JPS63312056A - 磁気ヘッドの研摩装置 - Google Patents

磁気ヘッドの研摩装置

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JPS63312056A
JPS63312056A JP62145543A JP14554387A JPS63312056A JP S63312056 A JPS63312056 A JP S63312056A JP 62145543 A JP62145543 A JP 62145543A JP 14554387 A JP14554387 A JP 14554387A JP S63312056 A JPS63312056 A JP S63312056A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
polishing
cylinder
tape
water
Prior art date
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Pending
Application number
JP62145543A
Other languages
English (en)
Inventor
Noriyasu Echigo
紀康 越後
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS63312056A publication Critical patent/JPS63312056A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はVTR等で用いられる回転シリンダー用磁気ヘ
ッドの媒体摺動面の研磨装置に関する。
従来の技術 従来、磁気ヘッドの媒体摺動面を、媒体の走行状態に適
した形状にあわせ1.かつ磁気ヘッドの主要部分、特に
磁気ギャップ近傍に前加工等で生じた微細な凹凸を少な
くするために、有機フィルム上に研磨材が撒布された研
磨シートや研磨テープを用いて、磁気ヘッドの媒体摺動
面を鏡面研磨する事が行われている。その−例を第5図
に示す。
同図はVTR等で用いられている回転シリンダー用磁気
ヘッド1の研磨方法を模式的に示した平面図である。同
図において、磁気ヘッド1を回転シリンダー2の研磨テ
ープ3摺動面の円周から距離tだけ突き出すように回転
シリンダー2へ固定する。この状態で回転シリンダー2
を回転系に取り付ける。巻出しリール4からテープガイ
ド6及び回転シリンダー2に沿う様に研磨テープ3を取
り付は巻き取りリール7へ巻き取られるようにする。こ
の状態で回転シリンダー2を回転させながら研磨テープ
3を走行させ、磁気ヘッド1を研磨する。これにより磁
気ヘッド1の媒体摺動面を、媒体の走行状態に適した形
状にあわせ、かつ磁気ヘッド1の主要部分、特に磁気ギ
ャップ近傍に前加工等で生じた凹凸を少な(することが
出来る。
通常、研磨開始時において、撒布されている研磨材の粒
径が大、きい研磨テープ3が用いられ、これによって磁
気ヘッド1の摺動面形状を形成し、研磨段階が進むにつ
れて粒径が小さいものが選ばれる。また研磨テープ3に
撒布されている研磨材は、磁気ヘッド1の摺動面に露出
している材料に応じて選ばれ、一般にFe2O3,Al
2O3゜Cr0z等が用いられる。
近年磁気記録装置の高密度化に伴い、磁気ヘッド1も、
その磁路のほとんどがフェライトで構成され、磁気ギャ
ップ近傍のみにCO系やFe系のメタル材料が蒸着やス
パッタ法によって形成されている様な、異種材料で構成
されている磁気ヘッド1が実用化されつつある。このよ
うな異種材料からなる磁気ヘッド1を従来例で示した研
磨方法で研磨すると、各材料間で磨耗特性が異なるため
それらの間で数百Aないし数千人の段差が生じる場合が
多い。そのような段差が生じた例を第6図に示す。この
図は、磁気ヘッド1の媒体摺動面に、基板8及びカバー
9の材料の結晶化ガラス、磁性体10のCO系アモルフ
ァス、ギャップ材11の5102、保護層12のA l
 20 s、及び接着層13の各々が露出している場合
について、触針式粗さ計で媒体摺動方向に測定した例を
示している。この図かられかるように、基板8と磁性体
10の間に、450Aの段差が生じている。仮に、この
段差が分離長dに相当するとして、再生過程で生じる分
離損失を計算する。この磁気ヘッド1が用いられている
磁気記録装置の使用波長λが1μmである場合、Wal
laceの式から、次のように求められる。
損失=54.8Xd/λ =54.8X0.045/1 =2.47  [dB] さらに記録時においても、はぼ同等の損失があると考え
られるから、記録と再生の分離損失の総和は、5dB程
度はあるものと考えられる。このために、S/N比の低
下や、エラー率の増加が起こることは容易に想像される
従来の研磨方法でも、磁気ヘッド1の研磨テープ3に対
する突き出し量を変えたり、研磨テープ3のテンション
を変化させることで、このような異種材料間の段差を数
十%小さくすることができる。その例を第7図に示す。
この図は、第6図に比べ研磨テープ3に対する磁気ヘッ
ド1の突き出し量を100μm増やして研磨したときの
摺動面凹凸状態である。測定条件は第6図と同じである
。第6図に比べ、基板8と磁性体10の間の段差は44
%小さくなっている。
発明が解決しようとする問題点 しかしこれ以上磁気ヘッド1の突き出し量を変化させて
もこの段差は小さくならなかった。また、巻出しリール
4と巻き取りリール7の回転数を若干食い違わせるなど
の方法で、研磨テープ3のテンションを変化させて同様
の検討を行ったが、この様な段差はこれ以上小さくなら
なかった。従って、磁気ヘッド1の突き出し量やテープ
テンションを変えることでは根本的に異種材料間の段差
を解消することは出来ない。更に、この様な方法では磁
気ヘッド1の先端形状が大きく変化してしまうため、実
際に磁気媒体と磁気ヘッド1を摺動させた場合、媒体の
走行状態に適した磁気ヘッド1の先端形状から掛は離れ
てしまい、逆に磁気ギャップ近傍が媒体と摺動しに(く
なり、むしろ磁気ヘッド1からの出力が低下してしまう
ことが多い。
以上述べてきたように、従来の技術では磁気ヘッドの先
端形状を従来通りに保ちつつ、異種材料間の凹凸が十分
に小さくなる様に研磨することが困難であった。
問題点を解決するための手段 磁気ヘッドをシリンダーの外周より所定の量だけ突出せ
しめて回転させる機構と、フレキシブルな基板上に研磨
材が撒布された研磨テープを前記シリンダーの外周に沿
って走行させる機構と、前記研磨テープの走行径路に沿
って前記シリンダーの内側から外側へ液体を噴出させる
機構を具備した磁気ヘッドの研磨装置を構成する。
作用 水の具体的な作用は不明であるが、この装置を用いるこ
とによって、摩耗特性の異なる異種材料によって構成さ
れる磁気ヘッドでも、異種材料間の段差が極めて少ない
状態に研磨することが可能である。また研磨媒体に対す
る磁気ヘッドの突き出し量や研磨媒体のテンションを変
化させないで研磨できるため、磁気ヘッドの摺動面形状
を従来通りに保つことが出来る。
実施例 以下本発明の具体的な実施例を図を用いて説明する。
第1図は本発明の第1実施例を示すシリンダ一部分の斜
視図である。同図において、固定シリンダー14には、
研磨テープ3の当接面に水の吹き出しノズル15が設け
られており、固定シリンダー14が取り付けられる本体
側からこの水の吹き出しノズル15に水が供給できるよ
うに予めされている。固定シリンダー14の中央部に回
転モーターと連動するハブ16を設け、これに磁気ヘッ
ド1が固定された回転シリンダー2を取り付ける。この
様に取り付けられたシリンダーを、第5図と同じ研磨テ
ープ走行系にかける。磁気ヘッド1を研磨する際に、吹
き出しノズル15から水を吹き出しながら回転シリンダ
ー2を回転させる。
この様な研磨方法を用いると、磁気ヘッド1は水が付着
された研磨テープ3によって研磨されるため、磁気ヘッ
ド1の媒体摺動面に露出している異種材料間では段差が
起こらない。本実施例の研磨方法で研磨された磁気ヘッ
ド1の媒体摺動面の凹凸状態を第2図に示す。ただし磁
気ヘッド1の研磨テープ3に対する突き出し量や研磨テ
ープ3のテンション、及び測定条件は第7図と同一であ
る。第7図と比較すると、大幅に基板8と磁性体10の
間の段差が解消されていることがわかる。
従って、本実施例の研磨方法が施された磁気ヘッド1で
は、異種材料間で生じた段差が原因となる分離損失はほ
とんど起こらないものと考えられる。またこの方法では
、研磨テープ3に対する磁気ヘッド1の突き出し量やテ
ープテンションを変化させる必要がなく、磁気ヘッド1
の摺動面形状を従来通りに保つことが出来る。通常回転
シリンダー2や固定シリンダー14の研磨テープ3当接
面は極めて凹凸の少ない状態に仕上げられている。この
ため、水などの液体等が研磨テープ3の研磨面に付着す
ると、研磨テープ3が固定シリンダー14や回転シリン
ダー2に強固に付着してしまい、研磨テープ3が滑らか
に走行しなくなるばかりか、甚だしい場合、研磨テープ
3が巻き取りリールの回転力で切断されてしまう場合も
ある。
本実施例では、この様な状態になることを防ぐために、
固定シリンダー14から水を吹き出すことにより、これ
の圧力によって研磨テープ3を固定シリンダー14から
若干浮上させる。これにより、研磨テープ3はシリンダ
ーに張り付(ことがなく、滑らかにシリンダー面を走行
ことができる。
次に、本発明の第2実施例を第3図を用いて説明する。
同図は回転シリンダー2側に、水の吹き出しノズル15
を設けた例を示した斜視図である。同図において、回転
シリンダー2の磁気ヘッド1取り付は面に水受は溝17
を設け、水吹き出しノズル15をこの水受は溝17へつ
なぐ。このように加工された回転シリンダー2を、水吹
き出しノズル15が加工されている面が上側になるよう
、固定シリンダー14を通して研磨機本体に取り付ける
。固定シリンダー14には回転シリンダー2を回転する
ハブ16の他に、水受は溝17へ水を供給するノズルを
予め設けておく。この様に準備されたシリンダー系と第
5図で示した研磨テープ3の走行系を用いて磁気ヘッド
1を研磨する。研磨開始前に予め水を適量水受は溝17
に貯でおきその後回転シリンダー2を回転させ、研磨テ
ープ3を走行させる。研磨開始と同時に研磨機本体側か
ら水受は溝17に水を供給する。
本実施例の場合、磁気ヘッド1の直前で研磨テープ3に
水を供給することができるので、磁気ヘッド1の近傍に
おける水の供給むらが起こりにくい。第3図では、磁気
ヘッド1に加わる研磨テープ3からの圧力が磁気ヘッド
1の主要部分を中心にして対称になるようにするため、
水の吹き出しノズル15は、磁気ヘッド1の取り付は位
置の前後に設けた例を示した。第1実施例で述べたよう
に、研磨テープ3のシリンダーへの張り付きが強い場合
、水の吹き出しノズル15の数を増して、これを防ぐと
よい。
さらに、水受は溝17を回転シリンダー2における磁気
ヘッド1の取り付は面の反対側に設けたものが第3図で
ある。この例の場合、水受は溝17が磁気ヘッド1と反
対側に設けられているため水の吹き出しノズル15が断
面図に示したように、斜めに設けられる。水の作用のし
かたは、第3図と同様であるので、説明は省略する。
また、第1実施例と第2実施例を組み合わせて磁気ヘッ
ド1を研磨しても同様の効果が期待できる。
以上述べてきた実施例では、シリンダーから噴出する液
体の例として水の場合について説明してきたが、他の液
体についても同様に検討した結果、メタノール、エタノ
ール、ラッピングオイ、ル(例えばMobi I社製J
HON CRANE LAPPING VEIICLE
No、3)を用いても、異種材料間の段差を低減する効
果があることがわかった。
発明の効果 本発明によれば、固さの異なる異種材料によって構成さ
れる磁気ヘッドでも、研出後に生じる異種材料間の段差
を解消することができる。また研磨媒体に対する、磁気
ヘッドの突き出し量やテンションを変化させないで研磨
できるため、磁気ヘッドの慴動面形状を従来通りに保つ
ことが出来る。更に、シリンダー側から液体を研磨媒体
に吹き付けるために、研磨媒体をシリンダー上で極僅か
浮き上がらせることが出来るので、液体が研磨媒体に付
着したために起こる研磨媒体のシリンダーへの張り付き
を防ぐことが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例を示すシリンダ一部分の分
解斜視図、第2図は本発明の研磨方法を施した磁気ヘッ
ドの摺動面凹凸状態を示す図、第3図は本発明の第2実
施例を示す回転シリンダーの斜視図、第4図(a)及び
(b)は各々、本発明の第3実施例を示す回転シリンダ
ーの平面図と断面図、第5図は従来例を示す模式図、第
6図及び第7図は従来の研磨方法を施した磁気ヘッドの
摺動面凹凸状態を示す図である。 1・・・磁気ヘッド、2・・・回転シリンダー、14・
・・固定シリンダー、15・・・水吹き出しノズル、1
6・・・ハブ。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ばか1名/ −−一
眉1気へ、yド 2−一一回転シリンク゛− 14−置火シリンダー ツ6−71<1欠きtしノス゛ル /6−11 gシワンダー巨1云用ハ“フ゛第1図 第2図 第3図 第4図 ((L)      2 (b)       /7 亀 A−A’前山 第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁気ヘッドをシリンダーの外周より所定の量だけ突出せ
    しめて回転させる機構と、フレキシブルな基板上に研磨
    材が撒布された研磨テープを前記シリンダーの外周に沿
    って走行させる機構と、前記研磨テープの走行径路に沿
    って前記シリンダーの内側から外側へ液体を噴出させる
    機構を具備したことを特徴とする磁気ヘッドの研磨装置
JP62145543A 1987-06-11 1987-06-11 磁気ヘッドの研摩装置 Pending JPS63312056A (ja)

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JP62145543A JPS63312056A (ja) 1987-06-11 1987-06-11 磁気ヘッドの研摩装置

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JP62145543A JPS63312056A (ja) 1987-06-11 1987-06-11 磁気ヘッドの研摩装置

Publications (1)

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JPS63312056A true JPS63312056A (ja) 1988-12-20

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ID=15387614

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JP62145543A Pending JPS63312056A (ja) 1987-06-11 1987-06-11 磁気ヘッドの研摩装置

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JP (1) JPS63312056A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650804A1 (en) * 1993-10-29 1995-05-03 Shin-Etsu Handotai Company Limited Apparatus for polishing the notch of a wafer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650804A1 (en) * 1993-10-29 1995-05-03 Shin-Etsu Handotai Company Limited Apparatus for polishing the notch of a wafer
US5733181A (en) * 1993-10-29 1998-03-31 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Apparatus for polishing the notch of a wafer

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