JPH0713416U - フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、パンチング板のフィルタ枠への取
付け作業を容易にするとともに、パンチング板とフィル
タ枠との間に隙間を生じることのないフィルタ装置を提
供することを目的とする。 【構成】 フィルタ３の外周をフィルタ枠４にて覆うと
ともに、フィルタ３の上流側にはファン２を下流側には
パンチング板１７を有するフィルタ装置において、パン
チング板１７をフィルタ３面よりも大きく、フィルタ枠
４よりも小さいものとし、フィルタ枠４の上面にパンチ
ング板１７を載置した状態で、フィルタ枠４の上面及び
パンチング板１７の外周面に全周にわたって固定パッキ
ン１０を接着固定したことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体やバイオ関連などの製造ラインのように環境のクリーン化が 必要な場所に用いられるフィルタ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のフィルタ装置を図４から図６を用いて説明する。 図４は同フィルタ装置の断面図、図５は同フィルタ装置の正面図、図６は同 フィルタ装置に用いられるパンチング板の正面図である。 図中１はチャンバで、このチャンバ１内にはファン２が設けられている。フィ ルタ３の外周はフィルタ枠４にて覆われている。このフィルタ枠４には、複数の 固定ねじ５によりチャンバ１が固定されている。フィルタ枠４の上面には、固定 ねじ５を挿入できるように複数の貫通孔６が設けられている。フィルタ３の下流 側にはパンチング板７が設けられている。このパンチング板７はフィルタ枠４の 端面と同程度の大きさとなっており、フィルタ枠４の上面に載置した状態で貫通 孔６に対向する位置に貫通孔６と同程度の大きさの孔８を有している。パンチン グ板７は、複数の取付ねじ９によりフィルタ枠４に固定される構造となっている 。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記従来のフィルタ装置においては、パンチング板７をフィルタ枠４ に固定する際に、複数の取付ねじ９を用いるためにパンチング板７の取付け作業 に多大な時間を要してしまう。 また、パンチング板７にそりがある場合や、取付ねじ９による取付け作業時に パンチング板７に無理な応力が加わってそりが生じた場合には、図７に示すよう にフィルタ枠４とパンチング板７との間に隙間Ｌが生じる場合がある。 このような隙間があると、フィルタ３を通過した空気はこの隙間から逃げてし まい、本来吹き出そうとする方向の風量が低下してしまうという問題を有してい た。 また、パンチング板７は、フィルタ枠４と同程度の大きさであるために、フィ ルタ枠からはみ出したパンチング板７の周辺部がひっかかりやすく、取扱い時に パンチング板７の周辺部で怪我をするおそれがある。 そこで本考案は、パンチング板のフィルタ枠への取付け作業を容易にするとと もに、パンチング板とフィルタ枠との間に隙間を生じることのないフィルタ装置 を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記目的を達成するために、フィルタの外周をフィルタ枠にて覆う とともに、フィルタの上流側にはファンを、下流側にはパンチング板を有するフ ィルタ装置において、前記パンチング板を前記フィルタ面よりも大きく、前記フ ィルタ枠よりも小さいものとし、前記フィルタ枠の上面に前記パンチング板を載 置した状態で、前記フィルタ枠の上面及び前記パンチング板の外周面に固定パッ キンを接着固定したことを特徴とする。

【０００５】

【作用】

本考案は上記手段により、パンチング板を接着により固定するのでフィルタ枠 への取付け作業が容易になる。また、パンチング板の外周面は全周にわたって固 定パッキンによりフィルタ枠の上面に接着固定されるため、パンチング板とフィ ルタ枠との間に隙間を生じることがなく、従って本来吹き出そうとする方向の風 量が低下することがない。さらに、パンチング板をフィルタ枠よりも小さいもの とし、かつパンチング板の外周面は固定パッキンにより覆われるため、取扱い時 にパンチング板の周辺部で怪我をするようなこともない。

【０００６】

【実施例】

以下本考案の一実施例を図１から図３を用いて説明する。 図１は本考案の一実施例によるフィルタ装置の断面図、図２は同フィルタ装置 の正面図、図３は同フィルタ装置の要部拡大断面図である。 図において、従来のフィルタ装置と同一の部材には同一の番号を付して説明を 省略する。

【０００７】 フィルタ３の保護及びフィルタからの空気に対する整流効果を目的として設け られる金属、合成樹脂等からなるパンチング板１７は、従来のものと同様に複数 のパンチング孔を有しており、パンチング板１７の大きさは、フィルタ３の吹出 面よりも大きく、フィルタ枠４よりも小さくしている。 固定パッキン１０はフィルタ枠４の上面４ａと同じ幅であり、片面に接着剤１ １が塗布されている。そしてこの固定パッキン１０は、フィルタ枠４の上面４ａ にパンチング板１７を載置した状態でフィルタ枠４の上面４ａ及びパンチング板 １７の外周面に全周にわたって接着固定される。

【０００８】 次に同実施例によるフィルタ装置の組立て方法について説明する。 まず、あらかじめファン２はチャンバ１に、フィルタ３はフィルタ枠４に固定 しておく。そしてチャンバ１とフィルタ枠４とを当接させた状態で、フィルタ枠 ４の上面４ａに設けた貫通孔６から固定ねじ５を挿入し、この固定ねじ５により チャンバ１とフィルタ枠４との当接面を固定する。このようにしてチャンバ１と フィルタ枠４とを接合した後、フィルタ枠４の上面４ａにパンチング板１７を載 置し、固定パッキン１０により、このパンチング板１７をフィルタ枠４に接着固 定する。なおフィルタ枠４に設けられた貫通孔６は固定パッキン１０により塞が れる。

【０００９】 なお、本実施例においては、ファン２をチャンバ１内に有するもので説明した が、ファン２は必ずしもフィルタ３に近接したチャンバ１内に有する必要はない 。 また、フィルタ枠４とチャンバ１とは一体的なものであってもよい。

【００１０】 以上の説明から明らかなように、本実施例では、フィルタ枠４の上面４ａにパ ンチング板１７を載置した状態で、固定パッキン１０を、フィルタ枠４の上面４ ａとパンチング板１７の外周面との両方にまたがった形で全周にわたって貼り付 けることにより、パンチング板１７は固定パッキン１０とフィルタ枠４とに挟ま れた形で接着固定されるので、パンチング板１７とフィルタ枠４の上面４ａとは 機密状態で接着保持される。従ってパンチング板１７にそりが生じている場合に おいても、パンチング板１７とフィルタ枠４との間に隙間が生じることはない。 また、従来のように複数の固定ねじを用いることがないので取付けが容易にな るだけでなく、パンチング板１７の全周を固定パッキン１０により覆ってしまう ため、取付け作業時等に、パンチング板１７の外周部で怪我をするなどの危険性 も防止される。 さらに、本実施例によれば、パンチング板１７の固定用のねじを用いないばか りか、固定パッキン１０によりフィルタ枠４の貫通孔６も完全に塞いでしまうた め、外観上の美観もよいなどの効果を有するものである。

【００１１】

【考案の効果】

本考案のフィルタ装置によれば、パンチング板のフィルタ枠への取付け作業が 容易になる。また、パンチング板とフィルタ枠との間の機密性がよく、本来吹き 出そうとする方向の風量が低下することもない。さらに取扱い時にパンチング板 の周辺部で怪我をするような危険性も防止できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例によるフィルタ装置の断面図

【図２】同フィルタ装置の正面図

【図３】同フィルタ装置の要部拡大断面図

【図４】従来のフィルタ装置の断面図

【図５】同フィルタ装置の正面図

【図６】同フィルタ装置に用いられるパンチング板の正
面図

【図７】同フィルタ装置の一部断面図

【符号の説明】

３ フィルタ ４ フィルタ枠 １０ 固定パッキン １７ パンチング板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルタの外周をフィルタ枠にて覆うと
   ともに、フィルタの上流側にはファンを、下流側にはパ
   ンチング板を有するフィルタ装置において、前記パンチ
   ング板を前記フィルタ面よりも大きく、前記フィルタ枠
   よりも小さいものとし、前記フィルタ枠の上面に前記パ
   ンチング板を載置した状態で、前記フィルタ枠の上面及
   び前記パンチング板の外周面に固定パッキンを接着固定
   したことを特徴とするフィルタ装置。