることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハの研磨装置に
関するもので、さらに詳しくは、ウェーハのノッチ部を
研磨するための研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリコン単結晶ウェーハあるいは化合物
半導体ウェーハなど（以下ウェーハと言う）に半導体集
積回路のパターンを形成する場合、ホトリソグラフィ技
術が用いられているが、このホトリソグラフィ技術の適
用にあたっては、ウェーハの高度な位置合せや方位合せ
が必要となる。そのため、ウェーハ外周部の一部を直線
状に切り欠き、該部を位置合せや方位合せのための基準
とすることが行われている。この直線状に切り欠かれた
部分はオリエンテーションフラットと呼ばれている。
【０００３】このオリエンテーションフラットをウェー
ハに形成する場合、ウェーハ外周部を直線状に切り欠く
ため、ウェーハの切欠き量が必然的に多くなり、その
分、１枚のウェーハで形成し得る半導体チップの数が少
なくなってしまい、高価なウェーハを効率的に利用する
ことができないという問題があった。また、高速回転に
よる遠心力でウェーハを乾燥させるスピンドライヤーの
ような装置では、オリエンテーションフラット付きの大
口径ウェーハは、バランスを取りにくいという作業上の
問題があった。
【０００４】そこで、最近では、ウェーハ外周部の一部
を円弧状またはＶ字状に切り欠いた、いわゆるノッチ部
を設け、このノッチ部でもってウェーハの位置合せ、方
位合せを行うものが実用化されている。
【０００５】図４（平面図）には、このノッチ部を有す
るウェーハＷが示されている。この図４において符号１
で示す部分がノッチ部であり、このノッチ部１はＶ字状
に構成され、ノッチ部１の内面は、図５（縦断面図）に
示すように、ウェーハＷの厚さ方向中央部が径方向外側
へ膨出した形状となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ホトリソグ
ラフィ工程において、微細な粉塵は、半導体デバイス製
造時における微細加工の阻害要因となるので、高度のク
リーンルームが必要とされ、かつ、ウェーハからの微細
な粉塵の発生を極力防止することが望まれている。
【０００７】そのためには、ウェーハ外周部の鏡面化が
必要とされる。特に、ノッチ部では、その内面を研磨し
ておき、位置合せや方位合せの際に硬質のピンと接触し
たときにも、粉塵が発生しないようにしておく必要があ
る。しかし、ノッチ部の形成領域は、オリエンテーショ
ンフラットの場合と比べて狭く、また、ノッチ部の切欠
きは円弧状またはＶ字状となっており、その内面には膨
出部が存在するなど形状が複雑である。したがって、ノ
ッチ部の研磨を行うのは容易ではない。
【０００８】本発明は、かかる点に鑑みなされたもの
で、ウェーハのノッチ部を効果的かつ効率的に研磨可能
な研磨装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置は、ウ
ェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、
表面に砥粒が担持された可撓性テープと、このテープが
巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リール
と、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを
巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用リールを回転
させるモータと、前記テープの裏面に流体を吹き付けて
当該テープの表面を前記ノッチ部内面に押し付ける流体
吹付け手段と、前記テープをその幅方向に振動させる振
動付与手段とを備えるものである。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、ノッチ部を構成する凹
面に可撓性テープが流体圧力によって押し付けられる。
また、モータによる巻取り用リールの回転によって、テ
ープがノッチ部に対して相対移動し、テープの新面が次
々にノッチ部に当たることになる。同時に、振動付与手
段によってテープがその幅方向に振動させられるので、
ノッチ部の研磨が効果的かつ効率的に行えることにな
る。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づいて、本発明の実施例に係
る研磨装置について説明する。
【００１２】図１（平面図）および図２（側面図）には
実施例の研磨装置が示されている。この研磨装置３の概
略構成を説明すれば、この研磨装置３は、表面に砥粒が
担持された可撓性テープ４を繰り出しする繰出し用リー
ル５と、この繰出し用リール５から繰り出されたテープ
４を巻き取る巻取り用リール６とを備えている。また、
この研磨装置３は、繰出し用リール５から繰り出された
テープ４を、一旦、研磨されるウェーハＷ側に寄せた
後、巻取り用リール６まで導くための案内ローラ７，
８，９，１０を備えている。さらに、この研磨装置３
は、流体圧力によってテープ４の表面をウェーハＷのノ
ッチ部１に押し付ける流体吹付け手段１１と、研磨部に
おいてテープ４をその幅方向に振動させる振動付与手段
（図示せず）とを備えている。
【００１３】次に、各部の詳細を説明する。
【００１４】テープ４は、例えば、図３に示すように、
テープ基材４ａの上に接着剤４ｂを介して砥粒４ｃを接
着したものであり、砥粒４ｃの形成面が外側になるよう
に繰出し用リール５に巻回される。なお、このテープ
は、図示はしないが、フィルム基材の上に砥粒を混ぜた
塗料を塗ることによっても得ることができる。
【００１５】繰出し用リール５と巻取り用リール６は、
その両方の軸が同一直線上に位置するようにして設けら
れている。ここで、繰出し用リール５は軸受け１６に軸
支されており、一方、巻取り用リール６はモータ１３に
連結されている。
【００１６】案内ローラ７，８，９，１０のうち、繰出
し用リール５および巻取り用リール６の近くに位置する
案内ローラ７，１０は、その両方の軸が、繰出し用リー
ル５および巻取り用リール６の軸と平行となるようにし
て設けられている。この場合、案内ローラ７，１０の両
軸は同一直線上に位置するようにして設けられており、
かつ、それぞれが軸受け１７，１８に軸支されている。
【００１７】一方、案内ローラ８，９はそれぞれ案内ロ
ーラ７，１０に対してれじれの関係を持つようにして設
けられている。したがって、テープ４は、この案内ロー
ラ８，９と案内ローラ７，１０とによって９０゜ねじれ
ながら移行するようになっている。また、案内ローラ
８，９は軸方向に動作可能とされ、この案内ローラ８，
９には、例えばカム機構あるいは歯車機構などを通じ
て、案内ローラ８，９を矢印Ａのようにその軸方向に振
動させる振動付与手段が設けられている。この場合、案
内ローラ８，９の振動は同期させておくことが好まし
い。
【００１８】なお、案内ローラ７，８，９，１０近傍に
はそれぞれ押えローラ１９が設けられ、案内ローラ７，
８，９，１０の端部にはフランジが設けられている。ま
た、案内ローラ８，９の近傍に設けられる押えローラ１
９は案内ローラ８，９と一体的に軸方向へ動作可能に構
成されている。
【００１９】流体吹付け手段１１の流体噴出ノズル１１
ａは案内ローラ８，９の間に設けられている。この流体
噴出ノズル１１ａは図示しない流体供給ポンプなどに連
結され、この流体噴出ノズル１１ａからは流体（例えば
水や空気）がテープ４に向けて放射状に吹き出されるよ
うになっている。この流体の放射状の吹出しによって、
テープ４の表面がウェーハＷのノッチ部内面に当接させ
られる。
【００２０】なお、図示はしないが、この研磨装置３に
は、図２に示すように当該装置全体をウェーハ主面に対
して矢印Ｂのように水平にさせたり傾動させることがで
きる傾動手段が設けられている。この傾動手段によって
ノッチ部１の厚さ方向の研磨が有効になされることにな
る。
【００２１】次に、本実施例の研磨装置３の使用方法を
説明する。
【００２２】図示しないウェーハ保持機構の吸着部にウ
ェーハＷを吸着させておき、吸着部と研磨装置３とを近
づける。次いで、流体吹付け手段１１の流体噴出ノズル
１１ａから流体を噴出させてテープ４をノッチ部内面に
押し付ける。次いで、モータ１３によって巻取り用リー
ル６を回転させるとともに、振動付与手段によって案内
ローラ８，９を軸方向に振動させる。そして、傾動手段
によって、ウェーハＷに対してテープ面を傾動させて、
研磨を行わせる。
【００２３】このように構成された研磨装置３によれ
ば、ノッチ部１を構成する凹面に可撓性テープ４が流体
圧力によって押し付けられる。また、モータ１３による
巻取り用リール６の回転によって、テープ４がノッチ部
１に対して相対移動し、テープ４の新面が次々にノッチ
部１に当たることになる。同時に、振動付与手段によっ
てテープ４がその幅方向に振動させられ、その結果、ノ
ッチ部１の研磨が効果的かつ効率的に行えることにな
る。また、遊離砥粒を用いないので、ウェーハＷを汚す
こともない。
【００２４】以上、本発明者がなした実施例について説
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能であ
ることは勿論である。
【００２５】例えば、前記実施例においては、ノッチ部
１の厚さ方向の研磨を行うために、装置３全体をウェー
ハＷ主面に対して傾動させることができる傾動手段を設
けたが、ウェーハＷを保持するウェーハ保持手段側を傾
動させるようにしても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ウェーハのノッチ部を
研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持さ
れた可撓性テープと、このテープが巻回保持され当該テ
ープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リ
ールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リ
ールと、この巻取り用リールを回転させるモータと、前
記テープの裏面に流体を吹き付けて当該テープの表面を
前記ノッチ部内面に押し付ける流体吹付け手段と、前記
テープをその幅方向に振動させる振動付与手段とを備え
るので、ノッチ部の研磨が効果的に行えることになる。
また、遊離砥粒を用いないので、ウェーハＷを汚すこと
もない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る研磨装置の平面図であ
る。
【図２】本発明の実施例に係る研磨装置の一部を省略し
て示す側面図である。
【図３】テープの縦断面図である。
【図４】ノッチ部を有するウェーハの平面図である。
【図５】ウェーハのノッチ部およびその近傍の縦断面図
である。
【符号の説明】
１ ノッチ部 ３ 研磨装置 ４ テープ ５ 繰出し用リール ６ 巻取り用リール １１ 流体吹付け手段 １３ モータ Ｗ ウェーハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 辰夫 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内 (72)発明者 黒田 泰嘉 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内 (72)発明者 市川 浩一郎 長野県長野市松代町清野1650番地 不二越 機械工業株式会社内 (72)発明者 稲田 安雄 長野県長野市松代町清野1650番地 不二越 機械工業株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウェーハのノッチ部を研磨するための研
    磨装置であって、表面に砥粒が担持された可撓性テープ
    と、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しす
    る繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り
    出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取
    り用リールを回転させるモータと、前記テープの裏面に
    流体を吹き付けて当該テープの表面を前記ノッチ部内面
    に押し付ける流体吹付け手段と、前記テープをその幅方
    向に振動させる振動付与手段とを備えることを特徴とす
    る、ウェーハのノッチ部研磨装置。
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