JPH0714650U - 半導体ウェーハ搬送用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウェーハを収納する半導体ウェーハ搬
送用容器において、搬送時に内部に収納した半導体ウェ
ーハが破損するのを低減する。 【構成】 底壁２と側壁３とから上部が開口する容器本
体１を備え、該容器本体１の上部に蓋５を装着すると共
に、前記容器本体１内に半導体ウェーハＷの外周縁を収
納可能とする溝部１４を形成したキャリヤ１３を着脱自
在に設け、さらに、前記容器本体１の底壁２上部に半導
体ウェーハＷを前記キャリヤ１３の溝部１４より若干浮
かすようにして半導体ウェーハＷの下部を保持する柔軟
性を有する支え体１９と、前記蓋５の下部に半導体ウェ
ーハＷの上部を保持する柔軟性を有する押え体２２とを
設ける。 【効果】 柔軟性を有する支え体と押え体とで半導体ウ
ェーハを保持するので、容器本体や蓋が外部より衝撃力
を受けても、支え体や押え体により半導体ウェーハに伝
わる衝撃力を緩和する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハを複数収納する半導体ウェーハ搬送用容器に関し、 特に内部に収納した半導体ウェーハが破損しにくい構造を持った半導体ウェーハ 搬送用容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の半導体ウェーハを複数収納する半導体ウェーハ搬送用容器は、底壁と側 壁とから上部が開口する箱状の容器本体を備え、該容器本体の内部に底壁と側壁 とにわたって全体がほぼ半円状に湾曲した断面Ｖ字状の溝部を複数並べて設けて おり、この溝部に半導体ウェーハを縦方向に向けてその下部側外周縁を収納する ようになっている。一方、前記容器本体の上部には蓋を装着可能とし、該蓋の下 部には前記容器本体内に収納した半導体ウェーハの上部側に当着して保持する押 えを複数設けている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来の半導体ウェーハ搬送用容器においては、容器本体内の溝部に半導体ウェ ーハの下部側外周縁を収納するようになっているので、例えば、容器本体が外部 より衝撃力を受けると、この衝撃力が溝部を介して半導体ウェーハに伝わり、半 導体ウェーハを破損してしまうといった問題が生じる恐れがあった。 このため、搬送時においては、半導体ウェーハを破損しないように、細心の注 意を払って慎重に作業を行わなくてはならず、作業に手間がかかってしまうとい う問題があった。 本考案はこれらの問題を解消することをその課題としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、底壁と側壁とから上部が開口する容器本体と、該容器本体の上部に 装着する蓋と、前記容器本体の内部に着脱自在に設け、かつ半導体ウェーハの外 周縁を収納可能となる溝部を形成したキャリヤと、前記容器本体の底壁上部に設 け、かつ半導体ウェーハを前記キャリヤの溝部より若干浮かすようにして半導体 ウェーハの下部を保持する柔軟性を有する支え体と、前記蓋の下部に設け、かつ 半導体ウェーハの上部を保持する柔軟性を有する押え体とから半導体ウェーハ搬 送用容器を構成する。

【０００５】

【作 用】

本考案は、半導体ウェーハ搬送用容器において、柔軟性を有した支え体と柔軟 性を有した押え体とで半導体ウェーハを保持することができる。

【０００６】

【実 施 例】

本考案による半導体ウェーハ搬送用容器の一実施例について説明する。 半導体ウェーハ搬送用容器は図１、図２、図３に示すように、上部を開口する 箱状の容器本体１を備え、該容器本体１は、底壁２とその周縁より立設する側壁 ３とからなり、側壁３の内、一対の相対向する側壁３の両隅間の下部を下方に向 かって内部側に湾曲した凹状に形成すると共に、前記側壁３の上端部外周全体に 外側に突出しその先で折曲して垂下するようになる取手片４を形成している。そ して、前記容器本体１の側壁３の上端部に装着自在となる蓋５を設け、該蓋５は 前記容器本体１の上部とほぼ同面積となる平面部６と、該平面部６の周縁に設け た側面部７とからなり、前記側面部７の下部に環状にパッキン８を設け、容器本 体１の上部に蓋５を装着した際に、容器本体１と蓋５との間にパッキン８が介在 するようにする。また、前記側面部７の内、一対の相対向する側面部７の下部そ れぞれに折曲自在となり、かつ掛合用の穴部９を形成した掛合体１０を設ける一 方、前記容器本体１の取手片４の一対の相対向する部分に凹部１１をそれぞれ形 成し、該凹部１１内に掛合用の突起部１２を設けることで、容器本体１の上部に 蓋５を装着した後、蓋５側の掛合体１０の穴部９を、容器本体１側の凹部１１内 の突起部１２に掛合して、容器本体１の上部に蓋５を固定するようになっている 。

【０００７】 また、前記容器本体１の内部にはキャリヤ１３を着脱自在に設け、該キャリヤ １３は上方から下方に向かい、下方において若干湾曲したＶ字状の溝部１４を複 数並設した側壁１５を相対向して設け、相対向した該側壁１５の一端側を連結壁 １６で連結すると共に、他端側を細長状の連結板１７で連結しており、前記キャ リヤ１３において、相対向する側壁１５に設けた溝部１４それぞれに半導体ウェ ーハＷの外周縁を収納することで、複数の半導体ウェーハＷを収納可能としてい る。

【０００８】 そして、前記容器本体１の内部である底壁２の上部に、左右一対の挿入部１８ を前記キャリヤ１３の側壁１５に並設した溝部１４に相対するように複数並設し 、該各挿入部１８に上向きＹ字形となる支え体１９を挿入固着する。該支え体１ ９は、図４に示すように、Ｙ字形の両先端部にＶ溝部２０を形成し、該Ｖ溝部２ ０に半導体ウェーハＷが保持可能とすると共に、全体が柔軟性を有している。ま た、前記支え体１９においては、半導体ウェーハＷを保持する際、前記キャリヤ １３側の溝部１４より半導体ウェーハＷを若干浮かすように（溝部１４から半導 体ウェーハＷが飛び出さない程度）保持している。

【０００９】 また、前記蓋５の平面部６に左右一対の挿入部２１を前記容器本体１の底壁２ に設けた挿入部１８に相対するように複数並設し、該各挿入部２１に下向きＹ字 形となる押え体２２を挿入固着する。該押え体２２は前述の支え体１９と同様に 、Ｙ字形の両先端部にＶ溝部２３を形成し、該Ｖ溝部２３に半導体ウェーハＷを 保持可能とすると共に、全体が柔軟性を有している。

【００１０】 次に、前述のように構成した半導体ウェーハ搬送用容器の使用例について述べ る。 容器本体１内よりキャリヤ１３を外して、このキャリヤ１３に複数の半導体ウ ェーハＷを当該キャリヤ１３に設けた各溝部１４にそれぞれ収納する。そして、 半導体ウェーハＷをキャリヤ１３ごと容器本体１内に収めると、キャリヤ１３の 各溝部１４に収納してある半導体ウェーハＷを容器本体１の底部２に設けた支え 体１９のＶ溝部２０がキャリヤ１３側の溝部１４より半導体ウェーハＷを若干浮 かした状態で保持するようにする。そして、容器本体１の上部に蓋５を装着する と、該蓋５の平面部６に設けた押え体２２のＶ溝部２３が半導体ウェーハＷの上 部を保持するようになる。

【００１１】 このように容器本体１の底壁２に設けた柔軟性を有する支え体１９により半導 体ウェーハＷの下部をキャリヤ１３側の溝部１４より若干浮かすようにして保持 すると共に、蓋５の平面部６に設けた柔軟性を有する押え体２２により半導体ウ ェーハＷの上部を保持することで、例えば、容器本体１及び蓋５が外部より衝撃 力を受けた際、衝撃力が直接半導体ウェーハＷに伝わるのをなくし、すなわち、 柔軟性を有した支え体１９あるいは押え体２２により衝撃力を吸収して半導体ウ ェーハＷに伝わる衝撃力を緩和する。これにより、半導体ウェーハＷを半導体ウ ェーハ搬送用容器に収納して搬送する際に、半導体ウェーハＷが破損するのを大 巾に低減することができる。

【００１２】

【考案の効果】

本考案は、柔軟性を有する支え体で半導体ウェーハの下部を保持すると共に、 柔軟性を有する押え体で半導体ウェーハの上部を保持することで、容器本体や蓋 が外部より衝撃力を受けても、支え体あるいは押え体により半導体ウェーハに伝 わる衝撃力を緩和することができる。よって、半導体ウェーハの搬送時における 半導体ウェーハの破損を大巾に低減することができる。 また、外部より受ける衝撃力による半導体ウェーハの破損もある程度までは防 止することができることで、搬送作業において、従来のような細心の注意を払っ て作業を行う必要もなく、作業を容易に行えるようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による半導体ウェーハ搬送用容器の正面
から見た断面図である。

【図２】本考案による半導体ウェーハ搬送用容器の側面
から見た一部断面図である。

【図３】本考案による半導体ウェーハ搬送用容器の分解
斜視図である。

【図４】本考案による半導体ウェーハ搬送用容器の支え
体を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…容器本体、２…底壁、３…側壁、４…取手片、５…
蓋、６…平面部、７…側面部、８…パッキン、９…穴
部、１０…掛合体、１１…凹部、１２…突起部、１３…
キャリヤ、１４…溝部、１５…側壁、１６…連結壁、１
７…連結板、１８…挿入部、１９…支え体、２０…Ｖ溝
部、２１…挿入部、２２…押え体、２３…Ｖ溝部、Ｗ…
半導体ウェーハ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 底壁２と側壁３とから上部が開口する容
   器本体１と、 該容器本体１の上部に装着する蓋５と、 前記容器本体１の内部に着脱自在に設け、かつ半導体ウ
   ェーハＷの外周縁を収納可能となる溝部１４を形成した
   キャリヤ１３と、 前記容器本体１の底壁２上部に設け、かつ半導体ウェー
   ハＷを前記キャリヤ１３の溝部１４より若干浮かすよう
   にして半導体ウェーハＷの下部を保持する柔軟性を有す
   る支え体１９と、 前記蓋５の下部に設け、かつ半導体ウェーハＷの上部を
   保持する柔軟性を有する押え体２２とからなることを特
   徴とする半導体ウェーハ搬送用容器。