JPH07234206A - 渦流探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】探傷を短時間で実施可能な渦電流探傷装置を提
供すること。 【構成】被検査体に交流磁場を作用させることにより発
生する渦電流をブリッジ回路４を構成する一対のセンサ
ーコイル５にて検出し、被検査体の状態に応じてこのブ
リッジ回路に生じる出力を検出出力として得、これを上
記被検査体の情報を有する探傷情報信号として利用して
上記被検査体の測定をする渦流探傷装置において、ブリ
ッジ回路からの検出出力を上記交流磁場の周波数の正数
倍のサンプリング周波数でディジタルデータに変換する
Ａ／Ｄ変換手段８と、このＡ／Ｄ変換手段により変換さ
れたディジタルデータを処理して互いに９０°位相を変
えた２種の探傷情報信号に変換して出力する信号処理手
段９とを設けて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は渦電流探傷装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】渦流探傷装置は交流磁場を金属に作用さ
せることにより発生する渦電流の変化を、センサーコイ
ルを移動させながら検知して、これをもとに構造欠陥等
の探傷（測定）や厚み測定、材質測定、寸法測定などを
行うことができる装置である。

【０００３】この探傷装置において、交流（例えば、
０．５ｋＨｚ〜１ｋＨｚ程度）を流したコイルにより発
生する交流磁場により導体の被検査体に渦電流が発生
し、この渦電流により発生する磁場が上記コイルに作用
することで、電位の変化がコイルに生じることを利用し
たものである。

【０００４】すなわち、被検査体の欠陥や材質、寸法の
変化に対応して渦電流の変化の反映の結果として変化す
る原理を用いて測定するものである。ところで図４に示
すように、従来の渦流探傷装置は所望周波数の交流を発
生できるように、所望周期で所望周波数対応のパルス数
変化をする可変クロック信号を発振する発振器１を用
い、その可変クロック信号をＤ／Ａコンバータ兼出力ア
ンプ３によりＤ／Ａ変換し、増幅することにより、所望
周波数の交流電圧を得、これを試験信号として２つのセ
ンサーコイル５を含めたブリッジ回路４に印加する。そ
して、交流電圧を印加した状態でこの２つのセンサーコ
イル５で被検査体の表面を走査する。

【０００５】このようにして、２つのセンサーコイル５
には交流電流が流れることになり、この交流電流により
発生する交流磁場により被検査体に渦電流を誘起させ
る。そして、この渦電流により発生する交流磁場により
センサーコイル５には電流が発生する。この電流は位相
が試験信号と逆相である。そして、被検査体に発生する
渦電流は被検査体の厚みや形状変化等により相応に変化
するから、ブリッジ回路を構成する上記２つのセンサー
コイル５にはその被検査体の厚みや形状変化等を反映し
た電位差が生じることになり、ブリッジの平衡が崩れる
ことになる。

【０００６】そこで、このようにして発生する上記２つ
のセンサーコイル５の不平衡電圧を差動増幅器６で増幅
し、周波数多重方式であればバンドパスフィルタ１２を
通し、発振器１の周波数と位相が同期した探傷信号と、
前記Ｄ／Ａコンバータ兼出力アンプ１２より出力された
交流電圧を９０゜位相をシフトさせる移相器１８を通す
して試験信号と位相が９０゜異なるようにした制御信号
とを位相検波器１３に加え、同期検波を行って試験信号
成分を除去し、探傷情報信号を得る。

【０００７】同期検波には乗算器や、アナログスイッチ
等を用いる方式があるが、いずれも発振周波数成分の信
号またはそれ以上の帯域の不要信号が検波後に出力され
るため、必ずローパスフィルタ１４を通し、ゲインアン
プ１５により所望のレベルに信号レベルを増幅した後、
位相変換アンプ１６を通して信号の位相を変換し、出力
部１７にアナログのＸ，Ｙ信号として出力させ、探傷情
報として取り出していた。なお、Ｘ信号とＹ信号は位相
変換アンプ１６により互いの位相が９０°ずらされてい
る。

【０００８】そして、ディジタル信号処理方式とした渦
流探傷装置ではローパスフィルタ１４またはゲインアン
プ１５の後段以降でＡ／Ｄコンバータを通すことによ
り、ディジタル化してＸ，Ｙ信号として出力させ、探傷
情報としてプロセッサに取り込んで信号処理を行ってい
た。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のこの
ような装置は、被検査体の探傷を行う場合に、与える試
験信号の周波数が低くなるとローパスフィルタのカット
オフ周波数も低くしないと試験信号周波数成分や雑音成
分などの周波数成分が除去できずに残り、これらの不要
成分が重畳されて探傷情報信号成分のみを抽出すること
ができないことになるので、本来の探傷ができない。

【００１０】すなわち、試験信号周波数成分や雑音成分
などは周波数が比較的高いのでローパスフィルタを通す
ことである程度除去できるが、低い周波数成分のものも
あるので、これらを完全に除去するにはローパスフィル
タのカットオフ周波数を相当に低くする必要がある。そ
して、ローパスフィルタのカットオフ周波数が低いと当
該カットオフ周波数より低い信号周波数でしか探傷がで
きないことになる。

【００１１】つまり探傷情報信号は欠陥等を反映したレ
ベルの信号として得られるが、センサーコイルを移動し
て欠陥等を検出するにあたり、センサーコイルの移動速
度が周波数変化に反映されることから、その周波数がロ
ーパスフィルタのカットオフ周波数より低くない場合は
しゃ断され、探傷情報信号は得られない。

【００１２】このことは探傷情報信号の周波数が当該カ
ットオフ周波数以下になるようにセンサーコイルの移動
速度、すなわち検査速度を落とさなければならないこと
を意味し、従って、従来装置は探傷能率が悪くなり、欠
陥検査に長時間を要することとなった。

【００１３】そこで、この発明の目的とするところは、
上記の検査速度を早めて探傷能率の向上を図ることがで
きるようにしたディジタル信号処理渦流探傷装置を提供
することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明はつぎのように構成する。すなわち、被検査
体に交流磁場を作用させることにより発生する渦電流を
ブリッジ回路を構成する一対のセンサーコイルにて検出
し、被検査体の状態に応じてこのブリッジ回路に生じる
出力を検出出力として得、これを上記被検査体の情報を
有する探傷情報信号として利用して上記被検査体の測定
をする渦流探傷装置において、ブリッジ回路からの検出
出力を上記交流磁場の周波数の正数倍のサンプリング周
波数でディジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段と、
このＡ／Ｄ変換手段により変換されたディジタルデータ
を処理して互いに９０°位相を変えた２種の探傷情報信
号に変換して出力する信号処理手段とを設けて構成す
る。

【００１５】

【作用】このような構成の本装置は、Ａ／Ｄ変換手段よ
りブリッジ回路からの検出出力を上記交流磁場の周波数
の正数倍のサンプリング周波数でディジタルデータに変
換する。そして、信号処理手段はこのＡ／Ｄ変換手段に
より変換されたディジタルデータを９０°位相を変えた
２種の探傷情報信号に変換して出力する。この２種の探
傷情報信号を外部の解析処理装置などにより処理するこ
とで被検査体の最終的な測定結果が得られる。

【００１６】本発明では、ブリッジ回路からのアナログ
信号を直接、Ａ／Ｄ変換手段を介して信号処理手段、例
えば、ディジタルシグナルプロセッサに取り込み、処理
することで高速に信号処理を行うことができる。

【００１７】そして、Ａ／Ｄ変換手段のサンプリング間
隔は上記交流磁場を与えている交流の持つ周波数の１周
期の正数倍分のサンプリング周波数で行うことから、探
傷情報信号を早く収集できるようになる。

【００１８】特に、本装置は同期検波前のローパスフィ
ルタ処理が不要のため、ローパスフィルタのカットオフ
周波数による制限がなくなるので、サーチコイルの走査
速度を早くすることができるようになり、上述した高速
信号処理が可能となることと相俟って探傷能率を飛躍的
に向上させることができるようになる。

【００１９】

【実施例】本発明は渦流を発生させ、それを検出するブ
リッジ回路からのアナログ信号を、直接、Ａ／Ｄコンバ
ータを介してディジタルシグナルプロセッサに取り込
み、探傷情報の信号を得るようにして、高速に信号処理
を行うことができるようにすると共に、試験周波数の１
周期分を所定等分割するサンプリング間隔でＡ／Ｄコン
バータをサンプリング動作させ、ディジタルシグナルプ
ロセッサに取り込む制御方式とし、コンピュータソフト
ウェアにより自動的に周波数設定、位相回転を行うよう
にして構成の簡素化を図るようにしたものであり、以
下、本発明の一実施例について、図面を参照して説明す
る。

【００２０】図１は本発明の一実施例における回路のブ
ロック構成図であり、図において、１は試験周波数発振
器、２はサンプリング周波数発振器、３はＤ／Ａコンバ
ータ兼出力アンプ、４はブリッジ回路、５はセンサーコ
イル、６は差動増幅器、７は可変増幅器、８はＡ／Ｄコ
ンバータ、９はディジタルシグナルプロセッサ、１０は
Ｄ／Ａコンバータである。

【００２１】試験周波数発振器１は設定された所望の周
期で、かつ、所望周波数対応のパルス数変化をする可変
クロック信号を発振する発振器であり、サンプリング周
波数発振器２は所望のサンプリングクロックを発生する
発振器である。

【００２２】サンプリング周波数発振器２は試験周波数
発振器１と同期して発振動作するものであり、試験周波
数１周期の信号を、等間隔でディジタル信号処理するた
めのサンプリング信号を発生する回路である。

【００２３】試験周波数発振器１とサンプリング周波数
発振器２は、例えばダイレクトディジタルシンセサイザ
を用いており、これら試験周波数発振器１とサンプリン
グ周波数発振器２はいずれもコンピュータソフトウェア
制御により、発振する信号の周波数や位相を自由に変え
られるものとする。

【００２４】Ｄ／Ａコンバータ兼出力アンプ３は試験周
波数発振器１の出力するクロック信号をＤ／Ａ変換して
増幅し、交流電圧として出力するためのものであって、
当該交流電圧は試験信号として利用される。ブリッジ回
路４は２つのセンサーコイル５を含めたブリッジ回路構
成となっており、Ｄ／Ａコンバータ兼出力アンプ３から
の試験信号をセンサーコイル５に与えると共に、このセ
ンサーコイル５に与えられた交流電圧に対応する電流信
号が試験信号として当該センサーコイル５に流れること
により、発生する交番磁界によって探傷対象の金属被検
査体に渦電流が発生し、この渦電流対応の磁界が金属被
検査体に発生することにより、これがセンサーコイル５
に流れて電圧を誘起し、ブリッジ回路４の２つのセンサ
ーコイル５間の当該誘起電圧に差がある場合に、当該ブ
リッジ回路４に差電圧が発生するのを利用してこの差電
圧を探傷信号として得るものである。

【００２５】センサーコイル５は２つあるが、例えば、
コイルの巻き心方向が互いに９０°交差して１点で交わ
るような配置関係としておくと、金属被検査体がパイプ
のようなものである場合にＸ軸およびＹ軸方向それぞれ
の方向での渦電流を信号として検知することができる。
そして、パイプ状の金属被検査体に欠陥があればその欠
陥により渦電流の発生状態が変わり、それが当該欠陥に
対する測定方向の違いのために、ブリッジ回路４の２つ
のセンサーコイル５間の当該誘起電圧に差ができること
で、この差が欠陥対応の測定信号となることを利用して
この測定信号を探傷信号として利用する。なお、２つの
センサーコイル５の配置関係は種々の態様が考えられ、
被検査体の形状や探傷目的、測定効率等の点から最良の
配置構造を採用するものとする。

【００２６】差動増幅器６は、ブリッジ回路４の上記差
信号を抽出するための回路であり、可変増幅器７は、こ
の差動増幅器６によって抽出された差信号を増幅するた
めの回路であって、利得を外部より制御できるものであ
る。

【００２７】Ａ／Ｄコンバータ８は、サンプリング周波
数発振器２の出力するサンプリングクロックに対応して
動作して可変増幅器７が増幅出力する信号をサンプリン
グし、Ａ／Ｄ変換するものであって、そのサンプリング
した信号のレベル対応のディジタルデータに変換して出
力するものである。

【００２８】ディジタルシグナルプロセッサ９は、Ａ／
Ｄコンバータ８の出力ディジタルデータを位相ずれのな
いＸ信号およびこのＸ信号に対して９０°位相をずらし
たＹ信号としてそれぞれ出力するとともに、試験周波数
発振器１とサンプリング周波数発振器２の動作制御を実
施する機能を有する他、可変増幅器７の増幅率を制御す
る機能を有する。

【００２９】Ｄ／Ａコンバータ１０はシグナルプロセッ
サ９の出力するＸ信号およびＹ信号をそれぞれアナログ
信号に変換して出力する回路である。つぎに上記構成の
本装置の作用を説明する。

【００３０】所望周波数の交流電圧に対応するクロック
周波数変化するクロック信号を発生する試験周波数発振
器１より得られるクロック信号をＤ／Ａコンバータ兼出
力アンプ３に通すことにより所望の試験周波数の交流電
圧である試験信号を発生し、これを２つのセンサーコイ
ル５を含めたブリッジ回路４に印加する。

【００３１】このセンサーコイル５に与えられた交流電
圧に対応する電流信号が試験信号として当該センサーコ
イル５に流れることにより、発生する交番磁界によって
探傷対象の金属被検査体に渦電流が発生し、この渦電流
対応の磁界が金属被検査体に発生することにより、これ
がセンサーコイル５に流れて電圧を誘起する。

【００３２】この結果、ブリッジ回路４の２つのセンサ
ーコイル５間の当該誘起電圧に差がある場合に、当該ブ
リッジ回路４に差電圧が発生する。従って、ブリッジ回
路４の出力を差動増幅器６に与えることにより、２つの
センサーコイル５間に電圧差があればその差電圧が探傷
信号として差動増幅器６から得られる。

【００３３】この探傷信号は可変増幅器７により増幅さ
れ、Ａ／Ｄコンバータ８によってサンプリング周波数発
振器２により定まるサンプリングタイミング対応にサン
プリングされながらディジタルデータに変換され、さら
にディジタルシグナルプロセッサ９によりＸ信号および
このＸ信号に対して９０°位相をずらしたＹ信号に変換
されてそれぞれ出力される。そして、Ｄ／Ａコンバータ
１０によりこのＸ信号およびＹ信号はそれぞれアナログ
信号に変換されて最終出力となる。

【００３４】このＸ信号およびＹ信号、すなわち、位相
の異なるこの２種の探傷情報信号を外部の解析処理装置
などにより解析処理することで被検査体の最終的な測定
結果が得られる。

【００３５】本発明の装置では、センサーコイル５の不
平衡電圧を差動増幅器６で増幅し、更に必要な場合は可
変増幅器７を通した後、試験周波数発振器１と同期させ
たサンプリング周波数発振器２により、定まるサンプリ
ング間隔でＡ／Ｄ変換してディジタルシグナルプロセッ
サ９に取り込む。

【００３６】サンプリング周波数発振器２の出力するサ
ンプリングパルスの周波数は、試験周波数発振器１で定
まる試験周波数の１周期分を８〜１６等分する周波数で
あり、このサンプリング間隔でＡ／Ｄコンバータ８を介
してディジタルシグナルプロセッサ９に取り込む。そし
て、ディジタルシグナルプロセッサ９はこの取り込んだ
信号をその演算部でディジタル検波し、位相の操作をす
るなどして加工してＸ信号とＹ信号にし、Ｄ／Ａコンバ
ータ１０へ出力する。

【００３７】１周期の信号を、等間隔でディジタル信号
処理するため、サンプリング周波数発振器２は試験周波
数発振器１と同期して発振動作する。そして、各々の発
振器１，２には、例えばダイレクトディジタルシンセサ
イザを用いており、これら試験周波数発振器１とサンプ
リング周波数発振器２はいずれもコンピュータソフトウ
ェア制御により、発振する信号の周波数や位相を自由に
変えられる。

【００３８】本発明装置では、試験周波数は試験周波数
発振器１に対して設定し、これにより試験周波数発振器
１は設定周波数で信号を発振し、Ｄ／Ａコンバータ兼出
力アンプ３を通してセンサーコイル５に交流電圧として
印加する。また、サンプリング周波数発振器２は試験周
波数発振器１の発振出力の８（〜１６）倍の周波数に設
定し、サンプリング用に利用する。

【００３９】従って、発振器１，２を同時にスタートさ
せ、ブリッジ回路４から８（〜１６）個の信号を取り込
むと１周期分のデータが揃う。図２に例えば、サンプリ
ング周波数を試験周波数の８倍、すなわち、サンプリン
グ周波数発振器２の発振周期を、試験周波数の周期Ｔの
１／８の長さにした場合の例を示す。

【００４０】サンプリング間隔は試験周波数の周期Ｔの
１／８の長さとなったことで、試験周波数の信号を８等
分に分割した間隔でサンプリングすることになり、これ
により、試験周波数発振器１の発振出力信号にて決まる
試験周波数の１周期以内で探傷信号を取り込むことがで
き、“Ｓ１のデータ”＋“Ｓ２のデータ”＋“Ｓ３のデ
ータ”＋“Ｓ４のデータ”−“Ｓ５のデータ”−“Ｓ６
のデータ”−“Ｓ７のデータ”−“Ｓ８のデータ”でＸ
信号が、そして、“Ｓ３のデータ”＋“Ｓ４のデータ”
＋“Ｓ５のデータ”＋“Ｓ６のデータ”−“Ｓ７のデー
タ”−“Ｓ８のデータ”−“Ｓ１のデータ”−“Ｓ２の
データ”でＹ信号ができる。

【００４１】ここで、マイナス符号は信号の絶対値をと
ることを意味する。なお、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，〜Ｓ８は
それぞれサンプリングの順番であるサンプリングNo.
１，サンプリングNo. ２，サンプリングNo. ３，〜サン
プリングNo. ８を示している。

【００４２】低周波の場合は、上記のように１周期分の
データが揃うが、高周波になるとＡ／Ｄコンバータ８の
処理速度が追いつかなくなるため、サンプリング周波数
発振器２のサンプリング間隔を試験周波数発振器１の発
振出力信号の周期Ｔの１／８（通常値）、３／８、５／
８と云った具合に、高い周波数になるに従い、変えてゆ
くと、その分子にくる値の周期で、必要なデータ数がサ
ンプリング可能となる。

【００４３】その例を図３に示す。通常モードは試験周
波数発振器１の発振出力信号周期Ｔを１／８に等分する
サンプリング間隔であるから、図における細線のタイミ
ングＳ１〜Ｓ８で１周期分のデータが揃う。Ｔの３／８
のサンプリング間隔の例では白丸印を付したタイミング
Ｓ１´〜Ｓ８´でサンプリングすれば、必要なデータが
３周期内でも揃う。取り込んだデータの順序は変える
が、これはコンピュータソフトウェア処理で並べ替え
る。

【００４４】この場合は“Ｓ１´”＋“Ｓ４´”＋“Ｓ
７´”＋“Ｓ２´”−“Ｓ５´”−“Ｓ８´”−“Ｓ３
´”−“Ｓ６´”のサンプリングでＸ信号が、“Ｓ７
´”＋“Ｓ２´”＋“Ｓ５´”＋“Ｓ８´”−“Ｓ３
´”−“Ｓ６´”−“Ｓ１´”−“Ｓ４´”のサンプリ
ングでＹ信号ができる。

【００４５】但し、Ｓ１´，Ｓ２´，Ｓ３´，〜Ｓ８´
はそれぞれＴの３／８のサンプリング間隔でのサンプリ
ングの順番であるサンプリングNo. １，サンプリングN
o. ２，サンプリングNo. ３，〜サンプリングNo. ８を
示している。

【００４６】このように試験周波数が高い時はサンプリ
ング周波数を上記の方式で変えれば良い。また、出力信
号（Ｘ信号，Ｙ信号）の位相回転を行う時は試験周波数
発振器１のスタート位相のオフセットを変えるのみで実
現できる。

【００４７】このように本発明の渦電流探傷装置では、
Ｘ，Ｙ信号が低周波では１周期以内でサンプリングでき
るようになり、また、ローパスフィルタを用いないから
検査速度を高速にできる。従来リモートフィールド法で
試験周波数１ＫＨｚの時は、ローパスフィルタのカット
オフ周波数を３０Ｈｚ近傍に設定して探傷していた。そ
して、微小信号を検出したい場合は更にカットオフ周波
数を下げなければならなかったが、本発明の渦流探傷装
置では試験周波数が１ＫＨｚの時、理論上、最大５００
Ｈｚの信号が得られる。しかし、サンプリング点数が１
周期に対して２点程度しかないため、信号の正確さに欠
ける。欠陥信号の１周期を８点以上取り込める帯域は１
０００／８＝１２５Ｈｚになる。これは従来の検査速度
の４倍以上となる。なお、リモートフィールド法に限ら
ず低周波の渦流探傷・計測ではいずれの方法であっても
全て検査速度が早くなる。

【００４８】また、回路構成が簡単になっており機器の
信頼性の向上、取扱いの容易さ、保守費の低減が期待で
きる。このように本装置は、被検査体に交流磁場を作用
させることにより発生する渦電流をブリッジ回路を構成
する一対のセンサーコイルにて検出し、被検査体の状態
に応じてこのブリッジ回路に生じる出力を検出出力とし
て得、これを上記被検査体の情報を有する探傷情報信号
として利用して上記被検査体の測定をする渦流探傷装置
において、ブリッジ回路からの検出出力を上記交流磁場
の周波数の正数倍のサンプリング周波数でディジタルデ
ータに変換するＡ／Ｄコンバータと、このＡ／Ｄコンバ
ータにより変換されたディジタルデータを処理して互い
に９０°位相を変えた２種の探傷情報信号に変換して出
力するディジタルシグナルプロセッサ（信号処理手段）
とを設けて構成したものであり、このような構成の本装
置は、Ａ／Ｄコンバータよりブリッジ回路からの検出出
力を上記交流磁場の周波数の正数倍のサンプリング周波
数でディジタルデータに変換し、そして、ディジタルシ
グナルプロセッサはこのＡ／Ｄコンバータにより変換さ
れたディジタルデータを９０°位相を変えた２種の探傷
情報信号に変換して出力するものである。そして、この
２種の探傷情報信号を外部の解析処理装置、例えば、コ
ンピュータなどにより処理することで被検査体の最終的
な測定結果を得るものである。

【００４９】本装置では、ブリッジ回路からのアナログ
信号を直接、Ａ／Ｄコンバータを介してディジタルシグ
ナルプロセッサに取り込み、処理することで高速に信号
処理を行うことができる。そして、Ａ／Ｄコンバータの
サンプリング間隔は上記交流磁場を与えている交流の持
つ周波数の１周期の正数倍分のサンプリング周波数で行
うことから、探傷情報信号を早く収集できるようにな
る。

【００５０】特に、本装置は同期検波前のローパスフィ
ルタ処理が不要のため、ローパスフィルタのカットオフ
周波数による制限がなくなるので、サーチコイルの走査
速度を早くすることができるようになり、上述した高速
信号処理が可能となることと相俟って探傷能率を飛躍的
に向上させることができるようになる。また、従来のよ
うにバンドパスフィルタ、移相器、位相検波器、ローパ
スフィルタ、位相変換アンプと云った構成要素の機能が
ディジタルシグナルプロセッサにより実現されるので、
従来構成に比べ構成が簡素となり、従って、コストダウ
ンと信頼性向上に寄与する。なお、本発明は上述した実
施例に限定することなく、その要旨を変更しない範囲内
で適宜、変形して実施し得るものである。

【００５１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
探傷を短時間で実施することができる渦電流探傷装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を説明するための図であって、
本発明の第１実施例に係る回路の構成例を示す図。

【図２】本発明の実施例を説明するための図であって、
本発明装置における信号のディジタル化の様子を説明す
るための図。

【図３】本発明の実施例を説明するための図であって、
本発明装置におけるサンプリング間隔を試験周波数周期
の３／８にした時のサンプリング要領を説明するための
図。

【図４】従来例を説明するための図であって、従来装置
の回路構成を示す図。

【符号の説明】

１…試験周波数発振器 ２…サンプリング周波数発振器 ３…Ｄ／Ａコンバータ兼出力アンプ ４…ブリッジ回路 ５…センサーコイル ６…差動増幅器 ７…可変増幅器 ８…Ａ／Ｄコンバータ ９…ディジタルシグナルプロセッサ １０…Ｄ／Ａコンバータ １２…バンドパスフィルタ １３…位相検波器 １４…ローパスフィルタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 仲矢 直司 大阪府大阪市北区東天満１丁目11番13号 アスワン電子株式会社内 (72)発明者 石川 修 北海道室蘭市茶津町４番地１ 日鋼検査サ ービス株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査体に交流磁場を作用させることに
   より発生する渦電流をブリッジ回路を構成する一対のセ
   ンサーコイルにて検出し、被検査体の状態に応じてこの
   ブリッジ回路に生じる出力を検出出力として得、これを
   上記被検査体の情報を有する探傷情報信号として利用し
   て上記被検査体の測定をする渦流探傷装置において、 ブリッジ回路からの検出出力を上記交流磁場の周波数の
   正数倍のサンプリング周波数でディジタルデータに変換
   するＡ／Ｄ変換手段と、 このＡ／Ｄ変換手段により変換されたディジタルデータ
   を処理して互いに９０°位相を変えた２種の探傷情報信
   号に変換して出力する信号処理手段と、を設けて構成す
   ることを特徴とする渦流探傷装置。