JPH07253308A - 端面位置検出装置 - Google Patents
端面位置検出装置Info
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- JPH07253308A JPH07253308A JP6068110A JP6811094A JPH07253308A JP H07253308 A JPH07253308 A JP H07253308A JP 6068110 A JP6068110 A JP 6068110A JP 6811094 A JP6811094 A JP 6811094A JP H07253308 A JPH07253308 A JP H07253308A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 信号処理回路の最適化の調整を自動的に行う
端面位置検出装置を提供することである。 【構成】 光検知手段３に入射した照明光１による検出
信号は、加算回路１２で可変の設定電圧が加算され、暗
の状態に対応する所定値に、増幅回路１３で可変の増幅
率で増幅され、明の状態に対応する所定値になる。端面
判定手段７は検出信号が被検物の端面位置に対応する電
圧値を出力するとき、載物台位置検出手段１０が検出す
る載物台９の位置を被検物の端面位置であると判定す
る。
端面位置検出装置を提供することである。 【構成】 光検知手段３に入射した照明光１による検出
信号は、加算回路１２で可変の設定電圧が加算され、暗
の状態に対応する所定値に、増幅回路１３で可変の増幅
率で増幅され、明の状態に対応する所定値になる。端面
判定手段７は検出信号が被検物の端面位置に対応する電
圧値を出力するとき、載物台位置検出手段１０が検出す
る載物台９の位置を被検物の端面位置であると判定す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エッジ検出装置に関す
るものである。更に詳しくは光学的寸法・形状測定機に
おける被検物の端面位置を検出するエッジ検出装置に関
するものである。
るものである。更に詳しくは光学的寸法・形状測定機に
おける被検物の端面位置を検出するエッジ検出装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】被検物の端面位置検出には、測定顕微鏡
や輪郭投影機のような光学的寸法・形状測定機に搭載さ
れた端面検出装置が使用されている。測定の原理は、図
１に示すように光源からの照明光１が対物レンズ２の結
像面に配置された光電検出器３に入射する。載物台４上
に載置された被検物５が測定軸方向Ｘに移動し照明光１
を横切るとき、被検物５の端面の移動位置に従い光電検
出器３の受光光量が変化する。受光光量の変化に伴う検
出信号の変化を信号処理回路６で検出し、被検物５の端
面位置を検出する。透過照明の代わりに、反射照明を使
用することもある。
や輪郭投影機のような光学的寸法・形状測定機に搭載さ
れた端面検出装置が使用されている。測定の原理は、図
１に示すように光源からの照明光１が対物レンズ２の結
像面に配置された光電検出器３に入射する。載物台４上
に載置された被検物５が測定軸方向Ｘに移動し照明光１
を横切るとき、被検物５の端面の移動位置に従い光電検
出器３の受光光量が変化する。受光光量の変化に伴う検
出信号の変化を信号処理回路６で検出し、被検物５の端
面位置を検出する。透過照明の代わりに、反射照明を使
用することもある。
【０００３】被検物が通過するときの光の明暗変化によ
る検出信号の変化を検出するとき、検出信号の大きさが
信号処理回路６で処理するのに好適になるように、増幅
率調整とオフセット調整が必須であるが、従来は作業者
がボリュームのつまみを操作して調整の最適化を行って
いた。すなわち、光電検出器３に照明光１が全く入らな
い時は、電圧値が０になるように、また、光電検出器３
に照明光１が全て入る時は、所定の電圧値になるように
調整していた。
る検出信号の変化を検出するとき、検出信号の大きさが
信号処理回路６で処理するのに好適になるように、増幅
率調整とオフセット調整が必須であるが、従来は作業者
がボリュームのつまみを操作して調整の最適化を行って
いた。すなわち、光電検出器３に照明光１が全く入らな
い時は、電圧値が０になるように、また、光電検出器３
に照明光１が全て入る時は、所定の電圧値になるように
調整していた。
【０００４】具体的な作業の例は次のようなものであ
る。先ず被検物の端面は明暗の変化となって現れる。こ
の明暗のうち、被検物５が照明光１を遮断する、暗い方
に光電検出器３が感じるように載物台のハンドルを回し
て被検物を移動する。ここで信号処理回路が適切になる
ようにボリュームの撮みを操作して検出信号を調整す
る。次に明暗のうち、被検物５が照明光１を遮断しな
い、明るい方に光電検出器３が感じるように載物台のハ
ンドルを回して被検物を移動する。ここで信号処理回路
の増幅率を、被検物５の明るいところを観察するときに
信号処理回路で処理された信号が適切になるようにボリ
ュームのつまみを操作して調整する。更にもう一度これ
を繰り返して、信号処理回路のオフセットと増幅率の調
整を確認する。調整が不十分なときは数度繰り返してボ
リュームのつまみを操作する。そして調整後、被検物５
が照明光１を横切ったときに得られる検出信号から端面
位置検出が行われる。例えば端面位置は光電検出器３に
照明光１が全く入らない状態（電圧値０）と、光電検出
器３に照明光１が全て入る状態（所定の電圧値）との中
間値としてて検出される。
る。先ず被検物の端面は明暗の変化となって現れる。こ
の明暗のうち、被検物５が照明光１を遮断する、暗い方
に光電検出器３が感じるように載物台のハンドルを回し
て被検物を移動する。ここで信号処理回路が適切になる
ようにボリュームの撮みを操作して検出信号を調整す
る。次に明暗のうち、被検物５が照明光１を遮断しな
い、明るい方に光電検出器３が感じるように載物台のハ
ンドルを回して被検物を移動する。ここで信号処理回路
の増幅率を、被検物５の明るいところを観察するときに
信号処理回路で処理された信号が適切になるようにボリ
ュームのつまみを操作して調整する。更にもう一度これ
を繰り返して、信号処理回路のオフセットと増幅率の調
整を確認する。調整が不十分なときは数度繰り返してボ
リュームのつまみを操作する。そして調整後、被検物５
が照明光１を横切ったときに得られる検出信号から端面
位置検出が行われる。例えば端面位置は光電検出器３に
照明光１が全く入らない状態（電圧値０）と、光電検出
器３に照明光１が全て入る状態（所定の電圧値）との中
間値としてて検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術では、信号
処理回路の増幅率調整及びオフセット調整を作業者がボ
リュームのつまみを操作して行っていた。しかしこの調
整は煩わしく、時間がかかるものであるという問題があ
った。また、作業者ごとに調整により最適化した位置に
ずれがあり、端面位置検出の個人誤差が発生するという
問題があった。
処理回路の増幅率調整及びオフセット調整を作業者がボ
リュームのつまみを操作して行っていた。しかしこの調
整は煩わしく、時間がかかるものであるという問題があ
った。また、作業者ごとに調整により最適化した位置に
ずれがあり、端面位置検出の個人誤差が発生するという
問題があった。
【０００６】本発明は上記の課題に鑑み、信号処理回路
の最適化の調整を自動的に行う端面位置検出装置を提供
することを目的とする。
の最適化の調整を自動的に行う端面位置検出装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、対物レンズの結像面に配置され、載物台に載置され
た被検物の端面が横切るときに発生する照明光束の明暗
状態を検知して検出信号を出力する光検知手段を具備
し、前記検出信号の変化に基づいて、前記被検物の端面
位置を検出する端面検出装置において、前記載物台の位
置を検出する載物台位置検出手段と、前記照明光束の明
の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する所定
値、ならびに前記被検物の端面位置に対応する所定値を
記憶する記憶手段と、前記検出信号に可変の設定電圧を
加算して、前記暗の状態に対応する所定値にする加算回
路、及び前記検出信号を可変の増幅率で増幅して、前記
明の状態に対応する所定値にする増幅回路からなる電圧
調整手段と、前記電圧調整手段を制御する制御手段と、
前記検出信号が前記被検物の端面位置に対応する所定値
を出力するとき、前記載物台位置検出手段が検出する載
物台の位置を、前記被検物の端面位置であると判定する
端面判定手段とを具備するものである。
は、対物レンズの結像面に配置され、載物台に載置され
た被検物の端面が横切るときに発生する照明光束の明暗
状態を検知して検出信号を出力する光検知手段を具備
し、前記検出信号の変化に基づいて、前記被検物の端面
位置を検出する端面検出装置において、前記載物台の位
置を検出する載物台位置検出手段と、前記照明光束の明
の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する所定
値、ならびに前記被検物の端面位置に対応する所定値を
記憶する記憶手段と、前記検出信号に可変の設定電圧を
加算して、前記暗の状態に対応する所定値にする加算回
路、及び前記検出信号を可変の増幅率で増幅して、前記
明の状態に対応する所定値にする増幅回路からなる電圧
調整手段と、前記電圧調整手段を制御する制御手段と、
前記検出信号が前記被検物の端面位置に対応する所定値
を出力するとき、前記載物台位置検出手段が検出する載
物台の位置を、前記被検物の端面位置であると判定する
端面判定手段とを具備するものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、対物レンズの結
像面に配置され、載物台に載置された被検物の端面が横
切るときに発生する照明光束の明暗状態を検知して検出
信号を出力する光検知手段を具備し、前記検出信号の変
化に基づいて、前記被検物の端面位置を検出する端面検
出装置において、前記載物台の位置を検出する載物台位
置検出手段と、前記検出信号を受け、前記被検物の端面
位置に対応する所定値を算出する演算手段と、前記演算
手段が算出した前記所定値を記憶する記憶手段と、前記
検出信号が前記所定値を出力するとき、前記載物台位置
検出手段が検出する載物台の位置を、前記被検物の端面
位置であると判定する端面判定手段とを具備するもので
ある。
像面に配置され、載物台に載置された被検物の端面が横
切るときに発生する照明光束の明暗状態を検知して検出
信号を出力する光検知手段を具備し、前記検出信号の変
化に基づいて、前記被検物の端面位置を検出する端面検
出装置において、前記載物台の位置を検出する載物台位
置検出手段と、前記検出信号を受け、前記被検物の端面
位置に対応する所定値を算出する演算手段と、前記演算
手段が算出した前記所定値を記憶する記憶手段と、前記
検出信号が前記所定値を出力するとき、前記載物台位置
検出手段が検出する載物台の位置を、前記被検物の端面
位置であると判定する端面判定手段とを具備するもので
ある。
【０００９】請求項２に記載の発明では、前記演算手段
は、前記所定値の演算を、前記検出信号の前記照明光束
の明の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する所
定値に基づいて行うことが望ましい。
は、前記所定値の演算を、前記検出信号の前記照明光束
の明の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する所
定値に基づいて行うことが望ましい。
【００１０】
【作用】請求項１に記載の発明によれば、加算回路は検
出信号に可変の設定電圧を加算して、暗の状態に対応す
る所定値にし、増幅回路は検出信号を可変の増幅率で増
幅して、明の状態に対応する所定値にする。端面判定手
段は検出信号が被検物の端面位置に対応する所定値を出
力するとき、載物台位置検出手段が検出する所定の載物
台の位置を被検物の端面位置であると判定する。
出信号に可変の設定電圧を加算して、暗の状態に対応す
る所定値にし、増幅回路は検出信号を可変の増幅率で増
幅して、明の状態に対応する所定値にする。端面判定手
段は検出信号が被検物の端面位置に対応する所定値を出
力するとき、載物台位置検出手段が検出する所定の載物
台の位置を被検物の端面位置であると判定する。
【００１１】請求項２に記載の発明によれば、演算手段
は前記検出信号を受け、前記被検物の端面位置に対応す
る所定値を演算する。端面判定手段は検出信号が被検物
の端面位置に対応する所定値を出力するとき、載物台位
置検出手段が検出する所定の載物台の位置を被検物の端
面位置であると判定する。
は前記検出信号を受け、前記被検物の端面位置に対応す
る所定値を演算する。端面判定手段は検出信号が被検物
の端面位置に対応する所定値を出力するとき、載物台位
置検出手段が検出する所定の載物台の位置を被検物の端
面位置であると判定する。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例を図２〜図４により説明す
る。図２は本実施例のブロック図である。被検物５は載
物台４の対物レンズ（不図示）の結像面上に載置され、
載物台４はＣＰＵ７に制御されるモータ８に駆動されて
二次元に移動する。載物台４にはリニアエンコーダ９が
取り付けられ、載物台４の移動に伴いリニアエンコーダ
９から出力するパルス数はカウンタ回路１０で計測さ
れ、計測された値はＣＰＵ７に出力される。ＣＰＵ７は
計測した値から載物台４の位置を演算し、演算結果は表
示器（不図示）に出力される。
る。図２は本実施例のブロック図である。被検物５は載
物台４の対物レンズ（不図示）の結像面上に載置され、
載物台４はＣＰＵ７に制御されるモータ８に駆動されて
二次元に移動する。載物台４にはリニアエンコーダ９が
取り付けられ、載物台４の移動に伴いリニアエンコーダ
９から出力するパルス数はカウンタ回路１０で計測さ
れ、計測された値はＣＰＵ７に出力される。ＣＰＵ７は
計測した値から載物台４の位置を演算し、演算結果は表
示器（不図示）に出力される。
【００１３】光電検出器３は対物レンズの結像面に配置
され、照明光１が入射して、光電変換して電流を出力す
る光電素子である。光電検出器３から出力した電流は電
流・電圧変換器１１で電圧に変換して検出信号が出力さ
れる。加算回路１２は検出信号に可変の所定電圧を加算
して信号レベルを調整する回路、増幅回路１３は検出信
号を可変の増幅率で増幅して振幅を調整する回路、Ａ／
Ｄ変換器１４は検出信号をＡ／Ｄ変換してＣＰＵ７に出
力する回路である。検出信号の電圧レベルはＣＰＵ７に
取り込まれる。ＣＰＵ７に取り込まれた電圧レベルはＲ
ＡＭ１５に記憶される。また、Ｄ／Ａ変換器１６により
Ｄ／Ａ変換された信号が加算回路１２で加算される所定
電圧であり、Ｄ／Ａ変換器１７によりＤ／Ａ変換された
信号が増幅回路１３で増幅率を設定する制御信号であ
る。ＣＰＵ７の動作プログラムはＲＡＭ１５に書き込ま
れている。端面検出回路１８は検出信号をパルス信号に
変換して、変換されたパルス信号はカウンタ回路１０を
ラッチする。
され、照明光１が入射して、光電変換して電流を出力す
る光電素子である。光電検出器３から出力した電流は電
流・電圧変換器１１で電圧に変換して検出信号が出力さ
れる。加算回路１２は検出信号に可変の所定電圧を加算
して信号レベルを調整する回路、増幅回路１３は検出信
号を可変の増幅率で増幅して振幅を調整する回路、Ａ／
Ｄ変換器１４は検出信号をＡ／Ｄ変換してＣＰＵ７に出
力する回路である。検出信号の電圧レベルはＣＰＵ７に
取り込まれる。ＣＰＵ７に取り込まれた電圧レベルはＲ
ＡＭ１５に記憶される。また、Ｄ／Ａ変換器１６により
Ｄ／Ａ変換された信号が加算回路１２で加算される所定
電圧であり、Ｄ／Ａ変換器１７によりＤ／Ａ変換された
信号が増幅回路１３で増幅率を設定する制御信号であ
る。ＣＰＵ７の動作プログラムはＲＡＭ１５に書き込ま
れている。端面検出回路１８は検出信号をパルス信号に
変換して、変換されたパルス信号はカウンタ回路１０を
ラッチする。
【００１４】次に動作について説明する。先ず、被検物
５を載物台４に載置し、照明光１が被検物５に遮断され
るような位置に載物台４を移動する。このとき照明光１
は直接は光電検出器３に入射しないが、迷光等が光電検
出器３に入射して光電変換され、暗電流も加わって電流
・電圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ１が出力
し、加算回路１２、増幅回路１３及びＡ／Ｄ変換器１４
を介してＣＰＵ７に取り込まれ、ＲＡＭ１５に記憶され
る。ＲＡＭ１５には予め、この暗の状態にある位置での
電圧レベルは０Ｖと記憶されて、加算回路１２で加算さ
れる所定電圧は（０−Ｅ１）と算出され、ＣＰＵ７から
出力し、Ｄ／Ａ変換器１６によりＤ／Ａ変換された信号
が加算回路１２で加算される。その結果図４に示すよう
に、暗の状態の電圧レベルは０Ｖに調整される。
５を載物台４に載置し、照明光１が被検物５に遮断され
るような位置に載物台４を移動する。このとき照明光１
は直接は光電検出器３に入射しないが、迷光等が光電検
出器３に入射して光電変換され、暗電流も加わって電流
・電圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ１が出力
し、加算回路１２、増幅回路１３及びＡ／Ｄ変換器１４
を介してＣＰＵ７に取り込まれ、ＲＡＭ１５に記憶され
る。ＲＡＭ１５には予め、この暗の状態にある位置での
電圧レベルは０Ｖと記憶されて、加算回路１２で加算さ
れる所定電圧は（０−Ｅ１）と算出され、ＣＰＵ７から
出力し、Ｄ／Ａ変換器１６によりＤ／Ａ変換された信号
が加算回路１２で加算される。その結果図４に示すよう
に、暗の状態の電圧レベルは０Ｖに調整される。
【００１５】次いで照明光１が被検物５の端面５ａの外
側を通過するような位置に載物台４を移動する。このと
き光電検出器３に入射した光は光電変換され、電流・電
圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ２が出力し、加
算回路１２、増幅回路１３及びＡ／Ｄ変換器１４を介し
てＣＰＵ７に取り込まれ、ＲＡＭ１５に記憶される。
側を通過するような位置に載物台４を移動する。このと
き光電検出器３に入射した光は光電変換され、電流・電
圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ２が出力し、加
算回路１２、増幅回路１３及びＡ／Ｄ変換器１４を介し
てＣＰＵ７に取り込まれ、ＲＡＭ１５に記憶される。
【００１６】ＲＡＭ１５には予め、この明の状態にある
位置での電圧レベルはＥ０と記憶されて、増幅回路１３
の増幅率はＥ０／（Ｅ２−Ｅ１）と算出されて、ＣＰＵ
７から出力し、Ｄ／Ａ変換器１７によりＤ／Ａ変換され
た信号により増幅回路１３で検出信号が増幅される。そ
の結果図４に示すように、明の状態の電圧レベルはＥ０
に調整される。
位置での電圧レベルはＥ０と記憶されて、増幅回路１３
の増幅率はＥ０／（Ｅ２−Ｅ１）と算出されて、ＣＰＵ
７から出力し、Ｄ／Ａ変換器１７によりＤ／Ａ変換され
た信号により増幅回路１３で検出信号が増幅される。そ
の結果図４に示すように、明の状態の電圧レベルはＥ０
に調整される。
【００１７】上記の調整が終了してから、照明光１が被
検物５の端面５ａの位置を通過するような位置に載物台
４を移動する。この位置は予め、図３に示す検出信号が
Ｅ３であるときエッジの位置であると設定され、加算・
増幅された調整後の電圧レベルはＥ３′となる。
検物５の端面５ａの位置を通過するような位置に載物台
４を移動する。この位置は予め、図３に示す検出信号が
Ｅ３であるときエッジの位置であると設定され、加算・
増幅された調整後の電圧レベルはＥ３′となる。
【００１８】このＥ３は例えば０とＥ０の中間値として
演算により求めても良い。このように演算で求めれば照
明光１が被検物５の端面５ａの位置を通過する位置に移
動させる必要がなくなる。しかしＥ３は装置の構成や方
式（例えば照明系）などにより求め方が異なる。このＥ
３′は、Ａ／Ｄ変換器１４、ＣＰＵ７を介しＲＡＭ１５
に記憶される。ＲＡＭ１５には既に、電圧レベルがＥ
３′のとき検出信号Ｅ３のエッジの位置であると記憶さ
れているから、この時端面検出回路１８は検出信号Ｅ３
をパルス信号に変換し、変換されたパルス信号でカウン
タ回路１０をラッチする。ラッチされたカウンタ回路１
０で計測されたリニアエンコーダ９から出力するパルス
数がＣＰＵ７に出力され、ＣＰＵ７は計測した値から載
物台４の位置を演算し、演算された端面５ａの位置が表
示器（不図示）に表示される。
演算により求めても良い。このように演算で求めれば照
明光１が被検物５の端面５ａの位置を通過する位置に移
動させる必要がなくなる。しかしＥ３は装置の構成や方
式（例えば照明系）などにより求め方が異なる。このＥ
３′は、Ａ／Ｄ変換器１４、ＣＰＵ７を介しＲＡＭ１５
に記憶される。ＲＡＭ１５には既に、電圧レベルがＥ
３′のとき検出信号Ｅ３のエッジの位置であると記憶さ
れているから、この時端面検出回路１８は検出信号Ｅ３
をパルス信号に変換し、変換されたパルス信号でカウン
タ回路１０をラッチする。ラッチされたカウンタ回路１
０で計測されたリニアエンコーダ９から出力するパルス
数がＣＰＵ７に出力され、ＣＰＵ７は計測した値から載
物台４の位置を演算し、演算された端面５ａの位置が表
示器（不図示）に表示される。
【００１９】尚、反射照明の場合は、図３の点線で示す
ように、実線で示す透過照明の場合に比べて一般に明暗
の差が小さく、増幅率が大きくなることが多い。
ように、実線で示す透過照明の場合に比べて一般に明暗
の差が小さく、増幅率が大きくなることが多い。
【００２０】本発明の他の実施例を図５により説明す
る。前述の一実施例と同一または類似の点の説明の詳述
は省略する。被検物５は載物台４の上に載置され、載物
台４の移動に伴いリニアエンコーダ９から出力するパル
ス数はカウンタ回路１０で計測される。光電検出器３か
ら出力した電流は電流・電圧変換器１１で電圧に変換し
て検出信号が出力する。
る。前述の一実施例と同一または類似の点の説明の詳述
は省略する。被検物５は載物台４の上に載置され、載物
台４の移動に伴いリニアエンコーダ９から出力するパル
ス数はカウンタ回路１０で計測される。光電検出器３か
ら出力した電流は電流・電圧変換器１１で電圧に変換し
て検出信号が出力する。
【００２１】Ａ／Ｄ変換器１４は検出信号をＡ／Ｄ変換
してＣＰＵ７に出力する回路である。検出信号の電圧レ
ベルはＣＰＵ７に取り込まれる。ＣＰＵ７に取り込まれ
た電圧レベルはＲＡＭ１５に記憶される。端面検出回路
１８は検出信号をパルス信号に変換して、変換されたパ
ルス信号はカウンタ回路１０をラッチする。
してＣＰＵ７に出力する回路である。検出信号の電圧レ
ベルはＣＰＵ７に取り込まれる。ＣＰＵ７に取り込まれ
た電圧レベルはＲＡＭ１５に記憶される。端面検出回路
１８は検出信号をパルス信号に変換して、変換されたパ
ルス信号はカウンタ回路１０をラッチする。
【００２２】次に動作について説明する。先ず、被検物
５を載物台４に載置し、照明光１が被検物５に遮断され
るような位置に載物台４を移動する。このとき電流・電
圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ１が出力し、Ｃ
ＰＵ７に取り込まれる。
５を載物台４に載置し、照明光１が被検物５に遮断され
るような位置に載物台４を移動する。このとき電流・電
圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ１が出力し、Ｃ
ＰＵ７に取り込まれる。
【００２３】次いで照明光１が被検物５の端面５ａの外
側を通過するような位置に載物台４を移動する。このと
き電流・電圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ２を
出力し、Ａ／Ｄ変換器１４を介しＣＰＵ７に取り込まれ
る。ＣＰＵ７は検出信号Ｅ１及び検出信号Ｅ２に基づ
き、図３に示すエッジの位置であると設定された検出信
号がＥ３に対応する、電圧レベルＥ３′を算出する。
側を通過するような位置に載物台４を移動する。このと
き電流・電圧変換器１１から図３に示す検出信号Ｅ２を
出力し、Ａ／Ｄ変換器１４を介しＣＰＵ７に取り込まれ
る。ＣＰＵ７は検出信号Ｅ１及び検出信号Ｅ２に基づ
き、図３に示すエッジの位置であると設定された検出信
号がＥ３に対応する、電圧レベルＥ３′を算出する。
【００２４】上記の調整が終了してから、照明光１が被
検物５の端面５ａの位置を通過するような位置に載物台
４を移動する。光電検出器３に入射した光は光電変換さ
れ、電流・電圧変換器１１から検出信号Ｅ３が出力し、
ＣＰＵ７で算出されたＲＡＭ１５に記憶されている電圧
レベルはＥ３′である。この時端面検出回路１８は検出
信号Ｅ３をパルス信号に変換し、変換されたパルス信号
でカウンタ回路１０をラッチし、載物台４の位置が演算
され、端面５ａの位置が表示される。
検物５の端面５ａの位置を通過するような位置に載物台
４を移動する。光電検出器３に入射した光は光電変換さ
れ、電流・電圧変換器１１から検出信号Ｅ３が出力し、
ＣＰＵ７で算出されたＲＡＭ１５に記憶されている電圧
レベルはＥ３′である。この時端面検出回路１８は検出
信号Ｅ３をパルス信号に変換し、変換されたパルス信号
でカウンタ回路１０をラッチし、載物台４の位置が演算
され、端面５ａの位置が表示される。
【００２５】両実施例とも、作業者が信号処理回路の最
適化のための増幅率調整及びオフセット調整をボリュー
ムのつまみを操作することがなく、従って調整に時間を
必要としない。また、予め設定した電圧により、端面位
置の判断が行われるから端面位置検出に個人誤差が発生
する余地がない。
適化のための増幅率調整及びオフセット調整をボリュー
ムのつまみを操作することがなく、従って調整に時間を
必要としない。また、予め設定した電圧により、端面位
置の判断が行われるから端面位置検出に個人誤差が発生
する余地がない。
【００２６】
【発明の効果】本発明の端面位置検出装置により、信号
処理回路の最適化の調整が自動的に行われる。
処理回路の最適化の調整が自動的に行われる。
【図１】本発明にかかる原理図。
【図２】本発明にかかる一実施例のブロック図。
【図３】本発明にかかる一実施例の検出信号の説明図。
【図４】本発明にかかる一実施例の最適化調整が行われ
た後の電圧レベルを示す図。
た後の電圧レベルを示す図。
【図５】本発明にかかる他の実施例のブロック図。
１・・・・照明光 ３・・・・光電検出器 ４・・・・載物台 ５・・・・被検物 ５ａ・・・・端面 ７・・・・ＣＰＵ ９・・・・リニアエンコーダ １０・・・・カウンタ回路 １１・・・・電流・電圧変換器 １２・・・・加算回路 １３・・・・増幅回路 １４・・・・Ａ／Ｄ変換器 １５・・・・ＲＡＭ １８・・・・端面検出回路
Claims (3)
- 【請求項１】対物レンズの結像面に配置され、載物台に
載置された被検物の端面が横切るときに発生する照明光
束の明暗状態を検知して検出信号を出力する光検知手段
を具備し、前記検出信号の変化に基づいて、前記被検物
の端面位置を検出する端面検出装置において、前記載物
台の位置を検出する載物台位置検出手段と、前記照明光
束の明の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する
所定値、ならびに前記被検物の端面位置に対応する所定
値を記憶する記憶手段と、前記検出信号に可変の設定電
圧を加算して、前記暗の状態に対応する所定値にする加
算回路、及び前記検出信号を可変の増幅率で増幅して、
前記明の状態に対応する所定値にする増幅回路からなる
電圧調整手段と、前記検出信号が前記被検物の端面位置
に対応する所定値と一致した信号値を出力するとき、前
記載物台位置検出手段が検出する載物台の位置を、前記
被検物の端面位置であると判定する端面判定手段とを具
備することを特徴とする端面位置検出装置。 - 【請求項２】対物レンズの結像面に配置され、載物台に
載置された被検物の端面が横切るときに発生する照明光
束の明暗状態を検知して検出信号を出力する光検知手段
を具備し、前記検出信号の変化に基づいて、前記被検物
の端面位置を検出する端面検出装置において、前記載物
台の位置を検出する載物台位置検出手段と、前記検出信
号に基づいて、前記被検物の端面位置に対応する所定値
を算出する演算手段と、前記演算手段が算出した前記所
定値を記憶する記憶手段と、前記検出信号が前記所定値
と一致した信号値を出力するとき、前記載物台位置検出
手段が検出する載物台の位置を、前記被検物の端面位置
であると判定する端面判定手段とを具備することを特徴
とする端面位置検出装置。 - 【請求項３】前記演算手段は、前記所定値の演算を、前
記検出信号の前記照明光束の明の状態に対応する所定値
及び暗の状態に対応する所定値に基づいて行うことを特
徴とする請求項２に記載の端面位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6068110A JPH07253308A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 端面位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6068110A JPH07253308A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 端面位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253308A true JPH07253308A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=13364278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6068110A Pending JPH07253308A (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 端面位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07253308A (ja) |
-
1994
- 1994-03-14 JP JP6068110A patent/JPH07253308A/ja active Pending
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