JPH07136451A

JPH07136451A - 有害成分の除去剤及び検知剤

Info

Publication number: JPH07136451A
Application number: JP5284847A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Sugimori; 由章杉森; Tadaharu Watanabe; 忠治渡辺; Fumiyoshi Endou; 文誉遠藤
Original assignee: Japan Oxygen Co Ltd; Nippon Sanso Corp
Current assignee: Japan Oxygen Co Ltd; Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority date: 1993-11-15
Filing date: 1993-11-15
Publication date: 1995-05-30
Anticipated expiration: 2014-07-28
Also published as: JP2926459B2

Abstract

(57)【要約】【目的】従来より大量にシラン等の有害成分を除去す
ることが可能な除去剤及び有害成分の発生等を検知でき
る検知剤を提供する。【構成】水酸化銅を反応主成分とし、これにベリリウ
ム，マグネシウム，バナジウム，モリブデン，コバル
ト，ニッケル，銅，亜鉛，ホウ素，アルミニウム，ケイ
素，鉛，アンチモン，ビスマスのいずれか少なくとも一
種、あるいはその化合物を安定化剤として含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、排ガス等に含まれる有
害成分の除去剤及び検知剤に関し、詳しくは、半導体製
造工場等で使用される揮発性無機水素化物，揮発性無機
ハロゲン化物、有機金属化合物等の有害成分を含む排ガ
ス中の有害成分の除去剤及び検知剤に関する。

【０００２】

【従来の技術】揮発性無機水素化物，揮発性無機ハロゲ
ン化物、有機金属化合物等の有害ガス成分を使用する半
導体製造工程等からは、これらの有害成分を含む排ガス
が排出される。これらの有害成分は、毒性や可燃性を有
する危険なものであり、該排気ガスを大気中に放出する
前に無害化する必要がある。

【０００３】半導体製造工場における排ガス中の有害成
分の無害化処理は、従来のスクラバー等による湿式乃至
湿潤状態の除去剤による半湿式の方法から、近年は、乾
式による処理技術へと移行してきている。例えば、特公
平３−６４１６６号公報及び特公平３−６４１６７号公
報には、ヒ素を含有する有害ガスの除去剤として酸化銅
を主体とした除去剤が、また、特公平４−１７０８２号
公報には、ガス状ケイ素化合物の除去剤として酸化銅又
は酸化銅と酸化亜鉛との混合物を主体とした除去剤が、
それぞれ記載されている。さらに、特公平４−１９８８
６号公報には、シラン系ガスの除去剤として金属酸化物
を主成分とした除去剤が記載されている。

【０００４】上記のような除去剤を使用して有害ガス成
分を除去する方法としては、一般に、該除去剤を充填し
た充填筒に有害成分を含む排ガスを通して有害成分を除
去剤に接触させ、該有害成分を除去する方法が採られて
いる。この方法で有害成分を含む排ガスを処理する際、
除去処理の進行に伴い、除去剤の除去能力が低下して除
去剤の能力が破過すると、除去剤充填筒を通過した排ガ
ス中の有害成分が所定濃度を超えてしまう。したがっ
て、除去剤の除去能力が低下する前に除去剤を交換し、
再充填しなければならない。そのために、除去剤の能力
の低下、すなわち、除去剤の破過を事前に確認するため
に、充填筒の後段に高価な分析計を取付けるのでは、設
備費と手間がかかる。そこで、除去剤の破過を簡便に、
しかも確実に検知するための検知剤の開発も種々行われ
ている。

【０００５】検知剤としては、例えば、アルシン，ホス
フィン，ジボラン，セレン化水素，ゲルマン，モノシラ
ン，ジシラン，ジクロロシラン等を含む有害ガスを検知
する検知剤として、塩基性炭酸銅を変色成分とする検知
剤（特公平４−７９５７６号公報）、有機酸の銅塩を変
色成分とする検知剤（特公平４−７９５７７号公報）、
第二銅塩とパラジウム塩との混合物を変色成分とする検
知剤（特公平４−７９５７８号公報）等が提案されてい
る。これらに対して、特開平４−９７７５２公報には、
安価で変色が鋭敏であり、退色もない検知剤として硝酸
銅が提案されている。

【０００６】また、金属のアルキル化合物等の有機金属
化合物を含む有害ガスを検知する検知剤としては、銅塩
と金塩との混合物を変色成分とする検知剤（特開平２−
１１０３６９号公報，特開平２−１１０３７０号公報）
が提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した酸化
銅等の金属酸化物を反応主成分とする従来の除去剤で
は、シランに対する除去能力が小さく、このため、細粒
化処理を行うとともに、アルミナ等の担体に担持させて
比表面積を大きくする必要があり、除去剤自体の製造も
面倒であった。このようなことから、より除去能力の大
きな除去剤の出現が望まれていた。

【０００８】さらに、銅及び銅以外の金属の酸化物を主
成分とした前記除去剤は、交換時期を的確に把握するた
めに、その除去能力の破過を検知するための検知剤を併
用する必要がある。

【０００９】一方、除去剤の破過を検知する検知剤につ
いては、パラジウム塩や金塩のように、原料が高価であ
ったり、銅塩の溶解、沈澱、ろ過、乾燥等といった製造
プロセスにコストもかかる。また、変色成分を硝酸銅と
した検知剤は、検知剤としては優れた性能を有するもの
の、対象ガスとの反応が過度に進行すると、酸化窒素を
発生するおそれがあり、除去剤として使用することは好
ましくない。

【００１０】そこで、本発明者らは、シラン系の有害成
分にも十分な除去能力を有するとともに、アルシン系や
ホスフィン系、さらには、半導体製造工程で使用される
各種有機金属化合物等、多種類の有害成分に対して効果
的な除去剤の開発を第一の目的とし、併せて、除去能力
の破過を自ら検知する能力を有し、検知剤の不要な除去
剤を開発することを第二の目的として鋭意研究を重ね
た。その結果、水酸化銅が、シラン系の有害ガスに対し
て、従来の酸化銅に比べて約４倍の除去能力があるこ
と、同時に、その他のアルシンやホスフィン等の揮発性
無機水素化合物や、前記揮発性無機ハロゲン化物、さら
には、有機金属化合物をも効果的に除去することができ
るとともに、その色が、反応によって青から黒に鮮明に
変色することによって破過をも検知できることを見出
し、さらに、この水酸化銅に、熱分解反応を抑制する安
定化剤を添加することによって性能が安定し、実用的な
効果が著しく増進することを知見して本発明を完成する
に至った。

【００１１】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の除去
剤又は検知剤は、水酸化銅を主成分とし、ベリリウム，
マグネシウム，バナジウム，モリブデン，コバルト，ニ
ッケル，銅，亜鉛，ホウ素，アルミニウム，ケイ素，
鉛，アンチモン，ビスマスの元素の群より選ばれた少な
くとも１種の単体又は該元素の酸化物，水酸化物（水酸
化銅を除く），塩化物，硫酸塩，硝酸塩，炭酸塩，炭酸
水素塩，酢酸塩，酸化水酸化物，臭化物，酸化水素化
物，硫酸水素化物，リン酸塩，リン酸水素化物，亜硫酸
塩，硫化物，ギ酸塩，ヨウ化物，亜硝酸塩，モリブデン
酸塩，ホウ酸塩，過酸化物，ケイ酸塩，アルミン酸塩，
シュウ酸塩，チオ硫酸塩，クロム酸塩の少なくとも一種
の化合物からなる安定化剤を含むことを特徴とするもの
である。

【００１２】本発明の対象となる有害成分は、半導体製
造工場等で使用される揮発性無機水素化物，揮発性無機
ハロゲン化物，有機金属化合物等である。前記揮発性無
機水素化物としては、ジボラン，シラン，ジシラン，ゲ
ルマン，アンモニア，ホスフィン，アルシン，硫化水
素，セレン化水素等を挙げることができ、また、揮発性
無機ハロゲン化物としては、三フッ化ホウ素，三塩化ホ
ウ素，四フッ化ケイ素，ジクロルシラン，トリクロルシ
ラン，四塩化ケイ素，トリクロルアルシン，六フッ化タ
ングステン，フッ素，塩素，フッ化水素，塩化水素，臭
化水素等、ハロゲンガスも含む各種ガスを挙げることが
できる。

【００１３】さらに、有機金属化合物としては、アルキ
ル基を含むものとして、ジメチル亜鉛，ジエチル亜鉛，
トリメチルアルミニウム，トリエチルアルミニウム，ト
リメチルガリウム，トリエチルガリウム，トリメチルイ
ンジウム，トリエチルインジウム，テトラメチル錫，テ
トラエチル錫，ターシャリーブチルホスフィン，トリメ
チルアルシン，トリエチルアルシン，ターシャリーブチ
ルアルシン等を、アルコキシド基を含むものとして、ジ
メトキシ亜鉛，トリブトキシガリウム，トリメトキシボ
ロン，トリエトキシボロン，テトラメトキシシラン，テ
トラエトキシシラン，テトラメトキシゲルマン，テトラ
エトキシゲルマン，テトラターシャリーブトキシ錫，ト
リメトキシホスフィン，トリエトキシホスフィン，トリ
メトキシアルシン，トリエトキシアルシン，テトラエト
キシセレン，テトラメトキシチタン，テトラエトキシチ
タン，テトライソプロポキシチタン，テトライソプロポ
キシジルコニウム，テトラターシャリーブトキシジルコ
ニウム，ペンタメトキシタンタル，ペンタエトキシタン
タル等をそれぞれ挙げることができる。

【００１４】また、主成分となる水酸化銅は、上記除去
対象ガスと接触して反応すると、青色から黒色に鮮明に
変色するので、除去筒に充填して使用する場合、上流側
から破過前線が進行して行くので、検知剤を使用する必
要がないばかりでなく、必要に応じて、該除去対象ガス
の検知剤としても使うことができる。

【００１５】このように、水酸化銅は、単独で、上記対
象ガスの除去剤又は検知剤として、優れた性能を有する
が、約１３０℃で急激な熱分解反応を生じる。また、保
存状態が悪いものを使用すると、その除去性能が劣化し
ていることがあるので、上記熱分解温度以下でも、一部
熱分解を起こしている可能性がある。一方、水酸化銅を
除去剤又は検知剤として用いるとき、除去対象ガスとの
反応熱で昇温するおそれがある。そこで、熱安定性の優
れた一層実用的な除去剤とするためには、熱分解反応を
抑制する処方が求められる。本発明者らは、種々実験検
討した結果、前記安定化剤を水酸化銅に混合して使用す
ることにより、水酸化銅の熱分解反応を抑制して保存安
定性に優れた実用性の高い除去剤又は検知剤が得られる
ことを見出した。

【００１６】上記安定化剤としては、各種元素及びその
化合物を用いることが可能であるが、具体的には、水酸
化ベリリウム，酸化マグネシウム，水酸化マグネシウ
ム，塩基性炭酸マグネシウム，硫酸マグネシウム，５酸
化バナジウム，３酸化モリブデン，炭酸コバルト，酸化
ニッケル，水酸化ニッケル，塩基性炭酸ニッケル，硫酸
ニッケル，塩基性炭酸銅，酸化亜鉛，酸化ホウ素，ホウ
酸，活性アルミナ，非晶質シリカ，一酸化鉛，一酸化鉛
水和物，酸化アンチモン，酸化ビスマス等を挙げること
ができる。

【００１７】また、安定化剤の添加量は、安定化剤とし
て用いる物質の種類や、主剤である水酸化銅の形状等に
より異なるが、一般的には、水酸化銅に対して安定化剤
０．０１〜７０重量％程度が適当であり、安定化剤が多
すぎると除去効率が低下し、少ないと安定化効果が不十
分になる。

【００１８】

【作用】前記有害成分を含む排ガスを水酸化銅に接触
させると、該排ガス中の有害成分は、水酸化銅と反応し
て除去される。特にシランの場合、反応主成分である水
酸化銅の単位重量当たりのシラン除去量は、従来の除去
剤である前記酸化銅よりもはるかに多い。この原因は種
々考えられるが、一つには、水酸化銅の方が酸化銅より
も反応に寄与する除去成分の割合が高いためと思われ
る。例えば、酸化銅の場合、微少な粉末にして担体に担
持させて比表面積を大きくしても、個々の酸化銅の直径
は、最小でも数ミクロン程度であり、反応は表面の数オ
ングストローム（直径の１０００分の１程度の厚み）程
度で行われ、物質の表面だけが反応に寄与し、内部の酸
化銅は未反応のまま残るのに対し、水酸化銅の場合は、
反応が物質の内部まで進むためであろうと推定される。
実際、水酸化銅の場合は、比表面積が小さくても大量に
シランを除去することができる。したがって、本発明の
除去剤は、担体に担持させても、また、単独で錠剤の形
状にして用いても十分な除去能力を発揮する。これら
は、本発明者らが種々考究して得た知見である。

【００１９】本発明において主成分となる水酸化銅と
は、主に水酸化第二銅（Ｃｕ（ＯＨ）₂）を意味する
が、水酸化第一銅を含んでいても良い。また、水酸化銅
としては、結晶性のものと非晶質のものの両方が使用で
きるが、結晶性のものの方が非晶質のものより温度に対
する安定性が高いので、有害成分の濃度が高く、反応熱
が高い場合に、より安定的に使用できる。なお、本発明
における反応は発熱反応であるが、発熱量は従来の除去
剤である前記酸化銅とほぼ同等である。

【００２０】また、上記水酸化銅は、前記有害成分に接
触すると、該有害成分が僅かの濃度でもそれと敏感に反
応して除去し、同時に、青色から黒色に変色するため、
その破過を検知できる。したがって、該水酸化銅の変色
状況を監視することによって、除去剤としての破過を確
認できる。具体的には、本発明の除去剤を、透明乃至透
明窓を設けた充填筒に充填すれば、上流側から破過前線
が推移してゆく状況を変色により観察できるので、余裕
をもって除去剤の交換時期を知ることができる。

【００２１】一方、上記水酸化銅は熱分解し易いが、こ
れに前記安定化剤を添加すると、そのメカニズムは不明
であるが、熱分解反応を抑制する効果があり実用性が増
す。

【００２２】また、本発明の検知剤は、他の除去剤の破
過を検知するための検知剤としてのみ使用することもで
きる。

【００２３】なお、従来の酸化銅を主成分とした除去剤
中には、酸化銅を製造する工程における残留物として微
量の水酸化銅が含まれていることがあるが、従来の除去
剤においては、この水酸化銅はあくまでも不純物として
残留しているものであって、本発明のように、除去剤あ
るいは検知剤の主成分として用いるものとは、本質的に
異なるものである。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の参考例及び実施例を説明す
る。参考例１まず、除去剤及び試験ガスとして下記のものを用意し、
これらの除去剤を内径４３ｍｍ，高さ６８５ｍｍのカラ
ム内に３００ｍｍの高さで充填するとともに、このカラ
ムに有害成分としてシランを含む試験ガスを流通させ、
各種除去剤の処理能力を測定した。各除去剤の処理能力
の測定は、カラム出口でのシランの濃度を検知器（日本
酸素製ＡＤ−１０分析計）で測定し、出口でのシラン濃
度が５ｐｐｍに達したときを除去剤の使用限度とし、使
用限度に到達するまでのシランの導入量から除去剤１ｋ
ｇあたりのシラン処理量を算出することにより行った。
また、各除去剤の比表面積を、周知のＢＥＴ法により測
定した。

【００２５】除去剤Ａ：市販の水酸化第二銅粉末（関東化学製）の成型品。Ｂ：１モル／リットルの硫酸銅溶液と、１モル／リット
ルの水酸化ナトリウムを混合した際の沈澱物（水酸化
銅）を乾燥した後の成型品。Ｃ：市販の酸化第二銅粉末（関東化学製）の成型品。Ｄ：塩基性炭酸銅を焼成して得た酸化第二銅の成型品。Ｅ：硝酸銅水溶液，硝酸アルミニウム水溶液，炭酸ナト
リウム水溶液の３種の水溶液を混合して得た沈澱物を焼
成することにより，酸化第二銅を酸化アルミニウムに担
持させたもの。なお、除去剤Ａ，Ｂはいずれも結晶性のものである。ま
た、各成型品は押出成型品であり、その大きさは、それ
ぞれ直径１．５ｍｍ，長さ５ｍｍである。

【００２６】試験ガスＧ１：窒素ベースでシラン濃度１％、流量１．０リット
ル／分。Ｇ２：窒素ベースでシラン濃度１０％、流量０．１リッ
トル／分。

【００２７】各除去剤の処理能力の測定結果を表１に示
す。

【表１】

【００２８】表１から明らかなように、水酸化銅からな
る除去剤Ａ，Ｂは、従来の各種除去剤Ｃ，Ｄ，Ｅに比べ
て処理能力が極めて高いことが判る。また、従来品で
は、必要十分な処理能力を得るためには比表面積を大き
くする必要があり、できるだけ粒径を小さくし、かつ、
担体に担持させるなどの手法で比表面積の拡大を図る必
要があるが、水酸化銅からなる除去剤は、従来品の中で
比表面積の最も大きな除去剤Ｅの１／２の比表面積でも
５倍以上の処理能力を有しているため、特別な比表面積
拡大処理を行わなくても十分な処理能力が得られる。し
たがって、除去剤を充填する反応管の小型化や除去剤の
交換周期の延長が図れる。

【００２９】参考例２参考例１の除去剤Ａに用いたものと同じ水酸化第二銅粉
末を１ｍｍφ×３ｍｍに成型し、内径４０ｍｍ、高さ５
００ｍｍの透明なカラムに約２２０ｇ充填した（充填
長：１５０ｍｍ）。カラムを窒素ガスでパージした後、
カラム出口ガスを冷原子吸光型のガスモニタで常時監視
しながら、窒素ベースでシラン濃度１％の試験ガスを７
５０ｍｌ／ｍｉｎ（空塔速度：１．０ｃｍ／ｓｅｃ）で
通気した。時間の経過とともに充填層が上流から下流に
向けて青色から黒色に変色し、黒色／青色前線の移動が
観察された。通気開始後３６７０分で、黒色／青色の変
色前線の位置が充填層最下流部から約１０ｍｍのところ
に達し、出口ガスのシラン濃度が５ｐｐｍになった。こ
のときのシラン処理量は、１２５リットル／ｋｇであっ
た。

【００３０】本参考例により、水酸化第二銅をシランの
除去剤として使用するときに、その充填層を目視できる
ようにすれば、シランの除去と同時に、その破過をも検
知できるので、別に検知剤を使用する必要はない。

【００３１】また、水酸化第二銅からなる除去剤を、内
部を目視できない材料で作成したカラムに充填してシラ
ンの除去を行う際には、カラムの充填層の最下流部に１
０ｍｍ以上の目視窓を設けておくか、あるいは、充填層
の下流に水酸化第二銅を１０ｍｍ以上の長さ充填した透
明なカラムを直列に連結しておけば、除去剤の破過を事
前に検知することができる。また、自ら破過の検知能力
のない除去剤を使用する時にも、水酸化第二銅を破過の
検知剤として使用することができる。

【００３２】参考例３試験ガスを水素ベースでアルシン濃度１％とし、カラム
出口ガスを参考例１と同じ検知器で監視した以外は、参
考例２と同様に行った。その結果、時間の経過とともに
充填層が上流から下流に向けて青色から黒色に変色し、
黒色／青色前線の移動が観察された。通気開始後４５５
０分で、黒色／青色の変色前線の位置が充填層最下流部
から約１０ｍｍのところに達し、出口ガスのアルシン濃
度が０．０５ｐｐｍになった。このときのアルシン処理
量は、１５５リットル／ｋｇであった。

【００３３】参考例４試験ガスを水素ベースでホスフィン濃度１％とした以外
は、参考例３と同様に行った。その結果、通気開始後３
８７０分で、黒色／青色の変色前線の位置が充填層最下
流部から約１０ｍｍのところに達し、出口ガスのホスフ
ィン濃度が０．３ｐｐｍになった。このときのホスフィ
ン処理量は、１３２リットル／ｋｇであった。

【００３４】参考例５試験ガスを窒素ベースでジクロルシラン濃度１％とし、
カラム出口ガスを、ハロゲンモニタ（日本バイオニクス
社製ハロゲンモニタＴＧ−３４００）にて監視した以外
は、参考例２と同様に行った。その結果、通気開始後４
６９０分で、黒色／青色の変色前線の位置が充填層最下
流部から約１０ｍｍのところに達し、出口ガスのジクロ
ルシラン濃度が５ｐｐｍになった。このときのジクロル
シラン処理量は、１６０リットル／ｋｇであった。

【００３５】参考例６試験ガスを窒素ベースでターシャリーブチルアルシン濃
度１％とした以外は参考例３と同様に行った。その結
果、通気開始後２６４０分で、黒色／青色の変色前線の
位置が充填層最下流部から約１０ｍｍのところに達し、
出口ガスのターシャリーブチルアルシン濃度が０．０３
ｐｐｍになった。このときのターシャリーブチルアルシ
ン処理量は、９０リットル／ｋｇであった。

【００３６】実施例１まず、市販の水酸化第二銅１０００ｇに水４００ｇを加
えてよく混合し、押出成型機で造粒して１．５ｍｍφ×
５ｍｍｌのペレットとし、これを７０℃で３時間乾燥し
た後、放冷して水酸化第二銅単独の試料とした。一方、
水酸化第二銅１０００ｇに、表２に示す各種物質３００
ｇと水４００ｇとを加えてよく混合した後、同様にして
ペレット化し、水酸化第二銅と各物質とからなる試料を
作成した。得られた各試料を１００℃に保持して青色か
ら黒色への変色状態を調べた。その結果を表２に示す。

【００３７】

【表２】

【００３８】表２において、Ｎｏ．０の水酸化銅のみの
場合は、加熱による分解反応のため、約１時間で青色か
ら黒色に変色することが判る。また、各試料において、
Ｎｏ．１，２，３のアルカリ金属の化合物を加えたもの
では、水酸化銅単独のものより悪く、１時間以下で変色
が始まり、逆効果となる。同様に、Ｎｏ．９，１０，１
１のカルシウム，ストロンチウム，バリウムの化合物を
加えたものは、水酸化銅単独のものと略同程度の１時間
で変色し、添加の効果が認められなかった。

【００３９】その他の物質の場合は、いずれも変色時間
が延び、これらの物質を安定化剤として水酸化銅に加え
ることにより、水酸化銅の熱分解反応を抑制する効果が
得られる。特に、Ｎｏ．５の金属マグネシウムも含め
て、試験したマグネシウム化合物Ｎｏ．６，７，８は、
全てが５時間でも変色せず、著しい効果が得られた。

【００４０】実施例２水酸化第二銅粉末１ｋｇに対し、水４００ｇと安定化剤
としての一酸化鉛１００ｇとを加えて良く混合した後、
押出成型機で増粒して１．５ｍｍφ×５ｍｍのペレット
（試料Ａ）を作成した。同様にして一酸化鉛を添加しな
い水酸化第二銅粉末のみのペレット（試料Ｂ）も作成し
た。両試料を、１００℃に保たれた恒温槽に入れて劣化
具合を調べた結果、試料Ｂは１時間で黒くなり始めた
が、試料Ａは１０時間を経ても変色しなかった。

【００４１】次に、両試料を２５℃の恒温槽に６ヶ月保
持したところ、試料Ｂは経時的に青色の退色が観察さ
れ、６ヶ月後には黒味を帯びたが、試料Ａには色調の変
化が認められなかった。また、２５℃で６ヶ月保持した
両試料のシランに対する除去量を、窒素ベースでシラン
濃度１％の試験ガスにより、参考例１と同様にして測定
した。その結果、試料Ａのシラン処理量が１１４リット
ル／ｋｇであったのに対し、試料Ｂのシラン処理量は５
５リットル／ｋｇであった。すなわち、水酸化第二銅単
独の試料Ｂは、シランの除去量が約半分に低下し、長期
保存により性能が劣化したが、一酸化鉛を添加した試料
Ａは、参考例１の結果を再現し、長期保存を行っても性
能がほとんど劣化しないことが判る。

【００４２】実施例３一酸化鉛に代えて水酸化アンチモン５０ｇを加えた以外
は、実施例２と同様にして試料Ｃを作成した。試料Ｃと
実施例２の試料Ｂ（水酸化第二銅単独）とを５０℃で１
ヶ月保持したところ、試料Ｂは黒ずんだ色になったが、
試料Ｃには変色が認められなかった。両試料について、
実施例２と同様にシランの除去量を測定した結果、試料
Ｃのシラン処理量が１２０リットル／ｋｇであったのに
対し、試料Ｂのシラン処理量は４５リットル／ｋｇであ
った。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の除去剤
は、排ガス等に含まれる揮発性無機水素化物，揮発性無
機ハロゲン化物、有機金属化合物等の有害成分を効率よ
く除去することができ、反応管の小型化あるいは除去剤
の交換周期の延長が図れる。また、比表面積が小さくて
も十分な除去能力を有しているので、細粒化処理を行っ
たり、担体に担持させたりする必要がなく、除去剤自体
の製造コストの低減も図れる。特に、安定化剤を加える
ことにより、長期間その性能を保持することができ、極
めて実施効果が大きい。

【００４４】また、この除去剤は、有害成分との反応に
より変色するので、変色状況を監視することによって除
去剤の破過を知ることができ、交換時期を確実に知るこ
とができる。また、この変色を利用することにより、有
害成分の検知剤としても使用することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０１Ｎ 31/22 １２２Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４Ｅ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水酸化銅を主成分とし、これにベリリウ
ム，マグネシウム，バナジウム，モリブデン，コバル
ト，ニッケル，亜鉛，ホウ素，アルミニウム，ケイ素，
鉛，アンチモン，ビスマスの元素の群より選ばれた少な
くとも１種の単体又は該元素の酸化物，水酸化物（水酸
化銅を除く），塩化物，硫酸塩，硝酸塩，炭酸塩，炭酸
水素塩，酢酸塩，酸化水酸化物，臭化物，酸化水素化
物，硫酸水素化物，リン酸塩，リン酸水素化物，亜硫酸
塩，硫化物，ギ酸塩，ヨウ化物，亜硝酸塩，モリブデン
酸塩，ホウ酸塩，過酸化物，ケイ酸塩，アルミン酸塩，
シュウ酸塩，チオ硫酸塩，クロム酸塩の少なくとも一種
の化合物を安定化剤として含むことを特徴とする有害成
分の除去剤。
【請求項２】水酸化銅を主成分とし、これにベリリウ
ム，マグネシウム，バナジウム，モリブデン，コバル
ト，ニッケル，亜鉛，ホウ素，アルミニウム，ケイ素，
鉛，アンチモン，ビスマスの元素の群より選ばれた少な
くとも１種の単体又は該元素の酸化物，水酸化物（水酸
化銅を除く），塩化物，硫酸塩，硝酸塩，炭酸塩，炭酸
水素塩，酢酸塩，酸化水酸化物，臭化物，酸化水素化
物，硫酸水素化物，リン酸塩，リン酸水素化物，亜硫酸
塩，硫化物，ギ酸塩，ヨウ化物，亜硝酸塩，モリブデン
酸塩，ホウ酸塩，過酸化物，ケイ酸塩，アルミン酸塩，
シュウ酸塩，チオ硫酸塩，クロム酸塩の少なくとも一種
の化合物を安定化剤として含むことを特徴とする有害成
分の検知剤。