JPH07142682A - 抵抗回路 - Google Patents

抵抗回路

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JPH07142682A
JPH07142682A JP28795793A JP28795793A JPH07142682A JP H07142682 A JPH07142682 A JP H07142682A JP 28795793 A JP28795793 A JP 28795793A JP 28795793 A JP28795793 A JP 28795793A JP H07142682 A JPH07142682 A JP H07142682A
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JP
Japan
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resistance
resistor
wiring
circuit
folded
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JP28795793A
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Inventor
Etsuji Yamamoto
悦司 山本
Akihiro Kitagawa
明弘 北川
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Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】抵抗回路を構成する抵抗列を折り返して並べ、
各抵抗列間の折り返し部分を配線する際、各抵抗列内の
抵抗間を折り返し部分の抵抗分と同じ値の抵抗で繋ぐ。 【効果】高精度の基準電圧が実現できるので、AD変換
装置又はDA変換装置に用いたとき、高精度な変換が可
能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は集積回路化に適した抵抗
分圧回路に係り、特に、AD変換装置やDA変換装置の
電圧発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路上に構成される並列比較方式の
AD変換装置、又は並列比較方式のAD変換装置を内部
要素回路用AD変換器として用いるAD変換装置(例え
ばパイプライン方式など。以下、これらの各方式を並列
比較方式で代表する。)内の電圧比較器(以下、比較器
と略。)群に与えられる基準電圧は、通常装置内部で発
生させる。
【0003】なぜなら、並列比較方式やパイプライン方
式では多数の比較器が設置されているため、個々の比較
器に対応した基準電圧を外部より入力すると、入出力ピ
ン数が増大する。このためチップのパッケージが大きく
なり、製造コストや実装コストが上昇するためである。
【0004】この基準電圧を内部発生させるために、複
数の抵抗で構成される抵抗分割回路が主に使用される。
これは、複数の抵抗を直列に接続する構成を採る。
【0005】一般に、並列比較方式のAD変換装置に要
求される分解能を高くしようとする場合、比較器数が増
加し、それに伴い各比較器に対応した基準電圧を作るた
めに抵抗分割回路内の抵抗数も増加する。即ち、抵抗列
が長くなる。
【0006】長い抵抗列をチップ上に作成すると、抵抗
列の両端間の距離が大きくなる。この距離が大きくなる
と、同じ抵抗値となるように設計しても実際の抵抗値は
ばらつきを持つ。これは、例えば、チップ製造中のウエ
ハの熱分布が均一ではないために生じる歪みや彎曲が原
因の一つとして挙げられる。この結果、両端周辺抵抗間
の相対誤差が大きくなり、抵抗回路で生じる基準電圧の
精度が低下する。
【0007】また、抵抗列が長くなれば抵抗分圧回路の
レイアウトの縦と横の長さが大きく異なり、チップ全体
のサイズの増大を招く。従って、チップの強度が低下す
る。
【0008】以上のことから、高分解能のAD変換装置
において多数の抵抗を一列に配置した場合、抵抗回路に
要求される性能を満たすことは困難であり、チップの信
頼性を損ねる事が分かる。
【0009】この抵抗値のばらつきと信頼性低下の問題
を解決するため、従来のAD変換装置における抵抗分圧
回路は、直線状に配置した抵抗列を適当個数の抵抗毎に
折り返し、複数の抵抗列を並列させる構成を採ってい
る。この方法を用いると、抵抗が一列配置の時よりも接
近しているので、たとえ抵抗の値が設計した値、即ち絶
対値と異なっても、互いの抵抗の値、即ち相対値のばら
つきは小さくなる。抵抗分圧回路に含まれる抵抗数は変
わらないので、抵抗の電圧降下によって発生する基準電
圧のばらつきも小さい。
【0010】従って、抵抗の相対精度低下による基準電
圧の精度低下とチップの信頼性低下を防ぐ事ができる。
【0011】しかし、上記の方法では、この基準電圧を
発生するための抵抗列の間を結ぶ折り返し配線が必要と
なる。そのため、抵抗内に電流を流して基準電圧を発生
させた際、折り返し配線部分で発生した基準電圧は、折
り返し配線の抵抗成分による電圧降下分と、折り返し配
線と隣接する抵抗の電圧降下分とが加算された値とな
り、直線状に配置した場合に比較して誤差が生じる。
【0012】これが基準電圧値の誤差発生の新たな原因
となり、基準電圧の精度を低下させる。ビット数が多く
なるに従い折り返し部分も増え、誤差成分も大きくな
る。そこで、これらでの基準電圧値の誤差をより小さく
する必要がある。
【0013】これまで、この折り返し部分の電圧降下に
よって生じる抵抗の誤差分を小さくするために、折り返
し部分の配線レイアウトパターンを工夫していた。
【0014】例えば、特公平5−30072号公報にもあるよ
うに、折り返し部分で発生させる基準電圧に含まれる電
圧誤差分を無くした例がある。このレイアウトパターン
を図4に示す。
【0015】図4に示すように、一定幅Wの低抵抗メタ
ル配線層7を用いた部分配線パターンが±45゜の傾き
で互いに接続されて鋸歯状に構成されており、折り返し
部分で不整合が生じないよう工夫されている。
【0016】隣合う端子8間の平均的な長さは各端子の
点Pn(n:整数)の長さlで表される。各Pn点の長
さlは全て等しく、折り返し部についても成り立ってい
ることがわかる。
【0017】次にこの鋸歯状配線の両端に互いに異なっ
た値を持った電圧を与えて電流を流した場合、配線幅W
に対し長さlがある程度大きくなると配線の直線部分の
電流分布は一様で互いに等しくなる。
【0018】従って、点P1と点P2間の電流分布と点
P3と点P4間の電流分布は互いに等しいと言うことが
できる。
【0019】このことから点P1と点P2間の電位差と
点P3と点P4間の電位差は等しくなり、直線性の優れ
た分圧電圧が得られる。これまでの欠点であった折り返
し部の不整合は除去できる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特公平5−300
72号公報の従来例では、折り返し部分の不整合を無くす
ために一定幅の低抵抗メタル層7を鋸歯状に配置するた
め、抵抗配列が増えると抵抗回路の面積が大きくなり、
また抵抗列が3本以上になると比較器の配置が難しいと
いう問題点がある。
【0021】図4に示すように、隣合う抵抗列間をつな
げる折り曲げ部分が鋸歯状に構成されているため、二列
の抵抗列間に無駄な空き領域ができる。
【0022】更に、図5に示すように、抵抗配列が両側
に位置される抵抗配列に対応した比較器9aの大きさ
は、鋸歯状の低抵抗メタル層7によって制限されるた
め、レイアウト設計に費やす工数が増加する。そして仮
に比較器のレイアウト面積が大きくならざるを得ないと
きは、抵抗配線の長さlを大きくして空き領域の面積を
増加させたり、抵抗列を二本にする等の手段を講じなけ
ればならない。
【0023】以上のように、特公平5−30072号公報の従
来例は、抵抗回路の不整合を防ぐ長所を有するが、レイ
アウト設計において使用に制限がある。
【0024】本発明の目的は、鋸歯状配線を作ること無
く折り返し部分の不整合を防ぐことである。
【0025】
【課題を解決するための手段】本発明の抵抗回路は、折
り返し部分の抵抗分と同じ値の抵抗で抵抗配列内の抵抗
間を繋げることで高精度が達成でき、高精度のAD変換
装置及びDA変換装置が提供される。
【0026】
【作用】上記構成を抵抗分圧回路にもたせることによ
り、隣合う電圧間の電位差を等しく設計できる。
【0027】従って、抵抗分圧回路が得られる精度は、
抵抗及び抵抗間配線の相対精度に制約されるので、同プ
ロセスにおいて、従来例と同じ高精度でより面積の小さ
い抵抗回路を得ることができる。
【0028】
【実施例】以下、本発明の実施例を図によって説明す
る。図1は本発明の第一の実施例の系統図である。図中
1a及び1bは抵抗端子、2は抵抗層、3は接続配線
部、4は折り返し部分配線部である。抵抗端子1a及び
1bは配線と抵抗層2を繋げる働きをする。抵抗素子
は、抵抗端子1a及び1bと抵抗層2を有する。
【0029】次に、図1中の抵抗回路の働きを説明す
る。配列した抵抗素子を接続配線部3で繋げ、二列の抵
抗列を作成する。この抵抗列間を低抵抗のアルミ配線で
配置された接続配線部3と同じレイアウトパターンの低
抵抗のアルミ配線で配置された折り返し部分配線部4で
接続する。抵抗回路で作られる基準電圧の端子を1a又
は1bから出力する様に構成すると、一つの接続配線部
3の抵抗成分による電圧降下分は、必ずその接続配線部
3と隣合う抵抗素子のどちらか一方の抵抗素子による電
圧降下分の中に取り込まれる。また、折り返し部分配線
部4の抵抗成分による電圧降下分も必ず折り返し部分配
線部4と隣合う抵抗素子のどちらか一方の抵抗素子によ
る電圧降下分の中に取り込まれる。
【0030】この時、接続配線部3と折り返し部分配線
部4は同じレイアウト構成なので、どちらの電圧降下分
も等しい。また、折り返し部分配線部4の抵抗成分によ
る電圧降下分が取り込まれた抵抗素子には接続配線部3
の抵抗成分による電圧降下分は含まれない。
【0031】従って、本発明の抵抗回路で各端子8より
引き出される電圧の電位差は、抵抗素子での電圧降下分
と接続配線部3又は折り返し部分配線部4での電圧降下
分で構成されており、全て等しくなる。
【0032】図2は本発明の第二の実施例の系統図であ
る。図2中の1a,1b,2,3、及び4は図1と同様
である。レイアウトパターンの縦横方向の相対精度が抵
抗回路に要求される精度よりも充分高いときは、レイア
ウトパターンまで考慮しないで済む図2の様な構成で、
全ての基準電圧間の電位差は等しくなる。
【0033】次に、図2中の抵抗回路の働きを説明す
る。配列した抵抗素子を接続配線部3で繋げ、二列の抵
抗列を作成する。この抵抗列間を接続配線部3と配線幅
・配線長が同じ折り返し部分配線部4で接続する。抵抗
回路で作られる基準電圧の端子を1a又は1bから出力
する様に構成すると、一つの接続配線部3の抵抗成分に
よる電圧降下分は、必ずその接続配線部3と隣り合う抵
抗素子のどちらか一方の抵抗素子による電圧降下分の中
に取り込まれる。また、折り返し部分配線部4の抵抗成
分による電圧降下分も必ず折り返し部分配線部4と隣り
合う抵抗素子のどちらか一方の抵抗素子による電圧降下
分の中に取り込まれる。
【0034】この時、接続配線部3と折り返し部分配線
部4は同じ配線幅・配線長なので、どちらの電圧降下分
も等しい。また、折り返し部分配線部4の抵抗成分によ
る電圧降下分が取り込まれた抵抗素子には接続配線部3
の抵抗成分による電圧降下分は含まれない。
【0035】従って、本発明の抵抗回路で作られ、各端
子8より引き出される電圧の電位差は、抵抗素子での電
圧降下分と接続配線部3又は折り返し部分配線部4での
電圧降下分で構成されており、全て等しくなる。
【0036】図3は本発明の第三の実施例の系統図であ
る。図3中1a及び1bは抵抗端子、2は抵抗層、5は
接続抵抗部、6は折り返し部分抵抗部である。抵抗素子
は、抵抗端子1a及び1bと抵抗層2を有する。抵抗素
子間は低抵抗の接続抵抗部5と折り返し部分抵抗部6で
繋がれた構成で、これら抵抗部5,6の抵抗値が全て等
しいときは、隣り合う基準電圧間の電位差は全て等しく
なる。
【0037】この構成は、抵抗回路の抵抗列が3本以上
あり、抵抗列間に比較器を設置するようなレイアウトを
設計する際に有効である。このような構成にすると、抵
抗列間の距離が比較器の面積に合わせて変えられるの
で、比較器のレイアウトは抵抗回路による面積制限を受
けないで設計できる。
【0038】次に、図3中の抵抗回路の働きを説明す
る。配列した抵抗素子を接続抵抗部5で繋げ、二列の抵
抗列を作成する。この抵抗列間を接続抵抗部5と抵抗値
が同じ折り返し部分抵抗部6で接続する。抵抗回路で作
られる基準電圧の端子を1a又は1bから出力する様に
構成すると、一つの接続抵抗部5の抵抗成分による電圧
降下分は、必ずその接続抵抗部5と隣り合う抵抗素子の
どちらか一方の抵抗素子による電圧降下分の中に取り込
まれる。また、折り返し部分抵抗部6の抵抗成分による
電圧降下分も必ず折り返し部分抵抗部6と隣り合う抵抗
素子のどちらか一方の抵抗素子による電圧降下分の中に
取り込まれる。
【0039】この時、接続抵抗部5と折り返し部分抵抗
部6は同じ抵抗値なので、どちらの電圧降下分も等し
い。また、折り返し部分抵抗部6の抵抗成分による電圧
降下分が取り込まれた抵抗素子には接続抵抗部5の抵抗
成分による電圧降下分は含まれない。
【0040】従って、本発明の抵抗回路で作られ、各端
子8より引き出される電圧の電位差は、抵抗素子での電
圧降下分と接続配線部3又は折り返し部分配線部4での
電圧降下分で構成されており、全て等しくなる。
【0041】図6は本発明の第四の実施例の構成を示す
系統図である。図6中、1a及び1bは抵抗端子、2は
抵抗層、5は接続抵抗部、6は折り返し部分抵抗部であ
る。抵抗素子は、抵抗端子1a及び1bと抵抗層2を有
する。抵抗素子間は低抵抗の接続抵抗部5と折り返し部
分抵抗部6で繋がれた構成で、これら抵抗部5,6の抵
抗値が全て等しいときは、隣り合う基準電圧間の電位差
は全て等しくなる。
【0042】抵抗端子1bより各端子8へ引き出された
基準電圧と入力端子10より入力された電圧とが比較器
9に入力される。
【0043】これは、図3に一例として示した抵抗回路
を用いてAD変換装置を構成している。抵抗回路の抵抗
列が3本以上あり、抵抗列間に比較器を設置するような
レイアウトを設計する際に有効である。このような構成
にすると、抵抗列間の距離が比較器の面積に合わせて変
えられるので、比較器のレイアウトは抵抗回路による面
積制限を受けないで設計できる。
【0044】次に、図6中の抵抗回路の働きを説明す
る。配列した抵抗素子を接続抵抗部5で繋げ、二列の抵
抗列を作成する。この抵抗列間を接続抵抗部5と抵抗値
が同じ折り返し部分抵抗部6で接続する。抵抗回路で作
られる基準電圧の端子を1a又は1bから出力する様に
構成すると、一つの接続抵抗部5の抵抗成分による電圧
降下分は、必ずその接続抵抗部5と隣り合う抵抗素子の
どちらか一方の抵抗素子による電圧降下分の中に取り込
まれる。また、折り返し部分抵抗部6の抵抗成分による
電圧降下分も必ず折り返し部分抵抗部6と隣り合う抵抗
素子のどちらか一方の抵抗素子による電圧降下分の中に
取り込まれる。
【0045】この時、接続抵抗部5と折り返し部分抵抗
部6は同じ抵抗値なので、どちらの電圧降下分も等し
い。また、折り返し部分抵抗部6の抵抗成分による電圧
降下分が取り込まれた抵抗素子には接続抵抗部5の抵抗
成分による電圧降下分は含まれない。
【0046】従って、本発明の抵抗回路で作られ、各端
子8より引き出される電圧の電位差は、抵抗素子での電
圧降下分と接続配線部3又は折り返し部分配線部4での
電圧降下分で構成されており、全て等しくなる。
【0047】図7は本発明の第五の実施例の構成を示す
図である。図中1a及び1bは抵抗端子、2は抵抗層、
3は接続配線部、4は折り返し部分配線部である。抵抗
端子1a及び1bは配線と抵抗層2を繋げる働きをす
る。抵抗素子は、抵抗端子1a及び1bと抵抗層2を有
する。
【0048】抵抗端子1bより各端子8へ引き出された
基準電圧がスイッチ13を介してアンプ11に入力され
る。一つのスイッチ13は一つの抵抗層2に対応してお
り、デコーダ回路14によって1個だけオン状態とな
る。この時、一つの基準抵抗値が信号線15とアンプ1
1を介して出力端子12に出力される。
【0049】これは、請求項1に記載し、図1に一例と
して示した抵抗回路を用いてDA変換装置を構成してい
る。
【0050】次に、図7中の抵抗回路の働きを説明す
る。配列した抵抗素子を接続配線部3で繋げ、二列の抵
抗列を作成する。この抵抗列間を低抵抗のアルミ配線で
配置された接続配線部3と同じレイアウトパターンの低
抵抗のアルミ配線で配置された折り返し部分配線部4で
接続する。抵抗回路で作られる基準電圧の端子を1a又
は1bから出力する様に構成すると、一つの接続配線部
3の抵抗成分による電圧降下分は、必ずその接続配線部
3と隣り合う抵抗素子のどちらか一方の抵抗素子による
電圧降下分の中に取り込まれる。また、折り返し部分配
線部4の抵抗成分による電圧降下分も必ず折り返し部分
配線部4と隣り合う抵抗素子のどちらか一方の抵抗素子
による電圧降下分の中に取り込まれる。
【0051】この時、接続配線部3と折り返し部分配線
部4は同じレイアウト構成なので、どちらの電圧降下分
も等しい。また、折り返し部分配線部4の抵抗成分によ
る電圧降下分が取り込まれた抵抗素子には接続配線部3
の抵抗成分による電圧降下分は含まれない。
【0052】従って、本発明の抵抗回路で作られる各端
子8より引き出される電圧の電位差は、抵抗素子での電
圧降下分と接続配線部3又は折り返し部分配線部4での
電圧降下分で構成されており、全て等しくなる。
【0053】
【発明の効果】本発明による抵抗回路は、抵抗素子間の
レイアウトパターンを工夫することにより、高精度の抵
抗分圧回路を集積化することが容易で、チップ面積を小
さくすることが可能である。従って、1ウエハ上で製造
できるICが増えることから、経済的効果が大きくな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例に基づく抵抗回路の構成
例を示す図。
【図2】本発明の第二の実施例に基づく抵抗回路の構成
例を示す図。
【図3】本発明の第三の実施例に基づく抵抗回路の構成
例を示す図。
【図4】従来例に基づく抵抗配列を2本有するAD変換
装置の構成例を示す図。
【図5】従来例に基づく抵抗配列を3本有するAD変換
装置の構成例を示す図。
【図6】本発明の第四の実施例に基づくAD変換装置の
構成例を示す図。
【図7】本発明の第五の実施例に基づくDA変換装置の
構成例を示す図。
【符号の説明】
1a,1b…抵抗端子、2…抵抗層、3…接続配線部、
4…折り返し部分配線部、5…接続抵抗部、6…折り返
し部分抵抗部、7…低抵抗メタル配線層、8…端子、
9,9a…比較器、10…入力端子、11…アンプ、1
2…出力端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03M 1/76 8832−4M H01L 27/04 P (72)発明者 北川 明弘 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体あるいは導体で形成される抵抗を複
    数配列し、複数の抵抗列を構成するレイアウトパターン
    において、抵抗配列の折り返し部分を形成する半導体あ
    るいは導体のレイアウトパターンが、抵抗配列内の抵抗
    間を接続する半導体あるいは導体のレイアウトパターン
    と同じで、抵抗配列の折り返し部分を形成する半導体あ
    るいは導体と抵抗配列内の抵抗間を接続する半導体ある
    いは導体が同じ半導体層あるいは導体層で形成されるこ
    とを特徴とする抵抗回路。
  2. 【請求項2】半導体あるいは導体で形成される抵抗を複
    数配列し、複数の抵抗列を接続するレイアウトパターン
    において、抵抗配列の折り返し部分を形成する一定幅の
    半導体あるいは導体の幅が、抵抗配列内の抵抗間を接続
    する一定幅の半導体あるいは導体の幅と同じで、抵抗配
    列の折り返し部分を形成する一定幅の半導体あるいは導
    体の配線長が、抵抗配列内の抵抗間を接続する一定幅の
    半導体あるいは導体の配線長と同じであることを特徴と
    する抵抗回路。
  3. 【請求項3】半導体あるいは導体で形成される抵抗を複
    数配列し、複数の抵抗列を接続するレイアウトパターン
    において、抵抗配列の折り返し部分を形成する半導体あ
    るいは導体の抵抗値と、抵抗配列内の抵抗間を接続する
    半導体あるいは導体の抵抗値が等しいことを特徴とする
    抵抗回路。
  4. 【請求項4】請求項1,2または3に記載の前記抵抗回
    路を用いてそれぞれ値の異なる複数の電圧を発生させる
    AD変換装置。
  5. 【請求項5】請求項1,2または3に記載の前記抵抗回
    路を用いてそれぞれ値の異なる複数の電圧を発生させる
    DA変換装置。
JP28795793A 1993-11-17 1993-11-17 抵抗回路 Withdrawn JPH07142682A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003008374A (ja) * 2001-06-22 2003-01-10 Yamaha Corp ボリューム回路

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Effective date: 20010130