JPH07159116A - 回転角度読取装置 - Google Patents

回転角度読取装置

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Publication number
JPH07159116A
JPH07159116A JP5340887A JP34088793A JPH07159116A JP H07159116 A JPH07159116 A JP H07159116A JP 5340887 A JP5340887 A JP 5340887A JP 34088793 A JP34088793 A JP 34088793A JP H07159116 A JPH07159116 A JP H07159116A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation angle
circular table
reading
clamp mechanism
angle reading
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP5340887A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiko Matsumoto
孝彦 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5340887A priority Critical patent/JPH07159116A/ja
Publication of JPH07159116A publication Critical patent/JPH07159116A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 クランプ機構による円板の固定時に円板がク
ランプ機構の押圧方向に移動するのに起因する測定誤差
の発生を防止し、測定精度の向上を図った回転角度読取
装置を提供する。 【構成】 ラジアル受け部材2a〜2cにより回転可能
に支持され、被検物4が載置される円形テーブル5と、
円形テーブル5の外周面を押圧して円形テーブル5を固
定するクランプ機構6と、円形テーブル5の回転角度位
置を読み取る回転角度読取機構7とを備える。回転角度
読取機構7は、円形テーブル5と一体的に回転可能で周
方向に配置された目盛8aを有する目盛板8と、目盛8
aを読み取る読取ヘッド9とからなり、読取ヘッド9
は、クランプ機構6が円形テーブル5を押圧する押圧力
の作用線上に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、被検物の角度寸法を
測定する回転角度読取装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5(a)は従来の回転角度読取装置の
平面図、同図(b)はその側面図である。この回転角度
読取装置は、ラジアル受け部材50a,50b,50c
及びスラスト受け部材51a,51b,51cによって
回転可能に支持され、被検物52が上面の中央部に載置
される円形テーブル53と、この円形テーブル53の外
周面をラジアル方向へ押圧して円形テーブル53を固定
するクランプねじ54a及びクランプねじ支持部材54
bからなるクランプ機構54と、円形テーブル54の回
転角度位置を読み取る回転角度読取機構55とを備えて
いる。
【0003】ラジアル受け部材50a〜50cは、円形
テーブル53の周方向にほぼ等間隔で配置され、円形テ
ーブル53の外周面を支持している。スラスト受け部材
51a〜51cは、ラジアル受け部材50a〜50cと
ほぼ同じ角度位置に配置され、円形テーブル53の下面
を支持している。
【0004】前記回転角度読取機構55は、周方向に配
設された目盛56aを有し、円形テーブル53と一体的
に回転する目盛板56と、目盛56aを読み取る読取ヘ
ッド57とからなる。目盛板56は、その中心が円形テ
ーブル53の回転中心と一致するように、円形テーブル
53の下面に設けられた取付け部53aに固定されてい
る。読取ヘッド57は、図5(a)に示すように、前記
クランプねじ54aの押圧力の作用線、すなわちクラン
プねじ54aの先端が円形テーブル53の外周面に接触
する接触点と円形テーブル53の回転中心とを結ぶ線か
ら外れた位置に配置されている。
【0005】上記回転角度読取装置による被検物52の
角度寸法の測定は、以下の手順で行われる。
【0006】例えば被検物52の面52aと面52bと
の間の角度寸法を測定する場合、まず被検物52の面5
2aを図示しない基準線に合致させた状態で円形テーブ
ル53の回転角度位置を回転角度読取機構55の読取ヘ
ッド57によって読み取る。この読み取った角度が基準
の回転角度位置となる。
【0007】この後、クランプねじ54aを緩めて被検
物52の面52bが前記基準線と合致するように円形テ
ーブル53を回転させ、この位置でクランプねじ54a
を締め付けて円形テーブル53を固定する。
【0008】この状態で、前記基準の回転角度位置から
の円形テーブル53の回転角度を読取ヘッド57によっ
て読み取る。この読み取った角度が、被検物52の面5
2aと面52bとの間の角度寸法である。このようにし
て被検物52の角度寸法が間接的に測定される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、ク
ランプねじ54aを締め付けて円形テーブル53を固定
すると、円形テーブル53がラジアル受け部材50a〜
50cのガタの範囲内でクランプねじ54aの押圧方向
に移動する。このとき、円形テーブル53が回転せずに
前記押圧方向に目盛板56とともに平行移動したとして
も、回転角度読取機構55の読取ヘッド57がクランプ
ねじ54aの押圧力の作用線から外れた位置に配置され
ているので、円形テーブル53の移動により読取ヘッド
57に対する目盛板56の目盛56aの円周位置がずれ
てしまい、これによって測定誤差が生じてしまうという
問題があった。
【0010】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はクランプ機構による円板の固定時
に円板がクランプ機構の押圧方向に移動するのに起因す
る測定誤差の発生を防止し、測定精度の向上を図った回
転角度読取装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めこの発明に係る回転角度読取装置は、複数のラジアル
受け部材によって回転可能に支持されるとともに、被検
物が載置又は前記被検物の像が投影される円板と、前記
円板をラジアル方向へ押圧して前記円板を固定させるク
ランプ機構と、周方向に配置された目盛を有し、前記円
板と同期して回転する目盛板と、前記目盛板の目盛を読
み取る読取りヘッドとを備え、前記被検物の角度寸法を
測定する回転角度読取り装置において、前記読取りヘッ
ドが、前記クランプ機構の押圧力の作用線上に配置され
ている。
【0012】
【作用】回転角度読取機構の読取ヘッドがクランプ機構
の押圧力の作用線上に配置されているので、クランプ機
構により円板の外周面を押圧して円板を固定するとき
に、円板がラジアル受け部材のガタの範囲内でクランプ
機構の押圧方向に移動しても、この移動によって読取ヘ
ッドに対する目盛板の目盛の円周位置はずれない。
【0013】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
【0014】図1(a)はこの発明の第1実施例に係る
回転角度読取装置の平面図、同図(b)はその側面図、
図2(a)は図1に示す回転角度読取装置をロータリテ
ーブルユニットとして使用した投影機の側面図、同図
(b)はその正面図である。
【0015】図1に示すように、回転角度読取装置1
は、ラジアル受け部材2a,2b,2c及びスラスト受
け部材3a,3b,3cによって回転可能に支持され、
被検物4が上面の中央部に載置された円形テーブル(円
板)5と、この円形テーブル5の外周面を押圧して円形
テーブル5を固定するクランプねじ6a及びクランプね
じ支持部材6bからなるクランプ機構6と、円形テーブ
ル4の回転角度位置を読み取る回転角度読取機構7とを
備えている。
【0016】ラジアル受け部材2a〜2cは、円形テー
ブル5の周方向にほぼ等間隔で配置され、円形テーブル
5の外周面を支持している。スラスト受け部材3a〜3
cは、ラジアル受け部材2a〜2cとほぼ同じ角度位置
に配置され、円形テーブル5の下面を支持している。
【0017】回転角度読取機構7は、周方向に配設され
た目盛8aを有し、円形テーブル5と一体的に回転する
(円形テーブル5と同期して回転する)目盛板8と、目
盛8aを読み取る読取ヘッド9とからなる。目盛板8
は、その中心が円形テーブル5の回転中心と一致するよ
うに、円形テーブル5の下面に設けられた取付部5aに
固定されている。読取ヘッド9は、クランプねじ6aの
押圧力の作用線、すなわちクランプねじ6aの先端が円
形テーブル5の外周面に接触する接触点と円形テーブル
5の回転中心とを結ぶ直線上に配置されている。
【0018】回転角度読取装置1は、図2(a),
(b)に示すように、投影機10の投影機本体11の下
部ケース11a上に配置されたXYテーブル12上に設
けられている。スラスト受け部材3a〜3cは、XYテ
ーブル12上に取り付けられている。一方、各ラジアル
受け部材2a〜2cは、図示しない支持部材を介してX
Yテーブル12に支持されている。
【0019】クランプ機構6のクランプねじ支持部材6
bは、図示しない支持部材を介してXYテーブル12に
固定されている。
【0020】投影機10は、XYテーブル12のほか
に、投影レンズ13と、投影機本体11の上部ケース1
1b内に配置された小ミラー14及び大ミラー15と、
上部ケース11bの前面11cに固定された固定スクリ
ーン16とを備えている。
【0021】固定スクリーン16は、十字線17を有す
るスクリーンガラス18と、このスクリーンガラス18
を支持し、上部ケース11bの前面11cに固定された
スクリーン枠19とからなる。十字線17は、その交点
がスクリーンガラス18の中心とほぼ一致するように形
成を施されている。
【0022】そして、投影レンズ13、小ミラー14及
び大ミラー15は、図示しない照明光学系により照明さ
れた被検物4の像4Aをスクリーンガラス18上に拡大
投影するように配置されている。
【0023】上述した回転角度読取装置1による被検物
4の角度寸法の測定は、以下の手順で行われる。
【0024】例えば被検物4の面4aと面4bとの間の
角度寸法を測定する場合、まずXYテーブル12を駆動
して被検物4の像4Aの角部4Acを十字線17の交点
に合致させるとともに、クランプ機構6のクランプねじ
6aを緩めて円形テーブル5を回転させて像4Aの面4
Aaを十字線17の一方の基準線17aに合致させる。
【0025】この状態でクランプねじ6aを締め付けて
円形テーブル5を固定し、円形テーブル5の回転角度位
置を回転角度読取機構7の読取ヘッド9で読み取る。こ
の読み取った角度が基準の回転角度位置となる。
【0026】この後、クランプねじ6aを再び緩めて像
4Aの面4Abが一方の基準線17aと合致するように
円形テーブル5を回転させ、この位置でクランプねじ6
aを締め付けて円形テーブル5を固定する。
【0027】この状態で、前記基準の回転角度位置から
の円形テーブル5の回転角度を読取ヘッド9によって読
み取る。この読み取った角度が、被検物4の面4aと面
4bとの間の角度寸法である。このようにして被検物4
の角度寸法が間接的に測定される。
【0028】上述した第1実施例の回転角度読取装置1
では、回転角度読取機構7の読取ヘッド9がクランプ機
構6のクランプねじ6aの押圧力の作用線上に配置され
ているので、クランプねじ6aにより円形テーブル5の
外周面を押圧して円形テーブル5を固定するとき、円形
テーブル5がラジアル受け部材2a〜2cのガタの範囲
内でクランプねじ6aの押圧方向(図1の下方)に移動
しても、この移動によって読取ヘッド9に対する目盛板
8の目盛8aの円周位置はずれない。したがって、クラ
ンプねじ6aによる円形テーブル5の固定時における測
定誤差の発生を防ぐことができ、被検物4の角度寸法の
測定精度を向上することができる。
【0029】図3(a)はこの発明の第2実施例に係る
回転角度読取装置の平面図、同図(b)はその側面図、
図4(a)は図3に示す回転角度読取装置を回転スクリ
ーンユニットとして使用した投影機の側面図、同図
(b)はその正面図である。
【0030】図3及び図4に示すように、回転角度読取
装置21は、ラジアル受け部材22a,22b,22c
及びスラスト受け部材23a,23b,23cによって
回転可能に支持され、XYテーブル12上に載置された
被検物4の像4Aが投影される回転スクリーン36(円
板)と、この回転スクリーン36の外周面を押圧して回
転スクリーン36を固定するクランプねじ26a及びク
ランプねじ支持部材26bからなるクランプ機構26
と、回転スクリーン36の回転角度位置を読み取る回転
角度読取機構70とを備えている。
【0031】回転スクリーン36は、スクリーンガラス
38と、このスクリーンガラス38を支持する円形スク
リーン枠39とからなる。スラスト受け部材23a〜2
3cは、上部ケース11bの前面11cに取り付けられ
ており、回転スクリーン36の内面を支持している。一
方、各ラジアル受け部材22a〜22cは、図示しない
支持部材を介して上部ケース11bの前面11cに支持
されており、回転スクリーン36の外周面を支持してい
る。
【0032】回転角度読取機構70は、周方向に配設さ
れた目盛80aを有し、円形スクリーン枠39の外周面
に当接して摩擦力により円形スクリーン枠39とは逆方
向に支軸80bを中心に回転する(円形スクリーン枠3
9と同期して回転する)目盛板80と、目盛80aを読
み取る読取ヘッド90とからなる。支軸80bは、図示
しない弾性支持部材を介して上部ケース11bの前面1
1cに支持されている。読取ヘッド90は図示しない弾
性支持部材を介して上部ケース11bの前面11cに支
持され、クランプねじ26aの押圧力の作用線、すなわ
ちクランプねじ26aの先端が円形スクリーン枠39の
外周面に接触する接触点と円形スクリーン枠39の回転
中心とを結ぶ直線上に配置されている。
【0033】上述した回転角度読取装置21による被検
物4の角度寸法の測定は、以下の手順で行われる。
【0034】例えば被検物4の面4aと面4bとの間の
角度寸法を測定する場合、まずXYテーブル12を駆動
して被検物4の像4Aの角部4Acを十字線17の交点
に合致させるとともに、クランプねじ26aを緩めて回
転スクリーン36を回転させて像4Aの面4Aaを十字
線17の一方の基準線17aに合致させる。
【0035】この状態でクランプねじ26aを締め付け
て回転スクリーン36を固定し、回転スクリーン36の
回転角度位置を読取ヘッド90で読み取る。この読み取
った角度が基準の回転角度位置となる。
【0036】この後、クランプねじ26aを再び緩めて
像4Aの面4Abが一方の基準線17aと合致するよう
に回転スクリーン36を回転させ、この位置でクランプ
ねじ26aを締め付けて回転スクリーン36を固定す
る。
【0037】この状態で、前記基準の回転角度位置から
の回転スクリーン36の回転角度を読取ヘッド90によ
り読み取る。この読み取った角度が、被検物4の面4a
と面4bとの間の角度寸法である。このようにして被検
物4の角度寸法が間接的に測定される。
【0038】上述した第2実施例の回転角度読取装置2
1では、読取ヘッド90がクランプ機構26のクランプ
ねじ26aの押圧力の作用線上に配置されているので、
クランプねじ26aにより回転スクリーン36の外周面
を押圧して回転スクリーン36を固定するとき、回転ス
クリーン36がラジアル受け部材22a〜22cのガタ
の範囲内でクランプねじ26aの押圧方向(図3の下
方)に移動しても、この移動によって読取ヘッド90に
対する目盛板80の目盛80aの円周位置がずれない。
したがって、クランプねじ26aによる回転スクリーン
36の固定時における測定誤差の発生を防ぐことがで
き、被検物4の角度寸法の測定精度を向上させることが
できる。
【0039】なお、第2実施例では、回転スクリーン3
6の円形スクリーン枠39と目盛板80とを互いに外周
面どうしが当接する構造としたが、円形スクリーン枠3
6と目盛板80の両者とが互いに噛合する歯車で構成し
てもよい。
【0040】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の回転角度
読取装置によれば、クランプ機構により円板の外周面を
押圧して円板を固定するときに、円板がラジアル受け部
材のガタの範囲内でクランプ機構の押圧方向に移動して
も、この移動により読取ヘッドに対する目盛板の目盛の
円周位置がずれないので、クランプ機構による円板の固
定時における測定誤差の発生を防ぐことができ、測定精
度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1実施例に係る回転角度読
取装置を説明するための図である。
【図2】図2は図1に示す回転角度読取装置をロータリ
テーブルユニットとして使用した投影機を示す図であ
る。
【図3】図3はこの発明の第2実施例に係る回転角度読
取装置を説明するための図である。
【図4】図4は図3に示す回転角度読取装置を回転スク
リーンユニットとして使用した投影機を示す図である。
【図5】図5は従来の回転角度読取装置を説明するため
の図である。
【符号の説明】
1,21 回転角度読取装置 2a〜2c,22a〜22c ラジアル受け部材 3a〜3c,23a〜23c スラスト受け部材 4 被検物 4A 被検物の像 5 回転テーブル 36 回転スクリーン 6,26 クランプ機構 7,70 回転角度読取機構 8,80 目盛板 8a,80a 目盛 9,90 読取ヘッド

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のラジアル受け部材によって回転可
    能に支持されるとともに、被検物が載置又は前記被検物
    の像が投影される円板と、 前記円板をラジアル方向へ押圧して前記円板を固定させ
    るクランプ機構と、 周方向に配置された目盛を有し、前記円板と同期して回
    転する目盛板と、 前記目盛板の目盛を読み取る読取りヘッドとを備え、 前記被検物の角度寸法を測定する回転角度読取り装置に
    おいて、 前記読取りヘッドが、前記クランプ機構の押圧力の作用
    線上に配置されていることを特徴とする回転角度読取装
    置。
JP5340887A 1993-12-09 1993-12-09 回転角度読取装置 Withdrawn JPH07159116A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5340887A JPH07159116A (ja) 1993-12-09 1993-12-09 回転角度読取装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5340887A JPH07159116A (ja) 1993-12-09 1993-12-09 回転角度読取装置

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JPH07159116A true JPH07159116A (ja) 1995-06-23

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ID=18341229

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5340887A Withdrawn JPH07159116A (ja) 1993-12-09 1993-12-09 回転角度読取装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105571524A (zh) * 2015-12-16 2016-05-11 贵州航天计量测试技术研究所 一种基于圆光栅的传动轴测角装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010306