JPH0714089B2 - レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 - Google Patents
レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法Info
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- JPH0714089B2 JPH0714089B2 JP62120904A JP12090487A JPH0714089B2 JP H0714089 B2 JPH0714089 B2 JP H0714089B2 JP 62120904 A JP62120904 A JP 62120904A JP 12090487 A JP12090487 A JP 12090487A JP H0714089 B2 JPH0714089 B2 JP H0714089B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属などの切断加工用大出力レーザ発振装置に
関し、特に軸流CO2レーザの光学部品の汚染を防止する
ように改良したレーザ発振装置に関する。
関し、特に軸流CO2レーザの光学部品の汚染を防止する
ように改良したレーザ発振装置に関する。
軸流CO2レーザは小型、高出力レーザとして金属などの
切断加工用に盛んに使用されている。軸流CO2レーザは
ルーツブロワによってレーザガスを高速循環させてレー
ザ管内のレーザガス速度を100M/秒程度にして、レーザ
出力をレーザ管1M当たり500〜1000W/Mに高めている。
切断加工用に盛んに使用されている。軸流CO2レーザは
ルーツブロワによってレーザガスを高速循環させてレー
ザ管内のレーザガス速度を100M/秒程度にして、レーザ
出力をレーザ管1M当たり500〜1000W/Mに高めている。
第４図に従来の軸流CO2レーザの構成を示す。図におい
て、１は放電管、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であ
る。レーザガスは放電管１内をルーツブロワ６によって
高速で流れる。レーザガスは放電管１を出た個所で冷却
器７で冷却される。5a及び5bは放電管１の外部に密着し
て設けられた電極である。電極5a及び5bには電子捕捉現
象を発生するに充分高速の高周波電圧が励起用電源４か
ら印加される。この時安定な放電が起こり、レーザ光８
が出力される。
て、１は放電管、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であ
る。レーザガスは放電管１内をルーツブロワ６によって
高速で流れる。レーザガスは放電管１を出た個所で冷却
器７で冷却される。5a及び5bは放電管１の外部に密着し
て設けられた電極である。電極5a及び5bには電子捕捉現
象を発生するに充分高速の高周波電圧が励起用電源４か
ら印加される。この時安定な放電が起こり、レーザ光８
が出力される。
しかし、従来の軸流CO2レーザの主要な問題点として、
光学部品（全反射鏡２と出力結合鏡３）の汚染とそれに
よるレーザ発振特性の低下がある。それには出力値その
ものの低下とモードの劣化がある。このようなときに光
学部品を取り外して仔細に観察すると蒸着膜表面の荒れ
が見られる。出力低下は主として全反射鏡２の反射率の
低下によって発生する。実験と種々の計算から２段折り
返しの１KWCO2レーザの場合１％の反射率低下は出力で1
0％の低下をもたらす。一方モードの劣化は出力結合鏡
３のの光学歪に起因し、ZnSeの出力結合鏡３の場合に著
しい。これも出力結合鏡３の表面に付着した不純物によ
るレーザ光吸収による発熱が原因である。
光学部品（全反射鏡２と出力結合鏡３）の汚染とそれに
よるレーザ発振特性の低下がある。それには出力値その
ものの低下とモードの劣化がある。このようなときに光
学部品を取り外して仔細に観察すると蒸着膜表面の荒れ
が見られる。出力低下は主として全反射鏡２の反射率の
低下によって発生する。実験と種々の計算から２段折り
返しの１KWCO2レーザの場合１％の反射率低下は出力で1
0％の低下をもたらす。一方モードの劣化は出力結合鏡
３のの光学歪に起因し、ZnSeの出力結合鏡３の場合に著
しい。これも出力結合鏡３の表面に付着した不純物によ
るレーザ光吸収による発熱が原因である。
これらの光学部品（全反射鏡２と出力結合鏡３）を汚染
する不純物について、分析した。第５図に汚染後の全反
射鏡２の赤外吸収スペクトルを示す。第５図において、
横軸はウェーブナンバ即ち、1cm当たりの波の数を示
し、右へいくほど長波長になる。縦軸は赤外線の透過率
であり、その単位は％であり、値が低い程吸収が大き
い。図から、2850〜2950cm-1におけるCH2、CH3の吸収、
1460cm-1近傍のCH2、CH吸収、1370cm-1近傍のCH3吸収が
見られ、これらはルーツブロワ６のギアオイルに使用し
た石油精製オイルの成分そのものである。また、1000〜
1200cm-1に見られるSi−Ｏ−Si吸収はルーツブロワ６の
ベアリンググリースとして使用されたシリコングリース
によるものである。3320cm-1近傍のOH基による吸収は新
しいオイルには見られないが使い古したレーザガス中に
は常に観察され、1700〜1750cm-1のＣ＝Ｏによる吸収は
レーザ光に晒されて酸化したオイル成分によるものであ
る。これらのオイル成分の付着は光学部品全表面に一様
にはついておらず、顕微鏡観察によると島模様状に散在
しているのが観察できる。ルーツブロワ６ではインペラ
ーハウジング内に油成分が到達するとレーザガス中に引
き込まれる構造になっている。この成分はレーザガスと
共にレーザ発振装置内全域に回ってしまうが、特に光学
部品に付着したときに上記の問題点の原因になる。
する不純物について、分析した。第５図に汚染後の全反
射鏡２の赤外吸収スペクトルを示す。第５図において、
横軸はウェーブナンバ即ち、1cm当たりの波の数を示
し、右へいくほど長波長になる。縦軸は赤外線の透過率
であり、その単位は％であり、値が低い程吸収が大き
い。図から、2850〜2950cm-1におけるCH2、CH3の吸収、
1460cm-1近傍のCH2、CH吸収、1370cm-1近傍のCH3吸収が
見られ、これらはルーツブロワ６のギアオイルに使用し
た石油精製オイルの成分そのものである。また、1000〜
1200cm-1に見られるSi−Ｏ−Si吸収はルーツブロワ６の
ベアリンググリースとして使用されたシリコングリース
によるものである。3320cm-1近傍のOH基による吸収は新
しいオイルには見られないが使い古したレーザガス中に
は常に観察され、1700〜1750cm-1のＣ＝Ｏによる吸収は
レーザ光に晒されて酸化したオイル成分によるものであ
る。これらのオイル成分の付着は光学部品全表面に一様
にはついておらず、顕微鏡観察によると島模様状に散在
しているのが観察できる。ルーツブロワ６ではインペラ
ーハウジング内に油成分が到達するとレーザガス中に引
き込まれる構造になっている。この成分はレーザガスと
共にレーザ発振装置内全域に回ってしまうが、特に光学
部品に付着したときに上記の問題点の原因になる。
本発明の目的は上記問題点を解決し、特に軸流CO2レー
ザの光学部品の汚染を防止するように改良したレーザ発
振装置を提供することにある。
ザの光学部品の汚染を防止するように改良したレーザ発
振装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１の発明
では、第１図に示すように、 レーザガスを回転を伴う送風機（６）によって循環させ
ながら発振をさせるレーザ発振装置において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタ（9a、9b）を有
する新鮮ガス通路（16）を設け、 該新鮮ガス通路（16）を前記送風機によって循環させら
れるレーザガスの通路に対して、光学部品（２、３）側
にガスの噴射孔（17a、17b）を設け、 前記新鮮ガス通路（16）を該噴射孔（17a、17b）に接続
し、 該噴射孔（17a、17b）から光学部品（２、３）と反対側
にフィルタ（9a、9b）によって不純物を除去した新鮮な
レーザガスが流れるように構成したことを特徴とするレ
ーザ発振装置が、 提供される。
では、第１図に示すように、 レーザガスを回転を伴う送風機（６）によって循環させ
ながら発振をさせるレーザ発振装置において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタ（9a、9b）を有
する新鮮ガス通路（16）を設け、 該新鮮ガス通路（16）を前記送風機によって循環させら
れるレーザガスの通路に対して、光学部品（２、３）側
にガスの噴射孔（17a、17b）を設け、 前記新鮮ガス通路（16）を該噴射孔（17a、17b）に接続
し、 該噴射孔（17a、17b）から光学部品（２、３）と反対側
にフィルタ（9a、9b）によって不純物を除去した新鮮な
レーザガスが流れるように構成したことを特徴とするレ
ーザ発振装置が、 提供される。
第２の発明では、第１図に示すように、 レーザガスを回転を伴う送風機（６）によって循環させ
ながら発振をさせるレーザ発振装置のレーザガスの封入
方法において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタ（9a、9b）を有
する新鮮ガス通路（16）を設け、 該新鮮ガス通路（16）を前記送風機によって循環させら
れるレーザガスの通路に対して、光学部品（２、３）側
にガスの噴射孔（17a、17b）を設け、 前記新鮮ガス通路（16）を該噴射孔（17a、17b）に接続
し、 該噴射孔（17a、17b）から光学部品（２、３）と反対側
にフィルタ（9a、9b）によって不純物を除去した新鮮な
レーザガスが流れるように構成し 該噴射孔（17a、17b）のみからレーザガスを封入するよ
うにしたことを特徴とするレーザ発振装置のレーザガス
の封入方法が、 提供される。
ながら発振をさせるレーザ発振装置のレーザガスの封入
方法において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタ（9a、9b）を有
する新鮮ガス通路（16）を設け、 該新鮮ガス通路（16）を前記送風機によって循環させら
れるレーザガスの通路に対して、光学部品（２、３）側
にガスの噴射孔（17a、17b）を設け、 前記新鮮ガス通路（16）を該噴射孔（17a、17b）に接続
し、 該噴射孔（17a、17b）から光学部品（２、３）と反対側
にフィルタ（9a、9b）によって不純物を除去した新鮮な
レーザガスが流れるように構成し 該噴射孔（17a、17b）のみからレーザガスを封入するよ
うにしたことを特徴とするレーザ発振装置のレーザガス
の封入方法が、 提供される。
第１の発明では、フィルタによって不純物を取り除いた
新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射孔から光学部品と反
対方向に噴射されるので、レーザガスからの拡散による
不純物による光学部品の汚染を防ぐ。
新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射孔から光学部品と反
対方向に噴射されるので、レーザガスからの拡散による
不純物による光学部品の汚染を防ぐ。
第２の発明では、フィルタによって不純物を取り除いた
新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射孔から光学部品と反
対方向に噴射する噴射孔のみからレーザガスが充填され
るので、レーザガス封入時の壁の塵等による光学部品の
汚染を防ぐ。
新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射孔から光学部品と反
対方向に噴射する噴射孔のみからレーザガスが充填され
るので、レーザガス封入時の壁の塵等による光学部品の
汚染を防ぐ。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
〔第１実施例〕 第１図に本発明の第１実施例のブロック構成図を示す。
図において、第４図と同一の要素には同一の記号が付し
てある。第１図において、１は放電管、２は全反射鏡、
３は出力結合鏡である。レーザガスは放電管１内をルー
ツブロワ６によって高速で流れる。レーザガスは放電管
１を出た個所で冷却器７で冷却される。5a及び5bは放電
管１の外部密着して設けられた電極である。電極5a及び
5bには電子捕捉現象を発生するに充分高速の高周波電圧
が励起用電源４から印加される。この時安定な放電が起
こり、レーザ光８が出力される。
図において、第４図と同一の要素には同一の記号が付し
てある。第１図において、１は放電管、２は全反射鏡、
３は出力結合鏡である。レーザガスは放電管１内をルー
ツブロワ６によって高速で流れる。レーザガスは放電管
１を出た個所で冷却器７で冷却される。5a及び5bは放電
管１の外部密着して設けられた電極である。電極5a及び
5bには電子捕捉現象を発生するに充分高速の高周波電圧
が励起用電源４から印加される。この時安定な放電が起
こり、レーザ光８が出力される。
16は新鮮ガスの通路であり、この新鮮ガスはレーザガス
ボンベ11から供給される。レーザガスボンベ11は本来の
レーザガスの排気不足分を供給するためのものである。
10は流量調節計であり、新鮮ガスの供給を調節する。新
鮮ガスはフィルタ9a及び9bで不純物を取り除かれ、噴射
孔16a及び16bから放電管１に噴射される。これによって
レーザガス内の油成分が拡散によって全反射鏡２または
出力結合鏡３に到達し、これらの光学部品を汚染するの
を防ぐ。尚12は油回転ポンプであり、レーザガスの一部
を大気中に排気する。
ボンベ11から供給される。レーザガスボンベ11は本来の
レーザガスの排気不足分を供給するためのものである。
10は流量調節計であり、新鮮ガスの供給を調節する。新
鮮ガスはフィルタ9a及び9bで不純物を取り除かれ、噴射
孔16a及び16bから放電管１に噴射される。これによって
レーザガス内の油成分が拡散によって全反射鏡２または
出力結合鏡３に到達し、これらの光学部品を汚染するの
を防ぐ。尚12は油回転ポンプであり、レーザガスの一部
を大気中に排気する。
尚、ルーツブロワ６によって循環されるレーザガスの量
は１KWCO2レーザの場合600リットル／分の供給量が必要
である。上記の実施例ではその効果を充分に発揮させる
ためには、循環レーザガスの約1/30の20リットル／分程
度の新しいレーザガスをレーザガスボンベ11から供給す
ることによって、良好な結果が得られる。
は１KWCO2レーザの場合600リットル／分の供給量が必要
である。上記の実施例ではその効果を充分に発揮させる
ためには、循環レーザガスの約1/30の20リットル／分程
度の新しいレーザガスをレーザガスボンベ11から供給す
ることによって、良好な結果が得られる。
〔第２実施例〕 第２図に第２の実施例のブロック構成図を示す。図にお
いて、第１図と同一の要素には同一の符号が付してあ
り、その説明は省略する。第１図と異なる点は新鮮ガス
をレーザガスボンベ11からのみでなく、ルーツブロワ６
の吐出口からドライブポンプ13によって取り込んでいる
点である。これによって、第１の実施例と比較しレーザ
ガスボンベ11からの新しいレーザガスの供給量を10リッ
トル／分程度まで低減することができた。さらに、出力
条件、ルーツブロワ６の改良等により、新しいレーザガ
スの使用量を減らすことができる。
いて、第１図と同一の要素には同一の符号が付してあ
り、その説明は省略する。第１図と異なる点は新鮮ガス
をレーザガスボンベ11からのみでなく、ルーツブロワ６
の吐出口からドライブポンプ13によって取り込んでいる
点である。これによって、第１の実施例と比較しレーザ
ガスボンベ11からの新しいレーザガスの供給量を10リッ
トル／分程度まで低減することができた。さらに、出力
条件、ルーツブロワ６の改良等により、新しいレーザガ
スの使用量を減らすことができる。
ドライブポンプはレーザガスをオイルと接触させずに加
圧できるもので、ダイヤフラムポンプ等が好ましい。ダ
イヤフラムポンプとしては100Torr以下のレーザガス圧
力で充分の排気量を有するポンプは相当高価になり、ダ
イヤフラムポンプの吸入圧は高い方が望ましいので、ル
ーツブロワ６の吐出口からガスを吸入している。勿論ル
ーツブロワ６からのレーザガスの不純物はフィルタ9a及
び9bによって取り除かれる。
圧できるもので、ダイヤフラムポンプ等が好ましい。ダ
イヤフラムポンプとしては100Torr以下のレーザガス圧
力で充分の排気量を有するポンプは相当高価になり、ダ
イヤフラムポンプの吸入圧は高い方が望ましいので、ル
ーツブロワ６の吐出口からガスを吸入している。勿論ル
ーツブロワ６からのレーザガスの不純物はフィルタ9a及
び9bによって取り除かれる。
〔第３実施例） 第３図に第３の実施例のブロック構成図を示す。
図において、第１図と同一の要素には同一の符号が付し
てあり、その説明は省略する。第１図と異なる点は新鮮
ガスをレーザガスボンベ11からのみでなく、排気用の油
回転ポンプ12の出力ガスを２系統に分けて、一方を大気
中に排気し、他方をオイルミストトラップ14を経てオイ
ル成分を充分に除去してから新鮮ガスと混合させてフィ
ルタ9a及び9bから放電管１に光学部品保護用のガスとし
て導かれる。油回転ポンプ12は通常の油回転ポンプを使
用できるのでレーザガス圧力で動作可能なものの選択は
容易である。特に、排気用のポンプを兼用するので経済
的にも有利である。勿論、排気用のポンプとは別のポン
プを設けることにより、レーザガスの供給量を調節する
こともできる。この第３の実施例では、レーザガスボン
ベ11からの新しいガスの供給量を１リットル／分程度ま
で低減することができる。
てあり、その説明は省略する。第１図と異なる点は新鮮
ガスをレーザガスボンベ11からのみでなく、排気用の油
回転ポンプ12の出力ガスを２系統に分けて、一方を大気
中に排気し、他方をオイルミストトラップ14を経てオイ
ル成分を充分に除去してから新鮮ガスと混合させてフィ
ルタ9a及び9bから放電管１に光学部品保護用のガスとし
て導かれる。油回転ポンプ12は通常の油回転ポンプを使
用できるのでレーザガス圧力で動作可能なものの選択は
容易である。特に、排気用のポンプを兼用するので経済
的にも有利である。勿論、排気用のポンプとは別のポン
プを設けることにより、レーザガスの供給量を調節する
こともできる。この第３の実施例では、レーザガスボン
ベ11からの新しいガスの供給量を１リットル／分程度ま
で低減することができる。
〔第４実施例〕 次にレーザ発振装置の運転中ではなく、最初のガス封入
について述べる。排気後の装置内に一定圧力のガス封入
を行うときにはガスは分子の運動速度に近い速度で流入
する。このとき壁に付着した塵を巻込む。ガスの方向が
光学部品２及び３に向かっているときは光学部品２及び
３の汚染は避けられない。これを防ぐためには、ガスの
封入に当たって、第１、第２図及び第３図のいずれにお
いても、噴射孔17a及び17bのみからレーザガスを封入す
ることによって、光学部品２及び３の汚染を防止するこ
とができる。
について述べる。排気後の装置内に一定圧力のガス封入
を行うときにはガスは分子の運動速度に近い速度で流入
する。このとき壁に付着した塵を巻込む。ガスの方向が
光学部品２及び３に向かっているときは光学部品２及び
３の汚染は避けられない。これを防ぐためには、ガスの
封入に当たって、第１、第２図及び第３図のいずれにお
いても、噴射孔17a及び17bのみからレーザガスを封入す
ることによって、光学部品２及び３の汚染を防止するこ
とができる。
勿論、レーザ発振装置を運転中は第１実施例から第３実
施例でのべたように、レーザガスはルーツブロワ６によ
って循環しており、光学部品２及び３の近傍はガス流が
なく、淀んだ状態であり、拡散による汚染を防止する程
度の新鮮ガスの噴射で足りるのである。
施例でのべたように、レーザガスはルーツブロワ６によ
って循環しており、光学部品２及び３の近傍はガス流が
なく、淀んだ状態であり、拡散による汚染を防止する程
度の新鮮ガスの噴射で足りるのである。
上記の各実施例では、レーザガスボンベの新しいガスの
使用量と使用すべきポンプ等の使用個数が異なる。これ
らの選択は実際に使用するレーザ発振装置の出力容量、
光学部品の寿命及び信頼性、入手できるポンプ、許容さ
れる新しいガスの使用量等の条件によって選択される。
使用量と使用すべきポンプ等の使用個数が異なる。これ
らの選択は実際に使用するレーザ発振装置の出力容量、
光学部品の寿命及び信頼性、入手できるポンプ、許容さ
れる新しいガスの使用量等の条件によって選択される。
以上説明したように、第１の発明ではフィルタによって
不純物を取り除いた新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射
孔から光学部品と反対方向に噴射されるので、レーザガ
スからの拡散による不純物の光学部品の汚染を防ぐこと
ができる。
不純物を取り除いた新鮮ガスがレーザガスと別個の噴射
孔から光学部品と反対方向に噴射されるので、レーザガ
スからの拡散による不純物の光学部品の汚染を防ぐこと
ができる。
また、第２の発明では、排気後のレーザガスの封入にお
いて、新鮮ガスの封入孔のみを使用したレーザガスを封
入するようにしたので、壁に付着した塵等による光学部
品の汚染を防ぐことができる。
いて、新鮮ガスの封入孔のみを使用したレーザガスを封
入するようにしたので、壁に付着した塵等による光学部
品の汚染を防ぐことができる。
第１図は本発明の第１実施例のブロック構成図、 第２図は本発明の第２実施例のブロック構成図、 第３図は本発明の第３実施例のブロック構成図、 第４図は従来のレーザ発振装置のブロック構成図、 第５図は汚染後の全反射鏡の赤外吸収スペクトルを示す
図である。 １……放電管 ２……全反射鏡 ３……出力結合鏡 ４……励起用電源 ６……ルーツブロワ ８……レーザ光 9a、9b……フィルタ 11……レーザガスボンベ 12……油回転ポンプ 13……ドライブポンプ 14……オイルミストトラップ 16……新鮮ガス通路 17a、17b……噴射孔
図である。 １……放電管 ２……全反射鏡 ３……出力結合鏡 ４……励起用電源 ６……ルーツブロワ ８……レーザ光 9a、9b……フィルタ 11……レーザガスボンベ 12……油回転ポンプ 13……ドライブポンプ 14……オイルミストトラップ 16……新鮮ガス通路 17a、17b……噴射孔
Claims (7)
- 【請求項１】レーザガスを回転を伴う送風機によって循
環させながら発振をさせるレーザ発振装置において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタを有する新鮮ガ
ス通路を設け、 該新鮮ガス通路を前記送風機によって循環させられるレ
ーザガスの通路に対して、光学部品側にガスの噴射孔を
設け、 前記新鮮ガス通路を該噴射孔に接続し、 該噴射孔から光学部品と反対側にフィルタによって不純
物を除去した新鮮なレーザガスが流れるように構成した
ことを特徴とするレーザ発振装置。 - 【請求項２】前記新鮮ガスがレーザガスボンベから導か
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザ発振装置。 - 【請求項３】前記新鮮ガスが前記送風機のからの循環レ
ーザガスの一部をドライブポンプで加圧したガスとレー
ザガスボンベからのレーザガスとの混合ガスであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振装
置。 - 【請求項４】前記新鮮ガスが前記送風機のからの循環レ
ーザガスの一部を油回転ポンプで加圧後、オイルミスト
をオイルミストトラップで除去した後のガスとレーザガ
スボンベからのガスとの混合ガスであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振装置。 - 【請求項５】前記油回転ポンプがレーザ装置排気用のポ
ンプと兼用のポンプであることを特徴とする特許請求の
範囲第４項記載のレーザ発振装置。 - 【請求項６】前記油回転ポンプがレーザ装置排気用のポ
ンプと別個のポンプであることを特徴とする特許請求の
範囲第４項記載のレーザ発振装置。 - 【請求項７】レーザガスを回転を伴う送風機によって循
環させながら発振をさせるレーザ発振装置のレーザガス
の封入方法において、 前記レーザガスの通路とは別にフィルタを有する新鮮ガ
ス通路を設け、 該新鮮ガス通路を前記送風機によって循環させられるレ
ーザガスの通路に対して、光学部品側にガスの噴射孔を
設け、 前記新鮮ガス通路を該噴射孔に接続し、 該噴射孔から光学部品と反対側にフィルタによって不純
物を除去した新鮮なレーザガスが流れるように構成し 該噴射孔のみからレーザガスを封入するようにしたこと
を特徴とするレーザ発振装置のレーザガスの封入方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62120904A JPH0714089B2 (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 |
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