JPH07176662A - 沸騰冷却装置 - Google Patents

沸騰冷却装置

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JPH07176662A
JPH07176662A JP5322350A JP32235093A JPH07176662A JP H07176662 A JPH07176662 A JP H07176662A JP 5322350 A JP5322350 A JP 5322350A JP 32235093 A JP32235093 A JP 32235093A JP H07176662 A JPH07176662 A JP H07176662A
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heat
boiling cooling
boiling
refrigerant
cooling device
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清司 川口
Manji Suzuki
万治 鈴木
Takashi Furukawa
隆 古川
Masahiko Suzuki
鈴木  昌彦
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    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F28D15/00Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28HEAT EXCHANGE IN GENERAL
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    • F28F3/00Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
    • F28F3/02Elements or assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with recesses, with corrugations
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    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱交換器内に伝熱面積を増加させる凝縮促進
手段を取り付けることにより、放熱特性を低下させずに
小型化が可能となる沸騰冷却装置を得る。 【構成】 被冷却槽20の中に発熱体である半導体素子
70がセットされ、この半導体素子70を浸すのに充分
な量の冷媒60が注入されている。冷却槽20の上部に
は、偏平断面を持つアルミ製のチューブ102が一方の
開口面を下にし、他方の開口面を密閉して、冷却槽20
と一体気密構造となるように付けられている。そして冷
却槽20の側面にはアルミ製のコルゲートフィン101
が接続され、放熱部である熱交換器10が構成されてい
る。また熱交換器10の内部には、波状のインナーフィ
ン140が配置されている。これにより熱交換器10の
内部表面積を増加させるだけでなく、液膜150の成長
を抑制することができ、液膜150での熱抵抗を低減で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、発熱した半導体素子等
の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来電気機器等の半導体素子の冷却方法
として、冷媒を用いて冷却を行う沸騰冷却装置がある。
図18は、特開昭56−147457号公報に開示され
た従来の沸騰冷却装置を示す図である。この図におい
て、素子ケース部1と熱交換器2が熱輸送管3A,3B
によって接続されており、その作用は次の通りである。
つまり、半導体素子4Aが発熱して冷却媒体8を沸騰さ
せると、冷却媒体8は蒸気になって上昇し熱輸送管3A
を経て熱交換器2に移動する。熱交換器2に達した蒸気
はフィンチューブ2Aに分配され、外部冷却によって凝
縮して熱輸送管3Bに達し、再び素子ケース1に戻る。
このようなサイクルによって、半導体素子は冷却され
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図18
に示したような沸騰冷却装置は、蒸気になった冷却媒体
8が直接熱交換器2内壁に熱を伝えて冷却される構造と
なっているため、その熱伝達効率は熱交換器2の内壁の
面積に依存する。従って装置を小型化しようとすると、
放熱特性は悪化してしまうという問題があった。
【0004】そこで本発明は上記問題に鑑みたものであ
り、熱交換器内に冷媒から熱交換器への放熱を促進させ
る凝縮促進手段を取り付けることにより上記問題を解決
する沸騰冷却装置を得ることを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に構成された本発明の沸騰冷却装置は、電気回路等で用
いられ、駆動することにより余分な熱を発生する発熱体
と、前記発熱体の発する熱を吸収し、その熱によって気
化する冷媒と、前記冷媒を入れる冷却槽と、一方の開口
面が前記冷却槽に取り付けられるとともに、他方の開口
面が密閉して取り付けられ、前記気化して上昇して来る
冷媒を冷却液化して前記冷却槽に戻す筒状の放熱部と、
前記放熱部内に接して形成され、前記冷媒から前記放熱
部への放熱を高める凝縮促進手段とを備えることを特徴
としている。
【0006】なお、前記凝縮促進手段は上下に複数に分
割されていたり、穴が形成されていたりすることが好ま
しい。
【0007】
【作用】上記構成の本発明によれば、発熱体が電気回路
等において駆動し、それにより余分な熱を発生する。発
熱体において発生した熱は冷媒に吸収され、冷媒を沸騰
気化させる。発生した冷媒の蒸気は熱サイフォン効果に
よって放熱部内を上昇し、放熱部内面に接して配置され
た凝縮促進手段に熱を伝え、冷却されて再び液化する。
液化した冷媒は重力により下方に垂れ、下部の冷却槽に
戻る。よって発熱体で発生した余分な熱は、冷媒、熱吸
収手段、放熱部を伝って大気に放出される。また凝縮促
進手段を付けることで放熱部内の熱を伝達する面積が増
加する。またこのように面積が増加することで、冷却液
化して下降して来る冷媒の単位面積当たりの液膜厚を全
体的に薄くする。
【0008】さらに、凝縮促進手段を上下に複数に分割
したり穴を形成したりすることにより、液膜成長を防止
し最大液膜厚をさらに薄くする。
【0009】
【発明の効果】以上の作用を有する本発明によれば、放
熱部内に接して凝縮促進手段を配置することにより、実
質的に放熱部内の放熱面積が増加する。これにより、沸
騰気化して上昇して来る冷媒の単位体積当たりの伝熱面
積が増加し、放熱特性を向上させることができる。また
冷却液化して下降して来る冷媒の単位面積当たりの液膜
厚を全体的に薄くすることで、液膜の熱抵抗の増大によ
る放熱特性低下を防止でき、熱伝達効率を高めることが
できる。さらに液膜成長を防止することにより最大液膜
厚を薄くして液膜の熱抵抗を小さくできる。これによ
り、放熱特性を低下せずに装置全体の小型化が実現でき
る。
【0010】
【実施例】
(第1実施例)以下本発明の第1実施例の沸騰冷却装置
を図面に基づき説明する。図1(a)は本発明の第1実
施例による沸騰冷却装置を電気自動車用の沸騰冷却装置
に用いた場合の概略図である。概略的には圧延鋼板製の
冷却槽20(冷却槽)の中に被冷却物である半導体素子
70(発熱体)がマウントされており、この半導体素子
70を浸すのに充分な量のフロロカーボン系の冷媒60
が注入されている。また冷却槽20の壁面に複数の気密
端子50が取り付けられ、半導体素子70に配線されて
いる。冷却槽20の上部には、偏平断面を持つアルミ製
のチューブ102が一方の開口面を下にし、他方の開口
面を密閉して、冷却槽20と一体気密構造となるように
付けられている。そして冷却槽20の側面にはアルミ製
のコルゲートフィン101が接続され、熱交換器10
(放熱部)が構成されている。また熱交換器10の内部
には、熱交換器10の内部表面積を増加させるインナー
フィン140(凝縮促進手段)がろう付等で取り付けら
れている。図1(b)は熱交換器10の概略図である。
本実施例では、インナーフィン140は上部から見て波
型になるように構成されている。
【0011】このような構成において、半導体素子70
は気密端子50を通して気密状態で通電され、素子の電
力ロス分を発熱する。半導体素子70において発生した
熱は周囲の冷媒60に吸収され、冷媒60を沸騰させ
る。発生した冷媒60の蒸気は熱サイフォン効果によっ
てチューブ102内を上昇し、インナーフィン140及
びチューブ102に熱を伝えて冷却され、再び液化す
る。液化した冷媒60は重力により下部の冷却槽20に
戻る。よって半導体素子70で発生した熱は、冷媒6
0、インナーフィン140、チューブ102、コルゲー
トフィン101を伝って大気に放出される。
【0012】従って本実施例では、インナーフィン14
0によって熱交換器10の伝熱面積を実質的に増加させ
たことにより、熱伝達効率を高めることができる。また
面積の増加により、冷却液化して下降して来る冷媒20
の液膜(図1(a)中の150)を均等に薄くすること
ができる(同量の冷媒20を降下させる場合、広面積な
程、単位面積当たりの冷媒量は減少する)ため、液膜の
熱抵抗の増大による放熱特性低下を防止でき、さらに熱
伝達効率を高めることができる。従って放熱特性を向上
しつつ装置全体の小型化が実現できる。
【0013】ここで本実施例において、チューブ102
を冷却槽20と一体化にしたことにより、従来の循環式
に比べ冷媒の冷却液槽から気化、液化して再び冷却槽に
至る経路が短いため、液面の変化を小さく抑えることが
でき、また冷媒の量も減少できる。またチューブ102
を偏平としたことで、その平面部に冷却フィンを簡単に
取り着けることができ、しかもフィンは通風時に熱伝達
率が非常に高いコルゲートフィン101を用いているた
め、小型で高い冷却性能を得ることができる。一般的に
高い冷却性能を得るために強制冷却用の送風ファンを用
いるが、本実施例の沸騰冷却装置においては偏平チュー
ブを使用しているため、同じ断面積を持つ円管チューブ
に比べて送風時の空気抵抗が減少でき、送風ファンも小
型小電力の物を用いるだけでさらに高い冷却性能を得る
ことができる。このことは、消費電力や車体重量によっ
て走行距離が大きく変わる電気自動車に対して大きな利
点となる。
【0014】(第2実施例)以下に本発明の第2実施例
である沸騰冷却装置を図面を用いて説明する。図2は本
発明の第2実施例の沸騰冷却装置を示す図である。この
図において図1の沸騰冷却装置と異なるのは、熱交換器
10内部に形成されたインナーフィン140が、縦方向
に複数に分割されていることである。また図3は熱交換
器10の概略図である。
【0015】このようにインナーフィン140を分割す
ることにより、液膜の成長を抑制することができる。図
4は沸騰気化して上昇した冷媒60の蒸気が、インナー
フィン140に接触して非常に薄い液膜150を形成し
た様子を示す図である。この場合冷媒60は粘性力と重
力が釣り合った状態で下方に流下する。その途中におい
ても次々と蒸気が凝縮していくので、液膜150の厚さ
は下方に行く程徐々に厚くなる。前述のようにこの液膜
150は、蒸気からインナーフィン140への熱伝達に
対して抵抗となる。ところが図4のようにインナーフィ
ン140を分割することにより、液膜が成長する前に再
び雫状になるので液膜を全体的に薄くすることができ
る。
【0016】従って液膜の熱抵抗の増大による放熱特性
低下を防止でき、伝熱面積も増加することでさらに熱伝
達効率を高めることができる。よって放熱特性を向上し
つつ装置全体の小型化が実現できる。 (第3実施例)以下に本発明の第3実施例である沸騰冷
却装置を図面を用いて説明する。図5は本発明の第3実
施例の沸騰冷却装置を示す図である。この図において図
1の沸騰冷却装置と異なるのは、熱交換器10内部に形
成されたインナーフィン140が縦方向に複数に分割さ
れており、その分割されたインナーフィン140の山と
谷が、隣会う(真下の)他のインナーフィン140の山
と谷とそれぞれずらされて配置されていることである。
【0017】図6は分割したインナーフィン140を上
から見た様子を示す図である。図6(a)は隣会うイン
ナーフィン140のピッチlが同じで、その配置が異な
る場合である。また図6(b)は隣会うインナーフィン
140のピッチl1 ,l2 が異なる場合である。このよ
うに分割したインナーフィン140を徐々にずらして配
置することにより、冷却液化してインナーフィン140
を伝って降下する雫状の冷媒60が直下のインナーフィ
ン140に付着して下のインナーフィン140において
液膜が成長してしまうという現象を抑制することができ
る。従って液膜の熱抵抗の増大による放熱特性低下を防
止でき、さらに熱伝達効率を高めることができる。よっ
て放熱特性を向上しつつ装置全体の小型化が実現でき
る。
【0018】(第4実施例)以下に本発明の第4実施例
である沸騰冷却装置を図面を用いて説明する。図7は本
発明の第4実施例の沸騰冷却装置を示す図である。この
図において図1の沸騰冷却装置と異なるのは、熱交換器
10内部に形成されるインナーフィン140をコルゲー
ティッドルーバフィンで形成することである。
【0019】図7のように構成することにより、沸騰気
化して上昇して来る冷媒60がインナーフィン140の
穴を通り抜け易くなる。これにより熱交換器10内で蒸
気の拡散が起こり、熱交換器10内の熱の偏りを防止す
ることができる。またコルゲーティッドルーバフィンの
ルーバにより図4(b)と同様に液膜の成長を抑制する
ことができ、液膜の熱抵抗の増大による放熱特性低下を
防止できる。
【0020】上述のように本実施例では、熱を効率良く
インナーフィン140で吸収できるため、放熱特性を向
上しつつ装置全体の小型化が実現できる。また上記実施
例と同様に熱交換器10の伝熱面積を実質的に増加させ
たことにより、冷却液化して下降して来る冷媒60の液
膜を均等に薄くすることができるため、液膜の熱抵抗の
増大による放熱特性低下を防止でき、熱伝達効率を高め
ることができる。
【0021】また本実施例では図8のように、熱交換器
10内部に形成されたインナーフィン140を、縦方向
に複数に分割しても良い。このようにインナーフィン1
40を分割することにより、さらに液膜を全体的に薄く
することができ、液膜の熱抵抗の増大による放熱特性低
下を防止してさらに熱伝達効率を高めることができる。
【0022】(第5実施例)以下に本発明の第5実施例
である沸騰冷却装置を図面を用いて説明する。図9は本
発明の第5実施例の沸騰冷却装置を示す図である。この
図において図1の沸騰冷却装置と異なるのは、熱交換器
10内部に形成されるインナーフィン140の片面に穴
部を形成したことである。
【0023】このようにすることにより、液膜の成長を
抑制することができる。すなわち、液膜が成長する前に
再び雫状になるので液膜を全体的に薄くすることがで
き、液膜の熱抵抗の増大による放熱特性低下を防止して
さらに熱伝達効率を高めることができる。よって放熱特
性を向上しつつ装置全体の小型化が実現できる。本実施
例において、穴部は図9に示すように略方形状でも良い
し、略円状等としても良い。また図10に示すようにイ
ンナーフィン140の両面に交互に穴部を形成しても良
い。これにより、液膜の成長を抑制するだけでなく、熱
交換器10内で蒸気の拡散により、熱交換器10内の熱
の偏りを防止することができる。従って、放熱特性を向
上しつつ装置全体の小型化が実現できる。なお、穴部は
図10に示したように両面に交互に形成することによ
り、穴部のピッチも短くでき、さらに液膜の成長を抑制
することができる。
【0024】(第6実施例)以下に本発明の第6実施例
である沸騰冷却装置を図面を用いて説明する。図11は
本発明の第6実施例の沸騰冷却装置を示す図である。こ
の図において図1の沸騰冷却装置と異なるのは、熱交換
器10内部に形成される凝縮促進手段として、切り込み
形成したルーバを有する板状部材を用いたことである。
また図12は熱交換器10の概略図である。
【0025】本実施例において、ルーバ上に付着した冷
媒60はチューブ102の中央部に落下するために液膜
の成長が抑制されるため、液膜の熱抵抗の増大による放
熱特性低下を防止してさらに熱伝達効率を高めることが
できる。これにより放熱特性を向上しつつ装置全体の小
型化が実現できる。 (第7実施例)以下に本発明の第7実施例である沸騰冷
却装置を図面を用いて説明する。図13は本発明の第7
実施例の沸騰冷却装置を示す図である。上記第1〜第6
実施例では、一本のチューブ102から成る熱交換器1
0を有する直接冷却方式の沸騰冷却装置を用いてその作
用効果を説明したが、本発明は図13のように複数のチ
ューブ102を並列接続した熱交換器10を有する間接
冷却方式の沸騰冷却装置に適用しても良い。この図にお
いて本実施例における沸騰冷却装置は、熱交換器10、
インナーフィン140、コルゲートフィン101、冷却
槽20、冷媒60、パワーパック110よりなる。冷却
槽20の内部には冷媒60が封入されている。熱交換器
10とパワーパック110はOリング130を介してボ
ルト133にて取り付けられている。ここで放熱面11
1は銅等の熱伝導性の良い材質であり、冷媒60は水で
ある。コルゲートフィン101は熱交換器10に接着固
定されている。パワーパック110の中にはシリコンゲ
ル114が半導体素子70を保護するために充填されて
いる。図13に示すように熱交換器10は、冷媒60が
銅板113の放熱面111からの熱を吸収するようにパ
ワーパック110の上方に配される。コルゲートフィン
101は熱交換器10の伝熱面積を拡大し、かつコルゲ
ートフィン101の前縁効果により放熱効率を良くする
ものである。またインナーフィン140は図1(b)の
ようなフィンを用いても良いし、図7のようなコルゲー
ティッドルーバフィンを用いても良い。
【0026】図13の側面図を図14に示す。本実施例
において、強制冷却ファンは軸流ファン302を使用
し、これによりコルゲートフィン101へ送風する。送
風方向は図示602に示すように吸い込んでもよいし、
また逆に送風してもよい。熱交換器10、コルゲートフ
ィンは前述のようにAl等の金属よりなる。低温での使
用に際しては、冷媒6に不凍液等を混ぜ凝固点を低くし
たり、第1から6実施例に示したようにフロロカーボン
等の流動点の低い液体を用いる。
【0027】このような構成において半導体素子70が
発熱すると、銅板113の放熱面111に熱が伝わり冷
媒60を沸騰気化させる。この時、冷媒60と放熱面1
11の間で沸騰による高効率な熱伝達が行われる。沸騰
時の熱伝達率は自然対流時の100〜1000倍にも達
する。冷媒60は水から蒸気に変化し、沸騰気化した蒸
気はチューブ102を上昇して通路内を循環する。蒸気
はチューブ102の内面のインナーフィン140及びチ
ューブ102に接触すると凝縮して水となり潜熱を放出
する。放出された熱はコルゲートフィン101へと伝わ
り、コルゲートフィンは軸流ファン302からの送風に
より冷却される。
【0028】従って本実施例においてもインナーフィン
140によって熱交換器10の伝熱面積を実質的に増加
させたことにより、熱伝達効率を高めることができる。
また面積の増加により、冷却液化して下降して来る冷媒
60の液膜を均等に薄くすることができるため、液膜の
熱抵抗の増大による放熱特性低下を防止でき、さらに熱
伝達効率を高めることができる。従って放熱特性を向上
しつつ装置全体の小型化が実現できる。
【0029】本実施例においては、図15に示したよう
にインナーフィン140を上下方向に分割しても良い。
前述のようにインナーフィン140を分割することによ
り、さらに液膜を全体的に薄くすることができ、液膜の
熱抵抗の増大による放熱特性低下を防止してさらに熱伝
達効率を高めることができる。なお図3,図5,図8,
図15においては、図16のようにインナーフィン14
0の下部の一部を削って尖らせることにより、インナー
フィン140に付着した冷媒60が雫状になり易くな
り、下方に流下しやすくなる。これにより液膜の成長を
さらに抑制することができる。また、上記第1〜第7実
施例で、チューブ102内表面及びインナーフィン14
0の表面に金・銀・クロム等の貴金属類をめっきするこ
とにより、液膜を形成する膜状凝縮ではなく液滴を生じ
させる滴状凝縮が起こり易くなり、熱伝達率を大幅に向
上させることができる。そしてインナーフィン140は
波型に限られた訳ではなく、例えば図17に示すように
略方形状としても良い。
【0030】なお本発明は電気自動車に限られたもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば、構
成または形状を任意に変更して、他の電力用半導体素子
または発熱素子等の発熱体に対して実施できるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の第1実施例における沸騰冷
却装置を示す図である。(b)は、図1(a)に示す沸
騰冷却装置の熱交換器を示す図である。
【図2】本発明の第2実施例における沸騰冷却装置を示
す図である。
【図3】図2に示す沸騰冷却装置の熱交換器を示す図で
ある。
【図4】(a)と(b)は図2に示す沸騰冷却装置にお
けるインナーフィン上の液膜の様子を示す図である。
【図5】本発明の第3実施例における沸騰冷却装置を示
す図である。
【図6】(a)と(b)は図5に示す沸騰冷却装置にお
けるインナーフィンを上から見た図である。
【図7】本発明の第4実施例における沸騰冷却装置を示
す図である。
【図8】本発明の一実施例である沸騰冷却装置を示す図
である。
【図9】本発明の第5実施例における沸騰冷却装置を示
す図である。
【図10】本発明の一実施例である沸騰冷却装置を示す
図である。
【図11】本発明の第6実施例における沸騰冷却装置を
示す図である。
【図12】図9に示す沸騰冷却装置の熱交換器を示す図
である。
【図13】本発明の第7実施例である沸騰冷却装置を示
す図である。
【図14】図16に示す沸騰冷却装置を横から見た図で
ある。
【図15】本発明の一実施例である沸騰冷却装置を示す
図である。
【図16】本発明の第8実施例における沸騰冷却装置を
示す図である。
【図17】本発明の一実施例である沸騰冷却装置を示す
図である。
【図18】従来の沸騰冷却式半導体装置を示す図であ
る。
【符号の説明】
10 熱交換器(放熱部) 101 コルゲートフィン 102 チューブ 110 パワーパック 111 放熱面 113 銅板 114 シリコンゲル 130 Oリング 133 ボルト 140 インナーフィン(凝縮促進手段) 150 液膜 20 冷却槽 302 軸流ファン 50 気密端子 60 冷媒 602 熱流 70 半導体素子(発熱体)
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年12月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】ここで本実施例において、チューブ102
を冷却槽20と一体化にしたことにより、従来の循環式
に比べ冷媒の冷却液槽から気化、液化して再び冷却槽に
至る経路が短いため、液面の変化を小さく抑えることが
でき、また冷媒の量も減少できる。またチューブ102
を偏平としたことで、その平面部に冷却フィンを簡単に
取り着けることができ、しかもフィンは通風時に熱伝達
率が非常に高いコルゲートフィン101を用いているた
め、小型で高い冷却性能を得ることができる。一般的に
高い冷却性能を得るために強制冷却用の送風ファンを用
いるが、本実施例の沸騰冷却装置においては偏平チュー
ブを使用しているため、同じ断面積を持つ円管チューブ
に比べて送風時の空気抵抗が減少でき、送風ファンも小
型小電力の物を用いるだけでさらに高い冷却性能を得る
ことができる。このことは、消費電力や車体重量によっ
て走行距離が大きく変わる電気自動車に対して大きな利
点となる。また、本実施例の沸騰冷却装置の熱交換器1
0を製作するにおいて、インナーフィン140が挿入さ
れていない場合には、チューブ102は薄肉であるため
に反りを生じやすく、コルゲートフィン101とチュー
ブ102とのろう付がうまく行えない場合がある。しか
し、本実施例における様にインナーフィン140が挿入
されている場合には、チューブ102は反りを生じにく
く、コルゲートフィン101とチューブ102とのろう
付がし易いという効果を有する。さらに、装置作動中の
圧力変動に対しても、チューブ102内に配置されたイ
ンナーフィン140が補強材の役割を果たし、耐圧性が
向上するという効果も有する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古川 隆 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 鈴木 昌彦 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気回路等で用いられ、駆動することに
    より余分な熱を発生する発熱体と、 前記発熱体の発する熱を吸収し、その熱によって気化す
    る冷媒と、 前記冷媒を入れる冷却槽と、 一方の開口面が前記冷却槽に取り付けられるとともに、
    他方の開口面が密閉して取り付けられ、前記気化して上
    昇して来る冷媒を冷却液化して前記冷却槽に戻す筒状の
    放熱部と、 前記放熱部内に接して形成され、前記冷媒から前記放熱
    部への放熱を高める凝縮促進手段とを備えることを特徴
    とする沸騰冷却装置。
  2. 【請求項2】 前記凝縮促進手段は、前記放熱部内の内
    面積を増加させ、沸騰気化して上昇した前記冷媒から熱
    を吸収し易くする構造であることを特徴とする請求項1
    記載の沸騰冷却装置。
  3. 【請求項3】 前記凝縮促進手段はフィンであることを
    特徴とする請求項1乃至請求項2記載の沸騰冷却装置。
  4. 【請求項4】 前記凝縮促進手段は上下に複数に分割さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至請求項3記載の
    沸騰冷却装置。
  5. 【請求項5】 前記凝縮促進手段は波型部材で構成され
    ていることを特徴とする請求項1乃至請求項4記載の沸
    騰冷却装置。
  6. 【請求項6】 前記波型部材の凹凸溝部は前記放熱部の
    筒状長手方向に延びていることを特徴とする請求項5記
    載の沸騰冷却装置。
  7. 【請求項7】 前記凝縮促進手段は波型部材で構成され
    ており、その分割された前記波型部材の山と谷が、隣会
    う他の前記波型部材の山と谷とそれぞれずらされて配置
    されていることを特徴とする請求項4乃至請求項6記載
    の沸騰冷却装置。
  8. 【請求項8】 前記凝縮促進手段は、下端部の一部が他
    部よりも下にある構造とし、前記放熱部内に付着した前
    記冷媒を前記冷却槽に戻り易くする構造であることを特
    徴とする請求項1乃至請求項7記載の沸騰冷却装置。
  9. 【請求項9】 前記凝縮促進手段は、切り起こし形成さ
    れたルーバ部が設けられていることを特徴とする請求項
    1乃至請求項8記載の沸騰冷却装置。
  10. 【請求項10】 前記凝縮促進手段は、切り起こし形成
    されたルーバ部が設けられるともに前記ルーバ部の開放
    端側が他端側よりも下にある構造とし、前記放熱部内に
    付着した前記冷媒を前記冷却槽に戻り易くする構造であ
    ることを特徴とする請求項1乃至請求項9記載の沸騰冷
    却装置。
  11. 【請求項11】 前記凝縮促進手段は、穴が形成されて
    いることを特徴とする請求項1乃至請求項10記載の沸
    騰冷却装置。
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