JPH04201071A - 磁気ヘッドスライダーの研摩治具及び研摩方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は磁気ヘッドスライダーを研摩するための研摩
治具及び研摩方法に関する。

【従来の技術】

磁気ディスクは磁性円板に円に沿って情報を記録するよ
うにしたものであり、書込み、読出しは磁気ヘッドによ
って行い、磁気ヘッドは磁気ディスクの半径方向に繰り
出されるようになっているアクセルアームに取り付けら
れている。 ハードディスク用磁気ヘッドは媒体との接触による損傷
を避けるため、浮動ヘッドが用いられる。 これはスライダー前部の傾斜面でディスクの回転による
空気流が圧縮されることで生ずる浮上刃と、ヘッドをデ
ィスクに押し付けるばねの力とのバランスで０．４μｍ
程度の浮上量を得ている。 セラミックウェーハをフォトリソ加工によりコイル、磁
性層、絶縁を施して薄膜磁気ヘッドの基板を製作し、こ
の基板を切断研削、研摩テーバ加工して磁気ヘッドスラ
イダ−（以下スライダーという）を製作する。 第１１図は薄膜スライダーの斜視図である。スライダー
８ａは、スライダー浮上面８ｂ、スライダー傾斜面８ｃ
、みぞ８ｄ及び磁極８ｅを備えて１いる。薄いフィルム
スライダーは長さが４ｍｏ＋で、１ないし２の読み書き
ヘッドを端部につけている。 スライダーは機械加工及びラッピングにより非常に硬い
表面仕様を持つスライダー浮上面８ｂを形成している。 このスライダー浮上面８ｂが磁気ディスクの表面をスラ
イダーが如何に飛ぶかを決める。代表的な飛ぶ高さは０
．２５４マイクロメータである。そしてデスクデータ密
度の増加とともにこの高さを減少させている。浮上面の
前の端（即ち読み、書きヘッドに対向する端）は通常、
主要な表面に対し僅かな角度磨かれている。この角はＲ
ＡＭＰまたはテーパ面角と呼ばれ１度のオーダである。 この面はスライダー傾斜面８ｃといい、スライダーを止
まったディスクから離れさすのを助けるため、スライダ
ーの飛行特性に重要である。 ＲＡＭＰ角は顕微干渉計によって簡単にかつ正確に測定
できる。 第９図は従来の磁気ヘッドスライダ−の研磨治具の平面
図、第１０図は第９図の研摩治具によるスライダー浮上
面の研摩方法を示す構成図である。 第９図において、円筒形で平面度が保証されている台盤
１からなる研摩治具１９の基準面にワックスのような熱
軟化性の接着材１８を薄く塗布し、この面に台盤１の外
周を３分割するような位置に、短冊状のスライダーブラ
ンク材８を配置し、固着させ、ラップ盤によってスライ
ダー浮上面の研摩を行っていた。 ラップ仕上げは、工作物の表面をラップ（一般に鋳鉄、
銅合金などの比較的軟らかい金属や硬木、木炭などの比
金属材料）に押し付けて、両者の間にランプ剤を加えて
両者を相対運動させ、う、ブ剤によって工作物表面から
ごく微量の切りくずを取り去り、滑らかな面を仕上げる
加工力である。 第１０図において、スライダーブランク材８を接着剤１
８で接着させた台盤Ｉの支持穴７を支持アーム１３の端
部の球状の支持部１３ａで支持し、ラップ定１１４を回
転させ、ノズル１５からスラリー１６を加えてスライダ
ー浮上面を研磨している。ラップ定盤１４を回転させる
と、内径側のスライダーブランク材８と外径側のスライ
ダーブランク材８との周速の差により研摩治具１９は自
転する。

【発明が解決しようとする課題】

従来の研摩治具ではスライダーブランク材８を台盤１の
基準面に固定させるのに接着剤１８を用いるため、接着
層の厚さを極めて均一に形成させなければならず、この
ような作業には熟練を必要とした。さらにワックスを用
いる場合は、スライダーブランク材８の取り付け、取り
外しのたびに研摩治具をワックスの融点まで加熱しなけ
ればならず、加工後はスライダーブランク＋Ａ８に多量
のワックスが付着しているため、洗浄を十分に行わなけ
ればならないなどの問題があった。また、従来の研摩治
具を用いた研摩方法では、スライダー浮上面の研摩しか
行うことができず、空気を安定して流入させる上で不可
欠なスライダー傾斜面の研摩は別に容易された専用の治
具に付は替える必要があった。 この発明は、接着剤を用いることなくスライダーブラン
ク材を容易に正確に研摩治具に固定して、スライダー浮
上面の研摩、スライダーの溝入れ。 切断ならびにスライダー傾斜面の研摩をも行うことがで
きる磁気ヘッドスライダーの研摩治具ならびに研摩方法
を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

上記目的は、請求項１の発明によれば、円筒形の台盤の
外周付近に、３以上の奇数を２倍した数に等分に前記台
盤の外周を分割する位置に配置された複数の固定台座と
、このそれぞれの固定台座に備えたスライダーブランク
材固定面と、このスライダーブランク材固定面に穿った
複数のキャビティと、このキャビティを塞ぐダイヤフラ
ムと、前記キャビティに連通ずる油管路と、この油管路
内の油封入部の容積を調整する調整ねしと、前記固定台
座に刻まれたスライダー切断時のビ・ンチに合わせた複
数の砥石逃げみそを設けたことによって達成される。 上記目的は、請求項２の発明にれは、請求項１記載の磁
気ヘッドスライダーの研摩治具の複数の固定台座のうち
、その半数に等分に台盤を分割する位置の固定台座に、
研磨すべきスライダーブランク材を固定し、このスライ
ダーブランク材を固定した固定台座に対向する固定台座
の１つに、前記スライダーブランク材゛よりも厚いダミ
ー短冊を取り付け、前記台盤を下向きにして、ランプ盤
により前記スライダー傾斜面を研摩することによって達
成される。

【作　用】

この発明は請求項１によれば、台盤の外周付近に３以上
の奇数を２倍した数に等分に台盤の外周を分割する位置
に配置された複数の固定台座のスライダーブランク材固
定面に、スライダーブランク材を載せ、固定台座のキャ
ビティに連通ずる油管路に油を封入し、調整ねしを調整
して油管路の容積を拡げると、キャビテ１゛を塞くダイ
ヤフラムが凹んでスライダーブランク材を吸引して固定
する。スライダーブランク材を固定台座に固定した状態
で、固定台座の砥石逃げみそを利用して切断用砥石によ
りスライダーブランク材を定められたピンチに切断する
とともに、みそ入れ用砥石を用いてスライダーブランク
材にみそ入れを行う。さらに、全体の半数に等分に台盤
の外周を分割する位置の固定台座にスライダーブランク
材を固定し、固定台座を下向きにして支持アームにより
支持し、ラップ盤に載せて相対運動をさせ、スライダー
浮上面を研摩することができる。 この発明は請求項２によれば、請求項１記載の研摩治具
の複数の固定台座のうち、半数に等分に台盤の外周を分
割する位置の固定台座に、スライダーブランク材を固定
し、このスライダーブランク材に対向する固定台座の１
つに、スライダーブランク材よりも厚いダミー短冊を取
り付け、固定台座を下向きにしてラップ盤によりスライ
ダーブランク材の端部を斜めに研摩し、スライダー傾斜
面を研摩することができる。ついで、ダミー短冊を他の
スライダーブランク材に対抗する位置に移動して、同様
の加工を繰り返し、他のスライダーブランク材のスライ
ダー傾斜面を研摩する。この方法によれば、固定台座に
スライダーブランク材を固定したまま、スライダー浮上
面並びにスライダー傾斜面の研摩を行うことができる。

【実施例】

以下図に基づいてこの発明の詳細な説明する。 第１図はこの発明の請求項１の実施例による磁気ヘッド
スライダ−の研摩治具の平面図、第２図は第１図の研摩
治具の固定台座を示す拡大斜視図である。 第１図において、円筒形の台盤１の外周付近に６等分に
分割配置された固定台座２がある。この固定台座２は３
以上の奇数を２倍した数即ち６゜１０．１４．等であれ
ばよい。これは後述するように固定台座２の半数にスラ
イダーブランク材８を取り付けたとき、このスライダー
ブランク材８に対向する固定台座２の位置が空いて、か
つ固定台座２の面が互いに平行になるようにするためで
ある。 固定台座２のスライダーブランク材固定面には、複数の
キャビティ９があり、このキャビティ９はスライダーブ
ランク材８から切り出されるスライダーの個数に対応し
ている。キャビティ９には、ダイヤフラム３が所定のピ
ンチで形成されている。 キャビティ９の下面には、油管路４がそれぞれ形成され
、相互に通し合っていて、油１０が封入され、この油管
路４はさらに台盤１の側面に貫通し、調整ねし５がねし
こまれ、油を密封している。固定台座２には砥石逃げみ
ぞ６が刻まれている。 第３図は第１図の研摩治具の固定台座にスライダーブラ
ンク材を載せた状態を示す拡大断面図、第４図は第３図
の固定台座にスライダーブランク材を吸引固定させた状
態を示す断面図である。第３図及び第４図において、ス
ライダーブランク材８を固定台座２の段部に当てて位置
決めした後、第２図の調整ねし５をゆるめて台盤１の外
径側に移動させることにより、油管路４の油封入部の体
積を拡げ、第４図のごとく油管路４内に封入された油１
０を下方へ導く。このときシリコンゴムのような伸縮性
に冨む膜で形成されたダイヤフラム３は下方へ吸引され
凹む。このためキャビティ９内は負圧となり、スライダ
ーブランク材８は吸引されて固定される。この状態で切
断用砥石１１を用いて砥石逃げみぞ６を利用してスライ
ダーブランク材８をスライダー８ａの幅に切断するとと
もに、みぞ入れ用砥石１２によりそれぞれのスライダー
８ａにみぞ８ｄを設ける。 第５図はスライダーブランク材８を研摩治具１９の固定
台座２に吸引固定した状態を示す平面図、第６図は第５
図の研摩治具１９によるスライダー浮上面の研摩方法を
示す断面図である。第５図に示すごとく、６箇所の固定
台座２のうち３箇所の等分の位置にスライダーブランク
材８を固定する。 ついで研摩治具１９を下向きにして、支持穴７を支持ア
ーム１３の端部の球状の支持部１３ａで支持し、ランプ
定盤１４の上に研摩治具を載せ、スライダーブランク材
８をラップ定盤１４の面に当て、ノズル１５から酸化ア
ルミニウム、炭化けい素などのラップ材に軽油、スピン
ドル油などの工作液を加えたスラリーを注入して両者を
相対運動させ、仕上げをする。ラップ定盤１４を回転さ
せると、内径側のスライダーブランク材８と外径側のス
ライダーブランク材８との周速の差により研摩治具１９
ば自転する。 第７図はこの発明の請求項２の実施例の研摩方法に用い
る研摩治具の平面図、第８図この発明の実施例によるス
ライダー傾斜面の研摩方法を示す断面図である。第７図
及び第８図において、６箇所の固定台座のうち等分に配
置された３箇所の固定台座２にスライダーブランク材８
を固定する。 この状態で第６図に示すごとくスライダー浮上面８ｂの
研摩を行う。ついで任意の１本のスライダーブランク材
８に対向する位置の固定台座に、スライダーブランク材
８よりも厚いダミー短冊１７を固定する。このダミー短
冊１７の厚さは、目標とするスライダー傾斜面８Ｃの角
度と、スライダーブランク材８とダミー短冊１７との距
離によって決定される。このとき、他の２本のスライダ
ーブランク材８が干渉を受けないように、それぞれの固
定台座２の間には十分な間隔がとられている。 スライダーブランク材８の研摩方法は第６図と同様であ
る。このようにしてスライダーブランク材８の傾斜面８
Ｃを加工した後、他の２本のスライダーブランク材８の
傾斜面８Ｃを全て研摩する。 以上は、円筒形の台盤の外周面に、６等分に分割配置さ
れた固定治具を備えた研摩治具について説明したが、６
等分の場合には３箇所の固定台座２で研摩面を定めるこ
とができるので、固定台座は６箇所でよいが、１０等分
、１４等分された固定治具を備えた研摩治具についても
、同様にスライダー浮上面及び傾斜面の加工をすること
ができる。そのときは、スライダーブランク材８が干渉
を受けないように十分なスペースをとる必要がある。 スライダー浮上面８ｂ及びスライダー傾斜面８Ｃの研摩
を終えたスライダーを固定台座２から取り外すときは、
調整ねし５を調整して油管路４の容積を減少させ、ダイ
ヤフラム３を元の位置に戻し、キャビティ９を正圧にし
て加工されたスライダー８ａを固定台座２から取り出す
。

【発明の効果】

この発明は、請求項１によれば、台盤に配置した複数の
固定台座に、キャビティ、ダイヤフラム。 油管路、調整ねしを用いて、スライダーブランク材を簡
単にかつ正確に固定することができる。さらに、スライ
ダーを固定台座に固定したままみそ入れ、切断をするこ
とができる。しかも、固定台座全体の半数に等分に配置
された位置の固定台座に、スライダーブランク材を固定
し、研摩治具を下向きにしてラップ盤を用いてスライダ
ー浮上面を研摩することができる。このようにスライダ
ーブランク材の取り付け、取り外しを迅速に行うことが
できるので、段取り時間が大幅に短縮され、洗浄工程も
簡略化することができる。 また、同一治具でスライダーのみそ入れ、切断。 浮上面の研摩を全て行うことができるので、常に加工基
準面が確保され、加工精度を向上させることができる。 この発明は、請求項２によれば、台盤に配置した複数の
固定台座のうち半数に等分に台盤の外周を分割する位置
の固定台座に、スライダーブランク材を固定し、対向す
る位置にスライダーブランク材よりも厚いダミー短冊を
取り付け、固定台座を下向きにしてランプ盤によりスラ
イダーブランク材の端部の傾斜面を研摩する。このよう
にしてスライダーの浮上面の研摩並びに傾斜面の研摩を
することができる。 従って、従来にくらべてスライダーの加工時間を大幅に
短縮し、かつ同一治具上で研摩作業を全て行うことがで
きるので、常に加工基準面が確保され、加工精度を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例による磁気ヘットスライダー
の研摩治具の平面図、第２図は第１図の研摩治具の固定
台座を示す拡大斜視図、第３図は第１図の研摩治具の固
定台座にスライダーブランク材を載せた状態を示す断面
図、第４図は第３図の固定台座にスライダーブランク材
を固定させた状態を示す拡大断面図、第５図は第１図の
研摩治具にスライダーブランク材を固定した状態を示す
平面図、第６図は第５図の研摩治具によるスライダー浮
上面の研磨方法を示す断面図、第７図はこの発明の実施
例の研磨方法に用いる研摩治具にスライダーブランク材
及びダミー短冊を固定した状態を示す平面図、第８図は
この発明の実施例によるスライダー傾斜面の研摩方法を
示す断面図、第９図は従来の磁気ヘッドスライダーの研
摩治具の平面図、第１０図は第９図の研摩治具によるス
ライダー浮上面の研摩方法を示す構成間、第１１図はス
ライダーの斜視図である。 Ｉ：台盤、２：固定台座、３：ダイヤフラム、４：油管
路、５：調整ねし、６：砥石逃げみそ、８ニスライダー
ブランク材、８ａニスライダー、８ｂニスライダ一浮上
面、８ｂニスライ′ダ一傾斜面、８ｄ：みぞ、９：キャ
ビティ、１４：う、ブ定盤、１７：ダミー短冊、１９：
研摩治具。 第９図 、】３ 第１０図 −寸 ）　　　　　　” ｒ〈〉 市　　　　　　　− 区ト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）円筒形の台盤の外周付近に、３以上の奇数を２倍し
   た数に等分に前記台盤の外周を分割する位置に配置され
   た複数の固定台座と、このそれぞれの固定台座に備えた
   スライダーブランク材固定面と、このスライダーブラン
   ク材固定面に穿った複数のキャビティと、このキャビテ
   ィを塞ぐダイヤフラムと、前記キャビティに連通する油
   管路と、この油管路内の油封入部の容積を調整する調整
   ねじと、前記固定台座に刻まれたスライダー切断時のピ
   ッチに合わせた複数の砥石逃げ溝とを設けたことを特徴
   とする磁気ヘッドスライダーの研摩治具。 ２）請求項１記載の磁気ヘッドスライダーの研摩治具の
   複数の固定台座のうち、その半数に等分に台盤を分割す
   る位置の固定台座に、研摩すべきスライダーブランク材
   を固定し、このスライダーブランク材を固定した固定台
   座に対向する固定台座の１つに、前記スライダーブラン
   ク材よりも厚いダミー短冊を取り付け、前記台盤を下向
   きにして、ラップ盤により前記スライダー傾斜面を研摩
   することを特徴とする磁気ヘッドスライダーの研摩方法
   。