JPH071635Y2 - 自動露光装置等におけるアライメントテーブル - Google Patents
自動露光装置等におけるアライメントテーブルInfo
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- JPH071635Y2 JPH071635Y2 JP1989055500U JP5550089U JPH071635Y2 JP H071635 Y2 JPH071635 Y2 JP H071635Y2 JP 1989055500 U JP1989055500 U JP 1989055500U JP 5550089 U JP5550089 U JP 5550089U JP H071635 Y2 JPH071635 Y2 JP H071635Y2
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- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0008—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for aligning or positioning of tools relative to the circuit board
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0269—Marks, test patterns or identification means for visual or optical inspection
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09818—Shape or layout details not covered by a single group of H05K2201/09009 - H05K2201/09809
- H05K2201/09918—Optically detected marks used for aligning tool relative to the PCB, e.g. for mounting of components
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はプリント配線板の基材である銅張り積層板等の
ワークを所定位置に自動的に位置決めするため、又はワ
ークを多層に積層する際の検査に使用されるアライメン
トテーブル、特にビデオカメラによる画像処理を正確に
行い得る自動露光装置等におけるアライメントテーブル
に関するものである。
ワークを所定位置に自動的に位置決めするため、又はワ
ークを多層に積層する際の検査に使用されるアライメン
トテーブル、特にビデオカメラによる画像処理を正確に
行い得る自動露光装置等におけるアライメントテーブル
に関するものである。
プリント配線板の基材である銅張り積層板等（以下、ワ
ークと呼ぶ）にパターンを形成したり、パターンの形成
後、ワークにソルダーマスクを施したり、あるいはパタ
ーンを施した複数の銅張り積層板を積層して一体に構成
する際は、その都度、ワークを所定位置に正確に位置決
めする必要があり、従来より種々の位置決め方法が提案
されている（例えば本願と同一の出願人による特願昭63
−13195号を参照）。
ークと呼ぶ）にパターンを形成したり、パターンの形成
後、ワークにソルダーマスクを施したり、あるいはパタ
ーンを施した複数の銅張り積層板を積層して一体に構成
する際は、その都度、ワークを所定位置に正確に位置決
めする必要があり、従来より種々の位置決め方法が提案
されている（例えば本願と同一の出願人による特願昭63
−13195号を参照）。
前記の出願に係る自動露光装置における位置決め装置の
概要は第５図ないし第８図に示すように、ワーク１の位
置決めを行う整合部２と、ワーク１に露光を行う露光部
３と、ワーク１を整合部２から露光部３に移送する移送
部４等からなり、前記整合部２はワーク１を載置する中
空構造のアライメントテーブル５と、該アライメントテ
ーブル５の下部に配置した支持ロッド６と、該支持ロッ
ド６を介してアライメントテーブル５を支持ロッド６の
軸線の周りに回転させると共に、アライメントテーブル
５をベース７上で左右方向（Ｘ方向）及び前後方向（Ｙ
方向）に移動させるモータドライブ機構８と、前記アラ
イメントテーブル５に取り付けた上，下の透明板9,10を
透してワーク１に設けた少なくとも２個以上の位置決め
用基準孔12,12を別個に撮像する複数のビデオカメラ13,
13と、該ビデオカメラ13,13が撮像した画像（第７図参
照）を処理して各画像の中心位置14aを求め、更に各ビ
デオカメラ13,13の撮像位置を取り込んで基準孔12の中
心位置14を算出する位置割り出し装置16と、該位置割出
し装置16が算出した基準孔12の中心位置14が、該位置よ
りワーク１を露光部３に移送したときに、ワーク１が焼
枠17に整合する所定位置に到達するか否かを判定する比
較判定装置18と、判定結果が満足すべき結果になるよう
に前記モータドライブ機構８を制御する駆動制御装置19
等からなり、前記モータドライブ機構８は第３図に明示
するようにＸ軸駆動機構20と、Ｙ軸駆動機構22と、θ駆
動機構23等によって構成されている。
概要は第５図ないし第８図に示すように、ワーク１の位
置決めを行う整合部２と、ワーク１に露光を行う露光部
３と、ワーク１を整合部２から露光部３に移送する移送
部４等からなり、前記整合部２はワーク１を載置する中
空構造のアライメントテーブル５と、該アライメントテ
ーブル５の下部に配置した支持ロッド６と、該支持ロッ
ド６を介してアライメントテーブル５を支持ロッド６の
軸線の周りに回転させると共に、アライメントテーブル
５をベース７上で左右方向（Ｘ方向）及び前後方向（Ｙ
方向）に移動させるモータドライブ機構８と、前記アラ
イメントテーブル５に取り付けた上，下の透明板9,10を
透してワーク１に設けた少なくとも２個以上の位置決め
用基準孔12,12を別個に撮像する複数のビデオカメラ13,
13と、該ビデオカメラ13,13が撮像した画像（第７図参
照）を処理して各画像の中心位置14aを求め、更に各ビ
デオカメラ13,13の撮像位置を取り込んで基準孔12の中
心位置14を算出する位置割り出し装置16と、該位置割出
し装置16が算出した基準孔12の中心位置14が、該位置よ
りワーク１を露光部３に移送したときに、ワーク１が焼
枠17に整合する所定位置に到達するか否かを判定する比
較判定装置18と、判定結果が満足すべき結果になるよう
に前記モータドライブ機構８を制御する駆動制御装置19
等からなり、前記モータドライブ機構８は第３図に明示
するようにＸ軸駆動機構20と、Ｙ軸駆動機構22と、θ駆
動機構23等によって構成されている。
尚、第５図中の15は各ビデオカメラ13を撮像可能な領域
に移動させると共に、ビデオカメラの位置信号a,aを発
生する位置調節機構であり、各位置調節機構15は第３図
に明示するようにビデオカメラ13を左右方向に移動させ
るＸ軸駆動機構24、前後方向に移動させるＹ軸駆動機構
25、上下方向に昇降駆動するＺ軸駆動機構26等によって
構成されている。
に移動させると共に、ビデオカメラの位置信号a,aを発
生する位置調節機構であり、各位置調節機構15は第３図
に明示するようにビデオカメラ13を左右方向に移動させ
るＸ軸駆動機構24、前後方向に移動させるＹ軸駆動機構
25、上下方向に昇降駆動するＺ軸駆動機構26等によって
構成されている。
又、第５図中、28は未露光のワーク１を搬入ストッカー
29からアライメントテーブル５上に移送する投入ハンド
ラー、30はアライメントテーブル５上で位置決めされた
ワーク１を露光部３に移送するトラバーサ、31は露光済
のワーク１を搬出ストッカー32に移送する搬出ハンドラ
ー、33は露光用ランプ、34はミラー、35はアライメント
テーブル５の中空部36を真空にするための吸引ダクト、
更に、第６図中の37は吸引孔であり、位置決め作業中、
ワーク１はアライメントテーブル５の上面に吸着される
ようになっている。
29からアライメントテーブル５上に移送する投入ハンド
ラー、30はアライメントテーブル５上で位置決めされた
ワーク１を露光部３に移送するトラバーサ、31は露光済
のワーク１を搬出ストッカー32に移送する搬出ハンドラ
ー、33は露光用ランプ、34はミラー、35はアライメント
テーブル５の中空部36を真空にするための吸引ダクト、
更に、第６図中の37は吸引孔であり、位置決め作業中、
ワーク１はアライメントテーブル５の上面に吸着される
ようになっている。
そして、この自動露光装置によると、ワーク１は整合部
２において自動的に位置決めされたのち、トラバーサ30
によって露光部３の所定位置に正確に移送されるので、
精細なパターンの形成が可能になり、品質の良い製品を
大量に生産できる利点がある。
２において自動的に位置決めされたのち、トラバーサ30
によって露光部３の所定位置に正確に移送されるので、
精細なパターンの形成が可能になり、品質の良い製品を
大量に生産できる利点がある。
しかし、前述の位置決め方法を実施した結果、次の点に
ついて改良を施す必要が認められた。
ついて改良を施す必要が認められた。
〔ｉ〕露光部３におけるフィルムとワーク１の整合は、
フィルムが焼枠17に固定される前に整合部２において行
われるので、アライメントテーブル５上にあるワーク１
の上下面は第６図に示すように、基準孔12の部分を含ん
でドライフィルム（マスクフィルム）38,38によって全
面的に覆われており、前記ドライフィルム38,38は各基
準孔12の部分で内側に円弧状に湾曲している。
フィルムが焼枠17に固定される前に整合部２において行
われるので、アライメントテーブル５上にあるワーク１
の上下面は第６図に示すように、基準孔12の部分を含ん
でドライフィルム（マスクフィルム）38,38によって全
面的に覆われており、前記ドライフィルム38,38は各基
準孔12の部分で内側に円弧状に湾曲している。
従って、証明用光源39,39から照射されて前記円弧状部4
0に入射した光は、円弧状部40の集光作用（凹面鏡のは
たらき）によって集光現象をひきおこし、第７図に示す
ように基準孔の画像42内に孤立した島状の輝部43を発生
する。そして、この輝部43は円滑な画像処理の進行を妨
げ、その結果、ビデオカメラによる各基準孔12の中心位
置14の把握が不正確になる。
0に入射した光は、円弧状部40の集光作用（凹面鏡のは
たらき）によって集光現象をひきおこし、第７図に示す
ように基準孔の画像42内に孤立した島状の輝部43を発生
する。そして、この輝部43は円滑な画像処理の進行を妨
げ、その結果、ビデオカメラによる各基準孔12の中心位
置14の把握が不正確になる。
又、前述したと同様の不具合は、パターン形成後のハン
ダメッキ工程においても発生する。すなわちこの場合、
勿論、ワーク１の上下面はドライフィルムによって覆わ
れていないが、ハンダの付着を良好にするため、ワーク
の上下面を覆う銅箔が研磨されており、基準孔の下部周
辺で反射した光は集光現象をひきおこし、この集光した
光は第８図に示すように、基準孔の画像42の周辺部にコ
ロナ状の輝部44を発生させ、この輝部44が画像処理の円
滑な進行を妨げる。
ダメッキ工程においても発生する。すなわちこの場合、
勿論、ワーク１の上下面はドライフィルムによって覆わ
れていないが、ハンダの付着を良好にするため、ワーク
の上下面を覆う銅箔が研磨されており、基準孔の下部周
辺で反射した光は集光現象をひきおこし、この集光した
光は第８図に示すように、基準孔の画像42の周辺部にコ
ロナ状の輝部44を発生させ、この輝部44が画像処理の円
滑な進行を妨げる。
又更に、同様の不具合はパターンを施した銅張り積層板
を層状に結合する際にも発生する。すなわちこの場合は
ワークに設けた凹状、又は凸状の認識マークの中心位置
の確認（いわゆるトンボ合わせ）を行うが、認識マーク
のエッジが部分的に強い反射光を発生して画像の周縁部
に輝部を発生する。
を層状に結合する際にも発生する。すなわちこの場合は
ワークに設けた凹状、又は凸状の認識マークの中心位置
の確認（いわゆるトンボ合わせ）を行うが、認識マーク
のエッジが部分的に強い反射光を発生して画像の周縁部
に輝部を発生する。
本考案は前述の問題点に鑑み、ビデオカメラが撮像した
基準孔、又は認識マーク画像処理を確実に実施してワー
クの位置決めを正確に行い得る自動露光装置等における
アライメントテーブルを提供することを課題とする。
基準孔、又は認識マーク画像処理を確実に実施してワー
クの位置決めを正確に行い得る自動露光装置等における
アライメントテーブルを提供することを課題とする。
前記の課題を達成するため、本考案では次の手段を構成
した。
した。
銅張り積層板等のワークを載置するアライメントテーブ
ルと、該アライメントテーブルに設けた透明板を透して
前記ワークに設けた位置決め用の基準孔、又は認識マー
クを撮像するビデオカメラと、該ビデオカメラが撮像し
た基準孔、又は認識マークの画像を処理して画像の中心
位置を求め、更にビデオカメラの撮像位置を取り込んで
前記基準孔、又は認識マークの中心位置を割り出す位置
割り出し装置とを備えた自動露光装置等におけるアライ
メントテーブルにおいて、アライメントテーブルは上板
と下板と側板で構成した偏平な中空の箱状に形成されて
おり、前記上板と下板は相対する少なくとも２個所以上
の場所にそれぞれ透明板を有しており、前記上板に配置
した透明板は、その上面がマット面を形成していること
を特徴とする自動露光装置等におけるアライメントテー
ブル。
ルと、該アライメントテーブルに設けた透明板を透して
前記ワークに設けた位置決め用の基準孔、又は認識マー
クを撮像するビデオカメラと、該ビデオカメラが撮像し
た基準孔、又は認識マークの画像を処理して画像の中心
位置を求め、更にビデオカメラの撮像位置を取り込んで
前記基準孔、又は認識マークの中心位置を割り出す位置
割り出し装置とを備えた自動露光装置等におけるアライ
メントテーブルにおいて、アライメントテーブルは上板
と下板と側板で構成した偏平な中空の箱状に形成されて
おり、前記上板と下板は相対する少なくとも２個所以上
の場所にそれぞれ透明板を有しており、前記上板に配置
した透明板は、その上面がマット面を形成していること
を特徴とする自動露光装置等におけるアライメントテー
ブル。
〔ｉ〕パターンを形成する際の位置決めにおいて、基準
孔の下部開口を覆うドライフィルムの円弧状部から反射
した光はマット面に入射してその大部分が散乱し、前記
マット面と円弧状部との間で散乱及び反射を繰り返す。
従って、反射光の強度が均一化されると共に、その一部
がドライフィルムに吸収され、集光現象を生ずることが
ない。
孔の下部開口を覆うドライフィルムの円弧状部から反射
した光はマット面に入射してその大部分が散乱し、前記
マット面と円弧状部との間で散乱及び反射を繰り返す。
従って、反射光の強度が均一化されると共に、その一部
がドライフィルムに吸収され、集光現象を生ずることが
ない。
〔ii〕又、ソルダーマスクと形成する際に位置決めにお
いて、基準孔下部周辺の研磨した銅箔から反射した光は
マット面に入射して散乱し、基準孔の上部開口から上方
に逸出する。従って集光現象を生ずることがない。
いて、基準孔下部周辺の研磨した銅箔から反射した光は
マット面に入射して散乱し、基準孔の上部開口から上方
に逸出する。従って集光現象を生ずることがない。
〔iii〕銅張り積層板を多層に形成する際のトンボ合わ
せの検査工程において、認識マークのエッジ部分で反射
した光はマット面に入射して散乱する。
せの検査工程において、認識マークのエッジ部分で反射
した光はマット面に入射して散乱する。
〔iv〕第〔ｉ〕〔ii〕〔iii〕項の結果、画像の内部及
び周縁部に輝部が発生しない。
び周縁部に輝部が発生しない。
〔ｖ〕前記〔iv〕の結果、基準孔、又は認識マークの画
像処理を円滑に実施することが可能になり、画像の中心
位置を正確に検出することができる。
像処理を円滑に実施することが可能になり、画像の中心
位置を正確に検出することができる。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。尚、
図中の符号及び記号については、従来の技術を説明した
際の露光装置各部と同一の機能を果たす部分に同じ符号
及び記号を付して示し、説明を省略する。
図中の符号及び記号については、従来の技術を説明した
際の露光装置各部と同一の機能を果たす部分に同じ符号
及び記号を付して示し、説明を省略する。
第１図ないし第４図は本考案の一実施例を示すもので、
本考案のアライメントテーブル5aは第３図及び第４図に
示すように、上板51と下板52と側板53で構成した中空の
偏平な箱状に形成されており、前記上板51と下板52の少
くとも２個所以上（この実施例では２個所）の相対する
場所に、所要の広がりを有する窓54,55が設けられてお
り、各窓54,55には、ガラス材，アクリル材，又はセラ
ミック材等で構成した透明板9a,10が嵌着されている。
又、上板51に設けた透明板9aの上面は第１図及び第２図
に示すようにざらざらした艶消し面、すなわちマット面
56を形成している。
本考案のアライメントテーブル5aは第３図及び第４図に
示すように、上板51と下板52と側板53で構成した中空の
偏平な箱状に形成されており、前記上板51と下板52の少
くとも２個所以上（この実施例では２個所）の相対する
場所に、所要の広がりを有する窓54,55が設けられてお
り、各窓54,55には、ガラス材，アクリル材，又はセラ
ミック材等で構成した透明板9a,10が嵌着されている。
又、上板51に設けた透明板9aの上面は第１図及び第２図
に示すようにざらざらした艶消し面、すなわちマット面
56を形成している。
次に、本アライメントテーブルの作用について説明す
る。すでに述べたように、パターン形成のための位置決
め時、ワーク１の上下面はドライブフィルム38,38によ
って覆われている。
る。すでに述べたように、パターン形成のための位置決
め時、ワーク１の上下面はドライブフィルム38,38によ
って覆われている。
この状態で照明用の光源装置39,39から照明光を照射す
ると、この照明光は第１図に示すように、透明板10、9a
を透してワーク１下面のドライブフィルム38を照射し、
その反射光はビデオカメラ13によって捕捉される。この
際、基準孔12を覆う円弧状部分40に当って反射した光57
（第２図参照）はその大部分がマット面56で散乱し、散
乱した光は円弧状部分40とマット面56間で反射，散乱を
繰り返し、最終的に反射光の強度が均一化されると共
に、その一部はドライフィルム38に吸収される（実験結
果によると反射率は約10％である）。従って従来のよう
に集光現象を生ずることがなく、基準孔の画像に輝部を
生ずることがない。又、ドライフィルム38の円弧状部40
以外の部分58から反射した光59はドライブフィルム38が
マット面56に吸引，密着されているので、入射光の大部
分が反射してビデオカメラに捕捉される（実験結果によ
ると、マット面56における反射率は約90％，透明板9aの
下面60における反射率は約100％である）。従って、画
像の輪郭が鮮明で、画像処理を円滑に進行させることが
可能になり、基準孔12の位置を正確に検出することがで
きる。
ると、この照明光は第１図に示すように、透明板10、9a
を透してワーク１下面のドライブフィルム38を照射し、
その反射光はビデオカメラ13によって捕捉される。この
際、基準孔12を覆う円弧状部分40に当って反射した光57
（第２図参照）はその大部分がマット面56で散乱し、散
乱した光は円弧状部分40とマット面56間で反射，散乱を
繰り返し、最終的に反射光の強度が均一化されると共
に、その一部はドライフィルム38に吸収される（実験結
果によると反射率は約10％である）。従って従来のよう
に集光現象を生ずることがなく、基準孔の画像に輝部を
生ずることがない。又、ドライフィルム38の円弧状部40
以外の部分58から反射した光59はドライブフィルム38が
マット面56に吸引，密着されているので、入射光の大部
分が反射してビデオカメラに捕捉される（実験結果によ
ると、マット面56における反射率は約90％，透明板9aの
下面60における反射率は約100％である）。従って、画
像の輪郭が鮮明で、画像処理を円滑に進行させることが
可能になり、基準孔12の位置を正確に検出することがで
きる。
又、ソルダー工程において、基準孔の下部周辺で反射し
た光はリング状の強い反射光をつくり出すが、この反射
光は集光する過程でマット面56に入射して散乱し、基準
孔の上部開口から上方に逸出するので基準孔の画像周縁
部に輝部を生ずることがなく、画像処理が円滑に行われ
る。
た光はリング状の強い反射光をつくり出すが、この反射
光は集光する過程でマット面56に入射して散乱し、基準
孔の上部開口から上方に逸出するので基準孔の画像周縁
部に輝部を生ずることがなく、画像処理が円滑に行われ
る。
又更に、銅張り積層板を多層に形成する際の検査工程に
おいて、認識マークのエッジ部分で発生した強い反射光
はマット面56によって散乱するので認識マークの画像の
周縁部に輝部を生ずることがない。
おいて、認識マークのエッジ部分で発生した強い反射光
はマット面56によって散乱するので認識マークの画像の
周縁部に輝部を生ずることがない。
尚、本考案は前述の実施例にのみ限定されるものではな
く、透明板をアライメントテーブルの３個所以上に設け
てもよく、又、透明板の配置はワークの対角線方向の２
隅に設ける代りに、パターンの形成に支障を生じない限
り、アライメントテーブルの中央部又はその近傍に設け
てもよいこと等、その他本考案の要旨を逸脱しない範囲
内で種々の変更を加え得ることは勿論である。
く、透明板をアライメントテーブルの３個所以上に設け
てもよく、又、透明板の配置はワークの対角線方向の２
隅に設ける代りに、パターンの形成に支障を生じない限
り、アライメントテーブルの中央部又はその近傍に設け
てもよいこと等、その他本考案の要旨を逸脱しない範囲
内で種々の変更を加え得ることは勿論である。
以上に述べたように、本考案は次の優れた効果を発揮す
る。
る。
〔ｉ〕アライメントテーブルの上板に設けた透明板は、
その上面にマット面を形成しているので、基準孔の部
分、又は周辺部から反射した光、又は認識マークのエッ
ジ部分から反射した光を前記マット面によって散乱させ
ることができ、その結果、ビデオカメラが撮像した画像
に輝部を生ずることがない。
その上面にマット面を形成しているので、基準孔の部
分、又は周辺部から反射した光、又は認識マークのエッ
ジ部分から反射した光を前記マット面によって散乱させ
ることができ、その結果、ビデオカメラが撮像した画像
に輝部を生ずることがない。
〔ii〕第〔ｉ〕項の結果、画像処理を円滑に実施するこ
とが可能になり、基準孔、又は認識マークの中心位置を
正確に検出することができる。
とが可能になり、基準孔、又は認識マークの中心位置を
正確に検出することができる。
〔iii〕第〔ii〕項の結果、ワークの位置決め精度が向
上し、製品の品質を高めることができる。
上し、製品の品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】 第１図ないし第４図は本考案の一実施例を示し、第１図
はアライメントテーブルの部分を示す切断側面図、（第
３図におけるＩ部の拡大部）、第２図は本考案の作用を
説明するための切断側面図（第１図におけるII部の拡大
図）、第３図は整合部の構成図、第４図はアライメント
テーブルの平面図（第３図におけるIV−IV方向からの矢
視図）、第５図は自動露光装置の配置を示す構成図、第
６図は従来のアライメントテーブルの部分を示す切断側
面図、第７図及び第８図は従来のアライメントテーブル
を使用して得られた基準孔の画像の説明図である。 １…ワーク 5a…アライメントテーブル ８…モータドライブ機構 12…基準孔、13…ビデオカメラ 14…中心位置、51…上板 52…下板、53…側板 9a,10…透明板、56…マット面
はアライメントテーブルの部分を示す切断側面図、（第
３図におけるＩ部の拡大部）、第２図は本考案の作用を
説明するための切断側面図（第１図におけるII部の拡大
図）、第３図は整合部の構成図、第４図はアライメント
テーブルの平面図（第３図におけるIV−IV方向からの矢
視図）、第５図は自動露光装置の配置を示す構成図、第
６図は従来のアライメントテーブルの部分を示す切断側
面図、第７図及び第８図は従来のアライメントテーブル
を使用して得られた基準孔の画像の説明図である。 １…ワーク 5a…アライメントテーブル ８…モータドライブ機構 12…基準孔、13…ビデオカメラ 14…中心位置、51…上板 52…下板、53…側板 9a,10…透明板、56…マット面
Claims (1)
- 【請求項１】銅張り積層板等のワークを載置するアライ
メントテーブルと、 該アライメントテーブルに設けた透明板を透して前記ワ
ークに設けた位置決め用の基準孔、又は認識マークを撮
像するビデオカメラと、 該ビデオカメラが撮像した基準孔、又は認識マークの画
像を処理して画像の中心位置を求め、更にビデオカメラ
の撮像位置を取り込んで前記基準孔、又は認識マークの
中心位置を割り出す位置割り出し装置とを備えた自動露
光装置等におけるアライメントテーブルにおいて、 アライメントテーブルは上板と下板と側板で構成した偏
平な中空の箱状に形成されており、 前記上板と下板は相対する少なくとも２個所以上の場所
にそれぞれ透明板を有しており、 前記上板に配置した透明板は、その上面がマット面を形
成している ことを特徴とする自動露光装置等におけるアライメント
テーブル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989055500U JPH071635Y2 (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 自動露光装置等におけるアライメントテーブル |
| US07/430,263 US4970587A (en) | 1989-05-15 | 1989-11-02 | Alignment table for automatic exposing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989055500U JPH071635Y2 (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 自動露光装置等におけるアライメントテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146648U JPH02146648U (ja) | 1990-12-12 |
| JPH071635Y2 true JPH071635Y2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=13000369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989055500U Expired - Lifetime JPH071635Y2 (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 自動露光装置等におけるアライメントテーブル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4970587A (ja) |
| JP (1) | JPH071635Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5627378A (en) * | 1996-02-28 | 1997-05-06 | Orc Electronic Products, A Divison Of Benson Eyecare Corporation | Die set for automatic UV exposure system |
| US5970310A (en) * | 1996-06-12 | 1999-10-19 | Hitachi, Ltd. | Method for manufacturing multilayer wiring board and wiring pattern forming apparatus |
| US5843831A (en) * | 1997-01-13 | 1998-12-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Process independent alignment system |
| US6621553B2 (en) | 2001-03-30 | 2003-09-16 | Perkinelmer, Inc. | Apparatus and method for exposing substrates |
| JP2013102035A (ja) | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4342090A (en) * | 1980-06-27 | 1982-07-27 | International Business Machines Corp. | Batch chip placement system |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP1989055500U patent/JPH071635Y2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-02 US US07/430,263 patent/US4970587A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02146648U (ja) | 1990-12-12 |
| US4970587A (en) | 1990-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |