JPH0714515A - 鉛ガラス製フリットシール式小型ｘ線管の製造方法 - Google Patents
鉛ガラス製フリットシール式小型ｘ線管の製造方法Info
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- JPH0714515A JPH0714515A JP22288193A JP22288193A JPH0714515A JP H0714515 A JPH0714515 A JP H0714515A JP 22288193 A JP22288193 A JP 22288193A JP 22288193 A JP22288193 A JP 22288193A JP H0714515 A JPH0714515 A JP H0714515A
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- lead glass
- ray
- window frame
- nickel
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蛍光Ｘ線分析に使用される小型軟Ｘ線管等の
構成部品即ち鉄・ニッケル・クロム合金製Ｘ線窓枠リン
グ、加速電極を支持する上記合金製支持板と鉛ガラス部
を鉛ガラスの軟化点より２００℃前後低温度にて完全溶
着せしめる。 【構成】 本発明の前段は大型の高真空電気炉中で熱酸
化を防ぎつつＸ線放射窓用の金属ベリリウム板と窓枠合
金との真空ロウ付けを完了する。後段即ち本発明のポイ
ントであるコバールガラスに替えてＸ線漏洩防止用鉛ガ
ラスを使用する。鉛ガラスと熱膨張係数の近似する鉄・
ニッケル・クロム合金製の窓枠と金属ベリリウムの窓板
を真空電気炉で完全気密ロウ付けしたものを用意して酸
化鉛製の粉末を主原料とするシール剤を使用してフリッ
トシールを完全に実施する。
構成部品即ち鉄・ニッケル・クロム合金製Ｘ線窓枠リン
グ、加速電極を支持する上記合金製支持板と鉛ガラス部
を鉛ガラスの軟化点より２００℃前後低温度にて完全溶
着せしめる。 【構成】 本発明の前段は大型の高真空電気炉中で熱酸
化を防ぎつつＸ線放射窓用の金属ベリリウム板と窓枠合
金との真空ロウ付けを完了する。後段即ち本発明のポイ
ントであるコバールガラスに替えてＸ線漏洩防止用鉛ガ
ラスを使用する。鉛ガラスと熱膨張係数の近似する鉄・
ニッケル・クロム合金製の窓枠と金属ベリリウムの窓板
を真空電気炉で完全気密ロウ付けしたものを用意して酸
化鉛製の粉末を主原料とするシール剤を使用してフリッ
トシールを完全に実施する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は蛍光Ｘ線分析法による
元素分析に使用される軟Ｘ線発生管構成部材即ちガラス
部分と金属部分の完全溶着接合方法に関する。
元素分析に使用される軟Ｘ線発生管構成部材即ちガラス
部分と金属部分の完全溶着接合方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、蛍光Ｘ線分析に用いられるＸ線源
としての軟Ｘ線発生管が種々考案されているが、その構
造上の最大の難点はガラス部と金属部の耐真空、完全気
密接合性が求められることであった。特にガラス部に対
する残留熱歪によるガラスのヒビ割れ破損を防ぐ目的の
ために、予熱、ガラス細工、徐冷歪とりの容易な材料と
してコバールと称する鉄・ニッケル・コバルト合金とそ
の合金の熱膨張係数と極く近似したそれを持つように作
られたコバールガラスと称する比較的急熱急冷に耐えう
る一種の硬質ガラスが一般的に広く用いられているのが
現状である。更に軟Ｘ線発生管としては発生するＸ線を
能率よく外部に放射させるためのＸ線放射窓が必要であ
るがその材料としてはＸ線透過率の良さから金属ベリリ
ウム板が一般的に広く利用されている。だが、大気中で
は金属ベリリウム板とコバール製窓枠が双方に影響を及
ぼすことのない温度範囲にてロウ付けやその後のコバー
ル製窓枠とコバールガラスの溶着接合は極めて困難とい
うより不可能であった。これを可能にするために例えば
十分な不活性ガス中か又は熱酸化が防げる高真空中でな
ければ出来なかったのである。しかし高真空中で出来る
といっても金属ベリリウム板とコバール製窓枠とのロウ
付けどまりであって、その後のコバール合金製窓枠とコ
バールガラス管との接合は依然として極めて困難であっ
て唯一の可能な方法は高真空中で金属ベリリウム板の熱
酸化を防ぎつつ、１本づつ高周波誘導加熱法などにより
ガラス部全体に変形が生じることがないよう局部的な加
熱法をとらざるを得ず勘と経験が頼りの綱渡り的な製造
方法をとらざるを得ず品質と原価性に問題のある製法か
ら脱却できないままに推移して来たものである。
としての軟Ｘ線発生管が種々考案されているが、その構
造上の最大の難点はガラス部と金属部の耐真空、完全気
密接合性が求められることであった。特にガラス部に対
する残留熱歪によるガラスのヒビ割れ破損を防ぐ目的の
ために、予熱、ガラス細工、徐冷歪とりの容易な材料と
してコバールと称する鉄・ニッケル・コバルト合金とそ
の合金の熱膨張係数と極く近似したそれを持つように作
られたコバールガラスと称する比較的急熱急冷に耐えう
る一種の硬質ガラスが一般的に広く用いられているのが
現状である。更に軟Ｘ線発生管としては発生するＸ線を
能率よく外部に放射させるためのＸ線放射窓が必要であ
るがその材料としてはＸ線透過率の良さから金属ベリリ
ウム板が一般的に広く利用されている。だが、大気中で
は金属ベリリウム板とコバール製窓枠が双方に影響を及
ぼすことのない温度範囲にてロウ付けやその後のコバー
ル製窓枠とコバールガラスの溶着接合は極めて困難とい
うより不可能であった。これを可能にするために例えば
十分な不活性ガス中か又は熱酸化が防げる高真空中でな
ければ出来なかったのである。しかし高真空中で出来る
といっても金属ベリリウム板とコバール製窓枠とのロウ
付けどまりであって、その後のコバール合金製窓枠とコ
バールガラス管との接合は依然として極めて困難であっ
て唯一の可能な方法は高真空中で金属ベリリウム板の熱
酸化を防ぎつつ、１本づつ高周波誘導加熱法などにより
ガラス部全体に変形が生じることがないよう局部的な加
熱法をとらざるを得ず勘と経験が頼りの綱渡り的な製造
方法をとらざるを得ず品質と原価性に問題のある製法か
ら脱却できないままに推移して来たものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の前段は大型の
高真空電気炉中で熱酸化を防ぎつつＸ線放射窓用の金属
ベリリウム板と窓枠となる合金との真空ロウ付けを必要
量実施する。ここまでは従来の方法と大きく変ることは
ない。ここで後段に入るが難点の多いコバールガラスを
使用せずＸ線漏洩防止用鉛ガラスを使用するのである。
そのために鉛ガラスと熱膨張係数の極く近似した鉄・ニ
ッケル・クロム合金製の窓枠に金属ベリリウム板を高真
空電気炉を使用して完全気密ロウ付けしたものを夫々用
意する。そこで上記鉛ガラス管と鉄・ニッケル・クロム
合金製の窓枠の双方の熱膨張係数に極く近似した酸化鉛
製の粉末を主原料とするシール剤を使用していわゆるフ
リットシールに成功したものである。
高真空電気炉中で熱酸化を防ぎつつＸ線放射窓用の金属
ベリリウム板と窓枠となる合金との真空ロウ付けを必要
量実施する。ここまでは従来の方法と大きく変ることは
ない。ここで後段に入るが難点の多いコバールガラスを
使用せずＸ線漏洩防止用鉛ガラスを使用するのである。
そのために鉛ガラスと熱膨張係数の極く近似した鉄・ニ
ッケル・クロム合金製の窓枠に金属ベリリウム板を高真
空電気炉を使用して完全気密ロウ付けしたものを夫々用
意する。そこで上記鉛ガラス管と鉄・ニッケル・クロム
合金製の窓枠の双方の熱膨張係数に極く近似した酸化鉛
製の粉末を主原料とするシール剤を使用していわゆるフ
リットシールに成功したものである。
【０００４】本発明は上記発明の課題をクリヤーして製
造工程が大幅に簡略化され、能率向上された結果コスト
ダウンのメリットをもたらした。又鉛ガラスが使用され
た結果、危険なＸ線の漏洩が完全に防止され、信頼性と
安全性を完壁なまでに向上させた成果をもたらしたもの
である。
造工程が大幅に簡略化され、能率向上された結果コスト
ダウンのメリットをもたらした。又鉛ガラスが使用され
た結果、危険なＸ線の漏洩が完全に防止され、信頼性と
安全性を完壁なまでに向上させた成果をもたらしたもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明はコバールガラ
スに替えて鉛ガラスを採用したこと又フリット溶着剤と
して熱膨張係数が極く近似した酸化鉛その他の金属酸化
物の混合物を選定したことが新規性と数々のメリットを
もたらしたものである。
スに替えて鉛ガラスを採用したこと又フリット溶着剤と
して熱膨張係数が極く近似した酸化鉛その他の金属酸化
物の混合物を選定したことが新規性と数々のメリットを
もたらしたものである。
【０００６】
【作用】上記の完全溶着の成果として、製造工程の簡略
化と完全化のため信頼性と安全性を確保することが出来
た。
化と完全化のため信頼性と安全性を確保することが出来
た。
【０００７】
【実施例】図２はこの発明の実施例である。溶着部分が
明白に提示されている。
明白に提示されている。
【０００８】１は鉄・ニッケル・クロム合金製の窓枠リ
ング、２は同合金製の押サエリング、３はロウ付け個
所、４は金属ベリリウム板、５はＴｉターゲット、６’
はフリット溶着部分、７は同合金製の支持板、８は加速
電極、９’は鉛入りガラス管、１０は電子銃、１１’は
ジュメット線付ニッケルピン、１２は排気管、１３はリ
ングゲッター。
ング、２は同合金製の押サエリング、３はロウ付け個
所、４は金属ベリリウム板、５はＴｉターゲット、６’
はフリット溶着部分、７は同合金製の支持板、８は加速
電極、９’は鉛入りガラス管、１０は電子銃、１１’は
ジュメット線付ニッケルピン、１２は排気管、１３はリ
ングゲッター。
【０００９】以上のようにこの発明は、製造工程が大幅
に簡略化され、コストダウンが一段と進展することにな
った。
に簡略化され、コストダウンが一段と進展することにな
った。
【００１０】
【発明の効果】この発明によって、鉛ガラス管と窓枠リ
ング、支持板との溶着に成功しつまりフリット溶着の成
果を挙げることが出来た。しかもロウ付けは大型な真空
電気炉中で一度に大量に８００℃にて実施、フリット溶
着は大型電気乾燥機中で大量に行うことに成功した。し
かも４４０℃から４５０℃の最適温度で一度に大量に実
施できる。
ング、支持板との溶着に成功しつまりフリット溶着の成
果を挙げることが出来た。しかもロウ付けは大型な真空
電気炉中で一度に大量に８００℃にて実施、フリット溶
着は大型電気乾燥機中で大量に行うことに成功した。し
かも４４０℃から４５０℃の最適温度で一度に大量に実
施できる。
【図面の簡単な説明】
【図２】この発明の実施例の側面図である。
【図１】従来例の側面図である。ロウ付けとガラス溶着
は共に高真空中で高周波誘導加熱により行う。つまり１
本づつ順次局部的赤熱により実施
は共に高真空中で高周波誘導加熱により行う。つまり１
本づつ順次局部的赤熱により実施
１ 窓枠リング（鉄・ニッケル・クロム合金） ２ 押サエリング（鉄・ニッケル・クロム合金） ３ ロウ付ケ（大型高真空電気炉中で一度に大量に行う
・・・８００℃にて実施） ４ 金属ベリリウム板 ５ Ｔｉターゲット ６’フリット溶着 ７ 支持板（鉄・ニッケル・クロム合金） ８ 加速電極 ９’鉛入りガラス管 １０ 電子銃（カソード・ヒーター入り） １１’ジュメット線付ニッケルピン １２ 排気管 １３ リングゲッター
・・・８００℃にて実施） ４ 金属ベリリウム板 ５ Ｔｉターゲット ６’フリット溶着 ７ 支持板（鉄・ニッケル・クロム合金） ８ 加速電極 ９’鉛入りガラス管 １０ 電子銃（カソード・ヒーター入り） １１’ジュメット線付ニッケルピン １２ 排気管 １３ リングゲッター
Claims (1)
- 【請求項１】 鉛ガラス部分と鉄・ニッケル・クロム合
金製の窓枠リングのフリット溶着部分、加速電極を支持
する鉄・ニッケル・クロム合金製の支持板とのフリット
溶着部分を鉛ガラスの軟化点約６４５℃よりも２００℃
前後低温度の４４０℃〜４５０℃にてフリット溶着を可
能とした製造方法。上記窓枠とは金属ベリリウム板があ
らかじめ耐真空ロウ付けされている。又上記シール剤は
鉛ガラス及び鉄・ニッケル・クロム合金と熱膨張係数が
極く近似して溶着するようあらかじめ調合されたものを
使用し、最適温度による熱処理の影響が構成された部材
のいかなる変質、変形も及ぼされることなく完全に溶着
接合を施されたフリットシール式のＸ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22288193A JP3368004B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 鉛ガラス製フリットシール式小型ｘ線管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22288193A JP3368004B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 鉛ガラス製フリットシール式小型ｘ線管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714515A true JPH0714515A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3368004B2 JP3368004B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=16789352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22288193A Expired - Fee Related JP3368004B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 鉛ガラス製フリットシール式小型ｘ線管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3368004B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7386095B2 (en) | 2005-08-31 | 2008-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP22288193A patent/JP3368004B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7386095B2 (en) | 2005-08-31 | 2008-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3368004B2 (ja) | 2003-01-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020827 |
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