JPH07206117A - 搬送制御方法 - Google Patents
搬送制御方法Info
- Publication number
- JPH07206117A JPH07206117A JP6015962A JP1596294A JPH07206117A JP H07206117 A JPH07206117 A JP H07206117A JP 6015962 A JP6015962 A JP 6015962A JP 1596294 A JP1596294 A JP 1596294A JP H07206117 A JPH07206117 A JP H07206117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing apparatus
- manufacturing
- transported object
- warehouse
- request
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産効率の向上を図れる搬送制御方法を提供
すること。 【構成】 倉庫と複数の製造装置との間の搬送におい
て、ステップ１ａで一の製造装置への被搬送物の搬送を
開始し、ステップ１ｂにて移送中における一の製造装置
の装置状態を逐次確認する。そして一の製造装置の装置
状態が異常となった場合にはステップ１ｇにて被搬送物
を倉庫へ戻し、その後他の製造装置から搬入要求が出さ
れている場合にはステップ１ｅにて他の製造装置への移
送を行う。また搬送中に一の製造装置の装置状態が異常
となった場合には他の製造装置からその被搬送物に対す
る搬入要求が出されているか否かを確認し、出されてい
る場合には搬送中の被搬送物を直接他の製造装置へ移送
する搬送制御方法でもある。
すること。 【構成】 倉庫と複数の製造装置との間の搬送におい
て、ステップ１ａで一の製造装置への被搬送物の搬送を
開始し、ステップ１ｂにて移送中における一の製造装置
の装置状態を逐次確認する。そして一の製造装置の装置
状態が異常となった場合にはステップ１ｇにて被搬送物
を倉庫へ戻し、その後他の製造装置から搬入要求が出さ
れている場合にはステップ１ｅにて他の製造装置への移
送を行う。また搬送中に一の製造装置の装置状態が異常
となった場合には他の製造装置からその被搬送物に対す
る搬入要求が出されているか否かを確認し、出されてい
る場合には搬送中の被搬送物を直接他の製造装置へ移送
する搬送制御方法でもある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、倉庫に保管される被搬
送物を製造装置へ搬送するための搬送制御方法に関す
る。
送物を製造装置へ搬送するための搬送制御方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】製品の製造工場においては製造途中の製
品を自動搬送するための搬送システムが構築されてお
り、各製造装置の搬入要求や装置状態等に基づき製品が
所定の搬送路を移送するよう制御されている。例えば、
半導体装置の製造においては所定枚数（例えば２５枚）
のウエハが収納されたウエハキャリアを被搬送物とし
て、この被搬送物が保管されている倉庫と各工程の処理
を行うための製造装置との間の搬送が搬送システムの制
御において成されている。
品を自動搬送するための搬送システムが構築されてお
り、各製造装置の搬入要求や装置状態等に基づき製品が
所定の搬送路を移送するよう制御されている。例えば、
半導体装置の製造においては所定枚数（例えば２５枚）
のウエハが収納されたウエハキャリアを被搬送物とし
て、この被搬送物が保管されている倉庫と各工程の処理
を行うための製造装置との間の搬送が搬送システムの制
御において成されている。
【０００３】図３はこのような搬送システムを説明する
構成図であり、ホストコンピュータシステム１によって
搬送が統括制御、管理されているものである。ホストコ
ンピュータシステム１には倉庫制御システム２と搬送機
構制御システム３と製造装置制御システム４とが接続さ
れており、これらによって倉庫２１と複数の製造装置
（例えば製造装置Ａ〜Ｃ）との間における被搬送物５の
搬送が制御される。すなわち、倉庫２１の収納や空き状
況、搬送機構３１の動作状態、各製造装置Ａ〜Ｃの状態
をそれぞれ倉庫制御システム２、搬送機構制御システム
３および製造装置制御システム４からホストコンピュー
タシステム１へ受け渡し、ホストコンピュータシステム
１はこれらの情報に基づき被搬送物５の搬送制御を統括
的に行っている。
構成図であり、ホストコンピュータシステム１によって
搬送が統括制御、管理されているものである。ホストコ
ンピュータシステム１には倉庫制御システム２と搬送機
構制御システム３と製造装置制御システム４とが接続さ
れており、これらによって倉庫２１と複数の製造装置
（例えば製造装置Ａ〜Ｃ）との間における被搬送物５の
搬送が制御される。すなわち、倉庫２１の収納や空き状
況、搬送機構３１の動作状態、各製造装置Ａ〜Ｃの状態
をそれぞれ倉庫制御システム２、搬送機構制御システム
３および製造装置制御システム４からホストコンピュー
タシステム１へ受け渡し、ホストコンピュータシステム
１はこれらの情報に基づき被搬送物５の搬送制御を統括
的に行っている。
【０００４】また、各製造装置Ａ〜Ｃはそれぞれ中央処
理装置を備えており、製造装置自身の状態を管理して製
造装置制御システム４へその状態を報告する機能を有し
ている。さらに、各製造装置Ａ〜Ｃは搬送されてきたウ
エハキャリア等の被搬送物５を装置内へローディングお
よび装置内からアンローディングする機構も備えており
被搬送物５が搬送された時点でそれぞれ独立した処理を
行えるようになっている。
理装置を備えており、製造装置自身の状態を管理して製
造装置制御システム４へその状態を報告する機能を有し
ている。さらに、各製造装置Ａ〜Ｃは搬送されてきたウ
エハキャリア等の被搬送物５を装置内へローディングお
よび装置内からアンローディングする機構も備えており
被搬送物５が搬送された時点でそれぞれ独立した処理を
行えるようになっている。
【０００５】図４は従来の搬送制御方法を説明するフロ
ーチャートであり、図３に示す搬送システムでの搬送手
順の主要部分を示している。先ず、ステップ４ａに示す
ようにホストコンピュータシステム１からの指示によっ
て一の製造装置（例えば、製造装置Ａ）への搬送を開始
する。すなわち、ホストコンピュータシステム１からの
指示により、搬送機構３１は倉庫２１から所定の被搬送
物５を取り出して一の製造装置（例えば、製造装置Ａ）
への移送を開始する。
ーチャートであり、図３に示す搬送システムでの搬送手
順の主要部分を示している。先ず、ステップ４ａに示す
ようにホストコンピュータシステム１からの指示によっ
て一の製造装置（例えば、製造装置Ａ）への搬送を開始
する。すなわち、ホストコンピュータシステム１からの
指示により、搬送機構３１は倉庫２１から所定の被搬送
物５を取り出して一の製造装置（例えば、製造装置Ａ）
への移送を開始する。
【０００６】次いで、ステップ４ｂに示すように一の製
造装置が被搬送物５の受入れをできるか否かの判断を行
う。すなわち、各製造装置Ａ〜Ｃからは製造装置制御シ
ステム４を介してホストコンピュータシステム１に対し
て装置状態の報告が成されており、トラブル等が発生し
た場合には被搬送物５の受入れができない旨の報告がさ
れている。被搬送物５の受入れが可能であるか否かの情
報をホストコンピュータシステム１から搬送機構制御シ
ステム３が受け取り、この情報に基づいてステップ４ｂ
の判断を行う。被搬送物５の受入れができない場合には
ステップ４ｂの判断でＮｏとなり、ステップ４ｆへ進
む。また、受入れが可能である場合にはＹｅｓとなり次
のステップ４ｃへ進む。
造装置が被搬送物５の受入れをできるか否かの判断を行
う。すなわち、各製造装置Ａ〜Ｃからは製造装置制御シ
ステム４を介してホストコンピュータシステム１に対し
て装置状態の報告が成されており、トラブル等が発生し
た場合には被搬送物５の受入れができない旨の報告がさ
れている。被搬送物５の受入れが可能であるか否かの情
報をホストコンピュータシステム１から搬送機構制御シ
ステム３が受け取り、この情報に基づいてステップ４ｂ
の判断を行う。被搬送物５の受入れができない場合には
ステップ４ｂの判断でＮｏとなり、ステップ４ｆへ進
む。また、受入れが可能である場合にはＹｅｓとなり次
のステップ４ｃへ進む。
【０００７】ステップ４ｃでは被搬送物５のセットが完
了したかどうかの判断を行う。すなわち、一の製造装置
（例えば、製造装置Ａ）へ被搬送物５を移送し、この製
造装置に備えられたローディング機構に被搬送物５をセ
ットしたかどうかの判断を行う。セットが完了していな
い場合にはＮｏとなり、まだ搬送途中であるとしてステ
ップ４ｂに戻り被搬送物５の受入れが可能かどうかの判
断を再度行う。また、セットが完了した場合にはＹｅｓ
となり、次のステップ４ｄに進んで一の製造装置による
処理を開始する。そして、処理が終了した後ステップ４
ｅへ進み、正常な製造装置への搬送を続行する。
了したかどうかの判断を行う。すなわち、一の製造装置
（例えば、製造装置Ａ）へ被搬送物５を移送し、この製
造装置に備えられたローディング機構に被搬送物５をセ
ットしたかどうかの判断を行う。セットが完了していな
い場合にはＮｏとなり、まだ搬送途中であるとしてステ
ップ４ｂに戻り被搬送物５の受入れが可能かどうかの判
断を再度行う。また、セットが完了した場合にはＹｅｓ
となり、次のステップ４ｄに進んで一の製造装置による
処理を開始する。そして、処理が終了した後ステップ４
ｅへ進み、正常な製造装置への搬送を続行する。
【０００８】また、被搬送物５の搬送中、一の製造装置
にトラブル等が発生した場合には被搬送物５の受入れが
できない状態となり、ステップ４ｂにてＮｏとなる。こ
の場合にはステップ４ｆに示すように一の製造装置への
搬送を中止し、ステップ４ｇにて搬送機構３１をその場
に待機しておく処理を行う。そして、ステップ４ｈに示
すようにトラブルが解消した後に搬送を続行し、ステッ
プ４ｃにて被搬送物５のセットが完了したかどうかの判
断を行う。
にトラブル等が発生した場合には被搬送物５の受入れが
できない状態となり、ステップ４ｂにてＮｏとなる。こ
の場合にはステップ４ｆに示すように一の製造装置への
搬送を中止し、ステップ４ｇにて搬送機構３１をその場
に待機しておく処理を行う。そして、ステップ４ｈに示
すようにトラブルが解消した後に搬送を続行し、ステッ
プ４ｃにて被搬送物５のセットが完了したかどうかの判
断を行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな搬送制御方法には次のような問題がある。すなわ
ち、この搬送制御方法では、搬送先である一の製造装置
にトラブル等が発生し被搬送物の受入れができなくなる
とそのトラブル等が解消するまで搬送機構をその場に待
機させている。このため、他の製造装置が正常に稼働で
きる状態であっても被搬送物を搬送することができず、
生産効率の低下を招いている。よって、本発明は生産効
率の向上を図れる搬送制御方法を提供することを目的と
する。
うな搬送制御方法には次のような問題がある。すなわ
ち、この搬送制御方法では、搬送先である一の製造装置
にトラブル等が発生し被搬送物の受入れができなくなる
とそのトラブル等が解消するまで搬送機構をその場に待
機させている。このため、他の製造装置が正常に稼働で
きる状態であっても被搬送物を搬送することができず、
生産効率の低下を招いている。よって、本発明は生産効
率の向上を図れる搬送制御方法を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された搬送制御方法である。すなわ
ち、本発明の搬送制御方法は、被搬送物が保管される倉
庫と複数の製造装置との間の搬送において、製造装置か
ら出される搬入要求および装置状態を示す情報に基づき
被搬送物の搬送を行う方法であり、先ず、一の製造装置
から出された搬入要求に基づいて倉庫から被搬送物を搬
出し、その移送中に逐次一の製造装置の装置状態を確認
する。そして、一の製造装置の装置状態が異常を示して
いる場合には被搬送物を倉庫へ戻し、その後、他の製造
装置から搬入要求が出されている場合には、他の製造装
置へ被搬送物を搬送するよう制御するものである。
を解決するために成された搬送制御方法である。すなわ
ち、本発明の搬送制御方法は、被搬送物が保管される倉
庫と複数の製造装置との間の搬送において、製造装置か
ら出される搬入要求および装置状態を示す情報に基づき
被搬送物の搬送を行う方法であり、先ず、一の製造装置
から出された搬入要求に基づいて倉庫から被搬送物を搬
出し、その移送中に逐次一の製造装置の装置状態を確認
する。そして、一の製造装置の装置状態が異常を示して
いる場合には被搬送物を倉庫へ戻し、その後、他の製造
装置から搬入要求が出されている場合には、他の製造装
置へ被搬送物を搬送するよう制御するものである。
【００１１】また、被搬送物の搬送中に一の製造装置の
装置状態が異常を示している場合には他の製造装置から
その被搬送物に対する搬入要求が出されているか否かを
確認し、他の製造装置から搬入要求が出されている場合
には、その時点で搬送中の被搬送物を直接他の製造装置
へ移送する搬送制御方法でもある。
装置状態が異常を示している場合には他の製造装置から
その被搬送物に対する搬入要求が出されているか否かを
確認し、他の製造装置から搬入要求が出されている場合
には、その時点で搬送中の被搬送物を直接他の製造装置
へ移送する搬送制御方法でもある。
【００１２】
【作用】一の製造装置からの搬入要求に基づき被搬送物
を搬送している間に一の製造装置が異常となった場合、
被搬送物をその場に待機させることなく倉庫に戻すよう
にし、他の製造装置から搬入要求がある場合には他の製
造装置への搬送を行うことで正常な製造装置の稼働停止
が無くなる。また、被搬送物の搬送中に一の製造装置が
異常となった場合、他の製造装置からその被搬送物に対
する搬送要求が出されているか否かを確認し、搬送要求
が出されている場合にはその被搬送物を直接他の製造装
置へ移送することで、最短の経路での搬送ができるよう
になる。
を搬送している間に一の製造装置が異常となった場合、
被搬送物をその場に待機させることなく倉庫に戻すよう
にし、他の製造装置から搬入要求がある場合には他の製
造装置への搬送を行うことで正常な製造装置の稼働停止
が無くなる。また、被搬送物の搬送中に一の製造装置が
異常となった場合、他の製造装置からその被搬送物に対
する搬送要求が出されているか否かを確認し、搬送要求
が出されている場合にはその被搬送物を直接他の製造装
置へ移送することで、最短の経路での搬送ができるよう
になる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の搬送制御方法を図に基づい
て説明する。本発明の搬送制御方法は図３に示す搬送シ
ステムを前提とした制御方法であり、搬送システムの構
成については従来と同様であるが搬送アルゴリズムが従
来と相違する。図１は本発明の第１実施例を説明するフ
ローチャート、図２は本発明の第２実施例を説明するフ
ローチャートである。なお、図１および図２に示されな
い符号については図３を参照するものとする。
て説明する。本発明の搬送制御方法は図３に示す搬送シ
ステムを前提とした制御方法であり、搬送システムの構
成については従来と同様であるが搬送アルゴリズムが従
来と相違する。図１は本発明の第１実施例を説明するフ
ローチャート、図２は本発明の第２実施例を説明するフ
ローチャートである。なお、図１および図２に示されな
い符号については図３を参照するものとする。
【００１４】先ず、図１に基づき本発明の搬送制御方法
の第１実施例を説明する。ステップ１ａに示すように、
一の製造装置への搬送開始として例えば製造装置Ａから
の搬入要求に基づき倉庫２１から被搬送物５を取り出
し、搬送機構３１を用いて製造装置Ａへの移送を開始す
る。次に、ステップ１ｂに示すように、搬送先である製
造装置Ａの装置状態を確認して受入れ可能かどうかの判
断を行う。各製造装置Ａ〜Ｃからはそれらの装置状態が
随時製造装置制御システム４を介してホストコンピュー
タシステム１へ送られており、搬送機構制御システム３
はホストコンピュータシステム１との通信によって搬送
先である例えば製造装置Ａの装置状態を逐次確認する。
の第１実施例を説明する。ステップ１ａに示すように、
一の製造装置への搬送開始として例えば製造装置Ａから
の搬入要求に基づき倉庫２１から被搬送物５を取り出
し、搬送機構３１を用いて製造装置Ａへの移送を開始す
る。次に、ステップ１ｂに示すように、搬送先である製
造装置Ａの装置状態を確認して受入れ可能かどうかの判
断を行う。各製造装置Ａ〜Ｃからはそれらの装置状態が
随時製造装置制御システム４を介してホストコンピュー
タシステム１へ送られており、搬送機構制御システム３
はホストコンピュータシステム１との通信によって搬送
先である例えば製造装置Ａの装置状態を逐次確認する。
【００１５】ここで受入れが可能である場合にはそのま
ま搬送を続け、ステップ１ｃにて被搬送物５のセットが
完了したか否かを判断し、セット完了であった場合には
ステップ１ｄによる製造装置Ａでの処理を開始する。ま
た、セットが完了していない場合にはまだ搬送中である
と判断しステップ１ｃでＮｏとなってステップ１ｂの判
断に戻る。一方、ステップ１ｂの判断で受入れが不可能
となった場合、すなわち、搬送中に搬送先である製造装
置Ａに何らかのトラブルが発生し被搬送物５の受入れが
できなくなった場合にはＮｏとなり、ステップ１ｆへ進
む。
ま搬送を続け、ステップ１ｃにて被搬送物５のセットが
完了したか否かを判断し、セット完了であった場合には
ステップ１ｄによる製造装置Ａでの処理を開始する。ま
た、セットが完了していない場合にはまだ搬送中である
と判断しステップ１ｃでＮｏとなってステップ１ｂの判
断に戻る。一方、ステップ１ｂの判断で受入れが不可能
となった場合、すなわち、搬送中に搬送先である製造装
置Ａに何らかのトラブルが発生し被搬送物５の受入れが
できなくなった場合にはＮｏとなり、ステップ１ｆへ進
む。
【００１６】ステップ１ｆでは、搬送機構制御システム
３から搬送機構３１に対して搬送中止の命令を送り、搬
送機構３１の移送を中断する処理を行う。そして、次の
ステップ１ｇにより搬送機構３１で搬送中の被搬送物５
を倉庫２１へ戻す処理を行う。つまり、搬送先である製
造装置Ａが稼働不可能な状態となった場合に搬送機構３
１をその場に待機させるのではなく倉庫２１へ移動し、
一旦被搬送物５を倉庫２１内に戻す。
３から搬送機構３１に対して搬送中止の命令を送り、搬
送機構３１の移送を中断する処理を行う。そして、次の
ステップ１ｇにより搬送機構３１で搬送中の被搬送物５
を倉庫２１へ戻す処理を行う。つまり、搬送先である製
造装置Ａが稼働不可能な状態となった場合に搬送機構３
１をその場に待機させるのではなく倉庫２１へ移動し、
一旦被搬送物５を倉庫２１内に戻す。
【００１７】倉庫２１内に被搬送物５を戻した後は、ス
テップ１ｅに示すように正常な製造装置への搬送を続行
する。すなわち、例えば製造装置Ａにトラブルが発生し
て被搬送物５を倉庫２１に戻した後、搬送機構３１は他
の製造装置Ｂ、Ｃの搬入要求および装置状態を確認す
る。ここで例えば製造装置Ｂから搬入要求があった場合
には倉庫２１から製造装置Ｂが要求する被搬送物５を取
り出してその搬送を行う。なお、製造装置Ａにトラブル
が発生して被搬送物５を倉庫２１に戻した後、製造装置
Ａのトラブルが解消された場合には再び被搬送物５を製
造装置Ａに搬送してもよい。
テップ１ｅに示すように正常な製造装置への搬送を続行
する。すなわち、例えば製造装置Ａにトラブルが発生し
て被搬送物５を倉庫２１に戻した後、搬送機構３１は他
の製造装置Ｂ、Ｃの搬入要求および装置状態を確認す
る。ここで例えば製造装置Ｂから搬入要求があった場合
には倉庫２１から製造装置Ｂが要求する被搬送物５を取
り出してその搬送を行う。なお、製造装置Ａにトラブル
が発生して被搬送物５を倉庫２１に戻した後、製造装置
Ａのトラブルが解消された場合には再び被搬送物５を製
造装置Ａに搬送してもよい。
【００１８】このように、複数の製造装置Ａ〜Ｃのうち
搬送先である一の製造装置にトラブルが発生して搬入不
可能となった場合でも稼働可能な他の製造装置への搬入
を行うことができるようになる。
搬送先である一の製造装置にトラブルが発生して搬入不
可能となった場合でも稼働可能な他の製造装置への搬入
を行うことができるようになる。
【００１９】次に、図２に基づいて本発明の搬送制御方
法の第２実施例を説明する。第２実施例における搬送制
御方法では、ステップ２ａ〜ステップ２ｆまでの処理は
第１実施例のステップ１ａ〜ステップ１ｆと同様である
が、ステップ２ｂの判断でＮｏとなりステップ２ｆで搬
送中止となった後の処理が第１実施例と相違する。すな
わち、被搬送物５の搬送中に例えば搬送先である製造装
置Ａに何らかのトラブルが発生し、ステップ２ｆにて搬
送機構制御システム３から搬送機構３１に対する搬送中
止の処理を行った後、ステップ２ｇの判断を行う。
法の第２実施例を説明する。第２実施例における搬送制
御方法では、ステップ２ａ〜ステップ２ｆまでの処理は
第１実施例のステップ１ａ〜ステップ１ｆと同様である
が、ステップ２ｂの判断でＮｏとなりステップ２ｆで搬
送中止となった後の処理が第１実施例と相違する。すな
わち、被搬送物５の搬送中に例えば搬送先である製造装
置Ａに何らかのトラブルが発生し、ステップ２ｆにて搬
送機構制御システム３から搬送機構３１に対する搬送中
止の処理を行った後、ステップ２ｇの判断を行う。
【００２０】ステップ２ｇでは、搬送を中止した段階で
トラブルのあった製造装置Ａ以外の他の製造装置Ｂ、Ｃ
から搬送中である被搬送物５の搬入要求があるか否かを
判断する。ここで例えば製造装置Ｂから搬入要求が出さ
れている場合にはステップ２ｇにてＹｅｓとなり、次の
ステップ２ｈにて製造装置Ｂへその被搬送物５を搬送す
る処理を行う。つまり、製造装置Ａのトラブルにより搬
送中止となった被搬送物５を他の製造装置Ｂ、Ｃでも要
求している場合、搬送中止となった位置から直接要求先
の他の製造装置Ｂ、Ｃのいずれかへ搬送する。これによ
り、無駄な搬送経路をたどることなく被搬送物５を要求
先の製造装置へ移送することができる。
トラブルのあった製造装置Ａ以外の他の製造装置Ｂ、Ｃ
から搬送中である被搬送物５の搬入要求があるか否かを
判断する。ここで例えば製造装置Ｂから搬入要求が出さ
れている場合にはステップ２ｇにてＹｅｓとなり、次の
ステップ２ｈにて製造装置Ｂへその被搬送物５を搬送す
る処理を行う。つまり、製造装置Ａのトラブルにより搬
送中止となった被搬送物５を他の製造装置Ｂ、Ｃでも要
求している場合、搬送中止となった位置から直接要求先
の他の製造装置Ｂ、Ｃのいずれかへ搬送する。これによ
り、無駄な搬送経路をたどることなく被搬送物５を要求
先の製造装置へ移送することができる。
【００２１】また、ステップ２ｇの判断で他の製造装置
Ｂ、Ｃから搬入要求が出されていない場合にはＮｏとな
り、ステップ２ｉに示すようにその被搬送物５を倉庫２
１へ移送する処理を行う。そして、その後はステップ２
ｅに示すように正常な製造装置への搬送を続行する。
Ｂ、Ｃから搬入要求が出されていない場合にはＮｏとな
り、ステップ２ｉに示すようにその被搬送物５を倉庫２
１へ移送する処理を行う。そして、その後はステップ２
ｅに示すように正常な製造装置への搬送を続行する。
【００２２】例えば、複数の製造装置Ａ〜Ｃがそれぞれ
同種の処理を行う装置から成る場合には第２実施例に示
す搬送制御方法が有効である。つまり、同種の処理を行
う装置であれば一の製造装置がトラブルを起こしても搬
送中の被搬送物５を他の製造装置へ移送してそこで同じ
処理を行うことができるからである。
同種の処理を行う装置から成る場合には第２実施例に示
す搬送制御方法が有効である。つまり、同種の処理を行
う装置であれば一の製造装置がトラブルを起こしても搬
送中の被搬送物５を他の製造装置へ移送してそこで同じ
処理を行うことができるからである。
【００２３】また、製造装置Ａ〜Ｃが同種の処理を行う
装置でない場合であっても、各製造装置Ａ〜Ｃが等しい
工程まで処理の完了した被搬送物５を要求する場合にも
第２実施例は有効である。例えば、製造装置Ａ〜Ｃがそ
れぞれ異種の測定を行う測定装置から成る場合であっ
て、等しい工程まで処理の完了した製品（ウエハ等）を
測定するような場合には、一の製造装置へ搬送する予定
であった被搬送物５を他の製造装置へ移送してその製造
装置での測定を行うことができるようになる。
装置でない場合であっても、各製造装置Ａ〜Ｃが等しい
工程まで処理の完了した被搬送物５を要求する場合にも
第２実施例は有効である。例えば、製造装置Ａ〜Ｃがそ
れぞれ異種の測定を行う測定装置から成る場合であっ
て、等しい工程まで処理の完了した製品（ウエハ等）を
測定するような場合には、一の製造装置へ搬送する予定
であった被搬送物５を他の製造装置へ移送してその製造
装置での測定を行うことができるようになる。
【００２４】また、製造装置Ａ〜Ｃがそれぞれ異なる工
程まで処理の完了した被搬送物５を要求するような場合
には第１実施例が有効となる。つまり、一の製造装置へ
の搬送中にその一の製造装置にトラブルが発生した場
合、搬送中の被搬送物５が他の製造装置の要求対象とな
らないため、一旦倉庫２１へ被搬送物５を戻し、他の製
造装置が要求する被搬送物５を取り出すようにする必要
があるからである。
程まで処理の完了した被搬送物５を要求するような場合
には第１実施例が有効となる。つまり、一の製造装置へ
の搬送中にその一の製造装置にトラブルが発生した場
合、搬送中の被搬送物５が他の製造装置の要求対象とな
らないため、一旦倉庫２１へ被搬送物５を戻し、他の製
造装置が要求する被搬送物５を取り出すようにする必要
があるからである。
【００２５】いずれの実施例においても、搬送先である
一の製造装置にトラブル等が発生し被搬送物５を搬入で
きなくなった場合でも正常に稼働する他の製造装置への
搬送を行うことができ効率のよい生産を行うことができ
るようになる。なお、本実施例においては一の製造装置
として製造装置Ａを例とし、また他の製造装置として製
造装置Ｂ、Ｃを例として説明したが本発明はこれに限定
されない。また、製造装置はＡ〜Ｃの３台に限定されず
２台以上の複数台であっても同様である。
一の製造装置にトラブル等が発生し被搬送物５を搬入で
きなくなった場合でも正常に稼働する他の製造装置への
搬送を行うことができ効率のよい生産を行うことができ
るようになる。なお、本実施例においては一の製造装置
として製造装置Ａを例とし、また他の製造装置として製
造装置Ｂ、Ｃを例として説明したが本発明はこれに限定
されない。また、製造装置はＡ〜Ｃの３台に限定されず
２台以上の複数台であっても同様である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送制御
方法には次のような効果がある。すなわち、この搬送制
御方法によれば搬送先である一の製造装置にトラブル等
が発生した場合であっても被搬送物をその場に待機させ
ることなく倉庫に戻したり、他の製造装置へ移送したり
することができるため、製品の製造リードタイム短縮が
可能となり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
方法には次のような効果がある。すなわち、この搬送制
御方法によれば搬送先である一の製造装置にトラブル等
が発生した場合であっても被搬送物をその場に待機させ
ることなく倉庫に戻したり、他の製造装置へ移送したり
することができるため、製品の製造リードタイム短縮が
可能となり、生産効率の向上を図ることが可能となる。
【図１】本発明の第１実施例を説明するフローチャート
である。
である。
【図２】本発明の第２実施例を説明するフローチャート
である。
である。
【図３】搬送システムを説明する構成図である。
【図４】従来例を説明するフローチャートである。
１ ホストコンピュータシステム ２ 倉庫制御システム ３ 搬送機構制御システム ４ 製造装置制御システム ５ 被搬送物 ２１ 倉庫 ３１ 搬送機構
Claims (2)
- 【請求項１】 被搬送物が保管される倉庫と複数の製造
装置との間の搬送において、該製造装置から出される搬
入要求および装置状態を示す情報に基づき該被搬送物の
搬送を行う搬送制御方法であって、 一の製造装置から出された搬入要求に基づいて前記倉庫
から前記被搬送物を搬出し、 前記被搬送物を前記倉庫から前記一の製造装置へ移送す
る間に逐次該一の製造装置の装置状態を確認し、 前記一の製造装置の装置状態が異常を示している場合に
は前記被搬送物を前記倉庫へ戻し、 その後、他の製造装置から搬入要求が出されている場合
には、該他の製造装置へ被搬送物を搬送することを特徴
とする搬送制御方法。 - 【請求項２】 被搬送物が保管される倉庫と複数の製造
装置との間の搬送において、該製造装置から出される搬
入要求および装置状態を示す情報に基づき該被搬送物の
搬送を行う搬送制御方法であって、 一の製造装置から出された搬入要求に基づいて前記倉庫
から前記被搬送物を搬出し、 前記被搬送物を前記倉庫から前記一の製造装置へ移送す
る間に逐次該一の製造装置の装置状態を確認し、 前記一の製造装置の装置状態が異常を示している場合に
は他の製造装置から前記被搬送物に対する搬入要求が出
されているか否かを確認し、 前記他の製造装置から搬入要求が出されている場合に
は、その時点で前記被搬送物を直接該他の製造装置へ移
送することを特徴とする搬送制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6015962A JPH07206117A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 搬送制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6015962A JPH07206117A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 搬送制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07206117A true JPH07206117A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11903356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6015962A Pending JPH07206117A (ja) | 1994-01-14 | 1994-01-14 | 搬送制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07206117A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076503A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 |
| WO2011083525A1 (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-14 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送車システム |
-
1994
- 1994-01-14 JP JP6015962A patent/JPH07206117A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076503A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 |
| WO2011083525A1 (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-14 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送車システム |
| JP2011140366A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送車システム |
| CN102753458A (zh) * | 2010-01-06 | 2012-10-24 | 村田机械株式会社 | 输送车系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6351686B1 (en) | Semiconductor device manufacturing apparatus and control method thereof | |
| CN101432673B (zh) | 自动制造系统和方法 | |
| CN101802978B (zh) | 基板处理方法和基板处理系统 | |
| US10446427B2 (en) | Conveyance system and conveyance method | |
| US6622057B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle | |
| US11791186B2 (en) | Conveyance system | |
| CN101231965A (zh) | 晶圆制造厂及其载具传输系统和方法 | |
| JP5223778B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
| US10571927B2 (en) | Transport system and transport method | |
| US7151980B2 (en) | Transport management system and method thereof | |
| JP2004281622A (ja) | 搬送台車システム | |
| JP2001143979A (ja) | 半導体基板処理システム | |
| JP2001102427A (ja) | プロセス処理方法およびその装置並びに半導体製造ラインおよび半導体製造ラインにおける被処理基板の搬送方法 | |
| CN118037160A (zh) | 半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备 | |
| JPH11309650A (ja) | 自動搬送設備 | |
| KR100318437B1 (ko) | 자동 반송로봇의 병렬제어 시스템 및 방법 | |
| JP2010128907A (ja) | 搬送管理システムおよび搬送管理方法 | |
| JPH11143522A (ja) | 自動搬送システムおよび自動制御システム | |
| JP2001236107A (ja) | 自動搬送装置および方法 | |
| JP2004327575A (ja) | 半導体製造設備の稼働制御方法 | |
| JPH10133706A (ja) | ロボット搬送方法 | |
| JP2002244738A (ja) | 物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法 | |
| KR100603591B1 (ko) | 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법 | |
| JPH11297785A (ja) | バッチ式ｉｃ製造処理装置への搬送制御方法 | |
| JP2018093131A (ja) | 搬送システム |