JPH0720102Y2 - 円板移し替え装置 - Google Patents
円板移し替え装置Info
- Publication number
- JPH0720102Y2 JPH0720102Y2 JP1031187U JP1031187U JPH0720102Y2 JP H0720102 Y2 JPH0720102 Y2 JP H0720102Y2 JP 1031187 U JP1031187 U JP 1031187U JP 1031187 U JP1031187 U JP 1031187U JP H0720102 Y2 JPH0720102 Y2 JP H0720102Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- disk
- transfer section
- disc
- discs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は円板移し替え装置、特に、トレーに収納された
円板を他のトレーに移し替える円板移し替え装置に関す
る。
円板を他のトレーに移し替える円板移し替え装置に関す
る。
従来、円板を対象とした製造ライン、例えば磁気ディス
ク板の製造ラインでは、多数枚の磁気ディスク基板を収
納したトレーを用いて、磁気ディスク基板の各工程間の
受渡しや各種製造装置への供給、取出しを行っている。
また、各工程の終了後に、以後の工程条件に対応してト
レーを別種類のトレーに交換することも行われている。
ク板の製造ラインでは、多数枚の磁気ディスク基板を収
納したトレーを用いて、磁気ディスク基板の各工程間の
受渡しや各種製造装置への供給、取出しを行っている。
また、各工程の終了後に、以後の工程条件に対応してト
レーを別種類のトレーに交換することも行われている。
このようなトレーの交換において、基板を移し替える前
後のトレー間で、収納間隔が等しい場合は、従来の一般
的な移し替え装置で実施していたが、基板の収納間隔が
異なる場合や、前トレーで基板が歯抜け状態の場合や、
収納形態を変更する場合には、それに対応して処理でき
る装置がなくトレーからの円板の移し替えは作業者が簡
易的な挾み治具を使用したり、手で直接挾んで取り出し
ていた。
後のトレー間で、収納間隔が等しい場合は、従来の一般
的な移し替え装置で実施していたが、基板の収納間隔が
異なる場合や、前トレーで基板が歯抜け状態の場合や、
収納形態を変更する場合には、それに対応して処理でき
る装置がなくトレーからの円板の移し替えは作業者が簡
易的な挾み治具を使用したり、手で直接挾んで取り出し
ていた。
上述した従来の円板移し替え装置は移し替え作業に長時
間を要するだけでなく、前トレーからの基板の取出し並
びに後トレーへ収納する際に隣合う基板同志の接触や収
納箇所への落下を引きや起こすことがあり、この場合に
基板の表面や外周端部に傷を発生させるという欠点があ
った。
間を要するだけでなく、前トレーからの基板の取出し並
びに後トレーへ収納する際に隣合う基板同志の接触や収
納箇所への落下を引きや起こすことがあり、この場合に
基板の表面や外周端部に傷を発生させるという欠点があ
った。
本考案の円板移し替え装置は、複数枚の円板を一定の間
隔をもってその同軸心上で縦状態に並べて収納した第一
トレーと、前記第一トレーを所定の位置で搭載し前記円
板の軸心方向に移動可能な第一テーブルと前記第一テー
ブルを駆動する第一制御電動機とから成る第一トレー搬
送部と、前記第一トレーと異なる一定の間隔で前記円板
を収納し得る第二トレーと、前記第一トレー搬送部と平
行に設置され前記第二トレーを搭載し前記円板の軸心方
向に移動可能で、かつ前記第一テーブルと送りピッチが
相違する第二テーブルと前記第二テーブルを駆動する第
二制御電動機とから成る第二トレー搬送部と、前記第一
トレー搬送部及び第二トレー搬送部の上方に設置され前
記第一トレーに収納した前記円板を取り出し、前記第二
トレーに移送して収納するハンドラーと、前記ハンドラ
ーに依って前記第一トレーから取り出されるべき前記円
板の有無を検出する検出器と、前記第一トレーから取り
出した前記円板を前記第二トレーに収納する順序を指定
する収納順序指令制御部と、前記第一トレー搬送部と第
二トレー搬送部及び前記ハンドラーを所定の順序で動作
させる動作制御部とを含んで構成される。
隔をもってその同軸心上で縦状態に並べて収納した第一
トレーと、前記第一トレーを所定の位置で搭載し前記円
板の軸心方向に移動可能な第一テーブルと前記第一テー
ブルを駆動する第一制御電動機とから成る第一トレー搬
送部と、前記第一トレーと異なる一定の間隔で前記円板
を収納し得る第二トレーと、前記第一トレー搬送部と平
行に設置され前記第二トレーを搭載し前記円板の軸心方
向に移動可能で、かつ前記第一テーブルと送りピッチが
相違する第二テーブルと前記第二テーブルを駆動する第
二制御電動機とから成る第二トレー搬送部と、前記第一
トレー搬送部及び第二トレー搬送部の上方に設置され前
記第一トレーに収納した前記円板を取り出し、前記第二
トレーに移送して収納するハンドラーと、前記ハンドラ
ーに依って前記第一トレーから取り出されるべき前記円
板の有無を検出する検出器と、前記第一トレーから取り
出した前記円板を前記第二トレーに収納する順序を指定
する収納順序指令制御部と、前記第一トレー搬送部と第
二トレー搬送部及び前記ハンドラーを所定の順序で動作
させる動作制御部とを含んで構成される。
次に、本考案の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本考案の一実施例を示す斜視図である。
円板１を第一トレー２から第二トレー11へ移し替えを行
う場合、第一トレー２は円板１の収納間隔をPmmで収納
するものとし、第二トレー11の収納間隔は第一トレー２
の２倍の間隔、すなわち（２×Ｐ）mmとした。
う場合、第一トレー２は円板１の収納間隔をPmmで収納
するものとし、第二トレー11の収納間隔は第一トレー２
の２倍の間隔、すなわち（２×Ｐ）mmとした。
本実施例は、第一トレー２を搭載し、円板１の軸心方向
（これをＸ方向とする。）に移動可能な第一テーブル４
とこの第一テーブル４を駆動する第一制御電動機８とか
ら成る第一トレー搬送部10と、第一トレー搬送部10と平
行に設置され、第二トレー11を搭載し、円板１の軸心方
向に移動可能で、かつ第一テーブル４と送りピッチが相
違する第二テーブル13と第二テーブル13を駆動する第二
制御電動機17とから成る第二トレー搬送部19と、第一ト
レー搬送部10及び第二トレー搬送部19との上方に設置さ
れ、第一トレー２に収納した円板１を取り出し、第二ト
レー11に移送して収納するハンドラー32と、ハンドラー
32の作用に依って第一トレー２から取り出されるべき円
板１の有無を検出する透過方式光電センサーの投光器2
0、受光器21と、第一トレー２から取り出した円板１を
第二トレー11に収納する順序形態を設定する収納順序指
令制御部33と、前記の各部を所定の順序で動作させる動
作制御部（図示せず。）とを含んで構成される。
（これをＸ方向とする。）に移動可能な第一テーブル４
とこの第一テーブル４を駆動する第一制御電動機８とか
ら成る第一トレー搬送部10と、第一トレー搬送部10と平
行に設置され、第二トレー11を搭載し、円板１の軸心方
向に移動可能で、かつ第一テーブル４と送りピッチが相
違する第二テーブル13と第二テーブル13を駆動する第二
制御電動機17とから成る第二トレー搬送部19と、第一ト
レー搬送部10及び第二トレー搬送部19との上方に設置さ
れ、第一トレー２に収納した円板１を取り出し、第二ト
レー11に移送して収納するハンドラー32と、ハンドラー
32の作用に依って第一トレー２から取り出されるべき円
板１の有無を検出する透過方式光電センサーの投光器2
0、受光器21と、第一トレー２から取り出した円板１を
第二トレー11に収納する順序形態を設定する収納順序指
令制御部33と、前記の各部を所定の順序で動作させる動
作制御部（図示せず。）とを含んで構成される。
更に詳しく説明すると、第一トレー搬送部10の第一テー
ブル４は、その下面側ではナット６を介して第一制御電
動機８の出力軸に固定された送りネジ７と連結してお
り、上面側では第一トレー２の底面の縦寸法及び横寸法
より微少な間隔を生じる距離に固定された位置決め用の
ブロック5a、5b、5c、5dを有する。
ブル４は、その下面側ではナット６を介して第一制御電
動機８の出力軸に固定された送りネジ７と連結してお
り、上面側では第一トレー２の底面の縦寸法及び横寸法
より微少な間隔を生じる距離に固定された位置決め用の
ブロック5a、5b、5c、5dを有する。
第二トレー搬送部19は、第一トレー搬送部10と類似の構
造を有し、搭載する第二トレー11の寸法に関連する箇所
と送りピッチのみ相違している。ハンドラー32は、第一
トレー搬送部10と第二トレー搬送部19との間をガイド23
を案内にして、進退用エアーシリンダー24でＸ方向と直
角方向（これをＹ方向とする。）に前後移動するプレー
ト22と、そのプレート22の上下方向のガイド26を介して
取り付けられ、昇降用エアーシリンダー27で上下動させ
られるヘッダー25と、そのヘッダー25の突出部28の先端
に円板１の外形よりわずかに大きな間隔を置いて設けら
れた相対向する一対の指29a、29bと、その指29a、29bを
開閉する駆動源30a、30bとから成っている。
造を有し、搭載する第二トレー11の寸法に関連する箇所
と送りピッチのみ相違している。ハンドラー32は、第一
トレー搬送部10と第二トレー搬送部19との間をガイド23
を案内にして、進退用エアーシリンダー24でＸ方向と直
角方向（これをＹ方向とする。）に前後移動するプレー
ト22と、そのプレート22の上下方向のガイド26を介して
取り付けられ、昇降用エアーシリンダー27で上下動させ
られるヘッダー25と、そのヘッダー25の突出部28の先端
に円板１の外形よりわずかに大きな間隔を置いて設けら
れた相対向する一対の指29a、29bと、その指29a、29bを
開閉する駆動源30a、30bとから成っている。
ヘッダー25の原点状態は、“上昇”位置、及び第一トレ
ー２の上下位置、つまり“前”位置であり、指29a、29b
の原点状態は、“開”状態である。
ー２の上下位置、つまり“前”位置であり、指29a、29b
の原点状態は、“開”状態である。
投光器20と受光器21との設置場所は、取り出されるべき
収納位置に円板１が有った場合に、投光器20からの発光
が円板１により遮断され、受光器21へ到達しない位置に
設ける。
収納位置に円板１が有った場合に、投光器20からの発光
が円板１により遮断され、受光器21へ到達しない位置に
設ける。
収納順序指令制御部33は、円板１を第二トレー11に収納
する状態、例えば“１枚置き収納”あるいは“全数収
納”などを指定する切替えスイッチ35を有する収納順序
設定器34に電気的に接続している。
する状態、例えば“１枚置き収納”あるいは“全数収
納”などを指定する切替えスイッチ35を有する収納順序
設定器34に電気的に接続している。
次に、本実施例の動作について説明する。
まず、円板１を収納した第一トレー２を第一テーブル４
のブロック5a、5b、5c、5d内に装着し、円板１を収納し
ていない第二トレー11を第二テーブル13のブロック14
a、14b、14c、14d内に装着する。
のブロック5a、5b、5c、5d内に装着し、円板１を収納し
ていない第二トレー11を第二テーブル13のブロック14
a、14b、14c、14d内に装着する。
次に切替えスイット34を操作し、第二トレー13への円板
１の収納状態を所望する形態に設定する。
１の収納状態を所望する形態に設定する。
次に本装置の起動スイッチ（図示せず。）を押し第二制
御電動機17を所定の回転数だけ作動せしめ、収納順序指
令制御部33で定められた円板１の収納位置まで第二テー
ブル13を送り、以下に述べる順序を順次に行う。
御電動機17を所定の回転数だけ作動せしめ、収納順序指
令制御部33で定められた円板１の収納位置まで第二テー
ブル13を送り、以下に述べる順序を順次に行う。
第二テーブル13の移動終了後、第二制御電動機８を所定
の回転数だけ作動せしめ、第一テーブル４を円板１の取
り出し位置まで送る。
の回転数だけ作動せしめ、第一テーブル４を円板１の取
り出し位置まで送る。
次に、第一テーブル４上に円板１の取り出し位置に円板
１が収納されているか否かを光電センサーの投光器20と
受光器21の作用で検出する。円板１が収納されている場
合には、第一テーブル４は停止を維持し、収納されてい
ない場合には、更に第一制御電動機８を作動せしめ、順
次に円板１の収納有無を検出しながら、円板１が収納さ
れている位置まで第一テーブル４を送る。
１が収納されているか否かを光電センサーの投光器20と
受光器21の作用で検出する。円板１が収納されている場
合には、第一テーブル４は停止を維持し、収納されてい
ない場合には、更に第一制御電動機８を作動せしめ、順
次に円板１の収納有無を検出しながら、円板１が収納さ
れている位置まで第一テーブル４を送る。
次に、昇降用エアーシリンダー27が下方向に作動し、ヘ
ッダー25を下降させる。
ッダー25を下降させる。
次に、駆動源30a、30bが作動し、指29a、20bを“開”状
態にし、円板１を挟持する。
態にし、円板１を挟持する。
次に、昇降用エアーシリンダー27が上方向に作動し、ヘ
ッダー25を上昇させ、続いて進退用エアーシリンダー24
が後方向に作動し、ヘッダー25を第二トレー11の上に移
動させる。
ッダー25を上昇させ、続いて進退用エアーシリンダー24
が後方向に作動し、ヘッダー25を第二トレー11の上に移
動させる。
次に、昇降用エアーシリンダー27が下方向に作動し、ヘ
ッダー25を下降させ、続いて駆動源30a、30bが作動し、
指29a、29bを“開”状態にし、円板１を離脱させ、第二
トレー11の収納溝12に円板１を収納する。
ッダー25を下降させ、続いて駆動源30a、30bが作動し、
指29a、29bを“開”状態にし、円板１を離脱させ、第二
トレー11の収納溝12に円板１を収納する。
次に、昇降用エアーシリンダー27が上方向に作動し、ヘ
ッダー25を上昇させ、続いて進退用エアーシリンダー24
が後方向に作動し、ヘッダー25を第一トレー２の上に移
動させる。
ッダー25を上昇させ、続いて進退用エアーシリンダー24
が後方向に作動し、ヘッダー25を第一トレー２の上に移
動させる。
以後、第二制御電動機17の作動から始まる前述の動作を
順次に行い、第一トレー２の円板１を第二トレー11に移
し替える。
順次に行い、第一トレー２の円板１を第二トレー11に移
し替える。
尚、第二トレー11での収納が全て終了した時には装置は
停止され、新規の第二トレー11を装着した後に再開始す
る。
停止され、新規の第二トレー11を装着した後に再開始す
る。
本考案の円板移し替え装置は、円板を移し替えるトレー
間で収納間隔が相違している場合や収納形態を変更する
場合にも円板の移し替えを自動的にできるため、円板の
移送中に円板同志が接触することや円板を落下させたり
することもない信頼性の高い円板移し替え装置を実現で
きるという効果がある。
間で収納間隔が相違している場合や収納形態を変更する
場合にも円板の移し替えを自動的にできるため、円板の
移送中に円板同志が接触することや円板を落下させたり
することもない信頼性の高い円板移し替え装置を実現で
きるという効果がある。
第１図は、本考案の位置実施例を示す斜視図である。 １……円板、２……第一トレー、４……第一テーブル、
10……第一トレー搬送部、11……第二トレー、13……第
二テーブル、19……第二トレー搬送部、20……投光器、
21……受光器、29a,29b……指、32……ハンドラー、33
……収納順序指令制御部。
10……第一トレー搬送部、11……第二トレー、13……第
二テーブル、19……第二トレー搬送部、20……投光器、
21……受光器、29a,29b……指、32……ハンドラー、33
……収納順序指令制御部。
Claims (1)
- 【請求項１】複数枚の円板を一定の間隔をもってその同
軸心上で縦状態に並べて収納した第一トレーと、前記第
一トレーを所定の位置で搭載し前記円板の軸心方向に移
動可能な第一テーブルと前記第一テーブルを駆動する第
一制御電動機とから成る第一トレー搬送部と、前記第一
トレーと異なる一定の間隔で前記円板を収納し得る第二
トレーと、前記第一トレー搬送部と平行に設置され前記
第二トレーを搭載し前記円板の軸心方向に移動可能で、
かつ前記第一テーブルと送りピッチが相違する第二テー
ブルと前記第二テーブルを駆動する第二制御電動機とか
ら成る第二トレー搬送部と、前記第一トレー搬送部及び
第二トレー搬送部の上方に設置され前記第一トレーに収
納した前記円板を取り出し、前記第二トレーに移送して
収納するハンドラーと、前記ハンドラーに依って前記第
一トレーから取り出されるべき前記円板の有無を検出す
る検出器と、前記第一トレーから取り出した前記円板を
前記第二トレーに収納する順序を指定する収納順序指令
制御部と、前記第一トレー搬送部と第二トレー搬送部及
び前記ハンドラーを所定の順序で動作させる動作制御部
とを含むことを特徴とする円板移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031187U JPH0720102Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 円板移し替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031187U JPH0720102Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 円板移し替え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63119537U JPS63119537U (ja) | 1988-08-02 |
| JPH0720102Y2 true JPH0720102Y2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=30796485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1031187U Expired - Lifetime JPH0720102Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 円板移し替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720102Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4538883B2 (ja) * | 2000-02-25 | 2010-09-08 | 株式会社ニコン | 平面基板観察装置 |
| WO2015033439A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 株式会社島津製作所 | 基板装着姿勢判定装置及び基板装着姿勢判定方法 |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP1031187U patent/JPH0720102Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63119537U (ja) | 1988-08-02 |
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