JPH07201925A - フィルムキャリアテープ - Google Patents

フィルムキャリアテープ

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JPH07201925A
JPH07201925A JP5338593A JP33859393A JPH07201925A JP H07201925 A JPH07201925 A JP H07201925A JP 5338593 A JP5338593 A JP 5338593A JP 33859393 A JP33859393 A JP 33859393A JP H07201925 A JPH07201925 A JP H07201925A
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    • H10W70/40Leadframes
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Abstract

(57)【要約】 【目的】封入後樹脂が未充填であったり、表面に気泡で
あるボイドと呼ばれる不良、インナリードと半導体チッ
プ電極間でのハガレやインナーリードの切断の不良を解
決することを目的とする。 【構成】搬送及び位置決めようのスプロケットを有する
ベースフィルム1上に半導体チップ10のパッド電極と
接続する為に形成された所望の形状リード配線を有する
フィルムキャリアテープにおいて、サスペンダーん5の
コーナー部4ヶ所の内、少なくとも1ヶ所以上、上下に
通じたスリット11を設ける。また、このスリットは形
状が、テープのスプロケット2側より、デバイスホール
3側になるにつれ、大きくなるハート型である。このス
リット形状を最適化し、チップサイズ・ピン数に対して
共用化をはかっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テープキャリアパッケ
ージ半導体装置において、特にフィルムキャリアテープ
の形状に関する。
【0002】
【従来の技術】図5に示すように従来のテープキャリア
パッケージに用いるフィルムキャリアテープは、搬送及
び位置決め用のスプロケットホール2と半導体チップ1
0と接合するための開口部であるデバイスホール3と例
えばプリント基板等に接合するアウターリード6B部に
設けるアウターリードホール4を有するポリイミド等の
ベースフィルム1上に銅箔等の金属箔を接着し、フォト
リソグラフィ技術により金属箔を選択的にエッチングし
て所望の形状のリード6と電気選別の為のテストパッド
7等を形成する。このフィルムキャリアテープのデバイ
スホール3とアウターリードホール4の間のベースフィ
ルムをサスペンダー5と呼び、アウターリードホール4
エッジから対向するアウターホールエッジまでの距離
(パッケージサイズと呼ぶ)や半導体チップ10のサイ
ズによって変化するデバイスホールサイズによって前記
サスペンダーの面積及びサスペンダー上のリード配線が
決定される。また、このサスペンダーが有ることによっ
てサスペンダー上のリード配線が決定される。また、こ
のサスペンダーが有ることによってサスペンダー上のリ
ードは固定されているのでリード曲がり等が発生しない
ため複雑な配線が可能となっている。このリード配線
は、ベースフィルム1上のリード6のエッチングを容易
にする為、このリード配線の線幅をできるだけ大きく
し、かつリードピッチを粗くするように可能な限り、広
げて配線する。
【0003】次に、このフィルムキャリアテープを用い
る組立は、図5(b)に示す如く、半導体チップ10に
電極上に形成されたバンプ8とインナリード6Aを接合
する。次いで半導体チップ10上に保護の為ポッティン
グ方式にて樹脂14を覆う。
【0004】しかしながら、テープキャリアパッケージ
の樹脂封止を通常のプラスチックパッケージと同様にト
ランスファモールドする場合、特開平2−89349号
公報に提示されているように、図6(a)で説明する
と、フィルムキャリアテープの上または下の一方から樹
脂を注入することが多いため、樹脂注入部側に樹脂通過
用の打ち抜き穴であるモールド用スリット13を設けて
いる。
【0005】次に図7に示すように、半導体チップ10
の電極とインナーリード6Aを接続後、アウターリード
ホール4で切断し、リードフレームアイランド15I上
にペースト16で固定して、リードフレーム15のイン
ナリード6A′部とアウターリード6Bを接合する。こ
れを封止樹脂17でトランスファモールドする場合、フ
ィルムキャリアテープの上側もしくは下側及び上下側同
時に樹脂封入を行っている。このパッケージは一般にT
ABinQEPと呼んでいる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のフィル
ムキャリアテープを用いてトランスファモールドすると
き、樹脂を上側もしくは下側または上下両側から封入す
るが、フィルムキャリアテープの上下では、構造が異な
ることに加えて、ベースフィルムがあるため、樹脂の封
入速度が上下で異なり、封入後樹脂が未充填であった
り、表面に気泡であるボイドと呼ばれる不良が発生す
る。また、サスペンダーの沈みが発生したインナーリー
ドが半導体チップのエッジ部にタッチし短絡が発生した
り、サスペンダー上下動により接合されているインナー
リードと半導体チップ電極間(ILB部)でハガレが生
じたり、インナリードが切断されたりする不良が発生し
てしまう。また、TABinQEP製造工程のOLBに
てテープを切断するときもしくは接合するとき、サスペ
ンダー部が変形し、ILB部のハガレが生じたり、リー
ドが切断されたりする不良を発生する問題があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】搬送及び位置決めようの
スプロケットを有するベースフィルム上に半導体チップ
のパッド電極と接続する為に形成された所望の形状のリ
ード配線を有するフィルムキャリアテープにおいて、前
記サスペンダーのコーナー部4ヶ所の内、少なくとも1
ヶ所以上、上下に通じたスリットを設けることを特徴と
するフィルムキャリアテープを用いる。また、このスリ
ットは次のような特徴を有する。
【0008】上記スリット形状が、フィルムキャリアテ
ープのスプロケット側より、デバイスホール内側になる
につれ、大きくなるハート型であることを特徴とする。
更にこのスリットに加え、サスペンダー上の配線リード
下部にスリットを設けてもよい。このスリットを有する
テープを用いて樹脂封入する場合、前記スリットの総面
積が封入後モールド外形面積の3%以上で効果が現れ
る。
【0009】また、半導体チップのパッド電極とフィル
ムキャリアテープのインナーリードを接合後、アウター
リード部で切断し、リードフレームのアイランド上にマ
ウントし、アウターリードをリードフレームのインナー
リードと接合し、樹脂封止するパッケージにおいて、上
記スリットが上方からみて前記リードフレームのアイラ
ンド外形エリアの外側(アウターホール側)に位置させ
ると更に効果がある。
【0010】同様に、半導体チップのパッド電極とフィ
ルムキャリアテープのインナーリードを接合後、金属板
上にマウントし、次いで樹脂封止するパッケージにおい
て、本発明のスリットが上方からみて前記金属板外形エ
リアより外側(アウターホール側)に位置される。
【0011】これらのスリットは更に次の特徴を有す
る。
【0012】ハート型スリットのデバイスホール側の形
状がデバイスホール形状に近似して形成されているこ
と、側面形状がインナーリードからアウターリードまで
配線されているパターンに平行に形成されている。
【0013】また、条件によってはスリットがデバイス
ホールと一体となって形成されてもよい。
【0014】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【0015】図1は、本発明の第1の実施例を示す。半
導体チップが搭載されるデバイスホール3からアウター
ホール4に延出されるリード6を半導体チップの電極ピ
ッチと同ピッチで前記デバイスホールとアウターホール
間距離つまりサスペンダー5幅の1/3以上設け、その
終端より、アウターリード6Bに接続するように配線を
施す。この配線手法によりサスペンダー5上のコーナー
部に空間を設け、(1),(2),(3),(4)のよ
うなスリット11を形成する。このスリット11の形状
は図1(b)に示す如く、そのデバイスホール3側はデ
バイスホール形状と相似するように形成し、その側面は
リード6配線に沿うように形成する。特に、リードあ6
がアウターホール4内のアウターリード6Bにθ2の角
度で配線する場合、スリット11のθ1をθ2=θ1と
なるように形成する。このスリットは図8に示す如く、
従来の配線手法のまま形成することもあるが、この場
合、例えばリード6の数が増加した場合、もしくはデバ
イスホール3のサイズが大きくなった場合には、スリッ
ト11を設ける理由が樹脂封入時の諸問題を解決するこ
とにあるためその位置を移動させる必要が頻雑にでてく
るので、スリット11の共用化は困難である。それに対
して、図1(b)のようなスリット11を設けてると、
スリット11の最低必要な面積分を例えば評価した結
果、封入後のモールド外形面積の3%以上であると効果
が現れる為、その必要な面積だけスリットを設け、かつ
共用しようとする最大リード数の最も外側のリードにあ
わせて形成すれば、図1(a)の点線…で示しているデ
バイスホールサイズの変化またはリード数の変化にたい
して最も有効に共用化がはかれる。この為、例えばスリ
ット11を打ち抜き金型で設ける場合、共用化するパッ
ケージの数だけ金型代の削減が可能となる。
【0016】次に、代2の実施例を図2により説明す
る。この場合は上記のように共用するパッケージのリー
ド6の数があらかじめ決まっている時、側面の角度を設
ける必要がない場合に適用する。
【0017】また、第3の実施例は、図3に示すよう
に、スリット11をデバイスホール3と一体とし、より
封入樹脂の上下流動を促進する場合に用いる。
【0018】次に第4の実施例を図4により説明する。
第1・2・3の実施例で示したスリット11に加え、リ
ード配線下にスリット(2)を設けるものである。図4
では、コーナースリット11と分離しているが、つなが
っていてもよい。また、リード下のスリット(2)はリ
ード6が電極ピッチと同ピッチで配線されている領域に
設けたほうが望ましい。これはリード6の傾斜部にスリ
ットが存在するとリード6の曲がりや垂れが発生し、テ
ープ不良が発生してしまうからである。つまり、不良発
生しない程度でスリット(2)を設ける分には差し支え
ない。
【0019】これまで、スリット11はサスペンダー上
に設けたが、例えばフィルムキャリアテープをトランス
ファモールドする場合は、その樹脂封入口、例えばアウ
ターリードホール横部まで所用のスリットを広げてもよ
い。
【0020】また、上述のスリット11は、サスペンダ
ー上の4コーナーに設けたが、その結果により、少なく
とも1ヶ所以上を設ければよい。しかしながら、例えば
樹脂封止しないフィルムキャリアパッケージの基板への
実装やTABinQEPなどのようにアウターリードホ
ール4で切断する場合、その切断時の振動が半導体チッ
プの電極とインナーリードの接合部に伝わることによ
り、また切断時のサスペンダー部の変形による前記接合
部へのストレスにより、ハガレやリードの切れを発生す
ることがある。つまり、このストレスにより、ハガレや
リードの切れを発生することがある。つまり、このスト
レスを緩和する為に、所望の形状のスリットを4ヶ所均
等に設けることが有効である。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、フィルム
キャリアテープのサスペンダー部に所望の形状を有する
スリットを設けたことにより、樹脂封入時に生じるサス
ペンダー沈みやモールド後の表面に生じるボイドの発生
を抑制し、製造が高歩留で可能となる。また、アウター
リードと基板もしくはリードフレームのインナーリード
に接合する工程にて発生した接合部のハガレ、リード切
れ等の不良を発生せずに製造可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すフィルムキャリア
テープの平面図。
【図2】本発明の第2の実施例を示すフィルムキャリア
テープの平面図。
【図3】本発明の第3の実施例を示すフィルムキャリア
テープの平面図。
【図4】本発明の第4の実施例を示すフィルムキャリア
テープの平面図。
【図5】従来の実施例を説明する為の平面図及び断面
図。
【図6】従来の実施例を説明する為の平面図。
【図7】TABinQEPの構造を示す断面図。
【図8】本発明を説明する為の平面図。
【符号の説明】
1 ベースフィルム 2 スプロケットホール 3 デバイスホール 4 アウターリードホール 5 サスペンダー 6 リード 6A インナーリード 6A′ リードフレームインナーリード 6B アウターリード 7 テストパッド 8 バンプ 9 金属メッキ 10 半導体チップ 11 スリット 12 トランスファモールド外形 13 モールド用スリット 14 ポッティング樹脂 15 リードフレーム 15I リードフレームアイランド 16 ペースト 17 封止樹脂

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】搬送及び位置決めようのスプロケットを有
    するベースフィルム上に半導体チップのパッド電極と接
    続する為に形成された所望の形状のリード配線を有する
    フィルムキャリアテープにおいて、デバイスホールとア
    ウターホール間に位置されるサスペンダーの、コーナー
    部4ヶ所の内、少なくとも1ヶ所以上、上下に通じたス
    リットを設けることを特徴とするフィルムキャリアテー
    プ。
  2. 【請求項2】デバイスホールから前記アウターホールに
    延出されるリード配線が、前記デバイスホールとアウタ
    ーホール間距離すなわちサスペンダー幅の少なくとも1
    /3は半導体チップの電極ピッチと同ピッチで配線さ
    れ、前記スリット形状が、テープのスプロケット側よ
    り、デバイスホール内側になるにつれ、大きくなるハー
    ト型であることを特徴とする請求項1記載のフィルムキ
    ャリアテープ。
  3. 【請求項3】サスペンダー上の配線リード下部のベース
    フィルムにスリットをさらに設けることを特徴とする請
    求項1又は2記載のフィルムキャリアテープ。
  4. 【請求項4】前記スリットを有するフィルムキャリアテ
    ープを用いて樹脂封入する場合において、前記スリット
    の総面積が樹脂封入後モールド外形面積の3%以上とす
    ることを特徴とする請求項1又は2記載のフィルムキャ
    リアテープ。
  5. 【請求項5】半導体チップのパッド電極とフィルムキャ
    リアテープのインナーリードを接合後、アウターリード
    部で切断し、リードフレームのアイランド上にマウント
    し、アウターリードをリードフレームのインナーリード
    と接合し、樹脂封止するパッケージにおいて、請求項
    1,2又は4記載のスリットが上方からみて前記リード
    フレームのアイランドの外側に位置することを特徴とす
    るフィルムキャリアテープ。
  6. 【請求項6】半導体チップのパッド電極とフィルムキャ
    リアテープのインナーリードを接合後、半導体チップ裏
    面を金属板上にマウントし、次いで樹脂封止するパッケ
    ージにおいて、請求項1,2又は4のスリットが上方か
    らみて前記金属板外形より外側に位置されることを特徴
    とするフィルムキャリアテープ。
  7. 【請求項7】前記ハート型スリットのデバイスホール側
    の形状がデバイスホール形状に相似して形成されている
    ことを特徴とする請求項2のフィルムキャリアテープ。
  8. 【請求項8】前記ハート型スリットの側面がインナーリ
    ードからアウターリードまで配線されているパターンに
    平行に形成されていることを特徴とする請求項2のフィ
    ルムキャリアテープ。
  9. 【請求項9】前記スリットがデバイスホールと一体とな
    って形成されたことを特徴とする請求項1,2又は4の
    フィルムキャリアテープ。
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