JPH07229913A - 速度計 - Google Patents

速度計

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JPH07229913A
JPH07229913A JP4778094A JP4778094A JPH07229913A JP H07229913 A JPH07229913 A JP H07229913A JP 4778094 A JP4778094 A JP 4778094A JP 4778094 A JP4778094 A JP 4778094A JP H07229913 A JPH07229913 A JP H07229913A
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JP
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moving object
light
light source
wavelength
moving
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JP4778094A
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English (en)
Inventor
Shigeki Kato
成樹 加藤
Shinji Ueda
伸治 上田
Yasuhiko Ishida
泰彦 石田
Jun Ashiba
純 足羽
Hidejiro Kadowaki
秀次郎 門脇
Makoto Takamiya
誠 高宮
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 移動物体の反射率に影響されずに高精度な速
度情報が得られる速度計を得る。 【構成】 1は光源、2はコリメーターレンズであり、
レーザー1からの光束を平行光束3にしている。10は
回折格子、16は光学系であり、焦点距離が略等しい2
つの単レンズ又は複数のレンズより成るレンズ群11,
12より成る。2つのレンズ群11,12は焦点距離の
2倍の間隔を隔てて配置して構成している。7は移動物
体又は移動流体であり、移動速度Vで矢印7a方向に移
動している。8は集光レンズであり、移動物体7からの
ドップラーシフトを受けた散乱光を検出手段としての光
検出器9の検出面9a上に集光している。移動物体7面
上と検出面9aは略共役関係となっている。20は計算
器等の演算手段であり、ハイパスフィルター19からの
ドップラー信号を用いて移動物体7の移動速度Vを演算
し求めている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は速度計に関し、例えば移
動する物体や流体等(以下「移動物体」と称する。)に
レーザー光を照射し、該移動物体の移動速度に応じてド
ップラーシフトを受けた散乱光の周波数の偏移を検出す
ることにより移動物体の変位に関する変位情報や移動物
体の移動速度を非接触で測定するようにしたドップラー
効果を利用した速度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より移動物体の移動速度を非接触且
つ高精度に測定する装置として、レーザードップラー速
度計が使用されている。レーザードップラー速度計は移
動物体にレーザー光を照射し、該移動物体からの散乱光
の周波数が、移動物体の移動速度に比例して偏移(シフ
ト)する効果(ドップラー効果)を利用して、移動物体
の移動速度を測定している。
【0003】図2は従来のレーザードップラー速度計の
一例を示す説明図である。
【0004】同図においてレーザー1から出射されたレ
ーザー光は、コリメーターレンズ2によって平行光束3
となり、ビームスプリッター4によって透過光5aと反
射光5bの2光束に分割されて反射鏡6a,6bで反射
されたのち、速度Vで移動している移動物体7に異った
方向から入射角θで二光束照射される。移動物体7から
の散乱光は、集光レンズ8を介して光検出器9で検出さ
れる。このとき二光束による散乱光の周波数は、移動速
度Vに比例して各々+Δf,−Δfのドップラーシフト
を受ける。ここで、レーザー光の波長をλとすれば周波
数変化Δfは次の(1)式で表わすことができる。
【0005】 Δf=V・sin(θ)/λ ‥‥‥‥(1) +Δf,−Δfのドップラーシフトを受けた散乱光は、
互いに干渉しあって光検出器9の受光面での明暗の変化
をもたらし、その周波数Fは次の(2)式で与えられ
る。
【0006】 F=2・Δf=2・V・sin(θ)/λ ‥‥‥‥(2) (2)式から、光検出器9の周波数F(以下「ドップラ
ー周波数」と呼ぶ)を測定して移動物体7の移動速度V
を求めている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザードップ
ラー速度計においては一般的にスペックルパターンの流
れによる明暗の変化の周波数及び移動物体(被検物体)
の透過率(あるいは反射率)の変化の周波数は、前述の
(2)式で示されるドップラー周波数に比べて低周波で
ある。このため光検出器の出力をハイパスフィルターに
通して低周波成分を電気的に除去し、ドップラー信号の
みを取り出す方法が用いられている。
【0008】しかしながら移動物体の反射率が低い場合
には、S/Nが低下し、電気的処理を行うに充分な信号
が得られなくなってしまい、また逆に移動物体の反射率
が高い場合には光検出器が飽和状態になり、ドップラー
周波数が得られなくなってくるという問題点があった。
【0009】このように従来のドップラー速度計では移
動物体の反射率によっては高精度な速度測定ができなく
なってくるという問題点があった。
【0010】本発明は、移動物体の反射率の大小にかか
わらず光検出器での受光量が一定となるようにし、反射
率に影響されずに常に高精度な速度情報が得られる速度
計の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の速度計は、 (1−1)光源手段からの光束を移動物体に入射させ、
該移動物体からの散乱光の周波数の偏移に基づく光束を
検出手段で検出し、該検出手段からの信号を利用して該
移動物体の速度情報を検出する際、該検出手段で得られ
る信号のDC成分に基づいて制御手段により該光源手段
から放射される光束の出力強度を制御していることを特
徴としている。
【0012】特に、前記制御手段は前記光検出器で得ら
れる散乱光の強度が略一定となるように前記光源手段の
出力を制御していることを特徴としている。
【0013】(1−2)光源手段からの波長λの光束を
焦点距離が略等しい2つのレンズ又はレンズ群を光軸方
向に該焦点距離の略2倍の間隔を隔てて配置した光学系
を介して、移動物体に入射角θで該光束の波長λの変化
に応じて入射角θが変化しsinθ/λが略一定となる
ように入射させ、該移動物体からの光束を検出手段で検
出し、該検出手段からの信号を利用して該移動物体の速
度情報を検出する際、該検出手段で得られる信号のDC
成分に基づいて制御手段により該光源手段から放射され
る光束の出力強度を制御していることを特徴としてい
る。
【0014】(1−3)波長λの照射光束を所定の入射
角θで移動物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の
周波数の偏移に基づいて該移動物体の速度情報を検出す
る速度計において、該照射光束の波長λの変化に応じて
該入射角θが変化し、sinθ/λがほぼ一定となるよ
うに該照射光束を該移動物体に入射させると共に、該検
出手段で得られる信号のDC成分に基づいて制御手段に
より該光源手段から放射される光束の出力強度を制御し
ていることを特徴としている。
【0015】(1−4)光源からの波長λの光束を回折
格子に入射させ、該回折格子からの+n次と−n次(n
=1,2,3・・・)の2つの回折光を焦点距離が略等し
い2つのレンズ群を該焦点距離の2倍の間隔を隔てて配
置した光学系を介して移動物体面上に異った方向から入
射角θで該2つの回折光が該移動物体面近傍で交差し、
かつ該波長λの変化に応じて該入射角θが変化するとき
sinθ/λが略一定となるように各要素を設定して照
射し、該移動物体面からのドップラーシフトを受けた2
つの散乱光を検出手段で検出し、該検出手段で得られる
信号を利用して該移動物体の移動速度を検出する際、該
検出手段で得られる信号のDC成分に基づいて制御手段
により該光源手段から放射される光束の出力強度を制御
していることを特徴としている。
【0016】
【実施例】図1は本発明の実施例1の要部概略図であ
る。
【0017】同図において1は光源(光源手段)で例え
ばレーザーダイオードや半導体レーザー等(以下「レー
ザー」と称する。)より成っている。2はコリメーター
レンズであり、レーザー1からの光束を平行光束3にし
ている。10は回折格子であり、格子ピッチdが例えば
3.2μmの透過型の±1次回折光を回折角θ1(θ1
12度)で回折させるように設定している。
【0018】16は光学系であり、焦点距離fが略等し
い2つの単レンズ又は複数のレンズより成るレンズ群1
1,12(以下「レンズ群」と総称する。)より成って
いる。2つのレンズ群11,12は焦点距離fの2倍の
間隔を隔てて配置して構成している。7は移動物体又は
移動流体(以下「移動物体」と称する。)であり、移動
速度Vで矢印7a方向に移動している。
【0019】本実施例では回折格子10とレンズ群11
との間隔をa、移動物体7とレンズ群12との間隔をb
としたとき、a<bで、且つa+b=2fとなるように
設定している。これによりワーキングディスタンスを長
くしている。
【0020】8は集光レンズであり、移動物体7からの
ドップラーシフトを受けた散乱光を検出手段としての光
検出器9の検出面9a上に集光している。移動物体7面
上と検出面9aは略共役関係となっている。
【0021】17はローパスフィルターであり、光検出
器9からの信号のうちDC成分の信号を取り出してい
る。ここでDC成分の信号は移動物体7の反射率の変化
に起因する光量変化分となっている。
【0022】18はレーザ出力制御器であり、ローパス
フィルター17からのDC成分の信号に基づいて光源1
から放射されるレーザ光の出力強度を制御し、光検出器
9で得られる散乱光の強度が移動物体7の反射率によら
ず略一定となるようにしている。尚ローパスフィルター
17とレーザ出力制御器18は制御手段21の一要素を
構成している。
【0023】19はハイパスフィルターであり光検出器
9からの信号のうちAC成分の信号を取り出している。
このAC成分の信号ははドップラー周波数信号に相当し
ている。20は計算器等の演算手段であり、ハイパスフ
ィルター19からのドップラー信号を用いて移動物体7
の移動速度Vを演算し求めている。
【0024】本実施例ではレーザー1(レーザーダイオ
ード、波長λ=0.68μm)から放射されたレーザー
光はコリメーターレンズ2によって直径約1.2mmの
平行光束3となって透過型の回折格子10に格子配列方
向に垂直に入射する。そして回折格子10によって回折
角θ1 で回折された±n次(本実施例ではn=1)の
回折光5a,5bはレンズ群11で位置11aに集光さ
れた後、発散しレンズ群12で平行光束14a,14b
となって射出する。そして移動物体7に各々異った方向
から回折角θ1 と同じ角度θ2 (即ちθ1 =θ2 )で入
射させている。
【0025】本実施例において格子ピッチdなる透過型
の回折格子10にレーザー光Iを格子の配列方向に垂直
に入射したときの回折光の回折角θ0 は次式となる。
【0026】sinθ0 =mλ/d ここでmは回折次数(0,1,2,‥)、λはレーザー
光の波長である。
【0027】このうち0次以外の±n次光は次式で表わ
される。
【0028】 sinθ0 =±nλ/d ‥‥‥‥(3) (nは1,2,‥) 移動物体7に異った方向から入射角がθ0 になるように
2光束照射したとき光検出器9のドップラー周波数Fは
(2)及び(3)式から F=2Vsinθ0 /λ=2nV/d ‥‥‥‥(4) となる。即ちレーザー光の波長に依存しなく、回折格子
10の格子ピッチdに反比例し移動物体7の移動速度に
比例する。格子ピッチdは充分安定にしうるので、ドッ
プラー周波数Fは移動物体7の移動速度のみに比例した
周波数となる。尚、回折格子10は反射型の回折格子に
ついても全く同様である。
【0029】本実施例ではレーザー光の波長λが変化し
たとき所定次数の回折光の回折角θも変化するが、この
とき前述の如く構成することによりsinθ2 /λの値
が一定となるようにしている。
【0030】又、2つの回折光14a,14bが移動物
体7面上でそのスポットが重なるように互いに交差する
ように入射している。
【0031】本実施例では光学系16のレンズ群11と
レンズ群12の焦点距離fを略等しくし、又回折格子1
0と移動物体7とが光学系16により等倍の共役関係と
なるように構成している。このとき移動物体7面上の2
つの回折光14a,14bは直径約1.2mmのスポッ
ト径となっている。
【0032】又、レーザー光の波長λが変化し、回折格
子10からの±n次回折光の回折角θ1 が変化し、回折
角θ1 ′となったときでも本実施例ではレンズ群11に
入射した±n次回折光が位置11a面上(回折角θ1
回折光5a,5bとは像高が多少異なる位置)に結像
し、その後発散してレンズ群12で平行光束となり角度
θ1 ′で移動物体7面上に入射するようにしている。そ
してこのときの2光束のスポットは互いに重なる状態を
維持する。
【0033】集光レンズ8は移動物体7の移動速度Vに
比例した(1)式に示すドップラーシフトΔf,−Δf
を受けた周波数の散乱光を光検出器9の検出面9a上に
集光している。このときドップラーシフトΔf,−Δf
を受けた2つの散乱光は互いに検出面9a上で干渉す
る。光検出器9はこのときの干渉縞の明暗に基づく光量
を検出する。即ち光検出器9は(4)式においてn=1
とした移動速度Vに比例したドップラー周波数F、 F=2V/d ‥‥‥‥(5) なるレーザー1の発振波長λに依存しないドップラー信
号を検出する。そして演算手段20により光検出器9か
らの出力信号を用いて移動速度Vを(5)式より求めて
いる。
【0034】そして移動物体7の反射率の大小によって
移動物体7からの散乱光が変化し、光検出器9で受光さ
れる光量が変動したときは制御手段21により光源1に
フィードバックをかけて光源1からの出力強度を調整し
て光検出器9で受光される散乱光が略一定となるように
している。
【0035】これによりS/N比の良いドップラー周波
数信号を得て、常に高精度の速度情報が得られるように
している。
【0036】
【発明の効果】本発明によれば以上のように各要素を設
定することにより、移動物体の反射率の大小にかかわら
ず光検出器での受光量が一定となるようにし、反射率に
影響されずに常に高精度な速度情報が得られる速度計を
達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1の要部概略図
【図2】 従来のドップラー速度計の要部概略図
【符号の説明】
1 光源 2 コリメーターレンズ 6a,6b ミラー 7 移動物体 8 集光レンズ 9 光検出器 10 回折格子 11,12 レンズ系 20 演算手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 足羽 純 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 門脇 秀次郎 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 高宮 誠 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源手段からの光束を移動物体に入射さ
    せ、該移動物体からの散乱光の周波数の偏移に基づく光
    束を検出手段で検出し、該検出手段からの信号を利用し
    て該移動物体の速度情報を検出する際、該検出手段で得
    られる信号のDC成分に基づいて制御手段により該光源
    手段から放射される光束の出力強度を制御していること
    を特徴とする速度計。
  2. 【請求項2】 前記制御手段は前記光検出器で得られる
    散乱光の強度が略一定となるように前記光源手段の出力
    を制御していることを特徴とする請求項1の速度計。
  3. 【請求項3】 光源手段からの波長λの光束を焦点距離
    が略等しい2つのレンズ又はレンズ群を光軸方向に該焦
    点距離の略2倍の間隔を隔てて配置した光学系を介し
    て、移動物体に入射角θで該光束の波長λの変化に応じ
    て入射角θが変化しsinθ/λが略一定となるように
    入射させ、該移動物体からの光束を検出手段で検出し、
    該検出手段からの信号を利用して該移動物体の速度情報
    を検出する際、該検出手段で得られる信号のDC成分に
    基づいて制御手段により該光源手段から放射される光束
    の出力強度を制御していることを特徴とする速度計。
  4. 【請求項4】 波長λの照射光束を所定の入射角θで移
    動物体に入射させ、該移動物体からの散乱光の周波数の
    偏移に基づいて該移動物体の速度情報を検出する速度計
    において、該照射光束の波長λの変化に応じて該入射角
    θが変化し、sinθ/λがほぼ一定となるように該照
    射光束を該移動物体に入射させると共に、該検出手段で
    得られる信号のDC成分に基づいて制御手段により該光
    源手段から放射される光束の出力強度を制御しているこ
    とを特徴とする速度計。
  5. 【請求項5】 光源からの波長λの光束を回折格子に入
    射させ、該回折格子からの+n次と−n次(n=1,
    2,3・・・)の2つの回折光を焦点距離が略等しい2つ
    のレンズ群を該焦点距離の2倍の間隔を隔てて配置した
    光学系を介して移動物体面上に異った方向から入射角θ
    で該2つの回折光が該移動物体面近傍で交差し、かつ該
    波長λの変化に応じて該入射角θが変化するときsin
    θ/λが略一定となるように各要素を設定して照射し、
    該移動物体面からのドップラーシフトを受けた2つの散
    乱光を検出手段で検出し、該検出手段で得られる信号を
    利用して該移動物体の移動速度を検出する際、該検出手
    段で得られる信号のDC成分に基づいて制御手段により
    該光源手段から放射される光束の出力強度を制御してい
    ることを特徴とする速度計。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010057961A (ko) * 1999-12-23 2001-07-05 신현준 레이저 판속계 및 이것을 이용한 강판의 반사도 변화에따른 측정오차 제거방법
KR100799445B1 (ko) * 2006-07-07 2008-01-30 주식회사 포스코 산업용 레이저 속도 측정방법
JP2008512674A (ja) * 2004-09-13 2008-04-24 ジ ユニバーシティ オブ ワイカト レンジおよび速度を検出するシステム
CN117538891A (zh) * 2024-01-09 2024-02-09 山东大学 一种轴向多点激光多普勒测速系统、方法及应用
WO2024042420A1 (en) * 2022-08-24 2024-02-29 Ejendomsadministration Jensen Aps Doppler effect based system and method of measuring on-axis of surface movement

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