JPH06101601B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH06101601B2 JPH06101601B2 JP59135803A JP13580384A JPH06101601B2 JP H06101601 B2 JPH06101601 B2 JP H06101601B2 JP 59135803 A JP59135803 A JP 59135803A JP 13580384 A JP13580384 A JP 13580384A JP H06101601 B2 JPH06101601 B2 JP H06101601B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- laser
- oil
- discharge tube
- oil mist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 208000019901 Anxiety disease Diseases 0.000 description 1
- 230000036506 anxiety Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、加工用等として適用されるガスレーザ装置
に関するものである。
に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来のガスレーザ装置は、第２図に示すように放電管１
にルーツブロア２を接続して放電管１内のレーザ媒質を
高速循環させる構成とし、レーザ媒質供給部７より新鮮
なレーザ媒質を一部補給しながら真空ポンプ６を用いて
一部排気して放電管１内を一定減圧状態にし、前記ルー
ツブロア２により放電管１内に一定にガス流を流し、放
電管１内の電極8,8′に直流電源Ｅを印加し放電させて
レーザ発振を行っている。
にルーツブロア２を接続して放電管１内のレーザ媒質を
高速循環させる構成とし、レーザ媒質供給部７より新鮮
なレーザ媒質を一部補給しながら真空ポンプ６を用いて
一部排気して放電管１内を一定減圧状態にし、前記ルー
ツブロア２により放電管１内に一定にガス流を流し、放
電管１内の電極8,8′に直流電源Ｅを印加し放電させて
レーザ発振を行っている。
ところで、ルーツブロア２は、内部にロータ４を回転さ
せるロータ室３と駆動モータからの駆動力の伝達のため
のブロアシャフトの外部との気密を保持するためにロー
タ室３の両側にオイルシール3aを介在させたオイルだめ
ギャボックス５を設けている。このギャボックス５は通
常ガスレーザ装置のレーザガス循環系Ｋ内にオイルの混
入を防止するためにレーザガス循環系Ｋと同一の真空ポ
ンプ６もしくは別の真空ポンプを用いて減圧状態とし、
オイルシール3aからのオイルミストの混入を防止するよ
うな方法が取られている。
せるロータ室３と駆動モータからの駆動力の伝達のため
のブロアシャフトの外部との気密を保持するためにロー
タ室３の両側にオイルシール3aを介在させたオイルだめ
ギャボックス５を設けている。このギャボックス５は通
常ガスレーザ装置のレーザガス循環系Ｋ内にオイルの混
入を防止するためにレーザガス循環系Ｋと同一の真空ポ
ンプ６もしくは別の真空ポンプを用いて減圧状態とし、
オイルシール3aからのオイルミストの混入を防止するよ
うな方法が取られている。
しかしながら、通常定常時の運転でのレーザガス循環系
Ｋ内へのオイルミストの混入も運転，停止を繰り返すご
とに真空ポンプ６とギャボックス５を接続した経路5a内
にオイルミストが残積されたり、同一の真空ポンプ６に
よりロータ室３とギャボックス５が同一低圧状態である
ため、ロータ室３とギャボックス５内での圧力差がな
く、ギャボックス５よりオイルシールを通ってロータ室
３へオイルミストが混入したり、真空ポンプ６およびギ
ャボックス５のオイルが逆流して接続経路6aを通してレ
ーザガス循環系Ｋ内にオイルミストが混入し、系内の全
反射ミラー，出力ミラーが汚染されたり、電極8,8′へ
のオイルミストの付着により放電の不安を招き、ひいて
はレーザ出力の低下の原因となっていた。
Ｋ内へのオイルミストの混入も運転，停止を繰り返すご
とに真空ポンプ６とギャボックス５を接続した経路5a内
にオイルミストが残積されたり、同一の真空ポンプ６に
よりロータ室３とギャボックス５が同一低圧状態である
ため、ロータ室３とギャボックス５内での圧力差がな
く、ギャボックス５よりオイルシールを通ってロータ室
３へオイルミストが混入したり、真空ポンプ６およびギ
ャボックス５のオイルが逆流して接続経路6aを通してレ
ーザガス循環系Ｋ内にオイルミストが混入し、系内の全
反射ミラー，出力ミラーが汚染されたり、電極8,8′へ
のオイルミストの付着により放電の不安を招き、ひいて
はレーザ出力の低下の原因となっていた。
発明の目的 この発明の目的は、前記従来の欠点を除去するもので、
レーザガス循環系内へのオイルミストの混入を防止し、
レーザ出力の低下を防止し、安定した出力を確実に得る
ことができるガスレーザ装置を提供することである。
レーザガス循環系内へのオイルミストの混入を防止し、
レーザ出力の低下を防止し、安定した出力を確実に得る
ことができるガスレーザ装置を提供することである。
発明の構成 この発明のガスレーザ装置は、放電管と、前記放電管内
のレーザ媒質を循環させるとともにブロアシャフトをオ
イルシールするギャボックスを有するルーツブロアと、
前記放電管内を一定圧力状態に保持すると共に前記ギャ
ボックス内を減圧する真空ポンプと、前記レーザ媒質の
循環路と前記真空ポンプとの間に介在され、かつ前記ギ
ャボックスと前記真空ポンプとの連結部より前記レーザ
媒質の循環路側に位置するオイルミストセパレータとを
備えたものである。これにより、真空ポンプの接続経路
を通ってギャボックスからオイルミストが混入すること
を防止するとともに、オイルシールを通ってギャボック
スからロータ室へのオイルの混入を防止することができ
る。
のレーザ媒質を循環させるとともにブロアシャフトをオ
イルシールするギャボックスを有するルーツブロアと、
前記放電管内を一定圧力状態に保持すると共に前記ギャ
ボックス内を減圧する真空ポンプと、前記レーザ媒質の
循環路と前記真空ポンプとの間に介在され、かつ前記ギ
ャボックスと前記真空ポンプとの連結部より前記レーザ
媒質の循環路側に位置するオイルミストセパレータとを
備えたものである。これにより、真空ポンプの接続経路
を通ってギャボックスからオイルミストが混入すること
を防止するとともに、オイルシールを通ってギャボック
スからロータ室へのオイルの混入を防止することができ
る。
実施例の説明 この発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。すな
わち、１〜8,8′,E,Kは前記と同一の構成要素であり、
説明を省略する。９はオイルミストセパレータであり、
前記真空ポンプ６の接続経路6aに設けられる。
わち、１〜8,8′,E,Kは前記と同一の構成要素であり、
説明を省略する。９はオイルミストセパレータであり、
前記真空ポンプ６の接続経路6aに設けられる。
オイルミストセパレータ９を図の位置に介在させること
により、ギャボックス５と真空ポンプ６の接続経路5a内
に存在するオイルミストおよび真空ポンプ６からの逆流
によるオイルミストのレーザガス循環系Ｋ内への流入を
防止するとともに、ギャボックス５の圧力をレーザガス
循環系Ｋ内の圧力よりオイルミストセパータ９のフィル
タによって数Torr低く保持することができ、ギャボック
ス５とロータ室３の圧力差（数Torr）によりロータ室３
へのオイルの混入を防止することができる。
により、ギャボックス５と真空ポンプ６の接続経路5a内
に存在するオイルミストおよび真空ポンプ６からの逆流
によるオイルミストのレーザガス循環系Ｋ内への流入を
防止するとともに、ギャボックス５の圧力をレーザガス
循環系Ｋ内の圧力よりオイルミストセパータ９のフィル
タによって数Torr低く保持することができ、ギャボック
ス５とロータ室３の圧力差（数Torr）によりロータ室３
へのオイルの混入を防止することができる。
発明の効果 この発明によれば、レーザガス循環系内へのオイルミス
トの混入を防止することができ、ミラーおよび放電電極
等のオイルによる汚染を防止することができ、安定した
レーザ出力を確実に得ることができる。さらにオイルミ
ストセパレータにより、ルーツブロアのロータ室の圧力
よりもギャボックス内の圧力を低くすることができるの
で、オイルシールを通ってギャボックスからロータ室に
オイルミストが混入するのを防止することができるとい
う効果がある。
トの混入を防止することができ、ミラーおよび放電電極
等のオイルによる汚染を防止することができ、安定した
レーザ出力を確実に得ることができる。さらにオイルミ
ストセパレータにより、ルーツブロアのロータ室の圧力
よりもギャボックス内の圧力を低くすることができるの
で、オイルシールを通ってギャボックスからロータ室に
オイルミストが混入するのを防止することができるとい
う効果がある。
第１図はこの発明の一実施例のレーザガス循環系統を含
む概略図、第２図は従来例の概略図である。 １……放電管、２……ルーツブロア、５……ギャボック
ス、６……真空ポンプ、７……供給部、９……オイルミ
ストセパレータ
む概略図、第２図は従来例の概略図である。 １……放電管、２……ルーツブロア、５……ギャボック
ス、６……真空ポンプ、７……供給部、９……オイルミ
ストセパレータ
Claims (1)
- 【請求項１】放電管と、前記放電管内のレーザ媒質を循
環させるとともにブロアシャフトをオイルシールするギ
ャボックスを有するルーツブロアと、前記放電管内を一
定圧力状態に保持すると共に前記ギャボックス内を減圧
する真空ポンプと、前記レーザ媒質の循環路と前記真空
ポンプとの間に介在され、かつ前記ギャボックスと前記
真空ポンプとの連結部より前記レーザ媒質の循環路側に
位置するオイルミストセパレータとを備えたガスレーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59135803A JPH06101601B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59135803A JPH06101601B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6114775A JPS6114775A (ja) | 1986-01-22 |
| JPH06101601B2 true JPH06101601B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=15160180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59135803A Expired - Lifetime JPH06101601B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101601B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2690098B2 (ja) * | 1988-03-03 | 1997-12-10 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
| CN103107477B (zh) * | 2013-01-23 | 2015-01-07 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182887A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPS59106168A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPS60170278A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-03 | Mitsubishi Electric Corp | 高速軸流型レ−ザ装置 |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP59135803A patent/JPH06101601B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6114775A (ja) | 1986-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |