JPH07249392A - チューブスキャナおよびこれを備えたアクチュエータ - Google Patents
チューブスキャナおよびこれを備えたアクチュエータInfo
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- JPH07249392A JPH07249392A JP6037393A JP3739394A JPH07249392A JP H07249392 A JPH07249392 A JP H07249392A JP 6037393 A JP6037393 A JP 6037393A JP 3739394 A JP3739394 A JP 3739394A JP H07249392 A JPH07249392 A JP H07249392A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電源が印加する電圧に対応する変位量が従来
より大きいアクチュエータを提供する。 【構成】 円筒状に形成された圧電素子１と、該素子の
内周面および外周面に各々設置された電極２、３とを有
するチューブスキャナ１０において、前記各電極を内周
側３ａ〜３ｄと外周側２ａ〜２ｄとでそれぞれ対応する
位置で複数に分割し、圧電素子１を挟んで対向する内周
側と外周側の電極で複数の対をなす電極を形成した。ま
た、このチューブスキャナ１０とスキャナの各電極２ａ
〜２ｄ、３ａ〜３ｄに電圧を印加する電源６とでアクチ
ュエータを構成した。
より大きいアクチュエータを提供する。 【構成】 円筒状に形成された圧電素子１と、該素子の
内周面および外周面に各々設置された電極２、３とを有
するチューブスキャナ１０において、前記各電極を内周
側３ａ〜３ｄと外周側２ａ〜２ｄとでそれぞれ対応する
位置で複数に分割し、圧電素子１を挟んで対向する内周
側と外周側の電極で複数の対をなす電極を形成した。ま
た、このチューブスキャナ１０とスキャナの各電極２ａ
〜２ｄ、３ａ〜３ｄに電圧を印加する電源６とでアクチ
ュエータを構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子を用いたアク
チュエータおよびそれに使用されるチューブスキャナに
関する。
チュエータおよびそれに使用されるチューブスキャナに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の３次元移動用のアクチュ
エータに使用されていたチューブスキャナの構成を示す
概略図である。このチューブスキャナは、円筒状に形成
された圧電セラミックス６０の外周面にＸ方向走査用の
電極６１ａ、６１ｂおよびＹ方向走査用の電極６２ａ、
６２ｂが、それぞれＸ方向同士、Ｙ方向同士で対向する
ように設けられている。また、圧電セラミックス６０の
内周面には、これら各電極６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６
２ｂに対して共通電極６３が設けられている。変位させ
る物体は、通常、圧電セラミックス６０からなる円筒の
一方の底面付近に設置され、他方の底面は図示していな
い部材に固定されている。
エータに使用されていたチューブスキャナの構成を示す
概略図である。このチューブスキャナは、円筒状に形成
された圧電セラミックス６０の外周面にＸ方向走査用の
電極６１ａ、６１ｂおよびＹ方向走査用の電極６２ａ、
６２ｂが、それぞれＸ方向同士、Ｙ方向同士で対向する
ように設けられている。また、圧電セラミックス６０の
内周面には、これら各電極６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６
２ｂに対して共通電極６３が設けられている。変位させ
る物体は、通常、圧電セラミックス６０からなる円筒の
一方の底面付近に設置され、他方の底面は図示していな
い部材に固定されている。
【０００３】アクチュエータ（物体）をＸ、Ｙ方向に変
位させる時は、電源（図示せず）を制御して、それぞれ
の方向の各電極間に大きさが同じで符号の異なる電位を
印加する。これにより、圧電セラミックス６０が屈曲し
て所望の方向の変位が得られる。また、Ｚ方向に変位さ
せる時は、正負どちらか一方の電圧を設定してこの電圧
を、Ｘ、Ｙ全ての外周面の各電極と共通電極６３との間
にそれぞれ等しく印加することで圧電セラミックス６０
をＺ方向に伸縮させる（G.Binnig and D.P.E.Smith,Re
v.Sci.Instrum.Vol.57,P1688(1986) 参照）。このよう
なチューブスキャナを備えたアクチュエータは、所望の
性能が得られる上、その構成の単純さから来るコストの
低さから、特に走査型プローブ顕微鏡においてプローブ
（探針）を３次元走査させる手段として使用されてい
る。
位させる時は、電源（図示せず）を制御して、それぞれ
の方向の各電極間に大きさが同じで符号の異なる電位を
印加する。これにより、圧電セラミックス６０が屈曲し
て所望の方向の変位が得られる。また、Ｚ方向に変位さ
せる時は、正負どちらか一方の電圧を設定してこの電圧
を、Ｘ、Ｙ全ての外周面の各電極と共通電極６３との間
にそれぞれ等しく印加することで圧電セラミックス６０
をＺ方向に伸縮させる（G.Binnig and D.P.E.Smith,Re
v.Sci.Instrum.Vol.57,P1688(1986) 参照）。このよう
なチューブスキャナを備えたアクチュエータは、所望の
性能が得られる上、その構成の単純さから来るコストの
低さから、特に走査型プローブ顕微鏡においてプローブ
（探針）を３次元走査させる手段として使用されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述のアクチュエータ
の変位量は、チューブスキャナの内側（内周面）に設置
された電極と外側（外周面）に設置された電極との間の
電位差に依存する。従って、アクチュエータの変位量を
大きくするときは、前記電極間に印加する電圧も高い値
に設定していた。そのため、電源を始め、高電圧に対応
した回路を設ける必要が生じ、駆動回路の製造コストが
高くなるという問題があった。また、前記高電圧の電源
は大型で広い設置スペースが必要になるという問題もあ
った。本発明は、このような問題を解決することを目的
とする。
の変位量は、チューブスキャナの内側（内周面）に設置
された電極と外側（外周面）に設置された電極との間の
電位差に依存する。従って、アクチュエータの変位量を
大きくするときは、前記電極間に印加する電圧も高い値
に設定していた。そのため、電源を始め、高電圧に対応
した回路を設ける必要が生じ、駆動回路の製造コストが
高くなるという問題があった。また、前記高電圧の電源
は大型で広い設置スペースが必要になるという問題もあ
った。本発明は、このような問題を解決することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的のために、第１
発明（請求項１記載の発明）では、円筒状に形成された
圧電素子と、該素子の内周面および外周面に各々設置さ
れた電極とを備えたチューブスキャナにおいて、前記各
電極を内周側と外側側とでそれぞれ対応する位置で複数
に分割して、該対応する内周側と外側側との電極で複数
の対をなす電極（電極対）を構成した。
発明（請求項１記載の発明）では、円筒状に形成された
圧電素子と、該素子の内周面および外周面に各々設置さ
れた電極とを備えたチューブスキャナにおいて、前記各
電極を内周側と外側側とでそれぞれ対応する位置で複数
に分割して、該対応する内周側と外側側との電極で複数
の対をなす電極（電極対）を構成した。
【０００６】また、第２発明（請求項２記載の発明）で
は、前記チューブスキャナと該スキャナの電極に電圧を
印加する電源とでアクチュエータを構成した。第３発明
（請求項３記載の発明）では、前記チューブスキャナの
内周側の各電極と該電極に対応する外周側の電極とが複
数の電極対を構成し、前記電源が、各電極対のそれぞれ
の電極に互いに逆極性の電圧を印加するように構成し
た。
は、前記チューブスキャナと該スキャナの電極に電圧を
印加する電源とでアクチュエータを構成した。第３発明
（請求項３記載の発明）では、前記チューブスキャナの
内周側の各電極と該電極に対応する外周側の電極とが複
数の電極対を構成し、前記電源が、各電極対のそれぞれ
の電極に互いに逆極性の電圧を印加するように構成し
た。
【０００７】第４発明（請求項４記載の発明）では、前
記圧電素子が形成する円筒の軸対称の位置にある２組の
電極対において、一方の電極対の外周側の電極に印加さ
れる電圧と他方の電極対の内周側の電極に印加される電
圧および一方の電極対の内周側の電極に印加される電圧
と他方の電極対の外周側の電極に印加される電圧とが、
それぞれ同じ極性となるように構成した。
記圧電素子が形成する円筒の軸対称の位置にある２組の
電極対において、一方の電極対の外周側の電極に印加さ
れる電圧と他方の電極対の内周側の電極に印加される電
圧および一方の電極対の内周側の電極に印加される電圧
と他方の電極対の外周側の電極に印加される電圧とが、
それぞれ同じ極性となるように構成した。
【０００８】
【作用】従来のアクチュエータのチューブスキャナは、
外側（外周面）の電極だけが、変位方向（例えばＸＹ方
向）に応じて分割されており、内側（内周面）の電極は
変位方向に関係なく共通化されていた。また、円筒体の
軸方向と直交する方向（前記ＸＹ方向）に変位させると
きは、内側の電極の電位は固定（接地）されていた。
外側（外周面）の電極だけが、変位方向（例えばＸＹ方
向）に応じて分割されており、内側（内周面）の電極は
変位方向に関係なく共通化されていた。また、円筒体の
軸方向と直交する方向（前記ＸＹ方向）に変位させると
きは、内側の電極の電位は固定（接地）されていた。
【０００９】これに対して第１発明のチューブスキャナ
は、内側の電極も外側の電極と対応するようにそれぞれ
分割してある。そして、第２、３、４発明のアクチュエ
ータは、前記チューブスキャナの圧電素子を介して対向
する内側と外側の電極（両者で電極対を構成する）間に
それぞれ所望の電位差を与えることができる。そのた
め、従来と同じ電圧の電源を用いた場合、内側の電極の
電位と外側の電極の電位が逆の極性（＋または−）とな
るように設定すれば、これら電極間の電位差を、最大で
従来の２倍にまで高めることができる。また、所望の最
大変位量を従来と同一とすると、電源が印加する電圧は
従来の半分で済むことになる。つまり、電源が印加する
電圧に対応する変位量を従来より大きくすることができ
る。
は、内側の電極も外側の電極と対応するようにそれぞれ
分割してある。そして、第２、３、４発明のアクチュエ
ータは、前記チューブスキャナの圧電素子を介して対向
する内側と外側の電極（両者で電極対を構成する）間に
それぞれ所望の電位差を与えることができる。そのた
め、従来と同じ電圧の電源を用いた場合、内側の電極の
電位と外側の電極の電位が逆の極性（＋または−）とな
るように設定すれば、これら電極間の電位差を、最大で
従来の２倍にまで高めることができる。また、所望の最
大変位量を従来と同一とすると、電源が印加する電圧は
従来の半分で済むことになる。つまり、電源が印加する
電圧に対応する変位量を従来より大きくすることができ
る。
【００１０】
【実施例】図１は本発明のチューブスキャナの一例を示
す概略構成図であり、図１ａはチューブスキャナの平面
図、図１ｂは斜視図である。チューブスキャナ１０は、
円筒状に形成された圧電セラミックス１と、圧電セラミ
ックス１の外周面に、この外周面を円筒の軸方向に沿っ
て４等分する領域にそれぞれに１個ずつ計４個設けられ
た外側電極２ａ〜２ｄと、圧電セラミックス１の内周面
に、外側電極２ａ〜２ｄと対応するように互いに分離し
て設置された４個の内側電極３ａ〜３ｄとを備えてい
る。ここでは、外側電極２ａと内側電極３ａおよび外側
電極２ｃと内側電極３ｃの２組の電極対がＸ方向変位用
の電極を構成し、外側電極２ｂと内側電極３ｂおよび外
側電極２ｄと内側電極３ｄの２組の電極対がＹ方向変位
用の電極を構成している。
す概略構成図であり、図１ａはチューブスキャナの平面
図、図１ｂは斜視図である。チューブスキャナ１０は、
円筒状に形成された圧電セラミックス１と、圧電セラミ
ックス１の外周面に、この外周面を円筒の軸方向に沿っ
て４等分する領域にそれぞれに１個ずつ計４個設けられ
た外側電極２ａ〜２ｄと、圧電セラミックス１の内周面
に、外側電極２ａ〜２ｄと対応するように互いに分離し
て設置された４個の内側電極３ａ〜３ｄとを備えてい
る。ここでは、外側電極２ａと内側電極３ａおよび外側
電極２ｃと内側電極３ｃの２組の電極対がＸ方向変位用
の電極を構成し、外側電極２ｂと内側電極３ｂおよび外
側電極２ｄと内側電極３ｄの２組の電極対がＹ方向変位
用の電極を構成している。
【００１１】図２は、本発明のアクチュエータの構成を
示す概略図である。このアクチュエータは、図１のチュ
ーブスキャナ１０と、このスキャナ１０の各外側電極２
ａ〜２ｄおよび内側電極３ａ〜３ｄに各々接続され、こ
れら各電極に所定の電圧（＋Ａボルト〜−Ａボルト）を
印加する計８個の両極性の電源４ａ〜４ｈとで構成され
ている。各電源４ａ〜４ｈは、それぞれ内側電極と外側
電極とに逆相で電圧が印可されるように設定される。ま
た、その際、内側電極が＋Ａボルト、外側電極が−Ａボ
ルトの状態から、内側電極が−Ａボルト、外側電極が＋
Ａボルトの状態まで任意に印可電圧の値を変化させるこ
とができる。なお、変位させる物体（図示せず）は図１
に示す圧電セラミックス１の一方の底面付近に設置され
る。また、圧電セラミックス１の他方の底面は、ベース
（図示せず）に固定されて使用される。
示す概略図である。このアクチュエータは、図１のチュ
ーブスキャナ１０と、このスキャナ１０の各外側電極２
ａ〜２ｄおよび内側電極３ａ〜３ｄに各々接続され、こ
れら各電極に所定の電圧（＋Ａボルト〜−Ａボルト）を
印加する計８個の両極性の電源４ａ〜４ｈとで構成され
ている。各電源４ａ〜４ｈは、それぞれ内側電極と外側
電極とに逆相で電圧が印可されるように設定される。ま
た、その際、内側電極が＋Ａボルト、外側電極が−Ａボ
ルトの状態から、内側電極が−Ａボルト、外側電極が＋
Ａボルトの状態まで任意に印可電圧の値を変化させるこ
とができる。なお、変位させる物体（図示せず）は図１
に示す圧電セラミックス１の一方の底面付近に設置され
る。また、圧電セラミックス１の他方の底面は、ベース
（図示せず）に固定されて使用される。
【００１２】次に、本実施例のアクチュエータの制御方
法について説明する。アクチュエータを、圧電セラミッ
クス１の円筒の軸方向と直交する方向（ＸまたはＹ方
向）に変位させる場合、従来同様に、変位方向に応じた
対向する２組の電極対の内側電極と外側電極に、圧電セ
ラミック１の伸び縮みが逆になるように電圧を印加すれ
ばよい。例えば、Ｘ方向に変位させる場合、Ｘ方向変位
用の電極対を構成する外側電極２ａと内側電極３ａにそ
れぞれ接続された電源４ａ、４ｂにおいて、電源４ａは
−Ａボルトを、電源４ｂは＋Ａボルトを各々接続された
電極に印加する。また、残りのＸ方向変位用の電極対を
構成する外側電極２ｃと内側電極３ｃにそれぞれ接続さ
れた電源４ｅ、４ｆにおいては、電源４ｅは−Ａボルト
を、電源４ｆは＋Ａボルトを各々接続された電極に印加
する。これにより、Ｘ方向変位用の電極に対応する部位
の圧電セラミックス１が、印加された電圧の極性に応じ
て伸び縮みしてＸ方向に屈曲するのでＸ方向の変位が得
られる。なお、変位量は印加する電圧の値を変えること
で調整できる。Ｙ方向の変位は、Ｘ方向と同様に電極に
印加する電圧を設定すればよいので説明を省略する。ま
た、円筒の軸方向（Ｚ方向）に変位させる場合は、従来
と同様、全ての電極に同じ電圧を印加することで、圧電
セラミックス１を伸縮させればよい。
法について説明する。アクチュエータを、圧電セラミッ
クス１の円筒の軸方向と直交する方向（ＸまたはＹ方
向）に変位させる場合、従来同様に、変位方向に応じた
対向する２組の電極対の内側電極と外側電極に、圧電セ
ラミック１の伸び縮みが逆になるように電圧を印加すれ
ばよい。例えば、Ｘ方向に変位させる場合、Ｘ方向変位
用の電極対を構成する外側電極２ａと内側電極３ａにそ
れぞれ接続された電源４ａ、４ｂにおいて、電源４ａは
−Ａボルトを、電源４ｂは＋Ａボルトを各々接続された
電極に印加する。また、残りのＸ方向変位用の電極対を
構成する外側電極２ｃと内側電極３ｃにそれぞれ接続さ
れた電源４ｅ、４ｆにおいては、電源４ｅは−Ａボルト
を、電源４ｆは＋Ａボルトを各々接続された電極に印加
する。これにより、Ｘ方向変位用の電極に対応する部位
の圧電セラミックス１が、印加された電圧の極性に応じ
て伸び縮みしてＸ方向に屈曲するのでＸ方向の変位が得
られる。なお、変位量は印加する電圧の値を変えること
で調整できる。Ｙ方向の変位は、Ｘ方向と同様に電極に
印加する電圧を設定すればよいので説明を省略する。ま
た、円筒の軸方向（Ｚ方向）に変位させる場合は、従来
と同様、全ての電極に同じ電圧を印加することで、圧電
セラミックス１を伸縮させればよい。
【００１３】以上のように、本実施例のアクチュエータ
は、内側電極と外側電極との電位差を最大２Ａボルトま
で設定することができる。つまり、最大印加電圧がＡボ
ルトの従来と同一の電源を用いた場合を想定すると、内
側電極が固定（例えば０Ｖ）されて外側電極だけを−Ａ
〜＋Ａボルトの範囲で変化させる従来のアクチュエータ
に比べて、内側電極と外側電極との電位差は最大で２倍
となる。その結果、最大で従来の２倍の変位量を得るこ
とができる。また、所望の最大変位量を従来と同一とす
ると、内側電極と外側電極とにそれぞれ極性が逆の絶対
値（Ａ／２）ボルトの電圧を印加すればよいので、従来
の半分の電圧（−Ａ／２〜＋Ａ／２ボルト）を印加する
電源を用意すれば済む。
は、内側電極と外側電極との電位差を最大２Ａボルトま
で設定することができる。つまり、最大印加電圧がＡボ
ルトの従来と同一の電源を用いた場合を想定すると、内
側電極が固定（例えば０Ｖ）されて外側電極だけを−Ａ
〜＋Ａボルトの範囲で変化させる従来のアクチュエータ
に比べて、内側電極と外側電極との電位差は最大で２倍
となる。その結果、最大で従来の２倍の変位量を得るこ
とができる。また、所望の最大変位量を従来と同一とす
ると、内側電極と外側電極とにそれぞれ極性が逆の絶対
値（Ａ／２）ボルトの電圧を印加すればよいので、従来
の半分の電圧（−Ａ／２〜＋Ａ／２ボルト）を印加する
電源を用意すれば済む。
【００１４】図３は、電源を片電源（０〜＋Ａボルトの
範囲で印加可能）とした場合のアクチュエータの構成を
示す概略図である。なお、図３では、１組の電極対に接
続された電源のみを図示してある。電源６には、電源電
圧を最も有効に使うために、最大電圧Ａの２分の１（＋
Ａ／２）ボルトのオフセットを加える。また、一方の側
の電極に向かう回路上には反転増幅器５を設置してあ
る。そして、可変電源７と増幅器８によって内側電極２
ａ〜２ｄと外側電極３ａ〜３ｄとで逆極性になるように
各電極に電圧を印加することで、電極への出力がオフセ
ット電圧を中心として逆に振れるようにした。これによ
り、内側電極が＋Ａボルト、外側電極０ボルトの状態か
ら内側電極０ボルト、外側電極＋Ａボルトの状態まで各
電極に印可する電圧を制御できる。可変電源７は、電源
６をもとに、その電位を降圧させることで構成できるの
で、図３の構成では、内側と外側の１対の電極に対して
１つの電源を用意すれば足りる。そのため、図２の構成
に比べると電源の数が半分になり、駆動回路の構成が簡
単になるという効果を奏する。
範囲で印加可能）とした場合のアクチュエータの構成を
示す概略図である。なお、図３では、１組の電極対に接
続された電源のみを図示してある。電源６には、電源電
圧を最も有効に使うために、最大電圧Ａの２分の１（＋
Ａ／２）ボルトのオフセットを加える。また、一方の側
の電極に向かう回路上には反転増幅器５を設置してあ
る。そして、可変電源７と増幅器８によって内側電極２
ａ〜２ｄと外側電極３ａ〜３ｄとで逆極性になるように
各電極に電圧を印加することで、電極への出力がオフセ
ット電圧を中心として逆に振れるようにした。これによ
り、内側電極が＋Ａボルト、外側電極０ボルトの状態か
ら内側電極０ボルト、外側電極＋Ａボルトの状態まで各
電極に印可する電圧を制御できる。可変電源７は、電源
６をもとに、その電位を降圧させることで構成できるの
で、図３の構成では、内側と外側の１対の電極に対して
１つの電源を用意すれば足りる。そのため、図２の構成
に比べると電源の数が半分になり、駆動回路の構成が簡
単になるという効果を奏する。
【００１５】図４は、円筒の軸方向と、この軸方向に直
交する方向の２つの方向に変位するように構成したチュ
ーブスキャナの構成を示す図である。電圧の印加は、前
述と同様に設定して行えばよい。この場合、チューブス
キャナは一軸方向に変位する。
交する方向の２つの方向に変位するように構成したチュ
ーブスキャナの構成を示す図である。電圧の印加は、前
述と同様に設定して行えばよい。この場合、チューブス
キャナは一軸方向に変位する。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、電源が
印加する電圧に対応する変位量が従来より大きくなる。
そのため、所望の変位量を従来と同一にした場合、電源
の電圧を従来の半分に設定することも可能となる。その
結果、高電圧の電源や、高電圧に対応した回路を設ける
ことによって生じるアクチュエータ（駆動回路）の製造
コストを低くできる。また、電源の電圧が低くなるので
電源の小型化も可能となり、その設置場所の自由度が増
す。さらに、電圧が低くなるので安全性が向上するとい
う効果も奏する。
印加する電圧に対応する変位量が従来より大きくなる。
そのため、所望の変位量を従来と同一にした場合、電源
の電圧を従来の半分に設定することも可能となる。その
結果、高電圧の電源や、高電圧に対応した回路を設ける
ことによって生じるアクチュエータ（駆動回路）の製造
コストを低くできる。また、電源の電圧が低くなるので
電源の小型化も可能となり、その設置場所の自由度が増
す。さらに、電圧が低くなるので安全性が向上するとい
う効果も奏する。
【図１】は、本発明のチューブスキャナの構成の一例を
示すもので、図１ａは平面図、図１ｂは斜視図である。
示すもので、図１ａは平面図、図１ｂは斜視図である。
【図２】は、本発明のアクチュエータの構成の一例を示
す概略図である。
す概略図である。
【図３】は、本発明のアクチュエータの構成の一例を示
す概略図である。
す概略図である。
【図４】は、本発明のアクチュエータの構成の一例を示
すもので、図４ａは平面図、図４ｂは斜視図である。
すもので、図４ａは平面図、図４ｂは斜視図である。
【図５】は、従来のチューブスキャナの構成を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
１ 圧電セラミック ２ 外側電極 ３ 内側電極 ４ 電源 ５ 反転増幅器 ６ 電源 １０ チューブスキャナ
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒状に形成された圧電素子と、該素子
の内周面および外周面に各々設置された電極とを有する
チューブスキャナにおいて、 前記各電極が内周側と外周側とでそれぞれ対応する位置
で複数に分割され、前記圧電素子を挟んで対向する内周
側と外周側の電極で複数の対をなす電極が形成されるこ
とを特徴とするチューブスキャナ。 - 【請求項２】 請求項１記載のチューブスキャナと該ス
キャナの各電極に電圧を印加する電源とを備えたことを
特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項３】 前記チューブスキャナの電極は、内周側
の各電極と該電極に対応する外周側の電極とで複数の電
極対を構成し、前記電源は、各電極対のそれぞれの電極
に互いに逆極性の電圧を印加することを特徴とする請求
項２記載のアクチュエータ。 - 【請求項４】 前記圧電素子が形成する円筒の軸対称の
位置にある２組の電極対において、一方の電極対の外周
側の電極に印加される電圧と他方の電極対の内周側の電
極に印加される電圧および一方の電極対の内周側の電極
に印加される電圧と他方の電極対の外周側の電極に印加
される電圧とが、それぞれ同じ極性であることを特徴と
する請求項３記載のアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6037393A JPH07249392A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | チューブスキャナおよびこれを備えたアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6037393A JPH07249392A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | チューブスキャナおよびこれを備えたアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07249392A true JPH07249392A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=12496294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6037393A Pending JPH07249392A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | チューブスキャナおよびこれを備えたアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07249392A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8058780B2 (en) * | 2008-02-12 | 2011-11-15 | Sii Nanotechnology Inc. | Circular cylinder type piezoelectric actuator and piezoelectric element and scanning probe microscope using those |
| US8115367B2 (en) * | 2007-11-26 | 2012-02-14 | Sii Nanotechnology Inc. | Piezoelectric actuator provided with a displacement meter, piezoelectric element, and positioning device |
| US8159114B2 (en) | 2007-11-01 | 2012-04-17 | Qinetiq Limited | Transducer |
| EP2096688A3 (en) * | 2008-02-29 | 2013-01-09 | University of Washington | Piezoelectric substrate, fabrication and related methods |
| JP2013078809A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Murata Mfg Co Ltd | 把持具 |
-
1994
- 1994-03-08 JP JP6037393A patent/JPH07249392A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8159114B2 (en) | 2007-11-01 | 2012-04-17 | Qinetiq Limited | Transducer |
| US8659209B2 (en) | 2007-11-01 | 2014-02-25 | Qinetiq Limited | Transducer |
| US8115367B2 (en) * | 2007-11-26 | 2012-02-14 | Sii Nanotechnology Inc. | Piezoelectric actuator provided with a displacement meter, piezoelectric element, and positioning device |
| US8058780B2 (en) * | 2008-02-12 | 2011-11-15 | Sii Nanotechnology Inc. | Circular cylinder type piezoelectric actuator and piezoelectric element and scanning probe microscope using those |
| EP2096688A3 (en) * | 2008-02-29 | 2013-01-09 | University of Washington | Piezoelectric substrate, fabrication and related methods |
| US8957484B2 (en) | 2008-02-29 | 2015-02-17 | University Of Washington | Piezoelectric substrate, fabrication and related methods |
| JP2013078809A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Murata Mfg Co Ltd | 把持具 |
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