JPH07235445A - 多重層フィルム - Google Patents

多重層フィルム

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JPH07235445A
JPH07235445A JP6242964A JP24296494A JPH07235445A JP H07235445 A JPH07235445 A JP H07235445A JP 6242964 A JP6242964 A JP 6242964A JP 24296494 A JP24296494 A JP 24296494A JP H07235445 A JPH07235445 A JP H07235445A
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JP
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ceramic
film
screen printing
layer
substrate film
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JP6242964A
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Jacques Warnier
ワルニエル ヤクエス
Der Beek Gerrit Van
ファン デル ベーク ヘリット
Hubertus Weerts
ウェールツ フベルタス
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Electronics NV
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 均一なフィルム厚さを有し、且つ特に多重層
構体を有する受動電子素子に好適な改善された構体を有
する多重層フィルムを提供せんとする。 【構成】 多重層フィルムはグリーンセラミック基板フ
ィルム３と、スクリーン印刷により得た内部電極２と、
グリーンセラミック基板フィルムおよび内部電極を含む
全区域にスクリーン印刷により形成した１つ以上のレベ
リング層１，１ａとを具える。これら内部電極およびレ
ベリング層はグリーンセラミック基板フィルム上にスク
リーン印刷により順次設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多重層フィルム、特に多
重層構体を有する受動電子素子用の多重層フィルムに関
するものである。さらに本発明はかかる多重層フィルム
を製造するためのマルチカラースクリーン印刷方法およ
びこの多重層フィルムの使用に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】エレクトロニクス産業においては、多く
の受動構成素子を多重層構体で製造している。かかる構
成素子は例えば多重層コンデンサ、多重層アクチュエー
タおよび多重層バリスタを含む。
【０００３】極めて多数製造されるこれら構成素子は多
重層コンデンサである。従来、この多重層コンデンサは
薄膜層、セラミック層および誘電体層の積層を具え、こ
れら層間に内部電極を配列する。内部電極は外部電極に
より相互接続される。
【０００４】多重層アクチュエータおよび多重層バリス
タは同様に構成される。即ち、金属電流通路が設けられ
る“グリーン”（未焼成）セラミック基板フィルムを共
に焼成して複雑な３次元多重層フィルムを形成する。
【０００５】多重層構体を有する受動電子素子（部品）
は一般に先ず最初誘電体セラミック成分およびバインダ
配合物からグリーンセラミック基板箔を製造することに
より形成する。
【０００６】内部電極は、グリーンセラミックに電極パ
ターンに従って金属化ペーストを被覆することによって
基板フィルム上に設ける。この金属化グリーン金属化フ
ィルムを積重ね、この積重ねたものを積層して半完成プ
レートを所望の製品に分割する。次いで、バインダをバ
ーンアウトしてセラミック材料を焼成する。次に、外部
電極を設ける。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した種類
の金属化されたグリーンセラミック基板フィルムを積重
ねる際その厚さが金属化されていない領域の厚さ以上と
なる金属化領域を有する半完成プレートが得られるよう
になる。これがため積重ね部が圧縮される際不揃い効果
が生じるようになる。
【０００８】基板フィルムの圧縮が電極の層の厚さより
も多数倍厚くなると、交互のフィルム厚さに起因する上
述した効果が著しく減少する。積重ね部を圧縮する際、
比較的厚い基板フィルムは電極間のスペース内で圧縮す
る。従って基板箔はかかる内部スペースを充満し、積重
ね部の圧縮時電極の垂直積重ね順が（確保）されるよう
になる。
【０００９】しかし、受動構成素子の連続金属化によっ
てその厚さが内部電極の厚さに匹敵する極めて薄い基板
フィルムが形成されるようになる。かかる薄いフィルム
は積重ね部の圧縮時重畳内部電極間のスペースを完全に
充満し得なくなる。
【００１０】かかる積重ね構体は必然的に圧縮処理中剪
断力を発生しこの剪断力によって個別のフィルムを互い
にずらせるようになる。断面でみて、このフィルムは不
揃いの正弦パターン（）にしばしば配列されるようにな
る。この内部電極はもはや互いに正確に積重ね配置され
なくなる。これがためプレートを個別の製品に分割する
分割切断を正確に位置決めするのが一層困難になる。
【００１１】他方、金属化されたグリーン基板フィルム
を圧縮する際、交互の層厚さのために、これらフィルム
間にバブルが形成され、これらバブルはバーンニングお
よび焼結処理時に除去することができない。製造処理時
に離層が生じるかまたは製品が早期に破壊されるように
なる。
【００１２】この理由で、多重層構体を有する受動電子
構成素子の層化構体を改善する種々の手段が提案され
た。
【００１３】日本国特許3-105905号には均一厚さの均質
グリーンフィルムを製造する方法が記載されており、こ
の方法では、内部電極の連続製造ようペーストを巻回基
板フィルムにスクリーン印刷するようにしている。
【００１４】次いで、内部電極のパターン間に誘電体フ
ィルムを製造するために、内部電極の場合と同様のパタ
ーニング処理を用いて、内部電極が印刷されない巻回フ
ィルムの部分に第２セラミックペーストを設け、その後
フィルムの止め孔による正確な位置決めを行う。
【００１５】この第２ペーストのスクリーン印刷後“ド
クターブレード”処理によってセラミックスラリーのフ
ィルムを印刷された表面に形成する。
【００１６】次いで、フィルムを乾燥して細片に切断
し、穿孔し、積層する。その後、完成品を焼成する。
【００１７】この方法は内部電極間の第２セラミックペ
ーストの印刷を行う際にスクリーンを著しく正確に位置
決めする必要のある欠点がある。従ってスクリーンステ
ンシルを正確に位置決めする際に、狭い未印刷間隔およ
びアンダーカットが内部電極とこれら内部電極間に印刷
された誘電体接続片との間に保持し、この間隔およびア
ンダーカットを次にセラミック材料の被覆を行う際材料
で充填することができなくなることを防止することはで
きない。
【００１８】斯様に不所望であり、防止の困難な現象が
オーバーラップして印刷され、これにより積層フィルム
の表面に不規則部が導入されるようになる。
【００１９】また、第２の異なる被覆フィルムを用いて
積層フィルムを完成する必要のある他の欠点が生ずるよ
うになる。
【００２０】本発明の目的は均一なフィルム厚さを有
し、且つ特に多重層構体を有する受動電子素子に好適な
改善された構体を有する多重層フィルムを提供せんとす
るにある。本発明の他の目的はかかる多重層フィルムを
製造する簡単な方法を提供せんとするにある。 また、
本発明の他の目的はかかる多重層フィルムを有利に使用
せんとするにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明は特に多重層構体
を有する受動電子素子用多重層フィルムにおいて、 ａ）１つ以上のセラミック成分およびバインダ配合物を
含むグリーンセラミック基板フィルムを具え、 ｂ）この基板フィルム上にスクリーン印刷により内部電
極を設け、この内部電極は１つ以上の金属成分および所
望に応じセラミック充填材およびバインダ配合物を具
え、 ｃ）さらに、スクリーン印刷によって、前記内部電極お
よびグリーンセラミック基板フィルムを収容する全区域
に設けられた１つ以上のセラミック充填材およびバイン
ダ配合物を具える１つ以上のレベリング層を具えること
を特徴とする。
【００２２】
【作用】これらスクリーン印刷されたレベリング層によ
って電極パターンを印刷する基板フィルムの全表面を均
一に被覆する。また、このレベリング層によっても内部
電極間の間隙を充填するとともに内部電極に対する薄い
被覆層を構成する。従ってこの方法は“プリントオーバ
ー”法とも称される。本発明多重層フィルムは印刷表面
全体に亘り均一な層厚さを有する。さらに、内部電極は
機械的な損傷および汚染をも防止することができる。
【００２３】比較的高粘度のセラミックペーストはスク
リーン印刷処理に用いることができるため、レベリング
層の退縮が特に内部電極間で小さくなる。
【００２４】スクリーン印刷によって提供された層のミ
クロの粗さは相対的に重要なピーク−バレイ比によって
特徴つけられる。従ってスクリーン印刷接着剤によって
提供されたレベリング層は積重ね部を圧縮する際極めて
良好となる。
【００２５】本発明多重層フィルムは寸法的に安定で、
僅かに可撓性となる。この多重層フィルムは処理し易
く、移送し易く他の処理を施し易い。
【００２６】多重層フィルムが複数のスクリーン印刷さ
れたレベリング層を具える場合には、極めて均一な層厚
さのフィルムを得ることができる。
【００２７】本発明によれば、前記グリーンセラミック
基板フィルムのセラミック成分および前記レベリング層
の化学組成を同一とした多重層フィルムを好適に用いる
ことができる。
【００２８】或は又、前記レベリング層のセラミック成
分の少なくとも１つの化学組成を前記グリーンセラミッ
ク基板フィルムの化学組成とは相違させるようにするこ
が好適である。
【００２９】この化学組成を例えば適宜選択して基板セ
ラミックおよび内部電極間の不整合性、例えば異なる熱
膨張係数または相互拡散および反応、あるいは不良湿潤
特性等を補償することができる。
【００３０】この場合には、前記多重層フィルムは前記
グリーンセラミック基板フィルムおよび前記内部電極間
に、１つ以上のセラミック成分およびバインダ配合物を
具えるとともにスクリーン印刷により多重層フィルムの
全区域に設けられたレベリング層を具えるようにする。
【００３１】本発明多重層フィルムの好適な例では、前
記グリーンセラミック基板フィルムのバインダ配合物を
親水性とし且つ有機溶剤のないものとする。また、かか
る多重層フィルムは、殆どあるいは全く汚染されないほ
かに、優秀な焼成特性を有し、従って極めて迅速に焼成
することができる。親水性且つ有機溶剤のないグリーン
セラミック基板フィルムのバインダ配合物を有する多重
層フィルムの場合には、前記レベリング層の内部電極の
バインダ配合物を疎水性とするのが好適である。この手
段によればスクリーン印刷ペーストのバインダ配合物の
溶剤によって基板フィルムを軟化するとともにスクリー
ン印刷パターンを着色し得るようになる。
【００３２】本発明の構成ないで、前記バインダ配合物
のバインダは１５０℃に等しいか、これよりも大きな分
解点を有するようにする。多重層フィルムの最終感想処
理後、このバインダ配合物はその接着特性を保持する。
これによりフィルムの正確な積重ねを促進し、且つ積重
ね部の接着性を改善する。
【００３３】本発明多重層フィルムの他の例では、前記
グリーンセラミック基板フィルムおよび／または前記内
部電極および／またはスクリーン印刷により全区域に設
けられたレベリング層のバインダ配合物を熱可塑性とす
る。このバインダ配合物は溶剤を具えないため、かかる
多重層フィルムには汚染を殆どあるいは全く生じない。
さらに、ペーストの粘性がスクリーン印刷中変化しない
ため、均一な印刷を得ることができる。熱可塑性バイン
ダ配合物を具えるスクリーン印刷ペーストは速乾性であ
るため、数回のスクリーン印刷処理を順次迅速に行うこ
とができる。熱可塑性バインダを具える多重層フィルム
は容易に貯蔵することができる。その理由は、これらフ
ィルムが室温で変化しないからである。
【００３４】本発明マルチカラースクリーン印刷方法
は、多重層構体を有する特に受動電子素子用の多重層フ
ィルムを製造するに当たり、少なくとも次の行程；・１
つ以上のセラミック成分およびバインダ配合物を具える
グリーンセラミック基板フィルムの全表面を、所望に応
じ、１つ以上のセラミック成分を含むセラミックスクリ
ーン印刷ペーストおよび前記グリーンセラミック基板フ
ィルムのセラミック成分とは異なるセラミックスクリー
ン印刷ペーストを含むバインダ配合物によってスクリー
ン印刷し；・１つ以上の金属成分および所望に応じセラ
ミック充填物並びにバインダ配合物を具える金属化ペー
ストを用いてスクリーン印刷により電極パターンを設
け；・印刷されたグリーンセラミック基板フィルムの全
表面を、所望に応じ、１つ以上のセラミック成分を含む
セラミックスクリーン印刷ペーストおよび前記グリーン
セラミック基板フィルムのセラミック成分とは異なるセ
ラミックスクリーン印刷ペーストを含むバインダ配合物
によって２回また数回スクリーン印刷する工程を具える
ことを特徴とする。
【００３５】この方法は多数の同様の処理工程を具える
ため、容易に自動化することができる。
【００３６】さらに、本発明によれば多重層構体を有す
る受動電子構成素子を製造するための多重層フィルムを
有利に用いることができる。
【００３７】
【実施例】図面につき本発明の実施例を説明する。図１
はその上にスクリーン印刷により内部電極２を設けたグ
リーンセラミック基板フィルム１とグリーンセラミック
基板フィルム３および内部電極２を完全に被覆し、且つ
スクリーン印刷により得られるレベリング層１を具える
本発明多重層フィルムの１例を示す。
【００３８】図２はスクリーン印刷により得られる２つ
のレベリング層１，１ａを具える本発明多重層フィルム
の他の例を示す。
【００３９】多重層構体を有する受動電子構成素子、例
えば、図５に示す多重層コンデンサを本発明多重層フィ
ルムを用いて製造し、そのマルチカラースクリーン印刷
法は通常次の工程を具える。 １．グリーンセラミック基板フィルム３に対する粉末懸
濁剤を用意し、 ２．この基板フィルム３に対するスラリーを用意し、 ３．このスラリーを真空内で脱ガスし、 ４．基板箔３をシート化し、注型し、押出し、 ５．グリーンセラミック基板箔３を乾燥し、 ６．レベリング層１ａの全区域を所望に応じスラリー
し、 ７．内部電極２のパターンをスクリーン印刷し、 ８．１つ以上のレベリング層１，１ａの全区域をスクリ
ーン印刷し、 ９．所望に応じ接着剤を設け、 10．多重層フィルムを乾燥し、 11．被覆層４として用いられる未印刷基板フィルム３を
含む多重層フィルムを積重ね、 12．圧縮処理により図３に示すように、積重ね部を積層
し、 13．個別の製品に分離し、 14．バインダを焼成し、 15．焼結し、 16．外部接点５を設け、 17．最終検査を行う。
【００４０】グリーンセラミック基板フィルムのセラミ
ック組成に対する原料の選択は適用分野によって決める
ようにする。受動電子構成素子に対しては酸化物−セラ
ミック成分を主として用いる。
【００４１】多重層コンデンサに対しては、一般にドー
プされたチタン酸バリウムを酸化物−セラミック構成成
分として用いる。多重層アクチュエータに対し用いるセ
ラミック材料は一般に変性チタン酸鉛−ジルコン酸鉛を
主成分とするとともに多重層バリスタに用いられるセラ
ミック材料は一般にドープされた酸化亜鉛を主成分とす
る。
【００４２】適用分野によって決まるセラミック主成分
のほかに、グリーンセラミック基板フィルム３は、例え
ば機械的特性および／または電気的特性を改善する他の
セラミック成分、例えば粒子成長抑制剤または焼結剤を
慣例的に具える。
【００４３】代表的な製造処理では、これら出発材料を
混合し、粉砕し、焼結し、再び粉砕して粉末を形成す
る。
【００４４】グリーンセラミック基板フィルム３の製造
に対し、セラミック組成をバインダ配合物と混合してス
ラリーを形成する必要がある。また、バインダの選定に
よってフィルムの製造処理を決めるか、またはその逆と
することができる。
【００４５】本発明の要旨を変更しない範囲内で親水性
しかも有機溶剤のないバインダ配合物を用いるのが好適
である。この場合には、スラリーはプラスチックバイン
ダで被覆されたセラミック粉末を具える水性懸濁液で主
として構成する。これがため、かかるスラリーは極めて
低いバインダ含有量を有する。代表的にはこのスラリー
は ・溶剤に対し：希釈水、 ・バインダ配合物に対し；例えばアクリルポリマー、メ
チルセルローズまたはポリビニールアルコール、 ・可塑剤に対し：例えば混合フタル酸エステルまたは縮
合アリールスルフォニック酸、および ・湿潤剤に対し：非イオンオクチルフェノキシエタノー
ルである。
【００４６】このスラリーにはコンベヤバンドの連続モ
ールディング作動における他の処理を施す。この目的の
ため、スラリーをスチールドラム上に流す。フィルムの
厚さはスラリーのコンベア速度、注ぐ速度および粘度の
ような処理パラメータによって、またはドクターブレー
ドによって制限する。このフィルムは乾燥トンネルを通
過させる。
【００４７】乾燥後、親水性バインダ配合物を用いるこ
とによって製造された基板フィルムは均一な微小亀裂構
体を有する。基板フィルム３、内部電極２およびレベリ
ング層１のある材料組合せに対し、これは他の製造工程
で良好な効果を有することを確かめた。
【００４８】しかし、本発明の要旨内で、基板セラミッ
クおよびバインダ配合物からフィルムを製造するのが好
適である。一般にはポリプロピレン、ポリエチレン、ま
たはポリスチロールの群に属する熱可塑性材料を用い
る。高融点を有する熱可塑性材料をワックスと組合せて
この材料が軟質になり過ぎ、従って不安定となるのを防
止する。このフィルムはホット状態でスロットダイから
押出す。
【００４９】グリーンセラミック基板フィルム３は任意
既知の方法、例えば、連続モールディング、押出しまた
はカレンダー圧延によって製造することができる。フィ
ルムの製造中、これら方法を支持フィルム上で慣例的に
実施してその処理を改善し得るようにする。しかし、本
発明マルチカラースクリーン印刷法はかかる支持フィル
ムを必要としない。これがため、積重ね前の支持フィル
ムの除去工程を省略し、積重ね中の製造精度を改善する
ことができる。
【００５０】次いで、グリーンセラミック基板フィルム
３にスクリーン印刷処理を施し、これによりこれらフィ
ルムに、内部電極２を形成するための金属化着色剤を設
けるとともにセラミックスクリーン印刷カラーを施して
レベリング層１またはレベリング層１，１ａを形成し得
るようにする。
【００５１】内部電極２の金属化着色剤としては、市販
されている金属化ペーストを用いることができる。かか
るペーストは一般に銀または銀パラジウム合金のような
銀合金その他パラジウム合金、金合金あるいは金属成分
としてニッケルまたは銅を具える。或は又、例えばチタ
ン、ジルコニウムまたはモリブデン／マンガンを具える
他の金属成分を用いることもできる。
【００５２】金属化着色剤は例えば２０〜７０％の金属
成分および所望に応じ基板フィルム３および／またはレ
ベリング層１または他のセラミック粉末のセラミック成
分の添加剤を具える。中庸量の樹脂、ラッカーその他有
機物質によってカラーペーストを印刷に好適となるよう
にする。
【００５３】基板セラミックおよび金属成分間の熱膨張
係数に大きな差がある場合には、これを金属化着色剤の
基板セラミックの量によって補償することができる。
【００５４】一般にレベリング層１，１ａのセラミック
スクリーン印刷着色剤は基板フィルム３と同一のセラミ
ック成分を具える。
【００５５】内部電極２および基板箔３の材料間の不適
合を補償するために用いるレベリング層１，１ａに対し
ては、例えば追加のセラミック成分としてシリケートを
用いることができる。
【００５６】セラミックスクリーン印刷着色剤のバイン
ダ配合物は例えばブチルグリコール、イソプロパノー
ル、またはメチルイソブチルケトンのような非水性溶液
およびバインダとしてのエチルセルローズまたはセルロ
ーズアセテートブチレートあるいはポリアクリレートエ
ステルのようなセルローズ誘導体を具え、可塑剤に対し
ては例えばポリエチレングリコール誘導体または混合フ
タレートエステルを用いることができ、液化装置に対し
ては脂肪酸または芳香族スルホン酸を用いることがで
き、湿潤剤としては例えばポリエチレングリコール誘導
体を用いることができる。
【００５７】バインダおよび溶剤を好適に組合せること
によって、セルローズスクリーン印刷着色剤の配合を変
化させてこれが２５および８００センチポアズ間の粘性
範囲のレベルを有するようにすることができ、従ってこ
れは迅速にまたは緩慢に乾燥され且つこれにより多少の
チキソトロープ特性を呈し得るようにする。これらパラ
メータを正確に制御することによってレベリング層１，
１ａを好適にスクリーン印刷することができる。
【００５８】或は又、セラミックスクリーン印刷着色剤
は他の成分、例えばファイバ補強剤を具え、従ってレベ
リング層１，１ａの所望の微小亀裂構体を保持し、且つ
レベリング層１，１ａの可撓性および機械的強度を改善
することができる。熱可塑性セラミックスクリーン印刷
着色剤はポリビニールアルコール乳濁液、アクリル樹
脂、ポリエチレンその他熱可塑性材料を具えるバインダ
配合物を主成分とすることができる。
【００５９】マルチカラースクリーン印刷操作は既知の
スクリーン印刷装置によって実行することができる。こ
のスクリーン印刷操作は半自動および全自動スクリーン
印刷機が市販されている点で有利である。本発明方法で
はスクリーンの位置決めが簡単化されるため、簡単な卓
上スクリーン印刷装置および回転スクリーン印刷装置を
用いることができる。
【００６０】しかし、本発明は多重層構体を有す受動電
子構成素子を製造するに特に好適な図６に示すようなス
クリーン印刷装置によって説明する。
【００６１】かかるスクリーンは合成、または特に熱可
塑性着色剤の金属布で構成し、その各糸は極めて繊細で
互いの頂部で互いに直角に延在するように配列されてい
る。
【００６２】まず最初、電極パターンの印刷に使用する
スクリーンを設ける。このスクリーン布には感光層を設
ける。この感光層には内部電極２のネガ像を有する“モ
ンタージュ”即ち、露光感光フィルムを被着する。次い
で、この層を露光し、現像する。かようにしてステンシ
ルとして用いる電極パターンのネガ像を形成する。
【００６３】レベリング層１，１ａのスクリーンはステ
ンシルなしでも保持される。これらスクリーンはスクリ
ーン印刷機のスクリーン印刷位置（Ｃ）に配列する。
【００６４】グリーンセラミック基板フィルム３はまず
最初巻回せず、支持フィルムから任意に分離し、ギロチ
ン鋏（Ｂ）で切断する。基板フィルム３の位置は不変の
儘とし、基板フィルムを印刷ドラム（Ａ）に収納された
真空装置によって保持する。
【００６５】印刷処理に容易に用いられる着色剤をスク
リーン上にステンシルの幅の方向に設け、スキージによ
って広げる。次いで着色剤を金属布の孔を経て下側のグ
リーンセラミック基板フィルム３にスキージ（５５°乃
至７０°の角度位置）により押圧する。この後者の処理
は絶間無く連続的に行う必要がある。有効な例では、ス
キージのノーションの方向はスクリーン布の横糸方向お
よび電極パターンの長手方向に対応する。
【００６６】熱可塑性スクリーン印刷着色剤（ホットメ
ルト着色剤）をスクリーン印刷処理に用いて場合には、
スクリーンおよび印刷着色剤は予熱し一定温度に保持す
る必要がある。しかし、マルチカラースクリーン印刷法
には熱可塑性スクリーン印刷着色剤を用いるのが極めて
有利である。その理由は複数の着色剤を直接順次に印刷
することができ、且つ乾燥回数を無視することができる
からである。さらに、均一な印刷結果を得ることができ
る。その理由は熱可塑性スクリーン印刷着色剤が溶剤の
蒸発によって変化しないからである。
【００６７】本発明によれば、まず最初、そのセラミッ
ク成分の組成が基板箔３の成分の組成とは異なるレベリ
ング層１を前記基板箔３に印刷することができる。
【００６８】しかし、通常は、まず最初、内部電極２の
パターンを金属化着色剤とともにグリーンセラミック基
板フィルム３に印刷する。
【００６９】次いで、印刷位置（Ｃ）を変化させ、レベ
リング層１を金属化フィルム３および内部電極２の全区
域上に印刷する。所望に応じ、第２の極めて薄いレベリ
ング層１′を第１レベリング層１上に印刷することがで
きる。 多重層フィルムの表面には接着剤をさらに設け
ることができる。この目的のため、接着剤貯蔵槽（Ｄ）
からの接着剤をライン格子（Ｆ）の形状で印刷スタンプ
（Ｅ）によって多重層に設ける。
【００７０】完成された多重層フィルムは位置（Ｇ）に
積重ねこの積重ね部を予備圧縮する。次いで、多重層フ
ィルムを乾燥し、積層し、切欠き、切断し、その後これ
らフィルムをこれらが焼成される窯（Ｈ）内に移送す
る。
【００７１】焼成および焼結処理は通常のように室内窯
またはスライディング−バット窯で行う。この窯は充分
に通気し、排気して、出て行く溶剤およびバインダが排
気され、完全に焼成されるようにするのが重要である。
【００７２】本例では、多重層フィルムの層厚さを薄く
し、且つ好適には水性バインダ配合物を用いる際に得ら
れる微小亀裂を微細で均一とするため、揮発成分を容易
に排除することができる。これがため炭素残留物が多重
層フィルムに残存しない。この炭素残留物は完成品の特
性に悪影響を与えるかまたは炭酸ガス（ＣＯ2 ）を形成
して焼結処理の特性を妨害する。
【００７３】（実際の例）セラミック基板フィルム３を
連続モールディング法により製造する。ドープされたチ
タン酸バリウムおよびアンモニウムポリアクリレート
（分極度６０）の微細粒粉を水に分散させる。
【００７４】この溶液には、ポリビニールアルコール、
トリエチレングリコール、湿潤剤、剥離剤および水を具
える溶液を撹拌しながら加える。スラリーが均質とな
り、脱ガスされた後、これを回転スチールバンド上に注
ぐ。次いで拡がった層を加熱乾燥トンネルに通し、且つ
スチールバンドから取外して乾燥フィルム３を形成す
る。このフィルム３に後加熱処理を施した後これをドラ
ム上に巻回する。斯様にしてスクリーン印刷処理でグリ
ーン形状で印刷し得る極めて薄いセラミック基板フィル
ム３を製造することができる。
【００７５】まず最初金属化ペーストをグリーンセラミ
ック基板フィルム３の全区域に印刷する。この基板フィ
ルムを図６に示すように回転スクリーン印刷装置に配置
して内部電極２を形成する。この目的のため、この基板
フィルム３をギロチン鋏（Ｂ）により切断従って所望の
大きさとし、且つ真空装置によりドラム（Ａ）に保持す
る。内部電極の印刷パターンを支持するスクリーンを設
けるとともに金属化ペーストの厚い層をモールディング
スクリーンに被着する。次いで、金属化ペーストをスキ
ージによりモールディングスクリーンに拡げる。次に、
均一な圧力を加えながらスキージをスクリーン上に通過
させてペーストを孔の箇所で基板箔に押圧する。
【００７６】スクリーンを交換し、セラミックスクリー
ン印刷ペーストを金属化基板フィルム３，２上にレベリ
ング層１，１Ａのスクリーンによって印刷パターンな
く、かつ時間がかかる位置決め操作なく印刷する。
【００７７】グリーンセラミック基板フィルム３はその
厚さを代表的には５−４０μとし、グリーン内部電極２
はその厚さを代表的には５．５−８μとし、レベリング
その１はその高さを代表的には内部電極２上で測定して
１．５−３μとする。
【００７８】次の積重ねおよび分離工程を容易とするた
めに、完成したグリーン多重層フィルムに接着剤を追加
的に設けることができる。この接着剤としは希釈セラミ
ックスクリーン印刷着色剤を用いることができる。
【００７９】スクリーン印刷処理に次いで、図３に示す
ように内部電極用の等しいかまたは異なる印刷パターン
の多重層フィルムを積重ね、従って製造しべき受動電子
構成素子の適切な構成を得ることができる。この積重ね
部の上側および下側には印刷していない基板フィルム
３、いわゆる被覆層４を設ける。この被覆層４によって
完成した受動電子構成素子の能動部分を保護する。
【００８０】この積重ね部を最初例えば８５℃の高温で
貯蔵する。次いで、これら積重ね部を積層してこれに８
０℃の温度、３００ＭＰａの圧力で数分間に亘り熱圧縮
処理を施すことによって半完成プレートを形成する。
【００８１】次に、このプレートを、切欠きおよび破
断、切断または鋸引きによって個別の製品に分割する。
【００８２】最後に、製品に外部接点を設ける。この外
部接点は内部電極が露出される“能動”側を金属化ペー
ストに浸漬し、次いで乾燥し、焼結することによって形
成する。
【００８３】図４ａは本発明多重層フィルムによって製
造された多重層コンデンサを示すマイクログラフであ
る。図４ｂは従来の多重層コンデンサを示すマイクログ
ラフである。これら図４ａおよび図４ｂから明らかなよ
うに、本発明多重層フィルムを用いることにより“シェ
ブロンニング”を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】１つのレベリング層を具える多重層フィルムの
断面図である。
【図２】２つのレベリング層を具える多重層フィルムの
断面図である。
【図３】多重層構体を有する受動電子構成素子用のフィ
ルムの積重ねを示す断面図である。
【図４】（ａ）は本発明多重層フィルムを用いて製造し
た多重層構体を有する受動電子素子のマイクログラフを
示す説明図であり、（ｂ）は従来技術の現時点での状態
に従って多重層構体を有する受動電子素子のマイクログ
ラフを示す説明図である。
【図５】多重層コンデンサの構成を示す説明図である。
【図６】マルチカラースクリーン印刷処理を実施する平
台スクリーン印刷装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，１ａ レベリング層 ２ 内部電極 ３ グリーンセラミック基板フィルム ４ 被覆層 Ａ 印刷ドラム Ｂ ギロチン鋏 Ｃ スクリーン印刷位置 Ｄ 接着剤貯蔵槽 Ｅ 印刷スタンプ Ｆ ライン格子 Ｇ 積重ね位置 Ｈ 窯
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヘリット ファン デル ベーク オランダ国 6412 ハーカー ヘールレン ツェスウェッヘンラーン 289 (72)発明者 フベルタス ウェールツ オランダ国 6371 アーハー ランドフラ ーフ ライツェルストラート 30

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多重層構体を有する特に受動電子素子用
    の多重層フィルムにおいて、 ａ）１つ以上のセラミック成分およびバインダ配合物を
    含むグリーンセラミック基板フィルムを具え、 ｂ）この基板フィルム上にスクリーン印刷により内部電
    極を設け、この内部電極は１つ以上の金属成分および所
    望に応じセラミック充填材およびバインダ配合物を具
    え、 ｃ）さらに、スクリーン印刷によって、前記内部電極お
    よびグリーンセラミック基板フィルムを収容する全区域
    に設けられた１つ以上のセラミック充填材およびバイン
    ダ配合物を具える１つ以上のレベリング層を具えること
    を特徴とする多重層フィルム。
  2. 【請求項２】 前記グリーンセラミック基板フィルムの
    セラミック成分および前記レベリング層の化学組成を同
    一としたことを特徴とする請求項１に記載の多重層フィ
    ルム。
  3. 【請求項３】 前記レベリング層のセラミック成分の少
    なくとも１つの化学組成を前記グリーンセラミック基板
    フィルムの化学組成とは相違させるようにしたことを特
    徴とする請求項１に記載の多重層フィルム。
  4. 【請求項４】 前記多重層フィルムは前記グリーンセラ
    ミック基板フィルムおよび前記内部電極間に、１つ以上
    のセラミック成分およびバインダ配合物を具えるととも
    にスクリーン印刷により多重層フィルムの全区域に設け
    られたレベリング層を具えることを特徴とする請求項１
    に記載の多重層フィルム。
  5. 【請求項５】 前記グリーンセラミック基板フィルムの
    バインダ配合物を親水性とし且つ有機溶剤のないものと
    したことを特徴とする請求項１〜４の何れかの項に記載
    の多重層フィルム。
  6. 【請求項６】 前記レベリング層の内部電極のバインダ
    配合物を疎水性としたことを特徴とする請求項５に記載
    の多重層フィルム。
  7. 【請求項７】 前記バインダ配合物のバインダは１５０
    ℃に等しいか、これよりも大きな分解点を有することを
    特徴とする請求項１〜８の何れかの項に記載の多重層フ
    ィルム。
  8. 【請求項８】 前記グリーンセラミック基板フィルムお
    よび／または前記内部電極および／またはスクリーン印
    刷により全区域に設けられたレベリング層のバインダ配
    合物を熱可塑性としたことを特徴とする請求項１〜３の
    何れかの項に記載の多重層フィルム。
  9. 【請求項９】 多重層構体を有する特に受動電子素子用
    の多重層フィルムを製造するに当たり、少なくとも次の
    行程；・１つ以上のセラミック素子およびバインダ配合
    物を具えるグリーンセラミック基板フィルムの全表面
    を、所望に応じ、１つ以上のセラミック成分を含むセラ
    ミックスクリーン印刷ペーストおよび前記グリーンセラ
    ミック基板フィルムのセラミック成分とは異なるセラミ
    ックスクリーン印刷ペーストを含むバインダ配合物によ
    ってスクリーン印刷し；・１つ以上の金属成分および所
    望に応じセラミック充填物並びにバインダ配合物を具え
    る金属化ペーストを用いてスクリーン印刷により電極パ
    ターンを設け；・印刷されたグリーンセラミック基板フ
    ィルムの全表面を、所望に応じ、１つ以上のセラミック
    成分を含むセラミックスクリーン印刷ペーストおよび前
    記グリーンセラミック基板フィルムのセラミック成分と
    は異なるセラミックスクリーン印刷ペーストを含むバイ
    ンダ配合物によって２回また数回スクリーン印刷する工
    程を具えることを特徴とするマルチカラースクリーン印
    刷方法。
  10. 【請求項１０】 多重層構体を有する受動電子素子用の
    請求項１〜３の何れかの項に記載の多重層フィルムの使
    用形態。
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