JPH0726017A - ポリイミドおよびその製法 - Google Patents
ポリイミドおよびその製法Info
- Publication number
- JPH0726017A JPH0726017A JP17148993A JP17148993A JPH0726017A JP H0726017 A JPH0726017 A JP H0726017A JP 17148993 A JP17148993 A JP 17148993A JP 17148993 A JP17148993 A JP 17148993A JP H0726017 A JPH0726017 A JP H0726017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyimide
- formula
- carbon atoms
- aminophenoxy
- hydrocarbon group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ポリイミドが本来有する優れた特性に加えて、
溶解性に優れ、なおかつ低誘電性をも有する新規なポリ
イミドを提供すること。 【構成】一般式(1) 【化1】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数である。またXは炭素数
2以上の4価の有機基を表す。)で表されるポリイミド
およびその製法。上記一般式(1)において、Qで表さ
れる基の例は次のとおりである。 【化2】
溶解性に優れ、なおかつ低誘電性をも有する新規なポリ
イミドを提供すること。 【構成】一般式(1) 【化1】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数である。またXは炭素数
2以上の4価の有機基を表す。)で表されるポリイミド
およびその製法。上記一般式(1)において、Qで表さ
れる基の例は次のとおりである。 【化2】
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、溶解性および低誘電性
に優れた新規なポリイミドに関するものであり、半導体
の各種保護膜や層間絶縁膜、液晶表示素子の配向膜、フ
レキシブルプリント配線板のベースフィルム、ガス透過
膜およびその他各種絶縁膜、電子部品用樹脂、構造材料
用樹脂および耐熱性接着剤等に利用される。
に優れた新規なポリイミドに関するものであり、半導体
の各種保護膜や層間絶縁膜、液晶表示素子の配向膜、フ
レキシブルプリント配線板のベースフィルム、ガス透過
膜およびその他各種絶縁膜、電子部品用樹脂、構造材料
用樹脂および耐熱性接着剤等に利用される。
【0002】
【従来の技術】ポリイミドはその高耐熱性に加え、機械
的強度や電気絶縁性に優れた特性を生かして、電気、電
子分野において多用されている。しかし、従来の芳香族
ポリイミドは溶融温度が高く、また溶剤に不溶なため、
イミドの状態でフィルム等に成形することは困難であっ
た。例えば、4,4−ジアミノジフェニルエーテルとピ
ロメリット酸二無水物との縮合で得られる芳香族ポリイ
ミド(Kapton、米国DuPont社商品名)は、融点が500
℃以上であり、かつイミドの溶解性が悪いため、通常は
前駆体のポリアミド酸の極性溶媒溶液をフィルム状にキ
ャストした後、300℃以上の高温で加熱してイミド化
閉環させるという方法でフィルムに成形されていた。
的強度や電気絶縁性に優れた特性を生かして、電気、電
子分野において多用されている。しかし、従来の芳香族
ポリイミドは溶融温度が高く、また溶剤に不溶なため、
イミドの状態でフィルム等に成形することは困難であっ
た。例えば、4,4−ジアミノジフェニルエーテルとピ
ロメリット酸二無水物との縮合で得られる芳香族ポリイ
ミド(Kapton、米国DuPont社商品名)は、融点が500
℃以上であり、かつイミドの溶解性が悪いため、通常は
前駆体のポリアミド酸の極性溶媒溶液をフィルム状にキ
ャストした後、300℃以上の高温で加熱してイミド化
閉環させるという方法でフィルムに成形されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の芳香
族ポリイミドは、フィルム等に成形するためには300
℃以上の高温で加熱処理することが必要であり、電子素
子や基板および金属配線などを熱劣化させてしまい信頼
性の低下を招くという問題があった。また、高温で成形
したフィルムは成形後の収縮による歪や応力が残存する
ためカールが発生するという問題点もあり、イミドの状
態で直接比較的低温でフィルム等に成形できる芳香族ポ
リイミドの開発が要望されている。また最近、コンピュ
ーター等の信号の高速電送化の要求から、従来ポリイミ
ドが有していた優れた絶縁性に加えて低誘電率化が要望
されている。
族ポリイミドは、フィルム等に成形するためには300
℃以上の高温で加熱処理することが必要であり、電子素
子や基板および金属配線などを熱劣化させてしまい信頼
性の低下を招くという問題があった。また、高温で成形
したフィルムは成形後の収縮による歪や応力が残存する
ためカールが発生するという問題点もあり、イミドの状
態で直接比較的低温でフィルム等に成形できる芳香族ポ
リイミドの開発が要望されている。また最近、コンピュ
ーター等の信号の高速電送化の要求から、従来ポリイミ
ドが有していた優れた絶縁性に加えて低誘電率化が要望
されている。
【0004】そこで、可溶性でありかつ低誘電性を有す
るポリイミドに関して、例えばフッ素を導入したポリイ
ミドが開発されているが(例えば特開平4−23903
7)、価格が非常に高価であり、工業的レベルでの生産
は困難である。また、テフロン樹脂に代表されるよう
に、フッ素を多量に含有すると接着性が低下する等の多
くの問題点があった。
るポリイミドに関して、例えばフッ素を導入したポリイ
ミドが開発されているが(例えば特開平4−23903
7)、価格が非常に高価であり、工業的レベルでの生産
は困難である。また、テフロン樹脂に代表されるよう
に、フッ素を多量に含有すると接着性が低下する等の多
くの問題点があった。
【0005】本発明の目的は、ポリイミドが本来有する
優れた特性に加えて、溶解性に優れ、なおかつ低誘電性
をも有する新規なポリイミドを提供することにある。
優れた特性に加えて、溶解性に優れ、なおかつ低誘電性
をも有する新規なポリイミドを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記目的を
果たすため鋭意検討した結果、特定な構造を有する芳香
族ポリイミドが、ポリイミド固有の諸物性を損なうこと
なく、溶解性に優れ、なおかつ低誘電性をも有すること
を見いだし、本発明を完成した。すなわち、本発明は一
般式(1)
果たすため鋭意検討した結果、特定な構造を有する芳香
族ポリイミドが、ポリイミド固有の諸物性を損なうこと
なく、溶解性に優れ、なおかつ低誘電性をも有すること
を見いだし、本発明を完成した。すなわち、本発明は一
般式(1)
【化5】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。またXは炭素数2以上の4価
の有機基を表す。)で表される繰り返し構造単位を有す
るポリイミド、ならびにそれらの製造方法に関するもの
である。
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。またXは炭素数2以上の4価
の有機基を表す。)で表される繰り返し構造単位を有す
るポリイミド、ならびにそれらの製造方法に関するもの
である。
【0007】本発明におけるポリイミドは、下記一般式
(2)で表されるジアミノ化合物と、下記一般式(3)
で表されるテトラカルボン酸二無水物を重縮合させるこ
とによって得られる。
(2)で表されるジアミノ化合物と、下記一般式(3)
で表されるテトラカルボン酸二無水物を重縮合させるこ
とによって得られる。
【化6】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。)
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。)
【化7】 (式中、Xは炭素数2以上の4価の有機基を表す。)
【0008】一般式(2)において、Qの脂環構造を含
む炭素数5〜20の炭化水素基の代表例としては、式
(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)等で
表される基が挙げられる。
む炭素数5〜20の炭化水素基の代表例としては、式
(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)等で
表される基が挙げられる。
【化8】
【0009】一般式(2)において、R1 〜R4 、
Ri 、Rj の具体例としては、水素原子;フッ素、塩
素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子;メチル、エチル、
プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシルの直鎖または分
鎖状のアルキル基;シクロヘキシル基;フェニル基等の
炭素数1〜6の炭化水素基;これらの炭化水素基の水素
原子の一つ以上をハロゲン原子で置換した基が挙げられ
る。
Ri 、Rj の具体例としては、水素原子;フッ素、塩
素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子;メチル、エチル、
プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシルの直鎖または分
鎖状のアルキル基;シクロヘキシル基;フェニル基等の
炭素数1〜6の炭化水素基;これらの炭化水素基の水素
原子の一つ以上をハロゲン原子で置換した基が挙げられ
る。
【0010】一般式(2)で表されるジアミノ化合物類
の代表例を示すと次の通りである。ビス〔4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス〔2−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、1−〔2−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−8−〔4−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス〔4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス
〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、
1−〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−8−
〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、
ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェ
ニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)
−3,5−ジメチルフェニル〕メンタン、ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)−3−ブチル−6−メチルフ
ェニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノ−5−メチ
ルフェノキシ)−3−メチルフェニル〕メンタン、ビス
〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3,5
−ジメチルフェニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミ
ノ−5−メチルフェノキシ)−3−ブチル−6−メチル
フェニル〕メンタン、ビス〔2−(4−アミノフェノキ
シ)−3−メチルフェニル〕メンタン、1−〔2−(4
−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル〕−8−
〔4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニ
ル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔2−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタン、〔2−(4−
アミノフェノキシ)フェニル〕−〔4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタ
ン、ビス〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジ
シクロペンタン、〔2−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕−〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジ
シクロペンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)
−3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニ
ル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノ
キシ)−3−ブチル−6−メチルフェニル〕ジシクロペ
ンタン、ビス〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキ
シ)−3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス
〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3,5
−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3−ブチル−
6−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔2−
(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル〕ジシ
クロペンタン、〔2−(4−アミノフェノキシ)−3−
メチルフェニル〕−〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン等が例示され
る。これらの中でも、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕メンタンおよびビス〔4−(4−アミノ
フェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペ
ンタンが好ましい。
の代表例を示すと次の通りである。ビス〔4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス〔2−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、1−〔2−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−8−〔4−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス〔4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、ビス
〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、
1−〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−8−
〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メンタン、
ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェ
ニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)
−3,5−ジメチルフェニル〕メンタン、ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)−3−ブチル−6−メチルフ
ェニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノ−5−メチ
ルフェノキシ)−3−メチルフェニル〕メンタン、ビス
〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3,5
−ジメチルフェニル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミ
ノ−5−メチルフェノキシ)−3−ブチル−6−メチル
フェニル〕メンタン、ビス〔2−(4−アミノフェノキ
シ)−3−メチルフェニル〕メンタン、1−〔2−(4
−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル〕−8−
〔4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニ
ル〕メンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔2−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタン、〔2−(4−
アミノフェノキシ)フェニル〕−〔4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジシクロペンタ
ン、ビス〔2−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジ
シクロペンタン、〔2−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕−〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ジ
シクロペンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)
−3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニ
ル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−(4−アミノフェノ
キシ)−3−ブチル−6−メチルフェニル〕ジシクロペ
ンタン、ビス〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキ
シ)−3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス
〔4−(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3,5
−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔4−
(4−アミノ−5−メチルフェノキシ)−3−ブチル−
6−メチルフェニル〕ジシクロペンタン、ビス〔2−
(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル〕ジシ
クロペンタン、〔2−(4−アミノフェノキシ)−3−
メチルフェニル〕−〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3−メチルフェニル〕ジシクロペンタン等が例示され
る。これらの中でも、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕メンタンおよびビス〔4−(4−アミノ
フェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペ
ンタンが好ましい。
【0011】一般式(3)で表されるテトラカルボン酸
二無水物は上記のジアミノ化合物と縮合反応しうるもの
であれば如何なるものも適用可能であるが、代表例とし
ては、以下のものが挙げられる。エチレンテトラカルボ
ン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,
3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホン
テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフ
ェニルヘキサフルオロイソプロパンテトラカルボン酸二
無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,
3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸
二無水物、1,2,7,8−フェナントラセンテトラカ
ルボン酸二無水物、4−(1,2−ジカルボキシルエチ
ル)−4−メチル−1,2,3,4−テトラヒドロ−
1,2−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビ
ス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニ
ル〕プロパン二無水物、5−(1,2−ジカルボキシル
エチル)−3−メチル−1,2,5,6−テトラハイド
ロフタル酸二無水物、6−メチル−トリシクロ(6,
2,2,02,7 )−ドデカ−6,11−ジエン−3,
4,9,10−テトラカルボン酸二無水物等が例示され
る。これらテトラカルボン酸二無水物は、単独あるいは
2種以上混合して使用される。
二無水物は上記のジアミノ化合物と縮合反応しうるもの
であれば如何なるものも適用可能であるが、代表例とし
ては、以下のものが挙げられる。エチレンテトラカルボ
ン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,
3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホン
テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフ
ェニルヘキサフルオロイソプロパンテトラカルボン酸二
無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,
3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸
二無水物、1,2,7,8−フェナントラセンテトラカ
ルボン酸二無水物、4−(1,2−ジカルボキシルエチ
ル)−4−メチル−1,2,3,4−テトラヒドロ−
1,2−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビ
ス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニ
ル〕プロパン二無水物、5−(1,2−ジカルボキシル
エチル)−3−メチル−1,2,5,6−テトラハイド
ロフタル酸二無水物、6−メチル−トリシクロ(6,
2,2,02,7 )−ドデカ−6,11−ジエン−3,
4,9,10−テトラカルボン酸二無水物等が例示され
る。これらテトラカルボン酸二無水物は、単独あるいは
2種以上混合して使用される。
【0012】本発明のポリイミドの製造方法としては、
ポリイミドを製造可能な方法ならいかなる方法でも適用
可能であるが、中でも、ジアミノ化合物とテトラカルボ
ン酸二無水物を適当な溶媒中反応させてポリイミド前駆
体であるポリアミド酸溶液を得た後、溶液中、もしくは
適当な基板上に溶液をキャストした後、熱的あるいは化
学的に閉環させる方法が好ましい。ジアミノ化合物とテ
トラカルボン酸二無水物のモル比は1/0.5から1/
2の範囲から選ばれ、高分子量体を得たい場合には1/
1に近いモル比で反応が行われる。また分子量を制御す
るために、芳香族モノアミンや芳香族ジカルボン酸無水
物を添加して、末端を非反応性にする方法も用いること
ができる。
ポリイミドを製造可能な方法ならいかなる方法でも適用
可能であるが、中でも、ジアミノ化合物とテトラカルボ
ン酸二無水物を適当な溶媒中反応させてポリイミド前駆
体であるポリアミド酸溶液を得た後、溶液中、もしくは
適当な基板上に溶液をキャストした後、熱的あるいは化
学的に閉環させる方法が好ましい。ジアミノ化合物とテ
トラカルボン酸二無水物のモル比は1/0.5から1/
2の範囲から選ばれ、高分子量体を得たい場合には1/
1に近いモル比で反応が行われる。また分子量を制御す
るために、芳香族モノアミンや芳香族ジカルボン酸無水
物を添加して、末端を非反応性にする方法も用いること
ができる。
【0013】ポリアミド酸およびポリイミドの合成に使
用される溶媒は、上記のジアミノ化合物およびテトラカ
ルボン酸二無水物を溶解させることのできるものであれ
ば如何なるものも適用可能であるが、代表例としては、
以下のものが挙げられる。N−メチル−2−ピロリドン
(以下、NMPと略す)、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチル
ホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−ε
−カプロラクタム、γ−ブチロラクトン、1,3−ジメ
チル−2−イミダゾリジノン、テトラメチル尿素、ヘキ
サメチルホスホルアミド、m−クレゾール、p−クレゾ
ール、o−クレゾール、キシレノール、ピリジン、1,
2−ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン、1,4−
ジオキサン、ジグライム等が例示される。これらの溶媒
は、単独あるいは2種以上混合して使用しても良い。濃
度は、ジアミノ化合物とテトラカルボン酸二無水物の重
量の和で1〜50重量%、好ましくは5〜20重量%程
度となるように調製する。また、イミド化時の共沸脱水
溶媒として、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キ
シレン、メシチレン、クロロベンゼン、N−シクロヘキ
シル−2−ピロリドン等を添加することも可能である。
用される溶媒は、上記のジアミノ化合物およびテトラカ
ルボン酸二無水物を溶解させることのできるものであれ
ば如何なるものも適用可能であるが、代表例としては、
以下のものが挙げられる。N−メチル−2−ピロリドン
(以下、NMPと略す)、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチル
ホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−ε
−カプロラクタム、γ−ブチロラクトン、1,3−ジメ
チル−2−イミダゾリジノン、テトラメチル尿素、ヘキ
サメチルホスホルアミド、m−クレゾール、p−クレゾ
ール、o−クレゾール、キシレノール、ピリジン、1,
2−ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン、1,4−
ジオキサン、ジグライム等が例示される。これらの溶媒
は、単独あるいは2種以上混合して使用しても良い。濃
度は、ジアミノ化合物とテトラカルボン酸二無水物の重
量の和で1〜50重量%、好ましくは5〜20重量%程
度となるように調製する。また、イミド化時の共沸脱水
溶媒として、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キ
シレン、メシチレン、クロロベンゼン、N−シクロヘキ
シル−2−ピロリドン等を添加することも可能である。
【0014】ポリアミド酸合成の反応温度は通常250
℃以下、好ましくは60℃以下である。反応圧力は特に
限定されず、常圧で十分実施できる。反応時間は用いる
ジアミンおよび酸無水物の種類、溶媒、反応温度により
異なるが、通常10分〜24時間である。得られたポリ
アミド酸をさらに100〜400℃に加熱してイミド化
するか、または触媒の存在下無水酢酸等の脱水剤を用い
て化学的に閉環することにより、ポリイミドが得られ
る。
℃以下、好ましくは60℃以下である。反応圧力は特に
限定されず、常圧で十分実施できる。反応時間は用いる
ジアミンおよび酸無水物の種類、溶媒、反応温度により
異なるが、通常10分〜24時間である。得られたポリ
アミド酸をさらに100〜400℃に加熱してイミド化
するか、または触媒の存在下無水酢酸等の脱水剤を用い
て化学的に閉環することにより、ポリイミドが得られ
る。
【0015】ポリイミドは、溶液中で得た場合、溶液を
濃縮するか、あるいは貧溶媒に注いで沈澱させて粉末と
して得ることができる。また、基板上に溶液をキャスト
した場合には、フィルムの形状で得られる。
濃縮するか、あるいは貧溶媒に注いで沈澱させて粉末と
して得ることができる。また、基板上に溶液をキャスト
した場合には、フィルムの形状で得られる。
【0016】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例により具体
的に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限される
ものではない。尚、本実施例および比較例にて用いた測
定方法および装置は次の通りである。 赤外吸収スペクトル:日本分光工業製 IR−700装
置を使用して、粉末はKBr法、フィルムはそのままで
測定した。 溶解性:各溶媒に対し10%の樹脂の溶解性を室温時お
よび加熱時(150℃)について測定した。 熱分析:セイコー電子工業社製 SSC−5200Hシ
ステムを用いた。 熱天秤;TG/DTA220装置を用い、10℃/min. 、
30〜600 ℃、N2雰囲気下熱分解温度(Td)を測定し
た。 示差走査熱量計;DSC220C装置を用い、10℃/mi
n. 、30〜400 ℃、N2雰囲気下ガラス転移温度(Tg)
を測定した。 誘電率、誘電正接:横河ヒューレットパッカード社製
LCRメーター4275A装置を用い、金電極をサンプ
ル両面に蒸着し、1MHzにて測定した。
的に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限される
ものではない。尚、本実施例および比較例にて用いた測
定方法および装置は次の通りである。 赤外吸収スペクトル:日本分光工業製 IR−700装
置を使用して、粉末はKBr法、フィルムはそのままで
測定した。 溶解性:各溶媒に対し10%の樹脂の溶解性を室温時お
よび加熱時(150℃)について測定した。 熱分析:セイコー電子工業社製 SSC−5200Hシ
ステムを用いた。 熱天秤;TG/DTA220装置を用い、10℃/min. 、
30〜600 ℃、N2雰囲気下熱分解温度(Td)を測定し
た。 示差走査熱量計;DSC220C装置を用い、10℃/mi
n. 、30〜400 ℃、N2雰囲気下ガラス転移温度(Tg)
を測定した。 誘電率、誘電正接:横河ヒューレットパッカード社製
LCRメーター4275A装置を用い、金電極をサンプ
ル両面に蒸着し、1MHzにて測定した。
【0017】実施例1 窒素ガス導入管、温度計、撹拌装置を備えた100ml
4つ口フラスコに、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕メンタン5.06g(0.01mol)
とNMP46.2gを仕込み溶解させたところへ、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物3.10g(0.01
mol)を仕込み、窒素気流下室温で3時間撹拌してポ
リアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液を一部取り分
けた後、190℃まで昇温し、窒素気流下5時間撹拌し
た(生成した水は窒素と共に系外へ除かれる)。反応溶
液を激しく撹拌しているメタノール中に注ぎ入れ樹脂を
析出させて濾取し、これを減圧下150℃で一晩乾燥さ
せて、ポリイミド粉末を得た。
4つ口フラスコに、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕メンタン5.06g(0.01mol)
とNMP46.2gを仕込み溶解させたところへ、4,
4’−オキシジフタル酸二無水物3.10g(0.01
mol)を仕込み、窒素気流下室温で3時間撹拌してポ
リアミド酸溶液を得た。ポリアミド酸溶液を一部取り分
けた後、190℃まで昇温し、窒素気流下5時間撹拌し
た(生成した水は窒素と共に系外へ除かれる)。反応溶
液を激しく撹拌しているメタノール中に注ぎ入れ樹脂を
析出させて濾取し、これを減圧下150℃で一晩乾燥さ
せて、ポリイミド粉末を得た。
【0018】実施例2 実施例1にて取り分けたポリアミド酸溶液を、ガラス板
上にキャストして減圧下100℃で一晩乾燥させた後、
減圧下200℃で1時間、さらに通風条件下250℃で
1時間加熱して、ポリイミドフィルムを得た。
上にキャストして減圧下100℃で一晩乾燥させた後、
減圧下200℃で1時間、さらに通風条件下250℃で
1時間加熱して、ポリイミドフィルムを得た。
【0019】実施例3 窒素ガス導入管、温度計、撹拌装置を備えた100ml
4つ口フラスコに、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)−3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン
5.58g(0.01mol)とNMP49.2gを仕
込み溶解させたところへ、4,4’−オキシジフタル酸
二無水物3.10g(0.01mol)を仕込み、窒素
気流下室温で3時間撹拌してポリアミド酸溶液を得た。
ポリアミド酸溶液を一部取り分けた後、NMP28.9
gを加えて希釈して190℃まで昇温し、窒素気流下5
時間撹拌した(生成した水は窒素と共に系外へ除かれ
る)。反応溶液を激しく撹拌しているメタノール中に注
ぎ入れ樹脂を析出させて濾取し、これを減圧下150℃
で一晩乾燥させて、ポリイミド粉末を得た。
4つ口フラスコに、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)−3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン
5.58g(0.01mol)とNMP49.2gを仕
込み溶解させたところへ、4,4’−オキシジフタル酸
二無水物3.10g(0.01mol)を仕込み、窒素
気流下室温で3時間撹拌してポリアミド酸溶液を得た。
ポリアミド酸溶液を一部取り分けた後、NMP28.9
gを加えて希釈して190℃まで昇温し、窒素気流下5
時間撹拌した(生成した水は窒素と共に系外へ除かれ
る)。反応溶液を激しく撹拌しているメタノール中に注
ぎ入れ樹脂を析出させて濾取し、これを減圧下150℃
で一晩乾燥させて、ポリイミド粉末を得た。
【0020】実施例4 実施例3にて取り分けたポリアミド酸溶液を、ガラス板
上にキャストして減圧下100℃で一晩乾燥させた後、
減圧下200℃で1時間、さらに通風条件下250℃で
1時間加熱して、ポリイミドフィルムを得た。
上にキャストして減圧下100℃で一晩乾燥させた後、
減圧下200℃で1時間、さらに通風条件下250℃で
1時間加熱して、ポリイミドフィルムを得た。
【0021】実施例5 実施例1と同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル〕メンタン5.06g(0.01mo
l)とNMP49.0gを仕込み溶解させたところへ、
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物3.58g(0.01mol)を仕込み、
ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得た。
キシ)フェニル〕メンタン5.06g(0.01mo
l)とNMP49.0gを仕込み溶解させたところへ、
3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物3.58g(0.01mol)を仕込み、
ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得た。
【0022】実施例6 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP174.0gを仕込み溶
解させたところへ、3,3’,4,4’−ジフェニルス
ルホンテトラカルボン酸二無水物3.58g(0.01
mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉
末を得た。
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP174.0gを仕込み溶
解させたところへ、3,3’,4,4’−ジフェニルス
ルホンテトラカルボン酸二無水物3.58g(0.01
mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉
末を得た。
【0023】実施例7 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
72.0gを仕込み溶解させたところへ、3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物2.9
4g(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経
て、ポリイミド粉末を得た。
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
72.0gを仕込み溶解させたところへ、3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物2.9
4g(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経
て、ポリイミド粉末を得た。
【0024】実施例8 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP161.9gを仕込み溶
解させたところへ、3,3’,4,4’−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物2.94g(0.01mol)
を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得
た。
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP161.9gを仕込み溶
解させたところへ、3,3’,4,4’−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物2.94g(0.01mol)
を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得
た。
【0025】実施例9 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
74.5gを仕込み溶解させたところへ、3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
3.22g(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸
を経て、ポリイミド粉末を得た。
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
74.5gを仕込み溶解させたところへ、3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
3.22g(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸
を経て、ポリイミド粉末を得た。
【0026】実施例10 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とm−クレゾール167.2gを
仕込み溶解させたところへ、3,3’,4,4’−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物3.22g(0.
01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミ
ド粉末を得た。
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とm−クレゾール167.2gを
仕込み溶解させたところへ、3,3’,4,4’−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物3.22g(0.
01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミ
ド粉末を得た。
【0027】実施例11 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
65.2gを仕込み溶解させたところへ、ピロメリット
酸二無水物2.18g(0.01mol)を仕込み、ポ
リアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得た。
ニル〕メンタン5.06g(0.01mol)とNMP
65.2gを仕込み溶解させたところへ、ピロメリット
酸二無水物2.18g(0.01mol)を仕込み、ポ
リアミド酸を経て、ポリイミド粉末を得た。
【0028】実施例12 同様にして、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)−
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP147.4gを仕込み溶
解させたところへ、ピロメリット酸二無水物2.18g
(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポ
リイミド粉末を得た。
3,5−ジメチルフェニル〕ジシクロペンタン5.58
g(0.01mol)とNMP147.4gを仕込み溶
解させたところへ、ピロメリット酸二無水物2.18g
(0.01mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポ
リイミド粉末を得た。
【0029】比較例1 実施例1と同様にして、2,2−ビス〔4−(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン5.
18g(0.01mol)とNMP78.8gを仕込み
溶解させたところへ、3,3’,4,4’−ジフェニル
スルホンテトラカルボン酸二無水物3.58g(0.0
1mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド
粉末を得た。
ノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン5.
18g(0.01mol)とNMP78.8gを仕込み
溶解させたところへ、3,3’,4,4’−ジフェニル
スルホンテトラカルボン酸二無水物3.58g(0.0
1mol)を仕込み、ポリアミド酸を経て、ポリイミド
粉末を得た。
【0030】比較例2 同様にして、ビス(4−アミノフェニル)エーテル2.
00g(0.01mol)とNMP23.7gを仕込み
溶解させたところへ、ピロメリット酸二無水物2.18
g(0.01mol)を仕込み、得られたポリアミド酸
溶液を、ガラス板上にキャストして減圧下100℃で一
晩乾燥させた後、減圧下200℃で1時間、さらに通風
条件下300℃で1時間加熱して、ポリイミドフィルム
を得た。
00g(0.01mol)とNMP23.7gを仕込み
溶解させたところへ、ピロメリット酸二無水物2.18
g(0.01mol)を仕込み、得られたポリアミド酸
溶液を、ガラス板上にキャストして減圧下100℃で一
晩乾燥させた後、減圧下200℃で1時間、さらに通風
条件下300℃で1時間加熱して、ポリイミドフィルム
を得た。
【0031】上記の実施例1〜12および比較例1、2
にて得られたポリイミド粉末およびフィルムの赤外吸収
スペクトルの測定結果を図1〜14に示す。それぞれ、
5員環イミド基の特性吸収帯である1720cm-1およ
び1780cm-1付近の吸収が認められた。
にて得られたポリイミド粉末およびフィルムの赤外吸収
スペクトルの測定結果を図1〜14に示す。それぞれ、
5員環イミド基の特性吸収帯である1720cm-1およ
び1780cm-1付近の吸収が認められた。
【0032】表1に実施例1〜12および比較例1、2
のポリイミドの各種溶媒に対する溶解性の測定結果を示
す。
のポリイミドの各種溶媒に対する溶解性の測定結果を示
す。
【0033】
【表1】
【0034】実施例1、3、5〜12および比較例1に
て得られたポリイミド粉末について、300℃、50kg
/cm2の条件にて直径約1.8cm、厚さ約1mmのペレット
を圧縮成形した。これらのペレットを用いて熱的特性お
よび電気的特性を測定した結果を表2に示す。あわせ
て、比較例2にて得られたポリイミドフィルムの両特性
の測定結果を示す。これらの測定結果より、本発明にお
けるポリイミドは低誘電性と各種溶媒に対する優れた溶
解性を兼ね備えていることがわかる。
て得られたポリイミド粉末について、300℃、50kg
/cm2の条件にて直径約1.8cm、厚さ約1mmのペレット
を圧縮成形した。これらのペレットを用いて熱的特性お
よび電気的特性を測定した結果を表2に示す。あわせ
て、比較例2にて得られたポリイミドフィルムの両特性
の測定結果を示す。これらの測定結果より、本発明にお
けるポリイミドは低誘電性と各種溶媒に対する優れた溶
解性を兼ね備えていることがわかる。
【0035】
【表2】
【0036】
【発明の効果】以上のように、一般に従来のポリイミド
は有機溶媒への溶解性が低いのに対し、本発明における
ポリイミドは、優れた溶解性を有するのと同時に、低誘
電性をも有している。
は有機溶媒への溶解性が低いのに対し、本発明における
ポリイミドは、優れた溶解性を有するのと同時に、低誘
電性をも有している。
【図1】本発明の実施例1のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図2】本発明の実施例2のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図3】本発明の実施例3のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図4】本発明の実施例4のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図5】本発明の実施例5のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図6】本発明の実施例6のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図7】本発明の実施例7のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図8】本発明の実施例8のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図9】本発明の実施例9のポリイミドの赤外吸収スペ
クトルを示すものである。
クトルを示すものである。
【図10】本発明の実施例10のポリイミドの赤外吸収
スペクトルを示すものである。
スペクトルを示すものである。
【図11】本発明の実施例11のポリイミドの赤外吸収
スペクトルを示すものである。
スペクトルを示すものである。
【図12】本発明の実施例12のポリイミドの赤外吸収
スペクトルを示すものである。
スペクトルを示すものである。
【図13】本発明の比較例1のポリイミドの赤外吸収ス
ペクトルを示すものである。
ペクトルを示すものである。
【図14】本発明の比較例2のポリイミドの赤外吸収ス
ペクトルを示すものである。
ペクトルを示すものである。
Claims (4)
- 【請求項1】一般式(1) 【化1】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。またXは炭素数2以上の4価
の有機基を表す。)で表されるポリイミド。 - 【請求項2】一般式(1)において、Qが式(a)、
(b)もしくは式(c) 【化2】 で表されるものである請求項1記載のポリイミド。 - 【請求項3】一般式(1)において、Qが請求項2で示
した式(a)、(b)もしくは式(c)で表される基で
あり、一般式(1)中のエーテル酸素原子の置換位置に
対するイミド基のそれがパラ位である請求項2記載のポ
リイミド。 - 【請求項4】一般式(2) 【化3】 (式中、Qは脂環構造を含む炭素数5〜20の炭化水素
基を表す。R1 〜R4、Ri 、Rj はそれぞれハロゲン
原子、炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数1〜6の
含ハロゲン炭化水素基を表し、a、b、c、d、e、f
はそれぞれ0以上4以下の整数でa+b≦4、c+d≦
4、e+f≦4を満たす。)で表される芳香族ジアミノ
化合物と、一般式(3) 【化4】 (式中、Xは炭素数2以上の4価の有機基を表す。)で
表されるテトラカルボン酸二無水物を、有機溶媒中で反
応させた後、得られるポリアミド酸を熱的または化学的
にイミド化することを特徴とするポリイミドの製造方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17148993A JPH0726017A (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | ポリイミドおよびその製法 |
| EP94110007A EP0633282A1 (en) | 1993-07-09 | 1994-06-28 | Polyimide and process for producing the same |
| US08/269,390 US5489669A (en) | 1993-07-09 | 1994-06-30 | Polyimide and process for producing the same |
| KR1019940016501A KR960014212A (ko) | 1993-07-09 | 1994-07-08 | 폴리이미드 및 그의 제조법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17148993A JPH0726017A (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | ポリイミドおよびその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0726017A true JPH0726017A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15924049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17148993A Pending JPH0726017A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-12 | ポリイミドおよびその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0726017A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004026850A (ja) * | 2002-05-08 | 2004-01-29 | Jsr Corp | ポリイミド、ポリアミック酸および層間絶縁膜 |
-
1993
- 1993-07-12 JP JP17148993A patent/JPH0726017A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004026850A (ja) * | 2002-05-08 | 2004-01-29 | Jsr Corp | ポリイミド、ポリアミック酸および層間絶縁膜 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105315665B (zh) | 聚酰亚胺前体组合物、制备聚酰亚胺前体的方法、聚酰亚胺成形体及其制备方法 | |
| KR102190722B1 (ko) | 폴리이미드 전구체, 및 폴리이미드 | |
| JP4998040B2 (ja) | ポリアミック酸のイミド化重合体絶縁膜および膜形成組成物とその製造方法 | |
| Zhou et al. | Soluble fluorinated polyimides derived from 1, 4‐(4′‐aminophenoxy)‐2‐(3′‐trifluoromethylphenyl) benzene and aromatic dianhydrides | |
| CN105295374B (zh) | 聚酰亚胺前体组合物、制备聚酰亚胺前体的方法、聚酰亚胺成形体及其制备方法 | |
| JPH08120075A (ja) | コポリイミドの製造法 | |
| US5286840A (en) | Thermally stable polyimide and preparation process of polyimide | |
| KR101259544B1 (ko) | 폴리이미드 필름 | |
| KR101259543B1 (ko) | 열안정성이 우수한 폴리이미드 필름 | |
| JP4423705B2 (ja) | 低誘電率重合体 | |
| JPH0726017A (ja) | ポリイミドおよびその製法 | |
| US5489669A (en) | Polyimide and process for producing the same | |
| JPH07292104A (ja) | シロキサン変性ポリイミドとその製造方法 | |
| JPH0726016A (ja) | ポリイミドおよびその製造法 | |
| JP2000053767A (ja) | 可溶性ポリイミドおよびその製造方法 | |
| JPH0562893B2 (ja) | ||
| JP2001181390A (ja) | ポリアミック酸、ポリイミドおよび絶縁膜形成用材料 | |
| JP3646947B2 (ja) | ポリイミド樹脂 | |
| JP3578545B2 (ja) | 可溶性ポリイミド樹脂 | |
| JPH10231426A (ja) | ポリイミド樹脂組成物 | |
| JPH10298285A (ja) | ポリアミック酸およびポリイミド | |
| JPH05320339A (ja) | 熱安定性良好なポリイミドおよびその製造方法 | |
| JP3093061B2 (ja) | 可溶性ポリイミド樹脂 | |
| Wu et al. | Synthesis and characterization of organo-soluble fluorinated polyimides from 4, 4′-bis (3-amino-5-trifluoromethylphenoxy)-biphenyl and various aromatic dianhydrides | |
| JP2740075B2 (ja) | 可溶性ポリイミド樹脂 |