JPH0714821A - 薬液流量監視システム - Google Patents
薬液流量監視システムInfo
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- JPH0714821A JPH0714821A JP14247093A JP14247093A JPH0714821A JP H0714821 A JPH0714821 A JP H0714821A JP 14247093 A JP14247093 A JP 14247093A JP 14247093 A JP14247093 A JP 14247093A JP H0714821 A JPH0714821 A JP H0714821A
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- Japan
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- liquid
- chemical liquid
- flow rate
- chemical
- monitoring system
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 15
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
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- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
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Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ウェットエッチング装置の薬液使用量の異常を
防ぐことができる。 【構成】ウェットエッチング装置Ａ１及びウェットエッ
チング装置Ｂ２に薬液流量計Ａ５及び薬液流量計Ｂ６を
備えており、これらの流量計の流量は信号ライン９，１
０を通して比較／判断回路１２に入力され、更にモニタ
ーに表示される。このモニターには、薬液流量の使用量
が異常に増加した場合のアラームを発生させる機能があ
る。
防ぐことができる。 【構成】ウェットエッチング装置Ａ１及びウェットエッ
チング装置Ｂ２に薬液流量計Ａ５及び薬液流量計Ｂ６を
備えており、これらの流量計の流量は信号ライン９，１
０を通して比較／判断回路１２に入力され、更にモニタ
ーに表示される。このモニターには、薬液流量の使用量
が異常に増加した場合のアラームを発生させる機能があ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薬液流量監視システム
に関し、特にウェットエッチング装置の薬液流量監視シ
ステムに関する。
に関し、特にウェットエッチング装置の薬液流量監視シ
ステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を図４を用いて説明する。ウ
ェットエッチング装置１及び２に薬液供給配管８が各々
接続されている。バルブ１５を開ける事により処理槽４
に薬液が供給される。この処理槽４に供給された薬液を
ある期間使用した後に、劣化した薬液を排液する為にバ
ルブ１６を開ける。排液が終了したら、バルブ１５を開
け処理槽４に新しい薬液を供給する。通常、このサイク
ルで薬液の供給と排液を繰り返す。薬液の供給の際、薬
液流量はモニターされていない。
ェットエッチング装置１及び２に薬液供給配管８が各々
接続されている。バルブ１５を開ける事により処理槽４
に薬液が供給される。この処理槽４に供給された薬液を
ある期間使用した後に、劣化した薬液を排液する為にバ
ルブ１６を開ける。排液が終了したら、バルブ１５を開
け処理槽４に新しい薬液を供給する。通常、このサイク
ルで薬液の供給と排液を繰り返す。薬液の供給の際、薬
液流量はモニターされていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術では、
薬液の流量がモニターされていないので、排液バルブ１
６の内部出流水及び供給バルブ１５の内部出流水が発生
しても、異常が発見されず、薬液が無駄に排液されてし
まい薬液を浪費してしまうと言う問題があった。
薬液の流量がモニターされていないので、排液バルブ１
６の内部出流水及び供給バルブ１５の内部出流水が発生
しても、異常が発見されず、薬液が無駄に排液されてし
まい薬液を浪費してしまうと言う問題があった。
【０００４】本発明の目的は、ウェットエッチング装置
の薬液使用量の異常を早期に発見し、薬液の浪費を防ぐ
ことができる薬液流量監視システムを提供することにあ
る。
の薬液使用量の異常を早期に発見し、薬液の浪費を防ぐ
ことができる薬液流量監視システムを提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明の薬
液流量監視システムは、薬液を供給する供給ラインと、
ウェットエッチング装置の処理槽と、その処理槽に流入
する流量を測定する流量計と、前記処理槽への液の流入
のための供給バルブと、前記処理槽から液を排液する排
液バルブと、前記流量計で測定したデータを信号ライン
により受け、流量を比較／判断する比較／判断回路と、
前記比較／判断回路の結果を表示するモニターとを有す
ることを特徴として構成される。
液流量監視システムは、薬液を供給する供給ラインと、
ウェットエッチング装置の処理槽と、その処理槽に流入
する流量を測定する流量計と、前記処理槽への液の流入
のための供給バルブと、前記処理槽から液を排液する排
液バルブと、前記流量計で測定したデータを信号ライン
により受け、流量を比較／判断する比較／判断回路と、
前記比較／判断回路の結果を表示するモニターとを有す
ることを特徴として構成される。
【０００６】又、本発明の第２の発明の薬液流量監視シ
ステムは、薬液を供給する供給ラインと、前記薬液供給
ラインに接続された貯液槽と、前記貯液槽に設けられた
薬液供給をコントロールする液面センサーと、前記貯液
槽に設けられた供給バルブ及び排液バルブ並びに排液ラ
インと、前記貯液槽から薬液の供給ラインにより供給バ
ルブを介して接続された前記液面センサーの信号を受け
流量を比較／判断する比較／判断回路と、前記比較／判
断回路の結果を表示するモニターとを含むことを特徴と
して構成される。
ステムは、薬液を供給する供給ラインと、前記薬液供給
ラインに接続された貯液槽と、前記貯液槽に設けられた
薬液供給をコントロールする液面センサーと、前記貯液
槽に設けられた供給バルブ及び排液バルブ並びに排液ラ
インと、前記貯液槽から薬液の供給ラインにより供給バ
ルブを介して接続された前記液面センサーの信号を受け
流量を比較／判断する比較／判断回路と、前記比較／判
断回路の結果を表示するモニターとを含むことを特徴と
して構成される。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例の薬液流量監視システム
の構成図である。図１に於いては、ウェットエッチング
装置Ａが２台、ウェットエッチング装置Ｂが１台監視シ
ステムに接続されている。
る。図１は、本発明の一実施例の薬液流量監視システム
の構成図である。図１に於いては、ウェットエッチング
装置Ａが２台、ウェットエッチング装置Ｂが１台監視シ
ステムに接続されている。
【０００８】薬液供給ライン８がウェットエッチング装
置Ａ及びウェットエッチング装置Ｂに接続されており、
供給バルブ１５を開ける事により各ウェットエッチング
装置に薬液が供給される。この時、流量計Ａ５、流量計
Ｂ６、流量計Ｃ７が各ウェットエッチング装置に対応し
た流量を測定し、信号ライン９〜１１を通してデータを
比較／判断回路１２に転送する。この比較／判断回路１
２よりモニター１３に各ウェットエッチング装置Ａ，
Ｂ，Ｃの流量を表示する。このモニターには、薬液が流
れた時間も同一画面に表示され、ある時間以上に薬液が
流れている場合には、異常と判断し、アラームを発生さ
せる。尚、この異常と判断する規格幅は任意に設定出来
る。
置Ａ及びウェットエッチング装置Ｂに接続されており、
供給バルブ１５を開ける事により各ウェットエッチング
装置に薬液が供給される。この時、流量計Ａ５、流量計
Ｂ６、流量計Ｃ７が各ウェットエッチング装置に対応し
た流量を測定し、信号ライン９〜１１を通してデータを
比較／判断回路１２に転送する。この比較／判断回路１
２よりモニター１３に各ウェットエッチング装置Ａ，
Ｂ，Ｃの流量を表示する。このモニターには、薬液が流
れた時間も同一画面に表示され、ある時間以上に薬液が
流れている場合には、異常と判断し、アラームを発生さ
せる。尚、この異常と判断する規格幅は任意に設定出来
る。
【０００９】次に、他の実施例について説明する。図２
は本発明の第２の実施例を説明するための薬液流量監視
システムの構成図である。
は本発明の第２の実施例を説明するための薬液流量監視
システムの構成図である。
【００１０】図２に示すようにウェットエッチング装置
Ｃ内に薬液を貯える貯液槽１８を備えており、貯液槽１
８には液面センサー１７が付いている。薬液は薬液供給
ライン８からバルブ２０を開けて貯液槽１８へ供給され
る。処理槽３への薬液供給は貯液槽１８からバルブ１５
を開けることにより出来る。次に、貯液槽１８へ薬液が
薬液供給ライン８より供給される。この時、貯液槽１８
に付いている液面センサー１７が作動して貯液槽への薬
液供給をコントロールしている。この液面センサー１７
のＯＮした信号を信号ライン１９を通して比較／判断回
路１２へ転送する。比較／判断回路１２は、液面センサ
ー１７のＯＮした回数より薬液の使用量を算出し、モニ
ターに表示する。この時、同一画面に薬液の使用量に対
する時間も表示される。薬液使用量に対する規格を設定
し、この規格を外れると異常のアラームを発生させる。
この規格幅は任意に設定出来る。
Ｃ内に薬液を貯える貯液槽１８を備えており、貯液槽１
８には液面センサー１７が付いている。薬液は薬液供給
ライン８からバルブ２０を開けて貯液槽１８へ供給され
る。処理槽３への薬液供給は貯液槽１８からバルブ１５
を開けることにより出来る。次に、貯液槽１８へ薬液が
薬液供給ライン８より供給される。この時、貯液槽１８
に付いている液面センサー１７が作動して貯液槽への薬
液供給をコントロールしている。この液面センサー１７
のＯＮした信号を信号ライン１９を通して比較／判断回
路１２へ転送する。比較／判断回路１２は、液面センサ
ー１７のＯＮした回数より薬液の使用量を算出し、モニ
ターに表示する。この時、同一画面に薬液の使用量に対
する時間も表示される。薬液使用量に対する規格を設定
し、この規格を外れると異常のアラームを発生させる。
この規格幅は任意に設定出来る。
【００１１】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は、ウェットエ
ッチング装置の薬液使用量をモニターする機能を有する
ので薬液使用量のある管理幅に対する異常な使用量を検
知し、アラームを発生させるので、薬液の損失を従来の
８００ｌから約１００ｌへと低減出来ると言う効果を有
する。
ッチング装置の薬液使用量をモニターする機能を有する
ので薬液使用量のある管理幅に対する異常な使用量を検
知し、アラームを発生させるので、薬液の損失を従来の
８００ｌから約１００ｌへと低減出来ると言う効果を有
する。
【図１】本発明の一実施例を説明するための薬液流量監
視システムの構成図である。
視システムの構成図である。
【図２】本発明の第二実施例を説明するための薬液流量
監視システムの構成図である。
監視システムの構成図である。
【図３】本発明の効果を説明するための薬液損失量比較
図である。
図である。
【図４】従来の技術を説明するための薬液流量監視シス
テムの一例の構成図である。
テムの一例の構成図である。
１ ウェットエッチング装置Ａ ２ ウェットエッチング装置Ｂ ３ ウェットエッチング装置Ｃ ４ 処理槽 ５ 流量計Ａ ６ 流量計Ｂ ７ 流量計Ｃ ８ 薬液供給ライン ９，１０，１１，１９ 信号ライン １２ 比較／判断回路 １３ モニター １４ 排液ライン １５，２０ 供給バルブ １６ 排液バルブ １７ 液面センサー １８ 貯液槽
Claims (2)
- 【請求項１】 薬液を供給する供給ラインと、ウェット
エッチング装置の処理槽と、前記処理槽に流入する流量
を測定する流量計と、前記処理槽への液の流入のための
供給バルブと、前記処理槽から液を廃液する廃液バルブ
と前記流量計で測定したデータを信号ラインにより受
け、流量を比較／判断する比較／判断回路と、前記比較
／判断回路の結果を表示するモニターとを有することを
特徴とする薬液流量監視システム。 - 【請求項２】 薬液を供給する供給ラインと、前記薬液
供給ラインに接続された貯液槽と、前記貯液槽に設けら
れ薬液供給をコントロールする液面センサーと、前記貯
液槽に設けられた供給バルブ及び廃液バルブ並びに廃液
ラインと、前記貯液槽から薬液の供給ラインにより供給
バルブを介して接続された処理槽と、前記液面センサー
の信号を受け流量を比較／判断する比較／判断回路と、
前記比較／判断回路の結果を表示するモニターを有する
ことを特徴とする薬液流量監視システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05142470A JP3093519B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 薬液流量監視システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05142470A JP3093519B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 薬液流量監視システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714821A true JPH0714821A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3093519B2 JP3093519B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=15316071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05142470A Expired - Fee Related JP3093519B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 薬液流量監視システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3093519B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023108028A (ja) * | 2019-07-08 | 2023-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP05142470A patent/JP3093519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023108028A (ja) * | 2019-07-08 | 2023-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3093519B2 (ja) | 2000-10-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000711 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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