JPH07171765A - 研削液注入補助具及び研削液注液方法 - Google Patents
研削液注入補助具及び研削液注液方法Info
- Publication number
- JPH07171765A JPH07171765A JP5318237A JP31823793A JPH07171765A JP H07171765 A JPH07171765 A JP H07171765A JP 5318237 A JP5318237 A JP 5318237A JP 31823793 A JP31823793 A JP 31823793A JP H07171765 A JPH07171765 A JP H07171765A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- outer peripheral
- grinding fluid
- peripheral edge
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外周刃式研削盤によるセラミックス等難削材
の切断・溝入れ加工において研削点に効率よく研削液を
供給することにより切断面平面度を高精度に加工する。 【構成】 外周刃砥石１の近傍に外周刃砥石１をはさみ
こむ様に減圧部６を有する研削液注入補助具３を設け、
減圧部６を介して研削液導入部７より研削液を注入する
ことにより外周刃砥石１近傍の正圧の空気層８に阻害さ
れにくく研削点に効率よく研削液を供給できる。
の切断・溝入れ加工において研削点に効率よく研削液を
供給することにより切断面平面度を高精度に加工する。 【構成】 外周刃砥石１の近傍に外周刃砥石１をはさみ
こむ様に減圧部６を有する研削液注入補助具３を設け、
減圧部６を介して研削液導入部７より研削液を注入する
ことにより外周刃砥石１近傍の正圧の空気層８に阻害さ
れにくく研削点に効率よく研削液を供給できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピューター用外部
記憶装置、主に固定型磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドの切断・溝入れ等研削加工あるいはセラミック
ス等の難削材の切断・溝入れ等研削加工等に用いられる
研削液注入補助具及び研削液注液方法に関するものであ
る。
記憶装置、主に固定型磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドの切断・溝入れ等研削加工あるいはセラミック
ス等の難削材の切断・溝入れ等研削加工等に用いられる
研削液注入補助具及び研削液注液方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】以下、薄膜磁気ヘッドの加工を例に説明
する。
する。
【０００３】近年、コンピューター用外部記憶装置であ
る磁気ディスク装置における高記録密度化対応の為、薄
膜磁気ヘッドの使用が益々増加している。これに伴い高
精度加工技術の開発も急務となっている。
る磁気ディスク装置における高記録密度化対応の為、薄
膜磁気ヘッドの使用が益々増加している。これに伴い高
精度加工技術の開発も急務となっている。
【０００４】図３に薄膜磁気ヘッドの斜視図を示す。ま
た、図４に図３のＡ−Ａ断面を拡大して示す。このよう
な薄膜磁気ヘッドの製造は、基板９上に複数個の薄膜磁
気ヘッド素子部１０を形成した後、数個の素子単位のブ
ロックに外周刃砥石を用い切断する。その後、空気浮動
面１１を研磨加工し、これを個々の薄膜磁気ヘッドに切
断する事によって行われる。
た、図４に図３のＡ−Ａ断面を拡大して示す。このよう
な薄膜磁気ヘッドの製造は、基板９上に複数個の薄膜磁
気ヘッド素子部１０を形成した後、数個の素子単位のブ
ロックに外周刃砥石を用い切断する。その後、空気浮動
面１１を研磨加工し、これを個々の薄膜磁気ヘッドに切
断する事によって行われる。
【０００５】このような、薄膜磁気ヘッドの製造におい
て特に高精度加工を要する部分は、図４に示すギャップ
デプス寸法１２である。
て特に高精度加工を要する部分は、図４に示すギャップ
デプス寸法１２である。
【０００６】このギャップデプス寸法１２は、空気浮動
面１１の研磨加工により規制される。その具体例を図５
に示し説明する。図に示すように、複数個の素子を有す
るブロック１４を高精度に加工された治具１５に接着し
ブロックの空気浮動面１１を加工する。
面１１の研磨加工により規制される。その具体例を図５
に示し説明する。図に示すように、複数個の素子を有す
るブロック１４を高精度に加工された治具１５に接着し
ブロックの空気浮動面１１を加工する。
【０００７】しかしながら、ブロック１４の治具１５へ
の接着面は、外周刃砥石１によりブロック１４に切断す
る際のうねり等により平面度が悪く、接着を行った時、
結果的に治具１５底面から図４に示すギャップデプスの
起点であるＡＰＥＸ１３までの距離１６は、各々の素子
で異なってしまう。その為、高精度に加工が施されたと
しても、ブロック１４内でそれぞれの素子のギャップデ
プス寸法１２は、ばらつきを持ってしまう。この是正の
為には、ブロック切断における切断面平面度の向上が必
要であるが、外周刃による切断では、加工時の研削点に
供給される研削液量が重要であり、この不足により切断
面精度が悪化することもある。従来の技術では、研削液
の流量，流速を大きくする方法を用いていた。しかしな
がら、加工時に砥石は高速回転（例えば、１０，０００
〜２０，０００ｍｉｎ-1）しておりその為、図６に示す
様に砥石近傍には正圧の空気層８が発生し、研削点２に
研削液を注入しようとしてもこの空気層に阻害されて十
分注液できないという問題を有していた。
の接着面は、外周刃砥石１によりブロック１４に切断す
る際のうねり等により平面度が悪く、接着を行った時、
結果的に治具１５底面から図４に示すギャップデプスの
起点であるＡＰＥＸ１３までの距離１６は、各々の素子
で異なってしまう。その為、高精度に加工が施されたと
しても、ブロック１４内でそれぞれの素子のギャップデ
プス寸法１２は、ばらつきを持ってしまう。この是正の
為には、ブロック切断における切断面平面度の向上が必
要であるが、外周刃による切断では、加工時の研削点に
供給される研削液量が重要であり、この不足により切断
面精度が悪化することもある。従来の技術では、研削液
の流量，流速を大きくする方法を用いていた。しかしな
がら、加工時に砥石は高速回転（例えば、１０，０００
〜２０，０００ｍｉｎ-1）しておりその為、図６に示す
様に砥石近傍には正圧の空気層８が発生し、研削点２に
研削液を注入しようとしてもこの空気層に阻害されて十
分注液できないという問題を有していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の薄
膜磁気ヘッドの加工では、充分な研削液が供給されない
為、外周刃砥石による切断加工時の切断面平面度悪化に
起因するブロックのうねりにより高精度加工が難しく、
ブロック内のヘッド素子のギャップデプス寸法がばらつ
くという問題点があった。
膜磁気ヘッドの加工では、充分な研削液が供給されない
為、外周刃砥石による切断加工時の切断面平面度悪化に
起因するブロックのうねりにより高精度加工が難しく、
ブロック内のヘッド素子のギャップデプス寸法がばらつ
くという問題点があった。
【０００９】本発明は、上記問題点を解決するもので、
切断面の平面度を良好に切断加工できることを目的とし
ている。
切断面の平面度を良好に切断加工できることを目的とし
ている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決する為
に、本発明では、外周刃式研削盤の外周刃砥石近傍に研
削液注液の為の補助具を設け研削点に効率良く注液する
ことにより切断面平面度を向上させようとするものであ
る。
に、本発明では、外周刃式研削盤の外周刃砥石近傍に研
削液注液の為の補助具を設け研削点に効率良く注液する
ことにより切断面平面度を向上させようとするものであ
る。
【００１１】
【作用】本発明によれば、切断面を平面度良く切断加工
できる為、薄膜磁気ヘッドの加工に応用すれば、ブロッ
ク切断面を平面度良く加工できる為、精度よくブロック
の位置規制ができ、ブロック内全ての素子のギャップデ
プス寸法をばらつきなく高精度に規制できる。
できる為、薄膜磁気ヘッドの加工に応用すれば、ブロッ
ク切断面を平面度良く加工できる為、精度よくブロック
の位置規制ができ、ブロック内全ての素子のギャップデ
プス寸法をばらつきなく高精度に規制できる。
【００１２】
【実施例】以下に本発明の一実施例を示す。
【００１３】図１は、本発明の一実施例を示す概略図で
ある。これは、外周刃砥石１の近傍の研削点２付近に研
削液注入補助具３を配置している。この研削液注入補助
具３の概略図を図２に示すが、図に示す通り研削液注入
補助具３は、空気流入部４，空気圧縮部５，減圧部６に
研削液を導入する研削液導入部７により構成されてい
る。
ある。これは、外周刃砥石１の近傍の研削点２付近に研
削液注入補助具３を配置している。この研削液注入補助
具３の概略図を図２に示すが、図に示す通り研削液注入
補助具３は、空気流入部４，空気圧縮部５，減圧部６に
研削液を導入する研削液導入部７により構成されてい
る。
【００１４】以上のように構成した本実施例の作用につ
いて、以下図１，図２を用いて説明する。まず図１，図
２に示す通り外周刃砥石１近傍をはさむ様に研削液注入
補助具３を配置する。外周刃砥石１の高速回転（１０，
０００〜２０，０００ｍｉｎ -1）により発生する正圧の
空気層８は外周刃砥石１の回転に伴って研削液注入補助
具３の空気流入部４に衝突する。この時、空気層８の大
部分は外周刃砥石１近傍よりひきはがされる。また、残
りの空気層８は、空気流入部４より流入する。この空気
層８は空気圧縮部５で圧縮されその後、減圧部６で開放
される為、減圧されるこの減圧部６に研削液導入部７よ
り研削液を注入すれば研削液は、空気層８の大部分が外
周刃砥石１近傍よりひきはがされていることと、残りの
空気層８も減圧部６により減圧されている為に、空気層
８にあまり阻害されることなく研削点２に効率よく到達
することができる。この時、空気流入部４，空気圧縮部
５，減圧部６は、図２に示すように配置し、空気圧縮部
５の外周刃砥石１との隙間は、空気流入部４，減圧部６
の隙間よりも充分小さくし、かつ減圧部６における隙間
は、空気流入部４の隙間よりも大きくすることが必要で
ある。また、これらは面粗さを小さく段差等の無い一体
物で製作されることが好ましく、外周刃砥石１等の運動
物の外部例えば、砥石軸ハウジングより強固に固定する
ことにより所定の効果が得られる。
いて、以下図１，図２を用いて説明する。まず図１，図
２に示す通り外周刃砥石１近傍をはさむ様に研削液注入
補助具３を配置する。外周刃砥石１の高速回転（１０，
０００〜２０，０００ｍｉｎ -1）により発生する正圧の
空気層８は外周刃砥石１の回転に伴って研削液注入補助
具３の空気流入部４に衝突する。この時、空気層８の大
部分は外周刃砥石１近傍よりひきはがされる。また、残
りの空気層８は、空気流入部４より流入する。この空気
層８は空気圧縮部５で圧縮されその後、減圧部６で開放
される為、減圧されるこの減圧部６に研削液導入部７よ
り研削液を注入すれば研削液は、空気層８の大部分が外
周刃砥石１近傍よりひきはがされていることと、残りの
空気層８も減圧部６により減圧されている為に、空気層
８にあまり阻害されることなく研削点２に効率よく到達
することができる。この時、空気流入部４，空気圧縮部
５，減圧部６は、図２に示すように配置し、空気圧縮部
５の外周刃砥石１との隙間は、空気流入部４，減圧部６
の隙間よりも充分小さくし、かつ減圧部６における隙間
は、空気流入部４の隙間よりも大きくすることが必要で
ある。また、これらは面粗さを小さく段差等の無い一体
物で製作されることが好ましく、外周刃砥石１等の運動
物の外部例えば、砥石軸ハウジングより強固に固定する
ことにより所定の効果が得られる。
【００１５】本発明の応用例を説明すると、例えば、薄
膜磁気ヘッドの加工においては、薄膜ヘッド基板の切断
の際、外周刃砥石１の板厚が例えば、０．５ｍｍ以下で
あるのに対し切断深さは、３ｍｍ以上であり、かつ外周
刃砥石１が高速回転している為、基板９内部にある研削
点２に到達する研削液量は、正圧の空気層８等に阻害さ
れ研削液供給量に対し非常に少なくその為に、外周刃砥
石１の目詰まり、目こぼれ等研削性の劣化をまねき切断
面平面度等切断面精度悪化や研削熱の発生による切断面
の変質の原因となっているが本実施例によれば研削点ま
で効率良く研削液を供給できる為、切断面精度の悪化や
切断面の変質を防止できる。
膜磁気ヘッドの加工においては、薄膜ヘッド基板の切断
の際、外周刃砥石１の板厚が例えば、０．５ｍｍ以下で
あるのに対し切断深さは、３ｍｍ以上であり、かつ外周
刃砥石１が高速回転している為、基板９内部にある研削
点２に到達する研削液量は、正圧の空気層８等に阻害さ
れ研削液供給量に対し非常に少なくその為に、外周刃砥
石１の目詰まり、目こぼれ等研削性の劣化をまねき切断
面平面度等切断面精度悪化や研削熱の発生による切断面
の変質の原因となっているが本実施例によれば研削点ま
で効率良く研削液を供給できる為、切断面精度の悪化や
切断面の変質を防止できる。
【００１６】本実施例では薄膜磁気ヘッド加工を例に説
明したが、薄刃の外周刃砥石１を高速回転で使用してい
る、セラミックス等の難削材の切断あるいは溝加工ある
いは、外周刃砥石１により平面を研削する場合において
も適応が可能である。
明したが、薄刃の外周刃砥石１を高速回転で使用してい
る、セラミックス等の難削材の切断あるいは溝加工ある
いは、外周刃砥石１により平面を研削する場合において
も適応が可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、難削材の切断加工にお
いて砥石の研削性の劣化を防止し切断面の平面度を高精
度に加工できる。また、研削面の研削熱等に起因する加
工変質層も少なくすることが期待できる。本発明を磁気
ヘッドの加工に応用すれば、例えば薄膜磁気ヘッド等の
ギャップデプス寸法を、ばらつきを少なく高精度に規制
できる。
いて砥石の研削性の劣化を防止し切断面の平面度を高精
度に加工できる。また、研削面の研削熱等に起因する加
工変質層も少なくすることが期待できる。本発明を磁気
ヘッドの加工に応用すれば、例えば薄膜磁気ヘッド等の
ギャップデプス寸法を、ばらつきを少なく高精度に規制
できる。
【図１】本発明の一実施例における研削液注入補助具を
示す概略図
示す概略図
【図２】本発明の一実施例における研削液注入補助具を
示す断面図
示す断面図
【図３】薄膜磁気ヘッドを示す斜視図
【図４】薄膜磁気ヘッドのＡ−Ａ断面拡大図
【図５】薄膜磁気ヘッドの一加工方法の斜視図
【図６】従来の研削液注入方法の概略図
１ 外周刃砥石 ２ 研削点 ３ 研削液注入補助具 ４ 空気流入部 ５ 空気圧縮部 ６ 減圧部 ７ 研削液導入部 ８ 空気層 ９ 基板 １０ 薄膜磁気ヘッド素子部 １１ 空気浮動面 １２ ギャップデプス寸法 １３ ＡＰＥＸ １４ ブロック １５ 治具 １６ 距離
Claims (2)
- 【請求項１】外周刃砥石を用い切断・溝入れを行う加工
に於いて、その外周刃砥石近傍に砥石を挟み込むように
設置される研削液注入補助具であって、外周刃砥石に発
生する空気を流入させる流入部と、前記流入部に入って
きた空気を前記外周刃砥石との間で加圧する加圧部と、
前記加圧部で加圧された空気を前記外周刃砥石との間で
減圧する減圧部と、前記減圧部に研削液を供給する供給
口とを備えた研削液注入補助具。 - 【請求項２】外周刃砥石近傍に発生する正圧の空気流を
圧縮、解放することによって減圧して、その減圧部に研
削液を注液することを特徴とする研削液注液方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5318237A JPH07171765A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 研削液注入補助具及び研削液注液方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5318237A JPH07171765A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 研削液注入補助具及び研削液注液方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07171765A true JPH07171765A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=18096963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5318237A Pending JPH07171765A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 研削液注入補助具及び研削液注液方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07171765A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2189245A2 (en) | 2008-11-05 | 2010-05-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Methods and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet blocks |
| EP2397254A1 (en) | 2010-06-16 | 2011-12-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for multiple cutoff machining of rare earth magnet |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP5318237A patent/JPH07171765A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2189245A2 (en) | 2008-11-05 | 2010-05-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Methods and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet blocks |
| US8567383B2 (en) | 2008-11-05 | 2013-10-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet block, cutting fluid feed nozzle, and magnet block securing jig |
| US8568203B2 (en) | 2008-11-05 | 2013-10-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet block, cutting fluid feed nozzle, and magnet block securing jig |
| US8753174B2 (en) | 2008-11-05 | 2014-06-17 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet block, cutting fluid feed nozzle, and magnet block securing jig |
| US9314892B2 (en) | 2008-11-05 | 2016-04-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for multiple cutoff machining of rare earth magnet block, cutting fluid feed nozzle, and magnet block securing jig |
| EP2397254A1 (en) | 2010-06-16 | 2011-12-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for multiple cutoff machining of rare earth magnet |
| US10391602B2 (en) | 2010-06-16 | 2019-08-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for multiple cutoff machining of rare earth magnet |
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