JPH06195625A - 磁気構造体およびこれを用いた磁気ヘッド - Google Patents

磁気構造体およびこれを用いた磁気ヘッド

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JPH06195625A
JPH06195625A JP5233136A JP23313693A JPH06195625A JP H06195625 A JPH06195625 A JP H06195625A JP 5233136 A JP5233136 A JP 5233136A JP 23313693 A JP23313693 A JP 23313693A JP H06195625 A JPH06195625 A JP H06195625A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型・高集積化が図れる磁気構造体および磁
気ヘッドを提供しようとするものである。 【構成】 側面１１ａ、ｂが斜面である複数の畝状凸部
１２を有する基板１上に、隣合う上記凸部の向かい合う
斜面とこれらの斜面間の底面１１ｃにわたって形成され
た複数の並行する導電路からなる第１導電路２１と、上
記第１導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層
４１と、上記隣合う凸部と上記底面で形成される溝状凹
部に充填された磁性材からなる磁性コア３１と、上記磁
性コア上に積層された第２絶縁層４２と、上記第１導電
路端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように上
記第２絶縁層上に形成された第２導電路２２とを備え、
上記磁性コアが上記凸部によって分離されて複数個のコ
イル体が同一基板上に一体に形成されたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気構造体、例えば
ビデオテープレコーダーやオーディオテープレコーダー
等の磁気記録再生装置に搭載される磁気ヘッドに係り、
特に多数のヘッドチップの並びに対して同時に記録や再
生を行う必要のある高密度記録再生に適した多チャンネ
ル磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】映像信号をＰＣＭ（パルスコード変調）
方式によって記録するディジタルＶＴＲや高品位の映像
信号を記録する高品位ＶＴＲなどの磁気記録装置では、
記録する信号量が従来の家庭用ＶＴＲやディジタルオー
ディオテープレコーダーに比べて飛躍的に増大するた
め、これらの従来の装置より広帯域の信号の記録再生が
必要である。広帯域信号の記録再生にはマルチトラック
記録方式が有効であるため、多チャンネル磁気ヘッドが
提案されている。また、磁気記録装置の小型軽量化や記
録容量の増大を図るためには狭トラック化したり、磁気
記録媒体とヘッド間の相対速度を小さくしたりする必要
があるが、このようにすると十分なＳ／Ｎ比の再生信号
を得るのが困難になってくる。そこで低速度でも十分な
Ｓ／Ｎ比の再生信号を得るために、磁気ヘッドのコイル
を多巻線化したものや、記録再生複合型ヘッド等が提案
されている。
【０００３】多チャンネル磁気ヘッドには、複数のバル
クタイプの単体ヘッドチップをベースに固定したもの
や、多数の薄膜ヘッドチップを同一基板上に形成したも
のなどがあるが、狭トラック化や各磁気ギャップ間の相
対位置精度の点で後者の薄膜タイプのものが有利であ
る。この多チャンネル薄膜磁気ヘッドは、特開平４−１
８６５１１、特開平４−１８８４１４号公報、特開平２
−１７９９１０号公報、特開６２−３１０１３号公報、
特開昭６１−３９９１４号公報、特開昭５８−９４１２
０号公報等に記載されている。また記録再生複合型の多
チャンネル磁気ヘッドは特開平２−９４０１４号公報等
に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の多チャンネル薄
膜磁気ヘッドには、図６８（ａ）に示すような多数のス
パイラル型コイルを有する磁気ヘッドチップで構成され
るものと、図６８（ｂ）に示すようなヘリカル型コイル
を有する磁気ヘッドチップで構成されるものがある。図
において、１は基板、２５はスパイラル型コイル、２６
はヘリカル型コイル、３１は磁性コアである。スパイラ
ル型コイルの磁気ヘッドチップは作製が容易でコイルの
絶縁を確保し易いという利点があるが、再生信号出力を
得るために多巻線化を図ると面積が大きくなるため、多
数集積する場合に磁気ヘッドチップ間隔が広くなり狭ト
ラック化が困難になるという問題がある。
【０００５】また、図６８（ｂ）に示したヘリカル型コ
イルの磁気ヘッドチップは狭トラック化と多巻線化が比
較的容易であるが、磁気ヘッドの大きさの制約等によっ
て充分な巻線数が得られず再生信号のＳ／Ｎ比が低下す
るという問題があある．さらにコイル２６と磁性コア３
１をリソグラフィ技術によって一体に形成するため、コ
イル２６の形成を行うためには磁性コア３１をあまり厚
くすることができず、記録再生効率の向上が難しいとい
う問題がある。
【０００６】さらに、磁気ヘッドチップのコイルと外部
の電気回路の接続を従来のように個々のコイル両端に設
けられた電極パッド等へのボンディングまたはコネクタ
等によって行うと、トラック数が例えば数十や数百を越
えるような多チャンネルの場合には接続本数が極めて多
くなるので信頼性が低下したり、接続ケーブルが太くな
りすぎて接続が困難になる等の問題がある。また、電極
パッドの大きさによって磁気ヘッドチップの間隔が制限
されるので、電極パッドの大きさ以下の間隔で磁気ヘッ
ドチップを配列することが困難になるという問題があ
る。
【０００７】また、従来の多チャンネル薄膜磁気ヘッド
では、磁気記録媒体の熱伸縮によりトラック幅およびト
ラック角度が変化した場合、良好なトラッキングを行え
ないという問題がある。
【０００８】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたものであり、小型・高集積化が図れる磁気
構造体および磁気ヘッドを提供しようとするものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係る磁気構造体は、側面が斜面である溝状凹部を有する
基板上に、上記凹部の両側面と底面にわたって形成され
た複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第
１導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、
上記凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように上記
第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備えたもので
ある。
【００１０】請求項２に記載の発明に係る磁気構造体
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板上
に、隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間
の底面にわたって形成された複数の並行する導電路から
なる第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に
積層された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で
形成される溝状凹部に充填された磁性材からなる磁性コ
アと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記
第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記凸部によって分離されて複数個
のコイル体が同一基板上に一体に形成されたものであ
る。
【００１１】請求項３に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
ように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成され
たものである。
【００１２】請求項４に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板と、
隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底
面にわたって形成された複数の並行する導電路からなる
第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に積層
された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成
される溝状凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コ
アと、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア
上に形成された第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気
記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に積層されて
磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶
縁層上に形成された複数の並行する導電路からなる第３
導電路と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層
と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を
有する畝状凸部となるように積層された磁性材からなる
第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と上面に積
層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続し
てヘリカル型コイル体となるように上記第４絶縁層上に
形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチ
ップが一体に形成されたものである。
【００１３】請求項５に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、上面と下面の略等しい位置に側面が斜面である複数
の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸部の間に長
さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹
んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両面のそれぞ
れ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面
にわたってそれぞれ形成された複数の並行する導電路か
らなる上面側の第１導電路および下面側の第３導電路
と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層と、上記
第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記第１およ
び第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突出した凸
部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材からなる
上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性コアと、
上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁
性材料からなる磁気ギャップと、上記第１および第２磁
性コア上にそれぞれ積層された第２および第４絶縁層
と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル
体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電
路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように上記第４絶縁層下面に形成された第４
導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に形
成されたものである。
【００１４】請求項６に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項２に記載の磁気構造体の第１または第２導電
路上に、磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層を介して
形成された磁性材からなる第２磁性コアを備え、複数個
の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成されたも
のである。
【００１５】請求項７に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項１ないし６記載のものにおいて、第１導電路
は溝状凹部の底面から両側面および上面にわたって形成
されているものである。
【００１６】請求項８に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項１ないし６記載のものにおいて、第１導電路
は溝状凹部の上面に設けられた凹部から両側面および底
面にわたって形成されているものである。
【００１７】請求項９に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、請求項１ないし８記載のものにおいて、第１導電路
は少なくとも溝状凹部の底面から両側面にわたって設け
られた溝部に形成されているものである。
【００１８】請求項１０に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁性コア、コイルおよび磁気ギャップを有する磁気
ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッ
ドにおいて、上記基板上に電源ラインと、上記電源ライ
ンと上記磁気ヘッドチップの個々のコイルとの電気的な
断続を行う手段と、上記電気的断続を制御する手段とを
上記基板と一体に形成したものである。
【００１９】請求項１１に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板に再生信号増幅回路を一
体に形成したものである。
【００２０】請求項１２に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、コイルを有する磁気ヘッドチップを共通する基板上
に複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板をヘッド
チップの並び方向に往復運動させる手段を有し、上記基
板を磁気記録媒体の最短記録波長以下の振幅でしかも磁
気記録媒体の走行速度より十分速い速度で上記ヘッドチ
ップの並び方向に往復運動させることによって磁気記録
媒体に記録された信号を再生するように構成したもので
ある。
【００２１】請求項１３に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチップ
の並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持
する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転す
る手段とを有し、上記回転手段によって上記基板を回転
し、磁気記録媒体の各トラックに対して少なくとも１つ
の上記磁気ヘッドチップの磁気ギャップを一致させなが
ら、磁気記録媒体に記録された信号を再生するように構
成したものである。
【００２２】請求項１４に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチップ
の並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持
する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転す
る手段と、上記基板を磁気記録媒体の幅方向に並進する
手段とを有し、上記並進手段および上記回転手段によっ
て上記基板を並進および回転し、磁気記録媒体の各トラ
ック方向に対して少なくとも１つの上記磁気ヘッドチッ
プの磁気ギャップを一致させながら、磁気記録媒体に記
録された信号を再生するように構成したものである。
【００２３】請求項１５に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチップ
の並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持
すると共に、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び方
向長さを磁気記録媒体幅方向に写影した長さが磁気記録
媒体の幅よりも短い上記基板を磁気記録媒体の幅方向に
わたって複数個配置したものである。
【００２４】請求項１６に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記磁気ヘッドチップの磁気ギャ
ップをすべて同じ角度で形成した上記基板を磁気記録媒
体走行方向にわたって複数設けると共に、上記各基板を
上記磁気ヘッドチップの並び方向の磁気記録媒体走行方
向に対する角度が少なくとも２種類以上であるように配
置することによって少なくとも２つのアジマス角を有す
るように構成したものである。
【００２５】請求項１７に記載の発明に係る磁気ヘッド
は、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する
磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒体摺動面側
の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向に曲面をな
し、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸であるもので
ある。
【００２６】
【作用】請求項１に記載の発明における磁気構造体は、
側面が斜面である溝状凹部を有する基板上に、上記凹部
の両側面と底面にわたって形成された複数の並行する導
電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および上記
基板上に積層された第１絶縁層と、上記凹部に充填され
た磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コア上に積層さ
れた第２絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続してヘ
リカル型コイル体となるように上記第２絶縁層上に形成
された第２導電路とを備えたので、トラック間隔を大き
くすることなくコイルの多巻線化をはかることができ、
磁性コアを厚くしても容易にコイルを形成できる。さら
に、共通する磁性コア上に巻線数が等しいかまたは異な
る複数のヘリカル型コイルを形成することができる。
【００２７】請求項２に記載の発明における磁気構造体
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板上
に、隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間
の底面にわたって形成された複数の並行する導電路から
なる第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に
積層された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で
形成される溝状凹部に充填された磁性材からなる磁性コ
アと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記
第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記凸部によって分離されて複数個
のコイル体が同一基板上に一体に形成されたので、多数
の磁気構造体の磁性コアを、基板上に設けた凸部によっ
て確実に分離することができ、凸部の斜面を利用してコ
イルを形成するため、厚い磁性コアにも確実にヘリカル
型コイルが形成できる。さらに、同一基板上に精度よく
一体に磁気構造体を形成できるので、特性のそろった磁
気構造体を形成できる。コイルの多巻線化が容易で、磁
性コアが厚くてもコイルを形成できる。さらに、クロス
ト−クを低減しながら多数の磁気構造体を高密度に配置
できる。
【００２８】請求項３に記載の発明における磁気ヘッド
は、側面が斜面であるとともに長さが異なる複数の畝状
凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い凸部である
ように配置した基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい
合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって形成された
複数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１
導電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣
合う上記凸部と上記底面で形成される溝状凹部に充填さ
れた磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記
録媒体摺動面側に形成された非磁性材からなる磁気ギャ
ップと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上
記第１導電路端を順次接続して上記短い凸部の両側に形
成された第１導電路が一個のヘリカル型コイル体となる
ように上記第２絶縁層上に形成された第２導電路とを備
え、上記磁性コアが上記長い凸部によって分離されて複
数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成され
たので、配置の間隔を大きくすることなく多巻線のコイ
ルを形成することができ、磁性コアを厚くしても容易に
コイルを形成できる。また、複数チャンネル分一体に形
成するので、各磁気ギャップ間の相対位置を容易に高精
度化できる。
【００２９】請求項４に記載の発明における磁気ヘッド
は、側面が斜面である複数の畝状凸部を有する基板と、
隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底
面にわたって形成された複数の並行する導電路からなる
第１導電路と、上記第１導電路および上記基板上に積層
された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成
される溝状凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コ
アと、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア
上に形成された第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気
記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に積層されて
磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶
縁層上に形成された複数の並行する導電路からなる第３
導電路と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層
と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を
有する畝状凸部となるように積層された磁性材からなる
第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と上面に積
層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続し
てヘリカル型コイル体となるように上記第４絶縁層上に
形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチ
ップが一体に形成されたので、多巻線化が容易であると
ともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよ
び相対位置精度の高い磁気ヘッドを提供することができ
る。
【００３０】請求項５に記載の発明における磁気ヘッド
は、上面と下面の略等しい位置に側面が斜面である複数
の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸部の間に長
さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹
んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両面のそれぞ
れ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面
にわたってそれぞれ形成された複数の並行する導電路か
らなる上面側の第１導電路および下面側の第３導電路
と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層と、上記
第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記第１およ
び第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突出した凸
部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材からなる
上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性コアと、
上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁
性材料からなる磁気ギャップと、上記第１および第２磁
性コア上にそれぞれ積層された第２および第４絶縁層
と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル
体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電
路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型コイ
ル体となるように上記第４絶縁層下面に形成された第４
導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に形
成されたので、基板の上面と下面にコイルを設けること
によって、複数チャンネルの磁気ヘッドのコイル間の距
離を大きくすることが可能であるので、コイル相互が及
ぼす影響を低減できる。さらに、多巻線化が容易である
とともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さお
よび相対位置精度の高い磁気ヘッドを提供することがで
きる。
【００３１】請求項６に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項２に記載の磁気構造体の第１または第２導電
路上に、磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層を介して
形成された磁性材からなる第２磁性コアを備え、複数個
の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形成されたの
で、励磁する磁極と、非励磁極が磁気ギャップを間には
んだ狭トラック構造の複数チャンネルの磁気ヘッドを容
易に形成でき、特に垂直磁気記録に適した多チャンネル
磁気ヘッドを提供することができる。
【００３２】請求項７に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項１ないし６記載のものにおいて、第１導電路
は溝状凹部の底面から両側面および上面にわたって形成
されているので、磁性コアを囲むヘリカル型コイルを形
成する際のコンタクトホールの位置決め誤差の許容値を
大きくすることができ、信頼性の向上と製造コストの低
減が可能である。
【００３３】請求項８に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項１ないし６記載のものにおいて、第１導電路
は溝状凹部の上面に設けられた凹部から両側面および底
面にわたって形成されているので、磁性コアを囲むヘリ
カル型コイルを形成する際のコンタクトホールの位置決
め誤差の許容値を大きくすることができ、信頼性の向上
と製造コストの低減が可能である。また、基板上面に形
成された導電路同士を凹部によって確実に分離し、絶縁
を確保することができる。
【００３４】請求項９に記載の発明における磁気ヘッド
は、請求項１ないし８記載のものにおいて、第１導電路
は少なくとも溝状凹部の底面から両側面にわたって設け
られた溝部に形成されているので、磁性コアを凹部に凹
凸無く形成することができ、磁束効率の高い磁性コアが
得られる。また、溝部によって凹部に形成された導電路
間の絶縁を確保することができる。
【００３５】請求項１０に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁性コア、コイルおよび磁気ギャップを有する磁
気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘ
ッドにおいて、上記基板上に電源ラインと、上記電源ラ
インと上記磁気ヘッドチップの個々のコイルとの電気的
な断続を行う手段と、上記電気的断続を制御する手段と
を上記基板と一体に形成したので、磁気ヘッドチップの
コイルと外部の電気回路の接続本数を大幅に低減するこ
とができ、さらにコイルと外部の電気回路の接続に電極
パッドを必要としないのでトラックピッチを小さくして
記録密度を高密度化できるとともに、信頼性が向上す
る。
【００３６】請求項１１に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記基板に再生信号増幅回路を
一体に形成したので、再生信号のＳ／Ｎ比を向上するこ
とができるとともに、磁気ヘッドチップのコイルと外部
の電気回路の接続本数を大幅に低減することができる。
【００３７】請求項１２に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、コイルを有する磁気ヘッドチップを共通する基板
上に複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板をヘッ
ドチップの並び方向に往復運動させる手段を有し、上記
基板を磁気記録媒体の最短記録波長以下の振幅でしかも
磁気記録媒体の走行速度より十分速い速度で上記ヘッド
チップの並び方向に往復運動させることによって磁気記
録媒体に記録された信号を再生するように構成したの
で、コイル巻線数が少なくても、また記録媒体と磁気ヘ
ッドの相対速度が小さくても十分な電圧の再生信号を得
ることができる。さらに、往復運動手段に必要なアクチ
ュエータは小さなもので実現できる。
【００３８】請求項１３に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチッ
プの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支
持する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転
する手段とを有し、上記回転手段によって上記基板を回
転し、磁気記録媒体の各トラックに対して少なくとも１
つの上記磁気ヘッドチップの磁気ギャップを一致させな
がら、磁気記録媒体に記録された信号を再生するように
構成したので、温度変化によるテープ幅の伸縮にともな
うトラック幅の変化およびトラック角度の変化の影響を
受けない再生が可能である。
【００３９】請求項１４に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチッ
プの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支
持する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転
する手段と、上記基板を磁気記録媒体の幅方向に並進す
る手段とを有し、上記並進手段および上記回転手段によ
って上記基板を並進および回転し、磁気記録媒体の各ト
ラック方向に対して少なくとも１つの上記磁気ヘッドチ
ップの磁気ギャップを一致させながら、磁気記録媒体に
記録された信号を再生するように構成したので、温度変
化によるテープ幅の伸縮にともなうトラック幅の変化お
よびトラック角度の変化の影響を受けない再生が可能で
ある。また、磁気記録媒体と磁気ヘッド間の位置関係に
磁気記録媒体の幅方向へのずれが生じてもこれを修正
し、再生することができる。
【００４０】請求項１５に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気ヘッドチッ
プの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支
持すると共に、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び
方向長さを磁気記録媒体幅方向に写影した長さが磁気記
録媒体の幅よりも短い上記基板を磁気記録媒体の幅方向
にわたって複数個配置したので、磁気ヘッドの磁気記録
媒体走行方向における長さを短くし、接触面積を低減で
き、磁気記録媒体の走行抵抗を低減できる。
【００４１】請求項１６に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記磁気ヘッドチップの磁気ギ
ャップをすべて同じ角度で形成した上記基板を磁気記録
媒体走行方向にわたって複数設けると共に、上記各基板
を上記磁気ヘッドチップの並び方向の磁気記録媒体走行
方向に対する角度が少なくとも２種類以上であるように
配置することによって少なくとも２つのアジマス角を有
するように構成したので、磁気ヘッドに容易に所望のア
ジマス角を持たせることができると共に、製造が容易に
なる。
【００４２】請求項１７に記載の発明における磁気ヘッ
ドは、磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成す
る磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒体摺動面
側の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向に曲面をな
し、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸であるので、
磁気ヘッドに対する磁気記録媒体の密着性を良くするこ
とができる。
【００４３】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。 実施例１．請求項１に記載の発明による磁気構造体の一
実施例である。図１はこの発明の実施例１による磁気構
造体を示す破断斜視図、図２は横断面図、図３は縦断面
図、図４は水平断面図、図５は上面図である。
【００４４】本実施例の磁気構造体は、図１に示すよう
に、主として基板１、第１導電路２１、第２導電路２
２、磁性コア３１、第１絶縁層４１、第２絶縁層４２と
を有して構成されており、図２に示すように、磁性コア
３１のまわりに、第１導電路２１および第２導電路２２
からなる多重巻線のヘリカル型コイルが、第１絶縁層４
１および第２絶縁層４２を介して巻き付くように形成さ
れた構造となっている。
【００４５】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は凹部１１が設けられており、凹部１１は側面１１ａ、
１１ｂと底面１１ｃで形成されている。側面１１ａ、１
１ｂは基板上面１０に対して斜面となっており、底面１
１ｃは基板上面１０と略平行である。凹部１１に設けら
れた第１導電路２１は側面１１ａ、１１ｂおよび底面１
１ｃにわたって並行する複数のアルミニウムや銅等から
なる導電路によって形成されている。第１絶縁層４１は
第１導電路２１の短絡防止や放熱のために設けられたも
ので、ＳｉＯ2等の絶縁材からなり、厚さは第１導電路
２１の厚さより厚い。図３，４に示すように、第１絶縁
層４１の厚さが第１導電路２１よりも厚いため、第２導
電路２２の形成の際に、第２導電路２２とコンタクトホ
ール２３の位置および寸法誤差の許容値を大きくするこ
とができ、磁性コア３１との絶縁を確実に確保すること
ができるとともに製造コストを低減することができる。
磁性コア３１は凹部１１に凹部１１の深さ以下の厚さで
充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材である。
第２絶縁層４２はＳｉＯ2 等の絶縁材からなり、第２導
電路２２や導電路５４、５５、５６等の短絡防止や放熱
のために設けられている。コンタクトホール２３は第１
導電路２１の端面２１ａと第２導電路２２の接続用に第
２絶縁層４１に設けられている。第２導電路２２は第２
絶縁層４１上に並行する複数のアルミニウムや銅等から
なる導電路によって形成されており、第２絶縁層４２に
設けられたコンタクトホール２３によって第１導電路端
２１ａを順次接続する。
【００４６】この際に、図５に示すように、第２導電路
の少なくとも一部２２ａが第１導電路端２１ａを一つお
きに順次接続するように形成するので、第２導電路の一
部２２ａでは二重巻線となり、巻線数が多い第１ヘリカ
ル型コイル（以降、ヘリカル型コイルを単にコイルと称
する）２５と巻線数が少ない第２コイル２６が導電路２
１と導電路２２によって形成される。第１コイル２５へ
の導電路５４、５５と第２コイル２６への導電路５６、
５７によって２つのコイル２５、２６に別々に給電した
り、別々に再生信号を取り出したりすることが可能であ
る。また、第１導電路２１の第２導電路の一部２２ａに
対応する箇所と、第２導電路の一部２２ａの断面積を大
きくすれば第２コイル２６の許容電流を大きくすること
ができる。一般的には再生時には記録時よりも大きな巻
線数のコイルが要求され、記録時には再生時よりも大き
な導電路断面積のコイルが要求されるので、２つのコイ
ル２５、２６をそれぞれ再生用、記録用とすることで、
再生と記録にそれぞれ最適のコイルを形成することがで
きる。さらに、再生時に記録用コイルに給電してバイア
スとなる交流磁界を発生させて再生の高感度化をはかる
等の動作が可能になる。また、ヘリカル型コイルを形成
することによって、多数巻線の磁気構造体を多数密に配
置することができる。
【００４７】実施例２．請求項１に記載の発明による磁
気構造体の他の実施例である。上記実施例１との相違点
に限って説明する。上記実施例１では、第２導電路２２
の少なくとも一部２２ａが第１導電路端２１ａを一つお
きに順次接続して、少なくとも一部が二重巻線のコイル
を形成していたが、接続方法は一つおきに限定されな
い。例えば二つおきに第１導電路２１ａを順次接続する
と、巻線数の異なるコイルが３個形成できるので、それ
ぞれのコイルを記録用、再生用、バイアス磁界発生用の
最適なコイルに形成することができる。また、用途によ
っては図６、７に上面図で示すように、隣の第１導電路
端を順次接続してもよく、図６は１個のコイル２５を形
成した場合、図７は２個のコイル２５、２６を形成した
場合を示している。このような構成とすることによっ
て、例えば図６のものはインダクタ素子として、図７の
ものはトランス素子として用いることができる。
【００４８】実施例３．請求項１に記載の発明による磁
気構造体の他の実施例であり、図８にその横断面図を示
し、図２で示した上記実施例１との相違点に限って説明
する。本実施例では、第１絶縁層４１が凹部１１を埋め
るように充填されており、磁性コア３１はこの第１絶縁
層４１に設けられた凹部４５に充填されている。このよ
うに形成することによって、第１絶縁層４１によって磁
性コア３１との絶縁を確実にできるためコンタクトホー
ル２３の位置および寸法誤差の許容値を大きくすること
ができ、歩留まりがよくなり製造コストを低減すること
ができる。
【００４９】実施例４．請求項１に記載の発明による磁
気構造体の他の実施例であり、図９にその横断面図を示
し、上記実施例１との相違点に限って説明する。本実施
例では、実施例３と同様に凹部１１に充填された第１絶
縁層４１の中にアルミニウム，金，銅，ニッケル，チタ
ン等からなるエッチングストップ層４６を設けている。
このように、エッチングストップ層４６を設けることに
よって、凹部４５をエッチングによって精度よく形成す
ることが可能である。
【００５０】実施例５．請求項１に記載の発明における
磁気構造体の他の実施例であり、図１０にその横断面図
を示し、上記実施例１との相違点に限って説明する。本
実施例では、第１絶縁層４１は図２で示した実施例１の
場合と同様に第１導電路２１および基板１上に薄く層状
に形成されており、磁性コア３１は断面台形状の凹部１
１の一部に断面長方形状で凹部１１の深さ以下となるよ
うに形成されている。そして、第２絶縁層４２が図２で
示した例と異なって、第１絶縁層４１および磁性コア３
１上に凹部１１を埋めるように形成されている。このよ
うに構成することによって、コンタクトホール２３の位
置および寸法誤差の許容値を大きくすることができ、製
造コストを低減することができる。
【００５１】実施例６．請求項２に記載の発明による磁
気構造体の一実施例である。図１１は実施例６による磁
気構造体を示す横断面図、図１２は上面図である。本実
施例の磁気構造体は、図１１に示すように、主として基
板１、第１導電路２１、第２導電路２２、磁性コア３
１、第１絶縁層４１、第２絶縁層４２とを有して構成さ
れており、磁性コア３１のまわりに、第１導電路２１お
よび第２導電路２２からなる多重巻線のヘリカル型コイ
ルが、第１絶縁層４１および第２絶縁層４２を介して巻
き付くように形成された構造体が複数一体に形成された
構造となっている。
【００５２】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の畝状凸部１２設けられており、畝状凸部１２の
間すなわち底面１１ｃは平坦部となっている。また、畝
状凸部１２の両側面１１ａ、１１ｂは平坦部１１ｃに対
して斜面となっており、側面１１ａ、１１ｂおよび底面
１１ｃによって凹部１１が形成されている。凹部に設け
られた第１導電路２１は、側面１１ａ、１１ｂおよび底
面１１ｃたって並行する複数のアルミニウムや銅等から
なる導電路によって形成されている。磁性コア３１は凹
部１１に凸部１２の高さ以下となるように充填されたパ
ーマロイやセンダスト等の磁性材である。複数の磁性コ
ア３１は凸部１２によって完全に分離されるので、クロ
ストークを軽減できる。第１絶縁層４１、第２絶縁層４
２、コンタクトホール２３、導電路５４、５５の構成
は、上記実施例１と同じであるが、第２導電路２２と第
１導電路端２１によって形成されるコイルは多重巻線構
造を形成することに限定されず、図１２に示すように単
線の巻線構造でもよい。例えば、このような単線の巻線
構造の場合はインダクタ素子として使用でき、図７に示
したような巻線構造であればトランスとして使用でき
る。さらに、図５に示したような巻線構造であれば記録
再生用の磁気ヘッドとしての使用が可能である。
【００５３】このように基板１に側面が斜面である凸部
１２を設けることによって、複数の磁性構造体を一体に
形成できるとともに、磁性コア３１を隣同士確実に分離
できる。さらに、磁性コアが厚い場合でも確実にヘリカ
ル型コイルを形成することができるので、コイルの多巻
線化と磁性コアの厚膜化および配置の高密度化を同時に
満足する磁気構造体を提供することができる。
【００５４】実施例７．請求項３に記載の発明による磁
気ヘッドの一実施例である。図１３は実施例７による磁
気ヘッドを示す斜視図、図１４は磁気ヘッドの基板およ
び第１導電路を示す斜視図、図１５は上面図、図１６は
磁気ギャップの形成工程を説明する斜視図である。
【００５５】本実施例の磁気ヘッドは、図１３、１４に
示すように、主として基板１、第１導電路２１、第２導
電路２２、磁性コア３１、磁気ギャップ３２、第１絶縁
層４１、第２絶縁層４２を有して構成されている。な
お、図１３〜１６では理解を容易にする目的で２チャン
ネル分の磁気ヘッドの構造を示しているが、２チャンネ
ルに限定されないことは言うまでもない。
【００５６】図１４に示すように、基板１は単結晶シリ
コン基板１ａとＳｉＯ2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基
板で、基板１の表面には複数の凸部が設けられており、
長さが長い凸部１５と短い凸部１６がこの例では交互に
設けられている。長い凸部１５の側面と、短い凸部１６
の側面は、平坦部１７に対して斜面となっており、長い
凸部１５の側面と短い凸部１６の側面および平坦部１７
で凹部１１が形成されている。第１導電路２１は長い凸
部１５の側面と、短い凸部１６の側面および平坦部１７
にわたって並行する複数のアルミニウムや銅等からなる
導電路で、短い凸部１６の両側に２組形成される。磁性
コア３１は凸部１５、１６の高さ以下となるように凹部
１１に充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材
で、磁気記録媒体摺動面９１の反対側の面側では閉磁路
となっており、隣同士は長い凸部１５で分離されてい
る。磁性コア３１の磁気記録媒体摺動面９１から短い凸
部１６にかけては、ＳｉＯ2 等の非磁性材からなる磁気
ギャップ３２が設けられている。図１５に示すように、
第１導電路２１および第２導電路２２によって、短い凸
部１６の両側に２つのコイル２７、２８が形成される
が、導電路５２によって接続する。２つのコイル２７、
２８を接続することによって、外部誘導磁界が２つのコ
イル２７、２８によって打消されるため、ノイズとなる
外部からの磁場の影響を小さくすることができる。電極
パッド５１は導電路５４、５７によってコイルに接続さ
れており、面積を大きくすることによって外部電気回路
等（図示しない）との接続を容易にする。
【００５７】本実施例に示す磁気ヘッドによれば、コイ
ルの巻線数を大きくしても磁気ヘッドチップ間隔は大き
くならない。また、長い凸部１５によって磁性コア３１
が隣同士確実に分離され、さらに、磁性コア３１が厚く
なっても、第１導電路が斜面に形成されているので、第
１導電路と第２導電路は確実に接続できる。
【００５８】次に、本実施例による磁気ヘッドの製造方
法について一例を説明する。（１００）表面配向のシリ
コンウェーハに異方性エッチングを施して凸部１５、１
６を形成する。この時形成される凸部１５、１６の側面
はシリコン単結晶の（１１１面）に相当するので、平坦
部１７とは略５５度の角度を有する斜面となる。凸部１
５、１６を形成した後、シリコンウェーハの酸化あるい
はＳｉＯ2 等の絶縁材の堆積によって、絶縁基板１を形
成する。次に、基板１上にアルミニウムや銅等の導電性
材料をめっき、あるいは蒸着等の手段によって堆積させ
た後、この導電性材料にいわゆるリソグラフィー技術を
用いてパターニングを施し、第１導電路２１を形成す
る。この際、凸部１５、１６の側面は斜面となっている
ため、側面に対する感光性レジストの塗布および露光が
可能である。次に、ＳｉＯ2 等の絶縁材を蒸着あるいは
塗布等の方法によって堆積させて第１絶縁層４１を形成
する。次に、第１６図に示すように、センダストやパー
マロイ等の磁性材料をめっきあるいは蒸着等の方法によ
って凹部１１の深さ以上の厚みに堆積させて磁性コア３
１ａを形成する。次に、例えばガリウム等の集束イオン
ビーム照射によるエッチング、あるいはレーザーアシス
トエッチング等により、磁気ギャップ３２形成部の磁性
コア３１ａの側面３７を所望のアジマス角を有する平面
となるように除去加工した後、この平面上に磁気ギャッ
プ長に等しい厚みの非磁性材を堆積させて磁気ギャップ
３２を形成する。さらに、センダストやパーマロイ等の
磁性材をめっきあるいは蒸着等の方法によって、磁性コ
ア３１ａが形成されていない部分に、凹部１１の深さ以
上の厚みに堆積させる。次に、これら磁性材の厚さが凹
部１１の深さと同一、あるいはそれ以下となるよう機械
加工等の手段を用いて平面研磨して磁性コア３１を形成
する。この結果、長い凸部１５によって磁性コア３１は
隣同士確実に分離されるとともに、第１導電路２１の端
面２１ａが露出する。次に、平面研磨した面全体にわた
って第２絶縁層４２を堆積させた後、第１導電路端面２
１ａの上方の絶縁層４２に、コンタクトホール２３を例
えばリソグラフィー技術を用いて設ける。次に、第２絶
縁層４２およびコンタクトホール２３内にアルミニウム
や銅等の導電性材料をめっき、あるいは蒸着等の手段に
よって導電膜を堆積させた後、この導電膜にいわゆるリ
ソグラフィー技術を用いてパターニングを施して、第２
導電路２２、導電路５２、５４、５７および電極パッド
５１を形成する。
【００５９】なお、図１３では電極パッド５１を千鳥状
に配置して設けているが、配置方法は千鳥配置に限定さ
れない。また、磁性コア３１を磁性材と非磁性材の積層
構造にすると、渦電流損失が小さくなり、透磁率が向上
する。
【００６０】実施例８．請求項３に記載の発明による磁
気ヘッドの他の実施例で、上記実施例７との相違点に限
って説明する。図１７は実施例８による磁気ヘッドの２
チャンネル分の水平断面図、図１８は横断面図である。
図１８に示すように、断面台形状の凹部１１に充填した
第１絶縁層４１に断面長方形状の凹部４５を設け、磁性
コア３１はパーマロイやセンダスト等の磁性材からな
り、断面長方形状の凹部４５に凹部１１の深さ以下とな
るように充填される。このように形成することによっ
て、コンタクトホール２３の位置および寸法誤差の許容
値を大きくすることができ、製造コストを低減すること
ができるとともに、隣接するチャンネルの磁性コアとの
分離が確実になるのでクロストークを低減できる。
【００６１】実施例９．請求項３に記載の発明による磁
気ヘッドの他の実施例である。上記実施例７との相違点
に限って図１９に基づいて説明する。上記実施例７で
は、図１４、１６に示したように、磁気ギャップ３２は
磁性コア３１に設けられた非磁性材で形成されている。
本実施例では、短い凸部１６の端面を磁気記録媒体摺動
面９１にわたる楔型の形状に形成することによって磁気
ギャップ３２を構成する。短い凸部１６の端面を楔型形
状に形成する方法には、例えば機械加工やエッチング等
がある。この方法によれば、磁気ギャップ３２の形成が
基板１の加工時に行えるため、製造が容易になる。
【００６２】実施例１０．請求項３に記載の発明による
磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施例７との相違
点に限って、図１５および図２０（ａ）（ｂ）に基づい
て説明する。上記実施例７では、基板１の表面上には長
い凸部１５と短い凸部１６が交互に設けられているが、
これに限るものではなく、少なくとも短い凸部１６の両
側が長い凸部１５であるように配置すればよい。例えば
図２０に示した実施例では、基板１の表面上には短い凸
部１６の間に連続する２個の長い凸部１５が設けられて
いる。隣接する長い凸部１５の斜面とその間の平坦部１
８で構成される凹部にパーマロイやセンダスト等の磁性
材が凸部１５の高さ以下で充填されて磁性層３３を形成
する。このような構成とした場合、隣合う磁性コア３１
が凸部１５で分離されるとともに、磁性層３３が磁気シ
ールドとして作用するため、クロストークが小さい磁気
ヘッドを形成することができる。
【００６３】また、長い凸部１５と短い凸部１６の幅が
等しくなくてもよいことは言うまでもない。例えば、短
い凸部１６の幅が大きいと、図１５に示す短い凸部１６
の両側のコイル２７、２８の距離が大きくなり、コイル
相互が及ぼすの影響を軽減できる。
【００６４】実施例１１．請求項４に記載の発明による
磁気ヘッドの一実施例である。図２１は実施例１１によ
る磁気ヘッドを示す斜視図、図２２は横断面図、図２３
は縦断面図である。図２４は磁気ヘッドの磁性コア接続
用コンタクトホールを示す斜視図である。
【００６５】本実施例の磁気ヘッドは、図２１、２２に
示すように、主として基板１、第１導電路２１、第２導
電路２２、第１磁性コア３５、第３導電路６１、第４導
電路６２、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１
絶縁層４１、第２絶縁層４２、第３絶縁層４３、第４絶
縁層４４および電極パッド５１とを有して構成されてい
る。図２１〜２４では理解を容易にする目的で２チャン
ネル分の磁気ヘッドの構造を示しているが、実際には多
数チャンネルの磁気ヘッドに係わるものであることは言
うまでもない。
【００６６】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板であり、基板１の表
面には複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間
は平坦部１３となっている。凸部１２の両側面１１ａ、
１１ｂは平坦部１３に対して斜面となっており、側面１
１ａ、１１ｂおよび平坦部１３によって凹部１１が形成
されている。第１導電路２１は側面１１ａ、１１ｂおよ
び底面１３にわたって並行する複数のアルミニウムや銅
等からなる導電路によって形成されている。第１磁性コ
ア３５は凹部１１に凸部１２の高さ以下となるように充
填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材である。複
数の第１磁性コア３５は凸部１２によって完全に分離さ
れるので、クロストークを軽減できる。第２導電路２２
は第２絶縁層４２上に並行する複数のアルミニウムや銅
等からなる導電路によって形成されており、コンタクト
ホール２３によって第１導電路２１の端を順次接続す
る。第１導電路２１と第２導電路２２によって第１磁性
コア３５に巻き付くように第１コイルが複数一体に形成
される。第１コイルへの給電および再生信号の取り出し
は電極パッド５１ａによって行う。第２導電路２２、導
電路２４および第１磁性コア３５上に磁気ギャップ３２
を設ける。磁気ギャップ３２は第１磁性コア３５と第２
磁性コア３６の間に形成される非磁性材からなる。
【００６７】磁気ギャップ３２を形成する非磁性材から
なる層と第５絶縁層には、図２４に示すように、第２導
電路２２と第４導電路６２の接続用のコンタクトホール
６３と、第１磁性コア３５と第２磁性コア３６の接続用
のコンタクトホール６４を設ける。第４導電路６２は並
行する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によっ
て形成されており、第４絶縁層４４に設けられたコンタ
クトホール６５によって第３導電路６１の端を順次接続
する。第２磁性コア３６はパーマロイやセンダスト等の
磁性材からなり、側面が斜面であるとともに、第４導電
路６２の端までかからないように形成されている。少な
くとも第２磁性コア３６の側面および上面には第３絶縁
層４３が形成されいる。第３導電路６１は第３絶縁層４
３を介して第２磁性コア３６の側面および上面にまたが
って形成される並行する複数の導電路である。第３導電
路６１と第４導電路６２によって第２磁性コア３６に巻
き付くように第２コイルが複数一体に形成される。第２
コイルへの給電および再生信号の取り出しは電極パッド
５１ｂによって行う。第１コイルと第２コイルはコンタ
クトホール６３によって直列に接続されているので、電
極パッド５１ａと５１ｂによって給電および再生信号の
検出が可能である。第１磁性コア３５と第２磁性コア３
６は、図２３に示すように、磁気記録媒体摺動面側は磁
気ギャップ３２によって分離されており磁気記録媒体摺
動面の反対面ではコンタクトホールによって接合されて
いる。このように構成することによって、多巻線化が容
易であるとともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャッ
プ長さおよび相対位置精度の高い磁気ヘッドを形成する
ことができる。
【００６８】実施例１２．請求項４に記載の発明による
磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施例１１との相
違点に限って図２４に基づいて説明する。上記実施例１
１では、第５絶縁層４５には、第２導電路２２と第４導
電路６２の接続用のコンタクトホール６３と、第１磁性
コア３５と第２磁性コア３６の接続用のコンタクトホー
ル６４を有している。本実施例では、第５絶縁層４５に
は第２導電路２２と第４導電路接続用のコンタクトホー
ル６３は設けず、第１コイルと第２コイルの第５絶縁層
４５を介しての接続は行わない。その代わりに、第２絶
縁層４２上と第５絶縁層４５上にさらに電極パッドを設
け、それぞれ第１、第２コイルと接続する。このような
構成では、コンタクトホール６３による第１コイルと第
２コイルの接続が不要であるため、信頼性が向上する。
【００６９】実施例１３．請求項４に記載の発明による
磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施例１１との相
違点に限って図２５に基づいて説明する。本実施例で
は、上記実施例１１の磁気ヘッドにさらに第２基板２を
設ける。第２基板２は第１基板と同様に例えば単結晶シ
リコン基板２ａにＳｉＯ2 等の絶縁材からなる絶縁層２
ｂを積層したものである。第２基板２によって、第２磁
性コア３６を隣同士確実に分離してクロストークを低減
できるとともに、第２磁性コア３６や第３導電路６１等
を保護することができる。
【００７０】実施例１４．請求項５に記載の発明による
磁気ヘッドの一実施例である。図２６は実施例１４によ
る磁気ヘッドを示す斜視図、図２７はこの実施例に係わ
る磁気ヘッド用基板を示す斜視図、図２８は磁気ヘッド
の横断面図、図２９は縦断面図である。
【００７１】本実施例の磁気ヘッドは、図２８に示すよ
うに、主として基板１、第１導電路２１、第２導電路２
２、第１磁性コア３５、第３導電路６１、第４導電路６
２、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁層
４１、第２絶縁層４２、第３絶縁層４３、および第４絶
縁層４４を有して構成されている。図２６〜図２９では
理解を容易にする目的で２チャンネル分の磁気ヘッドの
構造を示しているが、実際には多数チャンネルの磁気ヘ
ッドに係わるものであることは言うまでもない。
【００７２】図２７に示すように、基板１は単結晶シリ
コン基板１ａとＳｉＯ2 等の絶縁層１ｂ、１ｃからなる
絶縁基板で、基板１の上面および下面の略等しい位置に
複数の畝状凸部１２が形成されており、畝状凸部１２の
間は平坦部１３となっている。畝状凸部１２の両側面は
平坦部１３に対して斜面となっており、畝状凸部１２の
両側面および平坦部１３によって凹部が形成されてい
る。平坦部１３の長さは畝状凸部１２よりも短く、しか
も、前側端面９３および後ろ側端面９４は凸部端面９１
および９２より凹んでいる。また、図２８に示すよう
に、畝状凸部１２の両側面および底面１３にわたって並
行して形成された複数のアルミニウムや銅等からなる導
電路によって基板１の上面側には第１導電路２１が形成
され、基板１の下面側には第３導電路６１が形成されて
いる。基板１の上面側の第１磁性コア３５および下面側
の第２磁性コア３６は凸部１２の高さ以下となるように
充填されたパーマロイやセンダスト等の磁性材で、第１
磁性コア３５と第２磁性コア３６は、図２９に示すよう
に、磁気記録媒体摺動面９１側には磁気ギャップ３２に
よって分離されており磁気記録媒体摺動面の反対面９２
では接合されている。磁気ギャップ３２は非磁性材から
なり、磁気記録媒体摺動面９１側の第１磁性コア３５と
第２磁性コア３６の間に形成される。複数の第１磁性コ
ア３５および第２磁性コア３６は凸部１２によって完全
に分離されるので、クロストークを軽減できる。コンタ
クトホール２３が第１導電路２１の端と第２導電路２２
の接続用に第２絶縁層４２に設けられており、コンタク
トホール６５が第３導電路６１の端と第４導電路６２の
接続用に第４絶縁層４４に設けられている。第２導電路
２２および第４導電路６２は並行する複数のアルミニウ
ムや銅等からなる導電路で、第２導電路２２は、コンタ
クトホール２３を介して第１導電路２１の端を順次接続
し、第４導電路６２はコンタクトホール６５を介して第
３導電路６１の端を順次接続する。第１導電路２１と第
２導電路２２によって第１磁性コア３５に巻き付くよう
に第１コイルが複数一体に形成され、第３導電路６１と
第４導電路６２によって第２磁性コア３６に巻き付くよ
うに第２コイルが複数一体に形成される。このように構
成することによって、第１および第２コイル間の距離を
大きくすることができるので、コイルが相互に及ぼす影
響を低減できる。さらに、多巻線化が容易であるととも
に配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相
対位置精度の高い磁気ヘッドを形成することができる。
【００７３】実施例１５．請求項６に記載の発明による
磁気ヘッドの一実施例である。図３０は実施例１５によ
る磁気ヘッドを示す横断面図、図３１は縦断面図であ
る。
【００７４】本実施例の磁気ヘッドは、主として基板
１、第１導電路２１、第２導電路２２、第１磁性コア３
５、第２磁性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁層
４１、第２絶縁層４２、および第３絶縁層４３を有して
構成されている。図３０および図３１では理解を容易に
する目的で２チャンネル分の磁気ヘッドの構造を示して
いるが、実際には多数チャンネルの磁気ヘッドに係わる
ものであることは言うまでもない。
【００７５】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間は平
坦部１３となっている。凸部１２の両側面は平坦部１３
に対して斜面となっており、凸部１２の両側面および平
坦部１３によって凹部１１が形成されている。第１導電
路２１は凸部１２の両側面および底面１３にわたって並
行する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によっ
て形成されている。第１磁性コア３５は凹部１１に凸部
１２の高さ以下となるように充填されたパーマロイやセ
ンダスト等の磁性材である。複数の第１磁性コア３５は
凸部１２によって完全に分離されるので、クロストーク
を低減できる。コンタクトホール２３は第１導電路２１
の端と第２導電路２２の接続用に第２絶縁層４２に設け
られている。第２導電路２２は第２絶縁層４２上に並行
する複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって
形成されており、コンタクトホール２３によって第１導
電路の端を順次接続する。第１導電路２１と第２導電路
２２によって第１磁性コア３５に巻き付くようにコイル
が複数一体に形成される。第２磁性コア３６はパーマロ
イやセンダスト等の磁性材である。第１磁性コア３５と
第２磁性コア３６の間には、磁気記録媒体摺動面９１側
には非磁性材からなる磁気ギャップ３２が設けられてお
り、磁気記録媒体摺動面９１と反対側では磁性材によっ
て第２磁性コア３６が第１磁性コア３５に接続されてい
る。また、第２導電路２２などの導電路と第２磁性コア
の間には第３絶縁層４３が設けられており、第２導電路
２２などの導電路の短絡防止と放熱を行う。このように
構成することによって、多巻線化が容易であるとともに
配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対
位置精度の高い磁気ヘッドを形成することができる。
【００７６】実施例１６．請求項６に記載の発明による
磁気ヘッドの他の実施例である。図３２は実施例１６に
よる磁気ヘッドを示す横断面図、図３３は縦断面図であ
る。本実施例の磁気ヘッドは、主として基板１、第１導
電路２１、第２導電路２２、第１磁性コア３５、第２磁
性コア３６、磁気ギャップ３２、第１絶縁層４１、第２
絶縁層４２、第３絶縁層４３を有して構成されている。
なお、図３２では理解を容易にする目的で２チャンネル
分の磁気ヘッドの構造を示しているが、実際には多数チ
ャンネルの磁気ヘッドに係わるものであることは言うま
でもない。
【００７７】基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳｉＯ
2 等の絶縁層１ｂからなる絶縁基板で、基板１の表面に
は複数の凸部１２が形成されており、凸部１２の間は平
坦部１３となっている。凸部１２の両側面は平坦部１３
に対して斜面となっており、凸部１２の側面および平坦
部１３によって凹部１１が形成されている。凹部底面１
３にはパーマロイやセンダストなどの磁性材からなる第
２磁性コア３６が設けられている。第１導電路２１は凸
部１２の側面および第３絶縁層４３にわたって並行する
複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって形成
されている。第１磁性コア３５は凹部１１に凸部１２の
高さ以下となるように充填されたパーマロイやセンダス
ト等の磁性材である。複数の第１磁性コア３５は凸部１
２によって完全に分離されるので、クロストークを低減
できる。第２導電路２２は第２絶縁層４１上に並行する
複数のアルミニウムや銅等からなる導電路によって形成
されており、第１導電路２１の端を順次接続する。第１
導電路２１と第２導電路２２によって第１磁性コア３５
に巻き付くようにコイルが形成される。第１磁性コア３
５と第２磁性コア３６の間には、磁気記録媒体摺動面９
１側には非磁性材からなる磁気ギャップ３２が設けられ
ており、磁気記録媒体摺動面と反対面では磁性材によっ
て第２磁性コア３６が第１磁性コア３５に接続されてい
る。このように構成することによって、多巻線化が容易
であるとともに配列間隔が極めて小さく、磁気ギャップ
長さおよび相対位置精度の高い磁気ヘッドを形成するこ
とができる。
【００７８】実施例１７．請求項１〜６に記載の発明に
おける他の実施例である。図１に基づいて説明する。上
記各実施例では、基板１は単結晶シリコン基板１ａとＳ
ｉＯ2 からなる絶縁層１ｂからなる絶縁基板であった
が、基板１ａは金属、ガラス、樹脂などの材料でもよ
く、基板１の絶縁層１ｂはＳｉＯ2 に限らない。また、
基板１は例えばサファイヤ、ガラス材、セラミック、あ
るいは金属酸化物等の絶縁材でもよい。この場合には絶
縁層１ｂは不要となり、基板と第２導電路２２の絶縁は
常に確保できることができる。また、熱伝導性に優れる
ので放熱効果が高い。さらに、絶縁層１ｂを形成する必
要がなく、製造工程が簡略化でき、製造コストを低減で
きる。
【００７９】実施例１８．請求項１〜６に記載の発明に
おける他の実施例であり、図３４に基づいて説明する。
上記各実施例では、第１導電路２１の端面２１ａと第２
導電路２２の接続用に第２絶縁層４１に形成されるコン
タクトホール２３は、第１導電路端面２１ａと第２導電
路端２２の接続箇所に個別に設けられている。これに対
して本実施例では、一つのコンタクトホール２３によっ
て同列にある接続箇所の接続を行う。このような構造に
することで、コンタクトホール２３形成時にコンタクト
ホール２３の位置および寸法誤差の許容値を大きくする
ことができ、第１導電路２１と第２導電路２２の確実な
接続を可能にするとともに、製造コストを低減できる。
【００８０】実施例１９．請求項１〜６に記載の発明に
おける他の実施例である。図３５（ａ）（ｂ）に基づい
て説明する。基板上に設けられる凸部１２、１５、１６
または凹部１１の底面は、上記各実施例で示したような
平坦面に限るものではなく、例えば図３５（ａ）に示す
ような傾斜を有する曲面でも同様の効果が得られる。さ
らに、例えば図３５（ｂ）に示すように、側面１１ａ、
１１ｂ、底面１１ｃ、１３共に曲面であってもよい。こ
の場合は、基板１には上記実施例１７で述べたようなガ
ラスや樹脂等の非結晶材料を用いるとよい。
【００８１】実施例２０．請求項１〜６に記載の発明に
おける他の実施例である。上記各実施例では第１絶縁層
４１あるいは第３絶縁層４３の厚さをそれぞれ第１導電
路２１、第３導電路６２以上の厚さに形成した場合につ
いて示したが、それぞれ第１導電路２１、第３導電路６
２以下の厚さに形成したものでも、上記各実施例と同様
の効果を有する磁気構造体および磁気ヘッドを提供する
ことができる。
【００８２】実施例２１．請求項１〜６に記載の発明に
おける他の実施例である。図３６に基づいて説明する。
基板１の絶縁層１ｂの下にパーマロイやセンダストなど
の磁性材からなる磁性層１ｃを設ける。磁性層１ｃは磁
気シールドとして作用するので、チャンネル間のクロス
トークを低減できる。
【００８３】実施例２２．請求項１〜３、５、および６
に記載の発明における他の実施例である。例えば図２８
において、第２導電路２２あるいは第４導電路６２の上
にガラス材、樹脂等の絶縁材からなる保護層を設ける。
保護層によって磁気ヘッドの表面が周囲の環境から保護
され、信頼性が向上する。
【００８４】実施例２３．請求項７に記載の発明による
磁気構造体の一実施例である。図１、２で示した上記実
施例１との相違点に限って説明する。図３７は実施例２
３による磁気構造体を示す破断斜視図、図３８は横断面
図である。
【００８５】上記実施例１では図１に示すように第１導
電路２１が基板凹部１１の両側面と底面に形成されてい
たが、本実施例では図３７、３８に示すように、加えて
基板１の上面１０まで第１導電路２１ａが形成されてい
る。また、第２導電路２２は基板１の上面１０に形成さ
れた第１導電路２１ａと接続される。よって、第２絶縁
層４２に形成されるコンタクトホール２３の位置を基板
上面１０上とすることができる。このように、コンタク
トホール２３の位置を基板上面１０上にすることで、第
１導電路２１および第２導電路２２と磁性コア３１の絶
縁を確実に確保でき、かつコンタクトホール２３の位置
および寸法誤差の許容値を大きくすることができるため
製造コストの低減が図れる。
【００８６】なお、本実施例２３では請求項１に記載し
たような１つの磁気構造体に請求項７の発明を適用した
場合について示したが、これを請求項２に記載したよう
な同一基板上に複数一体に設けた磁気構造体や、請求項
３〜６に記載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様
の効果が得られることは言うまでもない。
【００８７】実施例２４．請求項８に記載の発明による
磁気構造体の一実施例である。上記実施例１との相違点
に限って説明する。図３９は実施例２４による磁気構造
体を一部破断して示す斜視図、図４０は実施例２４に係
わる磁気構造体用基板の斜視図、図４１は磁気構造体の
横断面図、図４２は水平断面図である。
【００８８】本実施例２４では基板１の上面１０に凹部
すなわち溝部１７を設けている。この溝部１７は基板上
面１０の基板凹部１１の斜面と隣接する位置に複数個が
並行して設けられている。実施例１では第１導電路２１
が凹部１１の側面と底面にしか形成されていないが、本
実施例２４では基板上面の溝部１７と凹部１１の両側面
と底面にわたって第１導電路２１が形成されている。こ
の第１導電路２１と第２導電路２２は溝部１７上に形成
された第２絶縁層４２のコンタクトホール２３を介して
接続される。このような構造にすることによって、第１
導電路２１および第２導電路２２と磁性コア３１の絶縁
を確実に確保でき、かつコンタクトホール２３の位置お
よび寸法誤差の許容値を大きくすることができるため製
造コストの低減が図れる。さらに、溝部１７によって基
板上面１０に複数形成された第１導電路２１間の絶縁を
確実に確保できる。
【００８９】なお、本実施例２４では請求項１に記載し
たような１つの磁気構造体に請求項８の発明を適用した
場合について示したが、これを請求項２に記載したよう
な同一基板上に複数一体に設けた磁気構造体や、請求項
３〜６に記載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様
の効果が得られることは言うまでもない。
【００９０】実施例２５．請求項９に記載の発明による
磁気構造体の一実施例である。上記実施例１との相違点
に限って説明する。図４３は実施例２５による磁気構造
体を一部破断して示す斜視図、図４４は実施例２５に係
わる磁気構造体用基板を示す斜視図である。
【００９１】本実施例２５では図４４に示すように、基
板１における凹部１１の両側面から底面にわたって溝部
１８を設けており、この溝部１８は凹部１１の長手方向
に複数個が並行して設けられている。本実施例２５では
図４３に示すように、この溝部１８に第１導電路２１が
形成されている。このため、第１導電路間の絶縁を確実
に確保することができる。また、第１導電路２１の厚さ
は溝部１８の深さと略等しく形成されている。よって、
第１導電路２１形成後の凹部１１の底面および両側面は
平面となり、上記実施例１のような凹凸がない。このた
め、第１導電路２１形成後に凹部１１に形成される第１
絶縁層４１および磁性コア３１の基板凹部と対向する面
も平面となる。このような構造にすれば、磁性コア３１
に上記実施例１のような凹凸がないために磁性コア内を
通る磁束損失が少なく、磁束効率のよい磁性コアが得ら
れる。
【００９２】なお、本実施例２５では請求項１に記載し
たような１つの磁気構造体に請求項９の発明を適用した
場合について示したが、これを請求項２に記載したよう
な同一基板上に複数一体に設けた磁気構造体や、請求項
３〜６に記載したような磁気ヘッドにも適用でき、同様
の効果が得られることは言うまでもない。
【００９３】さらに、上記実施例２５では図４４に示す
ように溝部１８が凹部１１の底面１１ｃから両側面１１
ａ、１１ｂにわたって設けられているが、上面にも設け
られていてもよいのは言うまでもない。
【００９４】実施例２６．請求項１０に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例であり、図４５は実施例２６に
よる磁気ヘッドを示す斜視図、図４６は実施例２６に係
わるスイッチング回路を示す説明図である。磁性コア１
０１、コイル１０２および磁気ギャップ１０３からなる
磁気ヘッドチップ１０４が共通する基板１００に複数一
体に形成されている。さらに、基板１００には、グラン
ド線、＋ライン、および−ラインからなる電源ライン１
１０とスイッチング回路１２０が個々の磁気ヘッドチッ
プ１０４に対応して一体に形成されている。スイッチン
グ回路１２０は、図４６に示すように、コイル１０２へ
の電気的断続手段１２１と、隣接するスイッチング回路
と信号を授受する信号線１２２および１２３と、上記電
気的断続を制御する信号処理手段１２４を有している。
信号処理手段１２４は、信号線１２２を介して入力され
た一方の隣のスイッチング回路からの特定の信号に基づ
いて電気的断続手段１２１を動作させるとともに、他方
の隣のスイッチング回路に特定信号を送る。このような
回路を基板１００上に一体に形成することによって、磁
気ヘッドチップ１０４の数が例えば数十以上の多数にな
っても、磁気ヘッドと外部の電気回路図示しないとの接
続本数は小数ですむ。さらに、電極パッドが不要になる
ため、磁気ヘッドチップ１０４の間隔を小さくできる。
【００９５】なお、基板１００に形成される電源ライン
１１０は図４６に示したようにグランド線を含む３本に
限定されるものではない。例えば、電源側からの出力に
応じてスイッチング回路により電気的断続手段を動作さ
せることにより、グランド線を含む２本の電源ラインで
も上記実施例２０と同様の効果が得られる。
【００９６】実施例２７．請求項１０に記載の発明によ
る磁気ヘッドの他の実施例であり、図４７は実施例２７
に係わるスイッチング回路を示す説明図である。磁性コ
ア１０１、コイル１０２および磁気ギャップ１０３から
なる磁気ヘッドチップ１０４が共通する基板１００に複
数一体に形成されている。さらに、基板１００には、電
源ラインと１１０と、アドレス線１１１とスイッチング
回路１２０が個々の磁気ヘッドチップ１０４に対応して
一体に形成されている。スイッチング回路１２０は、図
４７に示すように、コイル１０２への電気的断続手段１
２１と、信号処理手段１２４を有している。信号処理回
路１２４は、アドレス線１１１上の信号をデコードし、
あらかじめ決められているアドレスと等しいときに電気
的断続手段１２１を動作させる。このような回路を基板
１００上に一体に形成することによって、磁気ヘッドチ
ップ１０４の数が例えば数十以上の多数になっても、磁
気ヘッドと外部の電気回路（図示しない）との接続本数
は小数ですむ。さらに、電極パッドが不要になるため、
磁気ヘッドチップ１０４の間隔を小さくできる。
【００９７】なお、基板１００に形成されるスイッチン
グ回路１２０は、磁気ヘッドチップ１０４個々に設ける
ことに限定されない。一つのスイッチング回路に複数の
電気的断続手段を設けて、スイッチング回路の数を磁気
ヘッドチップ数より少なくしても上記実施例２６、２７
と同様の効果が得られる。
【００９８】実施例２８．請求項１１に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例であり、図４８は実施例２８に
よる磁気ヘッドを示す斜視図である。磁性コア１０１、
コイル１０２および磁気ギャップ１０３からなる磁気ヘ
ッドチップ１０４が共通する基板１００に複数一体に形
成されている。さらに、基板１００には、増幅回路１３
０が個々の磁気ヘッドチップ１０４に対応して一体に形
成されている。増幅回路１３０は、コイル１０２に発生
する再生信号を増幅する。増幅回路を磁気ヘッドチップ
と一体に形成することによって、信号線の長さを短くす
ることができ、再生信号のＳ／Ｎ比を向上できる。ま
た、磁気ヘッドチップ１０４のそれぞれの再生する信号
の周波数帯域が大きく異なるような場合、例えば一つの
磁気ヘッド１０５で映像信号、音声信号および制御トラ
ック信号等を再生するような場合でも、個々の磁気ヘッ
ドチップの増幅回路の周波数特性を再生信号に応じ変え
ることで、一つの磁気ヘッド１０５で全ての信号の再生
が可能になる。
【００９９】なお、基板１００に形成される増幅回路１
３０は磁気ヘッドチップ１０４個々に設けることに限定
されない。例えば、上記実施例２８のスイッチング回路
等を各磁気ヘッドチップに設けるとともに、磁気ヘッド
チップ群を映像信号用、音声信号用、制御トラック信号
用等のユニットに分け、個々のユニットから再生される
信号の周波数帯域に応じた増幅回路を１つづつ設けれ
ば、増幅回路の数を少なくしても上記実施例２８と同様
の効果が得られる。また、この場合、製造コストを下げ
ることにもなる。
【０１００】実施例２９．請求項１０および請求項１１
に記載の発明による磁気ヘッドの他の実施例である。実
施例２６〜２８では、電源ラインとスイッチング回路、
または信号増幅回路のどちらかを基板１００上に複数の
磁気ヘッドチップと一体に形成していたが、どちらか１
方のみを形成することに限られない。例えば、電源ライ
ン、スイッチング回路、および信号増幅回路の全てを併
せて個々の磁気ヘッドチップに対し形成しても同様の効
果が得られる。さらに、この場合、記録時には電源ライ
ンとスイッチング回路を、再生時には信号増幅回路を用
いる等の選択をすることにより、各磁気ヘッドチップに
対して記録および再生の両方の機能を持たせることがで
きる。また、電気的断続手段を設けることによって、磁
気ヘッドチップの個数よりもスイッチング回路、および
信号増幅回路の数を少なくすることができることは言う
までもない。
【０１０１】実施例３０．請求項１１に記載の発明によ
る磁気ヘッドの他の実施例であり、図４９は実施例３０
に係わるスイッチング回路を示す説明図である。磁性コ
ア１０１、コイル１０２および磁気ギャップ１０３から
なる磁気ヘッドチップ１０４が共通する基板１００に複
数一体に形成されている。さらに、基板１００には、増
幅回路１３０と個々の磁気ヘッドチップ１０４に対応し
たスイッチング回路１２０と増幅回路１３０とスイッチ
ング回路１２０を接続する信号線が一体に形成されてい
る。
【０１０２】増幅回路１３０は、コイル１０２に発生す
る再生信号を増幅する。スイッチング回路１２０は、図
４９に示すように、コイル１０２への電気的断続手段１
２１と、隣接するスイッチング回路と信号を授受する信
号線１２２および１２３と、信号処理手段１２４を有し
ている。信号処理手段１２４は、信号線１２２を介して
入力された一方の隣のスイッチング回路からの特定の信
号に基づいて電気的断続手段１２１を動作させるととも
に、他方の隣のスイッチング回路に特定信号を送る。こ
のような回路を基板１００上に一体に形成することによ
って、信号線の長さを短くすることができ、再生信号の
Ｓ／Ｎ比を向上できる。また、各コイル１０２からの再
生信号を１つの同じ増幅回路１３０で増幅するために、
複数個の増幅回路で増幅するのに比べ、安定した増幅特
性が得られる。さらに、製造コストも低減することがで
きる。
【０１０３】実施例３１．請求項１２に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例であり、図５０は実施例３１に
よる磁気ヘッドを示す斜視図、図５１（ａ）（ｂ）はそ
の動作を説明する説明図である。
【０１０４】磁性コア１０１、コイル１０２および磁気
ギャップ１０３からなる磁気ヘッドチップ１０４が共通
する基板１００に複数一体に形成されている。さらに、
基板１００には、圧電効果を用いたアクチュエータ１４
０が設けられており、アクチュエータ１４０の一方は固
定部（図示しない）に接合されており、他方は基板１０
０に接合されている。アクチュエータ１４０によって磁
気ヘッド１０５はヘッドチップの並び方向に往復運動す
ることができる。磁気記録媒体上には例えば図５１
（ａ）に示すような磁気信号が記録されており、コイル
１０２によって図５１（ｂ）に示す再生信号が得られ
る。再生電圧ｅは、磁気信号の時間微分値になるため、
磁気録媒体と磁気ヘッドの相対速度に比例する。このこ
とから、磁気ヘッド１０５にヘッドチップの並び方向に
高速に往復運動を与えると、再生信号には往復運動に伴
う変調がかかるものの再生電圧ｅは大きくなる。往復運
動の振幅は磁化反転幅ｑ程度でよいが、一般に磁化反転
幅を特定することは困難であるので、磁気信号の最短記
録波長以下の振幅を与えるようにする。このような磁気
ヘッドによって、再生信号電圧が高く、Ｓ／Ｎ比の高い
再生が可能である。なお、図５１（ａ）において、ｘは
トラック方向、Ｍx はトラック方向の媒体の磁化、Ｍr
は媒体の残留磁化、ａは媒体の残留磁化が半分となる距
離である。
【０１０５】なお、基板１００に往復運動を与える手段
は上記実施例３１で示した圧電効果を用いたアクチュエ
ータに限定されず、例えば、磁歪、ボイスコイル等のア
クチュエータでも同様の効果が得られる。さらに、基板
とアクチュエータあるいは基板とアクチュエータの配置
は上記実施例２５に限らない。
【０１０６】実施例３２．請求項１１、１２に記載の発
明による磁気ヘッドの他の実施例である。基板１００に
形成される磁気ヘッドチップ１０４が、磁気抵抗効果あ
るいはホール効果を有する場合であっても上記実施例１
７と同様の効果が得られる。
【０１０７】実施例３３．請求項１３に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例である。図５２および図５３は
それぞれ実施例３３による磁気ヘッドを表側と裏側から
見た斜視図、図５４は磁気ヘッドと磁気記録媒体との関
係を示す斜視図、図５５および図５６はそれぞれ動作を
説明する説明図である。なお、各図では理解を容易にす
るため、１０チャンネルの磁気ヘッドの構造としている
が、１０チャンネルに限られないことは言うまでもな
い。
【０１０８】基板には磁性コア、コイルおよび磁気ギャ
ップからなる磁気ヘッドチップ１０４が複数一体に形成
され、磁気ヘッド１０５を構成している。磁気ヘッド１
０５は、磁気ヘッドチップ１０４の並び方向が磁気記録
媒体走行方向に対して角度θtrをなすように磁気ヘッド
筐体１５０に固定されている。また、磁気ヘッド筐体１
５０は支持台１５１に切り欠け板１５１ａ、１５１ｂお
よび固定軸１５２を介して弾性支持されている。固定軸
１５２は磁気ヘッド１０５の回転中心となるもので、そ
の中心軸は磁気ヘッド１０５の磁気記録媒体摺動面９１
の中心と一致している。切り欠け板１５１ａ、１５１ｂ
と支持台の内側底面１５３との間には圧電効果による回
転用アクチュエータ１４０ａ、１４０ｂが接合されてい
る。また、支持台１５１の底面は図示を省略した固定部
に接合されている。なお、磁気記録媒体１７０と磁気ヘ
ッド１０５の関係は図５４のようになる。上記の構成
で、回転用アクチュエータ１４０ａと１４０ｂに互いに
逆位相の電圧を印加することにより、切り欠け板１５１
ａ、１５１ｂを弾性変形させ、磁気ヘッド筐体１５０と
ともに磁気ヘッド１０５を固定軸１５２回りに左右回転
させることができる。
【０１０９】次にトラックと磁気ヘッドの関係について
説明した後、動作について説明する。まず、トラックと
磁気ヘッドの関係について図５５を基に説明する。な
お、本実施例で言うトラックは、記録時に磁気ヘッドギ
ャップ１０３が記録媒体上に描く軌跡を表し、トラック
幅はトラックの磁気記録媒の幅方向の長さを表すもので
ある。（以下、全ての実施例でも同様。）図５５ではト
ラック１７１をトラック幅間隔の細線で仮想的に示し、
磁気ヘッド以外の他の構成要素は図示を省略している。
実線は良好な再生信号が得られる状態を示しており、各
磁気ヘッドチップ１０４の磁気ギャップ１０３が各トラ
ックの中央をトレースしている様子を表している。しか
し、記録時に対して室温等が変化した場合、磁気記録媒
体１７０の幅方向に熱伸縮２ΔＷthが生じ、破線のよう
にトラック幅が変化してしまう（図５５では幅が伸びた
場合を示している。）。このため、ヘッドチップ１０４
の一部は異なるトラック上または２つのトラック上にま
たがってあることになり、良好な再生信号が得られなく
なる。よって、本実施例では、先に述べた構造で磁気ヘ
ッド１０５を回転させ、各磁気ギャップ１０３の記録媒
体幅方向の位置を変えることで、各磁気ヘッドチップ１
０４の磁気ギャップ１０３が所定のトラックをトレース
するようにする。
【０１１０】具体的な動作は、再生信号から磁気ヘッド
の回転制御量Δθtrを算出し、そしてこの算出結果に基
づき回転用アクチュエータ１４０に電圧を印加し、磁気
ヘッド１５０を固定軸１５２回りに回転させるものであ
る。磁気ヘッドの回転制御量Δθtrの算出は例えば図５
６に示すように磁気記録媒体１７０の片端に記録された
コントロールトラック１７２を用いて行う。コントロー
ルトラック１７２には周波数ｆ1のコントロール信号が
記録されている。また、基板上１００に形成された複数
の磁気ヘッドチップ１０４の１つをコントロールトラッ
ク再生用磁気ヘッドチップ１０４ａとして割り当てる。
図５６で示すように、各磁気ギャップ１０３の位置とト
ラックの位置が一致していれば、コントロールトラック
再生用磁気ヘッドチップ１０４ａから周波数ｆ１で規定
信号レベルのコントロール信号が得られる。しかし、磁
気記録媒体の幅の熱伸縮により、トラック幅に変化が生
じた場合、図５７のようにコントロールトラック１７２
はコントロールトラック再生用磁気ヘッドチップ１０４
ａの位置から幅方向にずれ、他の磁気ヘッドチップで再
生されることになる。本実施例では、このコントロール
トラック１７２を再生している磁気ヘッドチップの位置
と、磁気ヘッド１０５とトラックのなす角度θtrから上
記の磁気ヘッドの回転制御量Δθtrを算出する。なお、
コントロールトラック１７２を再生している磁気ヘッド
チップの位置は再生信号がコントロールトラックに記録
されてた周波数ｆ1となっている磁気ヘッドの位置を電
気的に同定することによりもとまる。
【０１１１】コントロールトラック１７２を再生してい
る磁気ヘッドチップとコントロールトラック再生用磁気
ヘッドチップ１０４ａ間の磁気ヘッドチップ並び方向の
距離をΔＬとすると、磁気ヘッド１０５の回転制御量Δ
θtrは図５７から幾何学的に次式のように求められる。
（ただし、紙面に向かって反時計回りを正とする。） Δθtr ＝ Arcsin｛〔（Ｌｇ＋ΔＬ）／Ｌｇ 〕・ｓ
ｉｎθtr｝―θtr なお、θtrは磁気ヘッドの回転前にトラック長手方向に
対して磁気ヘッドチップの並び方向がなす角、Ｌｇは磁
気ヘッド１０５の中心からコントロールトラック再生用
磁気ヘッドチップ１０４ａまでの距離である。
【０１１２】なお、上記実施例３３の説明では磁気記録
媒体の幅方向の熱伸縮によるトラック角度の変化を例に
取り説明したが、磁気記録媒体が剛体的に微小な回転を
することでトラック角度が磁気ヘッドに対して相対的に
変化した場合についても、上記の方法により同様の効果
が得られる。
【０１１３】また、実施例３３において磁気ヘッド筐体
１５０に固定される磁気ヘッド１０５は１つに限らな
い。磁気ヘッド１０５を磁気記録媒体走行方向にわたっ
て複数設けても、メモリ等に再生信号を保存することで
同様の効果が得られる。
【０１１４】実施例３４．請求項１３に記載の発明によ
る磁気ヘッドの他の実施例である。実施例３３との相違
点に限り、図５８に基づいて説明する。磁気ヘッド筐体
１５０の支持台とアクチュエータの配置は実施例３３に
限らない。例えば、図５８に示すように、バイモルフ構
造の圧電効果によるアクチュエータ１４１ａ、ｂを用い
ることによっても同様の効果が得られる。
【０１１５】実施例３５．請求項１４に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例である。図５９は実施例３５に
よる磁気ヘッドを示す斜視図、図６０および図６１はそ
れぞれ実施例３５による磁気ヘッドの動作を説明する説
明図である。なお、本実施例は、磁気ヘッドとトラック
間の相対的な位置ずれが数百〜数十μm程度の比較的小
さな場合のトラッキングに関するものである。
【０１１６】まず、構造について説明する。磁性コア、
コイルおよび磁気ギャップからなる磁気ヘッドチップが
基板に複数一体に形成されて、磁気ヘッド１０５を構成
している。磁気ヘッド１０５は、磁気ヘッドチップの並
び方向が磁気記録媒体走行方向に対して角度θtrをなす
ように磁気ヘッド筐体１５０に固定されている。また、
磁気ヘッド筐体１５０は支持台１５１に切り欠け板１５
１ａ、１５１ｂおよびここでは図示しないが図５３と同
様の固定軸１５２で弾性支持されている。固定軸１５２
は磁気ヘッド１０５の回転中心となるもので、その中心
軸は磁気ヘッド１０５の磁気記録媒体摺動面９１の中心
と一致している。さらに、切り欠け板１５１ａ、１５１
ｂと支持台の内側底面１５３との間には圧電効果による
回転用アクチュエータ１４０ａ、１４０ｂが接合されて
いる。また、支持台１５１はリニアガイド１６０内に配
置されている。そして、リニアガイド１６０の内側底面
１６２と支持台１５１の底面の間には圧電効果による微
動用リニアアクチュエータ１４２ａ、１４２ｂが接合さ
れている。上記の構成で、回転用アクチュエータ１４０
ａと１４０ｂに互いに逆位相の電圧を印加することで、
磁気ヘッド筐体１５０とともに磁気ヘッド１０５を固定
軸１５２回りに左右回転させることができる。また、微
動用リニアアクチュエータ１４２ａおよび１４２ｂに同
位相の電圧を印加することで、支持台１５１とともに磁
気ヘッド１０５を磁気記録媒体の幅方向に並進させるこ
とができる。
【０１１７】次に上記の構成における動作について説明
する。本実施例３４では、まず、記録媒体の幅方向への
並進ずれの修正から行う。並進ずれは磁気記録媒体が剛
体的にその幅方向にずれることにより生じるものであ
る。この並進ずれを修正するための並進制御量は磁気記
録媒体の再生信号から算出する。そして、この算出され
た並進制御量に基づき、微動用リニアアクチュエータ１
４２ａおよび１４２ｂに同位相の電圧を印加し、磁気ヘ
ッド１０５を磁気記録媒体の幅方向に並進移動させ、並
進ずれを修正する。次に、各磁気ギャップ１０３の位置
と各トラックの位置とのずれ修正するための回転制御量
を再生信号から算出する。このずれは磁気記録媒体の熱
伸縮によるトラック幅の変化に起因するものである。算
出された回転制御量に基づき、回転用アクチュエータ１
４０ａおよび１４０ｂに電圧を互いに逆位相で印加し、
磁気ヘッド１０５を固定軸１５２を回転中心として回転
させ、各磁気ギャップを各トラックに一致させる。上記
の動作によって、トラッキングエラーを修正し、良好な
再生信号を得る。
【０１１８】並進制御量および回転制御量の算出は、例
えば、図６０に示すように磁気記録媒体の両端に設けら
れたコントロールトラック１７２ａ、１７２ｂを用いて
行う。コントロールトラック１７２ａ、１７２ｂには周
波数ｆ1のコントロール信号が記録されている。また、
基板上に形成された複数の磁気ヘッドチップ１０４の
内、２つをコントロールトラック再生用磁気ヘッドチッ
プとして割り当てる。図６０のように並進ずれがなく、
また、各磁気ギャップ１０３と各トラックが一致してい
れば、コントロールトラック再生用磁気ヘッドチップ１
７２ａ、１７２ｂから周波数ｆ１で規定信号レベルのコ
ントロール信号が得られる。しかし、図６１に示すよう
に並進ずれおよびトラック幅の変化が有る場合、コント
ロールトラック１７２ａ、１７２ｂはコントロールトラ
ック再生用磁気ヘッドチップ１７２ａ、１７２ｂ以外の
磁気ヘッドチップ１０４で再生されることになる。本実
施例では、このコントロールトラック１７２ａ、１７２
ｂを実際に再生した磁気ヘッドチップの位置と、コント
ロールトラック再生用磁気ヘッドチップ１７２ａ、１７
２ｂの位置の差から、並進制御量および回転制御量の算
出を行う。なお、コントロールトラック１７２を再生し
ている磁気ヘッドチップの位置は再生信号がコントロー
ルトラックに記録されてた周波数ｆ1となっている磁気
ヘッドの位置を電気的に同定することにより求まる。各
コントロールトラック１７２ａ、１７２ｂを再生した磁
気ヘッドチップと、それらに最も近いコントロールトラ
ック再生用磁気ヘッドチップとの距離をΔＬａ、ΔＬｂ
とすると、並進制御量ΔＷerは次式によって算出でき
る。（ただし、紙面に向かって右斜め上へのヘッド並び
方向を正とする。） ΔＷer ＝ （ΔＬａ＋ΔＬｂ）／２
【０１１９】並進ずれを修正した後に回転制御量Δθtr
が、コントロールトラック１７２ａを再生した磁気ヘッ
ドチップと、それに最も近いコントロールトラック再生
用磁気ヘッドチップとの距離 ΔＬａ’から次式で算出
される。 Δθtr ＝ Arcsin｛〔（Ｌｇ＋ΔＬａ’）／Ｌｇ 〕
・ｓｉｎθtr｝―θtr なお、θtrは磁気ヘッドの回転前にトラック長手方向に
対して磁気ヘッドチップの並び方向がなす角、Ｌｇは磁
気ヘッド１０５の中心からコントロールトラック再生用
磁気ヘッドチップ１０４ａまでの距離である。
【０１２０】実施例３６．請求項１４に記載の発明にお
ける磁気ヘッドの他の実施例である。図６２に基づい
て、上記実施例３５との相違点に限って説明する。上記
実施例３５では、磁気ヘッドと磁気記録媒体のトラック
間の相対的な位置ずれが数百〜数十μm程度の比較的小
さな場合のトラッキングに関するものであったが、本実
施例は磁気記録媒体の巻取りぐせ等の比較的大きい相対
的な位置ずれのトラッキングに関するものである。すな
わち、本実施例では、磁気ヘッド１０５の並進用アクチ
ュエータとしてリニアガイド１６０の底面にボイスコイ
ルを用いた粗動用リニアアクチュエータ１４３を接合し
ており、このような構造にすることで、磁気ヘッドと磁
気記録媒体のトラック間に比較的大きな位置ずれがある
場合でも、トラッキングを行うことができる。なお、図
６２において、１６１はリニアガイド１６０駆動時のガ
イドである。
【０１２１】実施例３７．請求項１４に記載の発明にお
ける磁気ヘッドの他の実施例である。上記実施例３５と
の相違点に限って図５９を基に説明する。回転用アクチ
ュエータ１４０ａ、ｂと微動用リニアアクチュエータ１
４２ａ、ｂは図５９に示した上記実施例３５のように、
別々に設けることに限られない。たとえば、実施例３５
の構成において固定軸１５２を略することで、回転用ア
クチュエータに磁気ヘッドの並進のための機能を併せて
持たせることができ、微動用リニアアクチュエータ１４
２ａ、ｂを略することができる。この構成で、磁気ヘッ
ドの並進を行う場合は回転用アクチュエータの両方に同
位相の電圧を印加すればよく、さらに回転を行う場合に
は逆位相の電圧を並進時の電圧に重畳させて印加すれば
よい。
【０１２２】実施例３８．請求項１４に記載の発明にお
ける磁気ヘッドの他の実施例である。実施例３５および
３６との相違点に限って説明する。磁気ヘッド１０５と
回転用アクチュエータ１４０ａ、ｂ、微動用リニアアク
チュエータ１４２ａ、ｂおよび粗動用リニアアクチュエ
ータ１４３の配置は図５９、６２に示した実施例３５、
３６に限らない。例えば、図５９、６２では支持台１５
１の底面の両側に１つづつ微動用リニアアクチュエータ
が接合されているが、中央に１つでも同様の効果が得ら
れる。
【０１２３】実施例３９．請求項１３および１４に記載
の発明における他の実施例である。回転用アクチュエー
タおよび微動用リニアアクチュエータには圧電効果を用
いたものに限定されず、例えば、磁歪、光歪等のアクチ
ュエータでも同様の効果が得られる。
【０１２４】実施例４０．請求項１３および１４に記載
の発明における他の実施例である。磁気ヘッド１０５と
それを固定する磁気ヘッド筐体１５０および各アクチュ
エータからなる、磁気ヘッドユニットは一つに限定され
ない。例えば、磁気ヘッドユニットを複数個、磁気記録
媒体の幅方向に設けることにより、マルチトラックの記
録・再生が可能となる。また、様々の幅の磁気記録媒体
の記録・再生も可能となる。
【０１２５】実施例４１．請求項１５に記載の発明にお
ける磁気ヘッドの一実施例であり、本発明の実施例を図
６３に基づいて説明する。本実施例の構成について説明
する。磁性コア、コイルおよび磁気ギャップから構成さ
れる磁気ヘッドチップ１０４を基板に複数一体に形成し
ている磁気ヘッド１０５ａ、ｂが２列磁気ヘッド筐体１
５０に固定されている。この２列の磁気ヘッド１０５
ａ、１０５ｂは磁気ヘッド筐体１５０に、それぞれの磁
気ヘッドチップ１０４の列ぶ方向と磁気記録媒体の走行
方向とのなす角度がθtrとなるように固定されている。
また、磁気ヘッド１０５ａおよび１０５ｂのそれぞれの
長さｌは、基板の上記磁気ヘッドチップ１０４の並び方
向長さを磁気記録媒体１７０幅方向に写影した長さ（ｌ
・ｓｉｎθtr）が磁気記録媒体１７０の幅の半分と略等
くなっている。さらに、それぞれの磁気ヘッドチップ１
０４が磁気記録媒体１７０の走行方向で重なり合わない
ように、磁気記録媒体１７０の幅方向にわたって固定さ
れている。このように磁気ヘッド１０５を配置すれば磁
気ヘッド筐体１５０の幅Ｗを１つの磁気ヘッドの場合に
較べて略半分にすることができ、磁気記録媒体１７０と
磁気ヘッド筐体１５０との摺動部の面積を小さくするこ
とができる。
【０１２６】なお、上記実施例４１では磁気ヘッド１０
５ａ、ｂの個数を磁気記録媒体１７０の幅方向と同一方
向に２列としたが、磁気ヘッドの並べる数はこれに限ら
れない。２列以上の場合でも、各磁気ヘッド１０５の長
さｌのｌｓｉｎθtrを（磁気記録媒体の幅／磁気ヘッド
列数）とすることで、同様の効果が得られる。
【０１２７】実施例４２．請求項１６に記載の発明によ
る磁気ヘッドの一実施例であり、図６４に基づいて説明
する。本実施例では、磁気ヘッド筐体１５０に磁性コ
ア、コイルおよび磁気ギャップから構成される磁気ヘッ
ドチップ１０４が基板に複数一体に形成されている磁気
ヘッド１０５ａ、ｂを２つ固定している。２つの磁気ヘ
ッド１０５ａ、１０５ｂは、それぞれの磁気ヘッドチッ
プ１０４の磁気ギャップが等しいアジマス角θaを有す
るように形成されたものである。この２つの磁気ヘッド
１０５ａ、１０５ｂは磁気ヘッド筐体１５０に、それぞ
れの磁気ヘッドチップ１０４が磁気記録媒体の走行方向
で重なり合わないように磁気記録媒体の走行方向にわた
って配置されている。また、所望のアジマス角をθとす
ると、磁気ヘッド１０５ａ、１０５ｂはそれぞれの磁気
ヘッドチップ１０４の並び方向がトラック方向と｛９０
°−（θ＋θa）｝、｛９０°＋（θ−θa）｝の角度を
なすように固定されている。このような構成にすること
により、実質的なアジマス角として ±θが得られる。
このように本実施例では、等しいアジマス角を有する磁
気ヘッド１０５ａ、ｂの配置する向きを変えることによ
り所望のアジマス角を形成しているので、個々の磁気ギ
ャップのアジマス角を変える必要がなく、製造が容易で
ある。
【０１２８】実施例４３．請求項１７に記載の発明にお
る磁気ヘッドの一実施例であり、図６５は実施例４３に
よる磁気ヘッドを示す斜視図、図６６はその要部を拡大
して示す斜視図である。磁性コア１０１、コイル１０２
および磁気ギャップ１０３からなる磁気ヘッドチップ１
０４が基板１００に複数一体に形成されて、磁気ヘッド
１０５を構成している。この磁気ヘッドの磁気記録媒体
摺動面９１側の形状は、磁気ヘッドチップ１０４の並び
方向に曲面（この例では円弧）をなし、かつ上記曲面は
磁気記録媒体方向に凸である。さらに、磁気ヘッドチッ
プ１０４はそのコイル巻線方向（矢印ａで示す）が上記
円弧の法線方向（矢印Ｒで示す）と一致するように、記
録媒体摺動面にそって放射状に基板１００上に形成され
ている。この磁気ヘッド１０５は、磁気ヘッドチップ１
０４の並び方向が磁気記録媒体走行方向とθtrの角度を
なすように、磁気ヘッド筐体１５０に固定されている。
また、磁気ヘッド筐体１５０の磁気記録媒体摺動面１５
４は磁気ヘッド１０５の磁気記録媒体摺動面のなす曲率
と略等しい曲率を有している。このように、磁気記録媒
体摺動面を凸型の曲面にすることで、磁気記録媒体と良
好な接触状態を得ることができる。
【０１２９】実施例４４．請求項１７に記載の発明によ
る磁気ヘッドの他の実施例であり、上記実施例４３との
相違点に限って図６７に基づいて説明する。基板１００
上への磁気ヘッドチップ１０４の配置方法は上記実施例
４３に記載のものに限られない。本実施例では磁気ヘッ
ドチップ１０４を磁気記録媒体摺動面９１の円弧にそっ
て階段上に配置する。また、各磁気ヘッドチップ１０４
間でコイル１０２巻線方向が互いに平行であるように配
置する。このような配置の場合でも、上記実施例４３と
同様の効果が得られる。
【０１３０】実施例４５．請求項１０〜１７に記載の発
明による磁気ヘッドの他の実施例である。磁気ヘッドチ
ップのコイルは上記各実施例で示したようなヘリカル型
コイルに限られたものではなく、例えば、スパイラル型
コイル等を有する磁気ヘッドチップアレイを用いた場合
にも上記各実施例と同様の効果が得られる。
【０１３１】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、側面が斜面である溝状凹部を有する基板上に、上記
凹部の両側面と底面にわたって形成された複数の並行す
る導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および
上記基板上に積層された第１絶縁層と、上記凹部に充填
された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性コア上に積
層された第２絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続し
てヘリカル型コイル体となるように上記第２絶縁層上に
形成された第２導電路とを備えたので、トラック間隔を
大きくすることなくコイルの多巻線化をはかることがで
き、磁性コアを厚くしても容易にコイルを形成できる。
さらに、共通する磁性コア上に巻線数が等しいかまたは
異なる複数のヘリカル型コイルを形成することができ
る。
【０１３２】また、請求項２の発明によれば、側面が斜
面である複数の畝状凸部を有する基板上に、隣合う上記
凸部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたっ
て形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成される溝状
凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路端を
順次接続してヘリカル型コイル体となるように上記第２
絶縁層上に形成された第２導電路とを備え、上記磁性コ
アが上記凸部によって分離されて複数個のコイル体が同
一基板上に一体に形成されたので、コイルの多巻線化が
容易で、磁性コアが厚くてもコイルを形成できる。さら
に、クロスト−クを低減しながら多数の磁気構造体を高
密度に配置できる。
【０１３３】また、請求項３の発明によれば、側面が斜
面であるとともに長さが異なる複数の畝状凸部を少なく
とも上記短い凸部の両側が長い凸部であるように配置し
た基板と、隣合う上記長短の凸部の向かい合う斜面とこ
れらの斜面間の底面にわたって形成された複数の並行す
る導電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および
上記基板上に積層された第１絶縁層と、隣合う上記凸部
と上記底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材か
らなる磁性コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面
側に形成された非磁性材からなる磁気ギャップと、上記
磁性コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路
端を順次接続して上記短い凸部の両側に形成された第１
導電路が一個のヘリカル型コイル体となるように上記第
２絶縁層上に形成された第２導電路とを備え、上記磁性
コアが上記長い凸部によって分離されて複数個の磁気ヘ
ッドチップが同一基板上に一体に形成されたので、複数
チャンネルの磁気ヘッドの狭トラックピッチ化がはか
れ、記録密度を向上できる。さらに、隣合う磁性コアが
基板によって完全に分離され、コイルの多巻線化も容易
であるため、クロストークなどが低減でき、Ｓ／Ｎ比の
高い再生が可能である。なお、コイルの多巻線化によっ
て、記録媒体と磁気ヘッドの相対速度が小さくても十分
な再生出力を得ることができるので、ディジタルＶＴＲ
等の装置の小型化も可能である。また、複数チャンネル
の磁気ヘッドを共通する基板上に一体に形成するので、
生産性に優れるとともに、磁気ヘッドギャップの相対位
置を高精度化できる。
【０１３４】また、請求項４の発明によれば、側面が斜
面である複数の畝状凸部を有する基板と、隣合う上記凸
部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
絶縁層と、上記隣合う凸部と上記底面で形成される溝状
凹部に充填された磁性材からなる第１磁性コアと、上記
第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となる
ように第２絶縁層を介して上記第１磁性コア上に形成さ
れた第２導電路と、上記第１磁性コアの磁気記録媒体摺
動面側および上記第２導電路上に積層されて磁気ギャッ
プを形成する非磁性絶縁層と、上記非磁性絶縁層上に形
成された複数の並行する導電路からなる第３導電路と、
上記第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記非磁
性絶縁層および上記第３絶縁層上で斜面を有する畝状凸
部となるように積層された磁性材からなる第２磁性コア
と、上記第２磁性コアの両側面と上面に積層された第４
絶縁層と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル型
コイル体となるように上記第４絶縁層上に形成された第
４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一体に
形成されたので、多巻線化が容易であるとともに配列間
隔が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対位置精
度の高い磁気ヘッドを提供することができる。
【０１３５】また、請求項５の発明によれば、上面と下
面の略等しい位置に側面が斜面である複数の畝状凸部を
有するとともに、隣合う上記凸部の間に長さが上記凸部
より短くかつ端面が上記凸部の端面より凹んだ底面を有
する基板と、上記基板の上下両面のそれぞれ隣合う凸部
の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたってそ
れぞれ形成された複数の並行する導電路からなる上面側
の第１導電路および下面側の第３導電路と、上記第１導
電路上に積層された第１絶縁層と、上記第３導電路上に
積層された第３絶縁層と、上記第１および第３絶縁層上
から上記底面部の両端面より突出した凸部の両端面にか
けてそれぞれ充填された磁性材からなる上面側の第１磁
性コアおよび下面側の第２磁性コアと、上記磁性コアの
磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材料からなる
磁気ギャップと、上記第１および第２磁性コア上にそれ
ぞれ積層された第２および第４絶縁層と、上記第１導電
路端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように上
記第２絶縁層上に形成された第２導電路と、上記第３導
電路端を順次接続してヘリカル型コイル体となるように
上記第４絶縁層下面に形成された第４導電路とを備え、
複数個の磁気ヘッドチップが一体に形成されたので、基
板の上面と下面にコイルを設けることによって、複数チ
ャンネルの磁気ヘッドのコイル間の距離を大きくするこ
とが可能であるので、コイル相互が及ぼす影響を低減で
きる。さらに、多巻線化が容易であるとともに配列間隔
が極めて小さく、磁気ギャップ長さおよび相対位置精度
の高い磁気ヘッドを提供することができる。
【０１３６】また、請求項６の発明によれば、請求項２
に記載の磁気構造体の第１または第２導電路上に、磁気
ギャップを形成する非磁性絶縁層を介して形成された磁
性材からなる第２磁性コアを備え、複数個の磁気ヘッド
チップが同一基板上に一体に形成されたので、励磁する
磁極と、非励磁極が磁気ギャップを間にはんだ狭トラッ
ク構造の複数チャンネルの磁気ヘッドを容易に形成で
き、特に垂直磁気記録に適した多チャンネル磁気ヘッド
を提供することができる。
【０１３７】また、請求項７の発明によれば、請求項１
ないし６記載のものにおいて、第１導電路は溝状凹部の
底面から両側面および上面にわたって形成されているの
で、磁性コアを囲むヘリカル型コイルを形成する際のコ
ンタクトホールの位置決め誤差の許容値を大きくするこ
とができ、信頼性の向上と製造コストの低減が可能であ
る。
【０１３８】また、請求項８の発明によれば、請求項１
ないし６記載のものにおいて、第１導電路は溝状凹部の
上面に設けられた凹部から両側面および底面にわたって
形成されているので、磁性コアを囲むヘリカル型コイル
を形成する際のコンタクトホールの位置決め誤差の許容
値を大きくすることができ、信頼性の向上と製造コスト
の低減が可能である。また、基板上面に形成された導電
路同士を凹部によって確実に分離し、絶縁を確保するこ
とができる。
【０１３９】また、請求項９の発明によれば、請求項１
ないし８記載のものにおいて、第１導電路は少なくとも
溝状凹部の底面から両側面にわたって設けられた溝部に
形成されているので、磁性コアを凹部に凹凸無く形成す
ることができ、磁束効率の高い磁性コアが得られる。ま
た、溝部によって凹部に形成された導電路間の絶縁を確
保することができる。
【０１４０】また、請求項１０の発明によれば、磁性コ
ア、コイルおよび磁気ギャップを有する磁気ヘッドチッ
プを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッドにおい
て、上記基板上に電源ラインと、上記電源ラインと上記
磁気ヘッドチップの個々のコイルとの電気的な断続を行
う手段と、上記電気的断続を制御する手段とを上記基板
と一体に形成したので、複数チャンネルの磁気ヘッドと
外部の電気回路との接続本数を大幅に低減でき、さらに
コイルと外部の電気回路の接続に電極パッドを必要とし
ないのでトラックピッチを小さくして記録密度を高密度
化できるとともに、信頼性が向上する。
【０１４１】また、請求項１１の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記基板に再生信号増幅回路を一体に形成し
たので、再生信号のＳ／Ｎ比を向上することができると
ともに、磁気ヘッドチップのコイルと外部の電気回路の
接続本数を大幅に低減することができる。
【０１４２】また、請求項１２の発明によれば、コイル
を有する磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成
する磁気ヘッドにおいて、上記基板をヘッドチップの並
び方向に往復運動させる手段を有し、上記基板を磁気記
録媒体の最短記録波長以下の振幅でしかも磁気記録媒体
の走行速度より十分速い速度で上記ヘッドチップの並び
方向に往復運動させることによって磁気記録媒体に記録
された信号を再生するように構成したので、コイル巻線
数が少なくても、また記録媒体と磁気ヘッドの相対速度
が小さくても十分な電圧の再生信号を得ることができ
る。さらに、往復運動手段に必要なアクチュエータは小
さなもので実現できるので、ディジタルＶＴＲ等の装置
の小型化も可能である。
【０１４３】また、請求項１３の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び方向
を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持する手段
と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転する手段と
を有し、上記回転手段によって上記基板を回転し、磁気
記録媒体の各トラックに対して少なくとも１つの上記磁
気ヘッドチップの磁気ギャップを一致させながら、磁気
記録媒体に記録された信号を再生するように構成したの
で、温度変化によるテープ幅の伸縮にともなうトラック
幅の変化およびトラック角度の変化の影響を受けない再
生が可能である。
【０１４４】また、請求項１４の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び方向
を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持する手段
と、上記基板を記録面に垂直な軸回りに回転する手段
と、上記基板を磁気記録媒体の幅方向に並進する手段と
を有し、上記並進手段および上記回転手段によって上記
基板を並進および回転し、磁気記録媒体の各トラック方
向に対して少なくとも１つの上記磁気ヘッドチップの磁
気ギャップを一致させながら、磁気記録媒体に記録され
た信号を再生するように構成したので、温度変化による
テープ幅の伸縮にともなうトラック幅の変化およびトラ
ック角度の変化の影響を受けない再生が可能である。ま
た、磁気記録媒体と磁気ヘッド間の位置関係に磁気記録
媒体の幅方向へのずれが生じてもこれを修正し、再生す
ることができる。
【０１４５】また、請求項１５の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び方向
を磁気記録媒体走行方向に対して斜めに支持すると共
に、上記基板の上記磁気ヘッドチップの並び方向長さを
磁気記録媒体幅方向に写影した長さが磁気記録媒体の幅
よりも短い上記基板を磁気記録媒体の幅方向にわたって
複数個配置したので、磁気ヘッドの磁気記録媒体走行方
向における長さを短くし、接触面積を低減でき、磁気記
録媒体の走行抵抗を低減できる。
【０１４６】また、請求項１６の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記磁気ヘッドチップの磁気ギャップをすべ
て同じ角度で形成した上記基板を磁気記録媒体走行方向
にわたって複数設けると共に、上記各基板を上記磁気ヘ
ッドチップの並び方向の磁気記録媒体走行方向に対する
角度が少なくとも２種類以上であるように配置すること
によって少なくとも２つのアジマス角を有するように構
成したので、磁気ヘッドに容易に所望のアジマス角を持
たせることができると共に、製造が容易になる。
【０１４７】また、請求項１７の発明によれば、磁気ヘ
ッドチップを共通する基板上に複数形成する磁気ヘッド
において、上記基板の磁気記録媒体摺動面側の形状が上
記磁気ヘッドチップの並び方向に曲面をなし、かつ上記
曲面は磁気記録媒体方向へ凸であるので、磁気ヘッドに
対する磁気記録媒体の密着性を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１による磁気構造体を一部破断して示す
斜視図である。
【図２】上記実施例１による磁気構造体を示す横断面図
である。
【図３】上記実施例１による磁気構造体を示す縦断面図
である。
【図４】上記実施例１による磁気構造体を一部破断して
示す水平断面図である。
【図５】上記実施例１による磁気構造体を示す平面図で
ある。
【図６】実施例２による磁気構造体を示す上面図であ
る。
【図７】実施例２による磁気構造体の他の例を示す上面
図である。
【図８】実施例３による磁気構造体を示す横断面図であ
る。
【図９】実施例４による磁気構造体を示す横断面図であ
る。
【図１０】実施例５による磁気構造体を示す横断面図で
ある。
【図１１】実施例６による磁気構造体を示す横断面図で
ある。
【図１２】実施例６による磁気構造体を示す上面図であ
る。
【図１３】実施例７による磁気ヘッドを示す斜視図であ
る。
【図１４】上記実施例７による磁気ヘッドの基板と第１
導電路を示す斜視図である。
【図１５】上記実施例７による磁気ヘッドを示す平面図
である。
【図１６】上記実施例７による磁気ギャップの形成工程
を説明する斜視図である。
【図１７】実施例８による磁気ヘッドを一部破断して示
す水平断面図である。
【図１８】上記実施例８による磁気ヘッドを示す横断面
図である。
【図１９】実施例９による磁気ヘッドの基板と第１導電
路を示す斜視図である。
【図２０】実施例１０による磁気ヘッドを示し、（ａ）
は基板と第１導電路を示す斜視図、（ｂ）は磁性材を充
填した様子を示す斜視図である。
【図２１】実施例１１による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図２２】上記実施例１１による磁気ヘッドを示す横断
面図である。
【図２３】上記実施例１１による磁気ヘッドを示す縦断
面図である。
【図２４】上記実施例１１による磁気ヘッドの磁性コア
接続用コンタクトホールを示す斜視図である。
【図２５】実施例１３による磁気ヘッドを示す横断面図
である。
【図２６】実施例１４による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図２７】上記実施例１４に係わる磁気ヘッド用基板を
示す斜視図である。
【図２８】上記実施例１４による磁気ヘッドを示す横断
面図である。
【図２９】上記実施例１４による磁気ヘッドを示す縦断
面図である。
【図３０】実施例１５による磁気ヘッドを示す横断面図
である。
【図３１】上記実施例１５による磁気ヘッドを示す縦断
面図である。
【図３２】実施例１６による磁気ヘッドを示す横断面図
である。
【図３３】上記実施例１６による磁気ヘッドを示す縦断
面図である。
【図３４】実施例１８による磁気ヘッドを一部破断して
示す上面図である。
【図３５】実施例１９による磁気構造体の要部を示す横
断面図である。
【図３６】実施例２１による磁気構造体を示す横断面図
である。
【図３７】実施例２３による磁気構造体を一部破断して
示す斜視図である。
【図３８】上記実施例２３による磁気構造体を示す横断
面図である。
【図３９】実施例２４による磁気構造体を一部破断して
示す斜視図である。
【図４０】上記実施例２４に係わる磁気構造体用基板を
示す斜視図である。
【図４１】上記実施例２４による磁気構造体を示す横断
面図である。
【図４２】上記実施例２４による磁気構造体を示す水平
断面図である。
【図４３】実施例２５による磁気構造体を一部破断して
示す斜視図である。
【図４４】上記実施例２５に係わる磁気構造体用基板を
示す斜視図である。
【図４５】実施例２６による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図４６】上記実施例２６に係わるスイッチング回路を
示す説明図である。
【図４７】実施例２７に係わるスイッチング回路を示す
説明図である。
【図４８】実施例２８による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図４９】実施例３０に係わるスイッチング回路を示す
説明図である。
【図５０】実施例３１による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図５１】上記実施例３１による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図５２】実施例３３による磁気ヘッドを表側から見た
斜視図であろ。
【図５３】上記実施例３３による磁気ヘッドを裏側から
見た斜視図である。
【図５４】上記実施例３３による磁気ヘッドと磁気記録
媒体との関係を示す斜視図である。
【図５５】上記実施例３３による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図５６】上記実施例３３による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図５７】上記実施例３３による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図５８】実施例３４による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図５９】実施例３５による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図６０】上記実施例３５による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図６１】上記実施例３５による磁気ヘッドの動作を説
明する説明図である。
【図６２】実施例３６による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図６３】実施例４１による磁気ヘッドの要部を示す正
面図である。
【図６４】実施例４２による磁気ヘッドの要部を示す正
面図である。
【図６５】実施例４３による磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。
【図６６】上記実施例４３による磁気ヘッドの要部を拡
大して示す斜視図である。
【図６７】実施例４４による磁気ヘッドの要部を拡大し
て示す斜視図である。
【図６８】従来の磁気ヘッドの要部を拡大して示す斜視
図である。
【符号の説明】
１ 基板 １１ 溝状凹部 １１ａ 側面 １１ｂ 側面 １１ｃ 底面 １２ 畝状凸部 １３ 基板平坦部 １５ 長い凸部 １６ 短い凸部 ２１ 第１導電路 ２２ 第２導電路 ２３ コンタクトホール ３１ 磁性コア ３２ 磁気ギャップ ３５ 第１磁性コア ３６ 第２磁性コア ４１ 第１絶縁層 ４２ 第２絶縁層 ４３ 第３絶縁層 ４４ 第４絶縁層 ５１ 電極パッド ５２ 導電路 ６１ 第３導電路 ６２ 第４導電路 ９１ 記録媒体摺動面 １００ 基板 １０１ 磁性コア １０２ コイル １０３ 磁気ギャップ １０４ 磁気ヘッドチップ １０５ 磁気ヘッド １１０ 電源ライン １２０ スイッチング回路 １２１ 電気的断続手段 １２４ 信号処理手段 １３０ 増幅回路 １４０ アクチュエータ １４２ 微動用リニアアクチュエータ １４３ 粗動用リニアアクチュエータ １５０ 磁気ヘッド筐体 １５１ 支持台 １５２ 固定軸 １６０ リニアガイド １６１ ガイド １７０ 磁気記録媒体 １７１ トラック １７２ コントロールトラック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 直也 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機 株式会社中央研究所内 (72)発明者 吉田 云一 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機 株式会社生産技術研究所内 (72)発明者 小田 拓嗣 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機 株式会社生産技術研究所内

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 側面が斜面である溝状凹部を有する基板
    上に、上記凹部の両側面と底面にわたって形成された複
    数の並行する導電路からなる第１導電路と、上記第１導
    電路および上記基板上に積層された第１絶縁層と、上記
    凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
    コア上に積層された第２絶縁層と、上記第１導電路端を
    順次接続してヘリカル型コイル体となるように上記第２
    絶縁層上に形成された第２導電路とを備えたことを特徴
    とする磁気構造体。
  2. 【請求項２】 側面が斜面である複数の畝状凸部を有す
    る基板上に、隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれら
    の斜面間の底面にわたって形成された複数の並行する導
    電路からなる第１導電路と、上記第１導電路および上記
    基板上に積層された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上
    記底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材からな
    る磁性コアと、上記磁性コア上に積層された第２絶縁層
    と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型コイル
    体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２導電
    路とを備え、上記磁性コアが上記凸部によって分離され
    て複数個のコイル体が同一基板上に一体に形成されたこ
    とを特徴とする磁気構造体。
  3. 【請求項３】 側面が斜面であるとともに長さが異なる
    複数の畝状凸部を少なくとも上記短い凸部の両側が長い
    凸部であるように配置した基板と、隣合う上記長短の凸
    部の向かい合う斜面とこれらの斜面間の底面にわたって
    形成された複数の並行する導電路からなる第１導電路
    と、上記第１導電路および上記基板上に積層された第１
    絶縁層と、隣合う上記凸部と上記底面で形成される溝状
    凹部に充填された磁性材からなる磁性コアと、上記磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側に形成された非磁性材から
    なる磁気ギャップと、上記磁性コア上に積層された第２
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続して上記短い凸
    部の両側に形成された第１導電路が一個のヘリカル型コ
    イル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第２
    導電路とを備え、上記磁性コアが上記長い凸部によって
    分離されて複数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一
    体に形成されたことを特徴とする磁気ヘッド。
  4. 【請求項４】 側面が斜面である複数の畝状凸部を有す
    る基板と、隣合う上記凸部の向かい合う斜面とこれらの
    斜面間の底面にわたって形成された複数の並行する導電
    路からなる第１導電路と、上記第１導電路および上記基
    板上に積層された第１絶縁層と、上記隣合う凸部と上記
    底面で形成される溝状凹部に充填された磁性材からなる
    第１磁性コアと、上記第１導電路端を順次接続してヘリ
    カル型コイル体となるように第２絶縁層を介して上記第
    １磁性コア上に形成された第２導電路と、上記第１磁性
    コアの磁気記録媒体摺動面側および上記第２導電路上に
    積層されて磁気ギャップを形成する非磁性絶縁層と、上
    記非磁性絶縁層上に形成された複数の並行する導電路か
    らなる第３導電路と、上記第３導電路上に積層された第
    ３絶縁層と、上記非磁性絶縁層および上記第３絶縁層上
    で斜面を有する畝状凸部となるように積層された磁性材
    からなる第２磁性コアと、上記第２磁性コアの両側面と
    上面に積層された第４絶縁層と、上記第３導電路端を順
    次接続してヘリカル型コイル体となるように上記第４絶
    縁層上に形成された第４導電路とを備え、複数個の磁気
    ヘッドチップが一体に形成されたことを特徴とする磁気
    ヘッド。
  5. 【請求項５】 上面と下面の略等しい位置に側面が斜面
    である複数の畝状凸部を有するとともに、隣合う上記凸
    部の間に長さが上記凸部より短くかつ端面が上記凸部の
    端面より凹んだ底面を有する基板と、上記基板の上下両
    面のそれぞれ隣合う凸部の向かい合う斜面とこれらの斜
    面間の底面にわたってそれぞれ形成された複数の並行す
    る導電路からなる上面側の第１導電路および下面側の第
    ３導電路と、上記第１導電路上に積層された第１絶縁層
    と、上記第３導電路上に積層された第３絶縁層と、上記
    第１および第３絶縁層上から上記底面部の両端面より突
    出した凸部の両端面にかけてそれぞれ充填された磁性材
    からなる上面側の第１磁性コアおよび下面側の第２磁性
    コアと、上記磁性コアの磁気記録媒体摺動面側に形成さ
    れた非磁性材料からなる磁気ギャップと、上記第１およ
    び第２磁性コア上にそれぞれ積層された第２および第４
    絶縁層と、上記第１導電路端を順次接続してヘリカル型
    コイル体となるように上記第２絶縁層上に形成された第
    ２導電路と、上記第３導電路端を順次接続してヘリカル
    型コイル体となるように上記第４絶縁層下面に形成され
    た第４導電路とを備え、複数個の磁気ヘッドチップが一
    体に形成されたことを特徴とする磁気ヘッド。
  6. 【請求項６】 請求項２に記載の磁気構造体の第１また
    は第２導電路上に、磁気ギャップを形成する非磁性絶縁
    層を介して形成された磁性材からなる第２磁性コアを備
    え、複数個の磁気ヘッドチップが同一基板上に一体に形
    成されたことを特徴とする磁気ヘッド。
  7. 【請求項７】 第１導電路は溝状凹部の底面から両側面
    および上面にわたって形成されている請求項１ないし６
    の何れかに記載の磁気構造体および磁気ヘッド。
  8. 【請求項８】 第１導電路は溝状凹部の上面に設けられ
    た凹部から両側面および底面にわたって形成されている
    請求項１ないし６の何れかに記載の磁気構造体および磁
    気ヘッド。
  9. 【請求項９】 第１導電路は少なくとも溝状凹部の底面
    から両側面にわたって設けられた溝部に形成されている
    請求項１ないし８の何れかに記載の磁気構造体および磁
    気ヘッド。
  10. 【請求項１０】 磁性コア、コイルおよび磁気ギャップ
    を有する磁気ヘッドチップを共通する基板上に複数形成
    する磁気ヘッドにおいて、上記基板上に電源ラインと、
    上記電源ラインと上記磁気ヘッドチップの個々のコイル
    との電気的な断続を行う手段と、上記電気的断続を制御
    する手段とを上記基板と一体に形成したことを特徴とす
    る磁気ヘッド。
  11. 【請求項１１】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板に再生信号
    増幅回路を一体に形成したことを特徴とする磁気ヘッ
    ド。
  12. 【請求項１２】 コイルを有する磁気ヘッドチップを共
    通する基板上に複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記
    基板をヘッドチップの並び方向に往復運動させる手段を
    有し、上記基板を磁気記録媒体の最短記録波長以下の振
    幅でしかも磁気記録媒体の走行速度より十分速い速度で
    上記ヘッドチップの並び方向に往復運動させることによ
    って磁気記録媒体に記録された信号を再生するように構
    成したことを特徴とする磁気ヘッド。
  13. 【請求項１３】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気
    ヘッドチップの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対し
    て斜めに支持する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸
    回りに回転する手段とを有し、上記回転手段によって上
    記基板を回転し、磁気記録媒体の各トラックに対して少
    なくとも１つの上記磁気ヘッドチップの磁気ギャップを
    一致させながら、磁気記録媒体に記録された信号を再生
    するように構成したことを特徴とする磁気ヘッド。
  14. 【請求項１４】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気
    ヘッドチップの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対し
    て斜めに支持する手段と、上記基板を記録面に垂直な軸
    回りに回転する手段と、上記基板を磁気記録媒体の幅方
    向に並進する手段とを有し、上記並進手段および上記回
    転手段によって上記基板を並進および回転し、磁気記録
    媒体の各トラック方向に対して少なくとも１つの上記磁
    気ヘッドチップの磁気ギャップを一致させながら、磁気
    記録媒体に記録された信号を再生するように構成したこ
    とを特徴とする磁気ヘッド。
  15. 【請求項１５】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板の上記磁気
    ヘッドチップの並び方向を磁気記録媒体走行方向に対し
    て斜めに支持すると共に、上記基板の上記磁気ヘッドチ
    ップの並び方向長さを磁気記録媒体幅方向に写影した長
    さが磁気記録媒体の幅よりも短い上記基板を磁気記録媒
    体の幅方向にわたって複数個配置したことを特徴とする
    磁気ヘッド。
  16. 【請求項１６】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記磁気ヘッドチッ
    プの磁気ギャップをすべて同じ角度で形成した上記基板
    を磁気記録媒体走行方向にわたって複数設けると共に、
    上記各基板を上記磁気ヘッドチップの並び方向の磁気記
    録媒体走行方向に対する角度が少なくとも２種類以上で
    あるように配置することによって少なくとも２つのアジ
    マス角を有するように構成したことを特徴とする磁気記
    録ヘッド。
  17. 【請求項１７】 磁気ヘッドチップを共通する基板上に
    複数形成する磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録
    媒体摺動面側の形状が上記磁気ヘッドチップの並び方向
    に曲面をなし、かつ上記曲面は磁気記録媒体方向へ凸で
    あることを特徴とする磁気記録ヘッド。
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