JPH07295484A - 薄膜elディスプレイ - Google Patents

薄膜elディスプレイ

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JPH07295484A
JPH07295484A JP6086838A JP8683894A JPH07295484A JP H07295484 A JPH07295484 A JP H07295484A JP 6086838 A JP6086838 A JP 6086838A JP 8683894 A JP8683894 A JP 8683894A JP H07295484 A JPH07295484 A JP H07295484A
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JP
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thin film
panels
panel
electrodes
film
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JP6086838A
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English (en)
Inventor
Megumi Moriya
恩美 守屋
Ikuo Fujisawa
郁夫 藤沢
Kaname Iga
要 伊賀
Takayuki Hiyoshi
隆之 日吉
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TEC CORP
Original Assignee
TEC CORP
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Abstract

(57)【要約】 【目的】隣接する薄膜ELパネルの電極間の距離を短く
して連設部での表示画素の間隔を小さくし、連設部にお
ける表示画素の間隔と同一パネル内の隣接表示画素の間
隔を等しくし、また隣接するパネルの電極間の接続を容
易にする。 【構成】ガラス基板21上に、間にEL発光層24を介
して複数の透明電極22と複数の上部電極26をマトリ
ックス状に配置して薄膜発光構造を形成した薄膜ELパ
ネル201,202を連設すると共に、一面側に各薄膜
ELパネルの対応する上部電極間を接続するための複数
の帯状導電体29を形成したカバーガラス基板27で各
薄膜ELパネルの上を覆うことにより、各帯状導電体が
各薄膜ELパネルの対応する上部電極間を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電界の印加によりEL
発光する薄膜発光構造を形成した薄膜ELパネルを複数
連設してなる薄膜ELディスプレイに関する。
【0002】
【従来の技術】発光パネルの一種である薄膜EL(Elec
tro Luminescent )パネルは、透光性の絶縁基板の表面
に、下部電極層、下部誘電体層、マンガンなどの活性元
素を含む硫化亜鉛等からなる薄膜状の活性層、上部誘電
体層、上部電極層を順次積層した構成になっている。そ
して下部電極と上部電極を交流電源に接続することで薄
膜EL素子を発光動作している。
【0003】このような薄膜ELパネルは、電界腐食や
雰囲気による経時的な劣化等を防止するため、ガラスか
らなる筐体で素子内部が密閉構造になるようにオイルや
固体樹脂を使用して封止している。
【0004】薄膜ELパネルは発光面積を任意に選定で
きる面発光源であり、最近では照明や指示表示パネル等
に使用することから発光領域の面積が広いものが要望さ
れている。
【0005】しかし薄膜ELパネルは発光領域の大面積
化を図ると、活性層や誘電体層を全領域にわたって均一
な膜厚に形成することが困難なことから、発光領域内に
輝度むらが発生するという問題がある。
【0006】このようなことから比較的小面積の発光領
域からなる薄膜ELパネルを複数連設して全体として発
光領域の広いディスプレイを構成するものが知られてい
る。
【0007】例えば実開平4−105496号公報には
有機厚膜分散型ELの連設技術が開示されている。
【0008】これは図15に示すように、透光性基板1
の表面に透明電極2、蛍光体層3、誘電体層4、対向電
極5を順次形成し、かつ透明電極2の上に補助電極6を
付設し、外形切断加工で図中鎖線で示す部分を除去する
ことにより、側端面に透明電極2と蛍光体層3及び誘電
体層4からなる発光体層を露出して1つのELパネル7
を形成する。
【0009】このELパネル7を図14に示すように、
側端面同士を突き合わせて配置し、絶縁フィルムや金属
箔の片面に導電性接着剤や導電性粘着剤を塗布形成して
なる帯状導電体8を用いて隣接するELパネル7の対向
電極5同士並びに補助電極6同士をそれぞれ接続する。
そして各ELパネル7の対向電極5及び帯状導電体8を
吸湿剤9及び封止フィルム10で覆うと共に、各ELパ
ネル7の透光性基板1を透光性の封止フィルム11で覆
って密封する。
【0010】このように複数のELパネル7を使用して
発光領域の広いELディスプレイを構成している。
【0011】しかしこの有機厚膜分散型ELの連設技術
を薄膜ELの連設にそのまま適用したのでは、封止が不
十分となり、寿命が短くなる。
【0012】そこで薄膜ELの連設ではガラス等からな
る筐体で薄膜ELパネル内部が密閉構造になるようにオ
イルや固体樹脂等を用いて封止している。
【0013】薄膜ELパネルは図16に示すように、ガ
ラス基板12の表面に透明電極13、下部絶縁層、EL
発光層、上部絶縁層の層14、上部電極15を順次薄膜
形成し、その上をカバーガラス16で覆って形成してい
る。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】このような構成の薄膜
ELパネルを複数連設する場合、パネルの連設部におい
て透明電極13の電極間の間隔が広くなるため、透明電
極13と上部電極15とのクロス点である表示画素の間
隔が隣接したパネルの表示画素間において広くなり、例
えば文字を複数の薄膜ELパネルを連設したディスプレ
イでスクロール表示するような場合、連設部で文字が跡
切れてしまい表示品位が低下するという問題があった。
【0015】そこで薄膜ELパネルの透明電極13から
パネル端部までの距離を短くし、連設部における表示画
素の間隔と同一パネル内の隣接表示画素の間隔を等しく
しようとすると、隣接する薄膜ELパネルの透明電極1
3からパネル端部までの距離が短くなり過ぎて従来の絶
縁フィルムや金属箔の片面に導電性接着剤や導電性粘着
剤を塗布形成してなる帯状導電体では接続が困難となる
問題があった。
【0016】そこで本発明は、隣接する薄膜ELパネル
の電極間の距離を短くでき、従って薄膜ELパネルの連
設部での表示画素の間隔を充分に小さくでき、また連設
部における表示画素の間隔と同一パネル内の隣接表示画
素の間隔を等しくすることができ、しかも隣接する薄膜
ELパネルの電極間の接続が容易にできる薄膜ELディ
スプレイを提供する。
【0017】また、本発明は、各薄膜ELパネルの密閉
が確実にできる薄膜ELディスプレイを提供する。
【0018】
【課題を解決するための手段】請求項1対応の発明は、
透光性の第1の絶縁性基板上に複数の下部電極を配置
し、この各下部電極の上にEL発光層を介して複数の上
部電極をマトリックス状に配置して薄膜発光構造を形成
した薄膜ELパネルを複数連設すると共に、一面側に各
薄膜ELパネルの対応する上部電極間を接続するための
複数の帯状導電体を形成した第2の絶縁性基板を用意
し、その第2の絶縁性基板で各薄膜ELパネルの上を覆
うことにより、各帯状導電体が各薄膜ELパネルの対応
する電極間を接続したものである。
【0019】請求項2対応の発明は、請求項1記載の発
明において、第2の絶縁性基板を1枚の基板で構成し、
その基板で各薄膜ELパネルの上を覆って一体化したも
のである。
【0020】請求項3対応の発明は、透光性の第1の絶
縁性基板上に複数の下部電極を配置し、この各下部電極
の上にEL発光層を介して複数の上部電極をマトリック
ス状に配置して薄膜発光構造を形成した薄膜ELパネル
を複数連設すると共に、一面側に各薄膜ELパネルの対
応する上部電極間を接続するための複数の帯状導電体を
形成した第2の絶縁性基板を用意し、その第2の絶縁性
基板で各薄膜ELパネルの上を覆うことにより、各帯状
導電体が各薄膜ELパネルの対応する電極間を接続し、
各絶縁性基板間に絶縁性樹脂を充填して硬化させたもの
である。
【0021】
【作用】このような構成の発明においては、複数の帯状
導電体を形成した第2の絶縁性基板で各薄膜ELパネル
の上を覆うことで、各帯状導電体が各薄膜ELパネルの
対応する電極間を接続することになる。
【0022】また、各薄膜ELパネルの絶縁性基板間は
絶縁性樹脂により密閉される。
【0023】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。
【0024】図1は2個の薄膜ELパネル201,20
2を連設してなるEL薄膜ディスプレイの斜視図、図2
はそのEL薄膜ディスプレイの連設部の部分断面図であ
る。
【0025】前記薄膜ELパネル201,202は、図
3に示す工程により作成する。先ず図3の(a) に示すよ
うに、透光性の第1の絶縁性基板であるガラス基板21
を良く洗浄した後、蒸着装置によりITO(indium tin
oxide)からなる透明導電膜を1000オングストロー
ムの厚さに成膜し、これを図4に示すようなストライプ
平行配列になるようにエッチング等を行って下部電極で
ある透明電極22を形成する。
【0026】続いて図3の(b) に示すように、rfスパ
ッタリングにより下部絶縁膜を成膜して下部絶縁層23
を形成する。この下部絶縁層23は例えばSi−Nを2
500オングストロームの厚さに成膜し、さらにその上
にSiO2 を500オングストロームの厚さに成膜して
形成する。
【0027】なお、絶縁膜としては他に、Y2 3 、A
2 3 、Si3 4 、又これら絶縁材の複合膜等があ
り、加工プロセスや必要な誘電率等により選択する。ま
た、成膜方法としては、CVDやEB蒸着などがある。
【0028】続いて図3の(c) に示すように、ZnS:
Mn(Mn濃度0.4wt%)をEB蒸着装置で約50
00〜10000オングストロームの厚さに成膜してE
L発光層24を形成する。
【0029】なお、成膜方法としてはEB蒸着の他、ス
パッタ法、CVD、ホットウォールエピタキシ、分子線
エピタキシなどの方法がある。
【0030】また、EL発光層24としては、ZnS:
Mnの他、ZnSe,SrSなど発光する光のエネルギ
ーより大きなエネルギーギャップを有する材料に発光中
心となる、TbF3 ,ErF3 ,TmF3 ,DyF3
HoF3 ,SmF3 特性を示すものであればどの組み合
わせでも可能である。
【0031】続いて図3の(d) に示すように、rfスパ
ッタリングにより上部絶縁膜を成膜して上部絶縁層25
を形成する。この上部絶縁層25は下部絶縁層23と同
様Si−Nを2500オングストロームの厚さに成膜
し、さらにその上にSiO2 を500オングストローム
の厚さに成膜して形成する。
【0032】そして最後に図3の(e) に示すように、A
lを成膜し、かつ前記透明電極22に対してストライプ
状で直交するようにパターニングして上部電極26を形
成する。すなわち、前記上部電極26と透明電極22と
は間に下部絶縁層23、EL発光層24及び上部絶縁層
25を介してマトリックス状に配置されることになる。
【0033】こうして図5に示すような薄膜発光構造を
形成した薄膜ELパネル20が構成される。すなわち、
ガラス基板21に形成した透明電極22は一端側におい
ては基板21の先端から少し離れた位置に形成される
が、他端側においては基板21の先端に近接した位置に
形成されている。
【0034】そして図7に示すように2つの薄膜ELパ
ネル201,202を用意し、透明電極22あるいは上
部電極26、例えば上部電極26同士を治工具で位置合
わせして突き合わせる。このとき各薄膜ELパネル20
1,202は透明電極22が基板21の先端に近接した
側をそれぞれ突き合わせる。これにより各薄膜ELパネ
ル201,202の連設部における隣り合う透明電極2
2の間隔が他の透明電極22の間隔と一致することにな
る。
【0035】そして図8に示すように、2つの薄膜EL
パネル201,202をまとめて覆う第2の絶縁性基板
である1枚のカバーガラス基板27を薄膜ELパネル2
01,202の上に載せる。なお、薄膜ELパネル20
2の外側となる端部にはスペーサ28を介挿する。又、
図示しないがパネル面積により所定箇所にスペーサ28
をさらに介挿する。スペーサ28としてはポリイミドを
使用する。
【0036】前記カバーガラス基板27は、その一面
側、すなわち薄膜ELパネル201,202と接する側
に複数の帯状導電体29を形成している。この各帯状導
電体29は、カバーガラス基板27を薄膜ELパネル2
01,202の所定位置に載せたとき薄膜ELパネル2
01の上部電極26と薄膜ELパネル202の上部電極
26の上に位置するように形成している。
【0037】前記帯状導電体29は導電性接着剤や導電
性粘着剤などからなり、図6に示すようにスクリーン印
刷によりパターニングして形成している。なお、図中3
1はスキージ、32はスクリーン、33は帯状導電体2
9となる材料である。
【0038】前記カバーガラス基板27は、膨脹係数な
どELに発生する応力や光の波長領域を考慮して前記ガ
ラス基板21と同一の種類、同一の厚さのものを使用し
ている。例えば、厚さ1.1mmのコーニング7059を
使用する。
【0039】前記カバーガラス基板27は治工具で位置
合わせして薄膜ELパネル201,202の所定位置に
載せる。そのときにエポキシ樹脂等の封入樹脂よりも粘
度の高い、塗布し易い、かつ防湿性の高い接着剤をカバ
ーガラス基板27の周囲に所定量を供給装置を使用して
塗布して加圧固定する。
【0040】そして2つのガラス基板21,27の隙間
からスポイト等で光硬化型接着剤を浸透させる。光硬化
型接着剤としては、例えばアクリル系の可視光硬化型接
着剤で低粘度のものを使用する。
【0041】なお、可視光硬化型接着剤の他、紫外線硬
化型ものやオレフィン系など高粘度の光硬化型接着剤を
使用してもよい。
【0042】可視光硬化型接着剤を浸透させた後、減圧
容器内で接着層内の脱泡及びカバーガラス基板27とE
Lパネル201,202の周辺及びELパネル201,
202間にまで充分に接着剤が浸透するようにしてから
硬化させる。
【0043】このように2つの薄膜ELパネル201,
202を連設する場合に、各薄膜ELパネル201,2
02の透明電極22が基板21の先端に近接した側をそ
れぞれ突き合わせて連設するので、各薄膜ELパネル2
01,202の連設部における隣り合う透明電極22の
間隔が他の透明電極22の間隔と一致することになる。
従って、2つの薄膜ELパネル201,202を連設し
て1つのELディスプレイを構成した場合に、薄膜EL
パネル201,202の連設部で表示画素の間隔が他の
表示画素の間隔に比べて広くなることはない。
【0044】従って、文字をスクロール表示する場合に
も連設部で文字が跡切れることはなく表示品位を確保で
きる。
【0045】また、2つの薄膜ELパネル201,20
2を連設した後、その上に一面側に予め複数の帯状導電
体29を形成したカバーガラス基板27を載置して加圧
固定することにより、各帯状導電体29が連設部の隣接
する上部電極26間を接続する構成にしているので、連
設部の隣接する上部電極26間の距離が短くても上部電
極26間を容易にかつ確実に接続することができる。
【0046】また、2つの薄膜ELパネル201,20
2の上を1枚のカバーガラス基板27で覆って封入する
ので密閉性がよく、しかも内部に樹脂を充填しかつカバ
ーガラス基板27の周囲に封入樹脂よりも粘度の高い、
塗布し易い、かつ防湿性の高い接着剤を塗布して加圧固
定しているので、湿気等の侵入を確実に防ぐことができ
長寿命化を図ることができる。
【0047】次に本発明の他の実施例を図面を参照して
説明する。なお、前記実施例と同一の部分には同一の符
号を付して詳細な説明は省略する。
【0048】図9の(a) に示すように、カバーガラス基
板27の一面側に球形ガラスビーズ粉末38を混入した
帯状導電体39を図6に示すスクリーン印刷法を使用し
て形成する。前記帯状導電体39としては、例えばニッ
ケル、銀又は高導電性の金属微粒子を溶媒又は接着成分
を有する樹脂又は粘着材の中に球径が3〜100μmの
球形ガラスビーズ粉末38を分散混入したものを使用し
ている。
【0049】そして前記帯状導電体39が硬化する前
に、2つの薄膜ELパネル201,202を突き合わ
せ、図9の(b) に示すようにカバーガラス基板27の一
面側を薄膜ELパネル201,202に向けて載置す
る。
【0050】そしてカバーガラス基板27を加圧治工具
で加圧しながら帯状導電体39を硬化させる。これによ
り図9の(c) に示すように帯状導電体39は押し潰され
るが内部に球形ガラスビーズ粉末38が混入しているの
で、カバーガラス基板27と薄膜ELパネル201,2
02上の上部電極26との間隔が球形ガラスビーズ粉末
38の直径に規制される。また、帯状導電体39の導電
性微粒子が上部電極26に接触又は押し込まれ、各薄膜
ELパネル201,202間の上部電極26は電気的に
接続することになる。
【0051】その後、各薄膜ELパネル201,202
のガラス基板21とカバーガラス基板27との間の隙間
に封入樹脂を浸透させる。これにより封入樹脂はEL発
光層24の上部にも入り込み、帯状導電体39は上部電
極26との接続状態を保持したまま樹脂により固められ
る。
【0052】さらに各薄膜ELパネル201,202の
連設部においては樹脂の浸透のみでは充填が不十分とな
るので、その隙間には例えば注射器等を使用して別途樹
脂を充填する。
【0053】このように帯状導電体39に球形ガラスビ
ーズ粉末38を混入することにより、カバーガラス基板
27と薄膜ELパネル201,202上の上部電極26
との間隔が球形ガラスビーズ粉末38の直径に規制され
るので、その間隔を精度よく均一にすることができる。
【0054】その他については本実施例も前記実施例と
同様の効果が得られるものである。
【0055】なお、カバーガラス基板27の一面側に帯
状導電体39を形成する方法としては、前述したスクリ
ーン印刷法の他、図10に示すように樹脂ディスペンサ
を使用して形成してもよい。
【0056】すなわち、図10の(a) に示すように帯状
導電体39となる導電性接着剤を樹脂ディスペンサ40
に充填し、支持部材41にセットした後、その支持部材
41を一定速度で移動させつつ図10の(b) に示すよう
にカバーガラス基板27の一面側に樹脂ディスペンサ4
0から一定量の導電性接着剤を射出して帯状導電体39
を形成する。
【0057】前記各実施例では2つの薄膜ELパネル2
01,202を連設してELディスプレイを構成する場
合について述べたが必ずしもこれに限定するものではな
い。
【0058】例えば図11は10個の薄膜ELパネル3
01〜310を縦2列、横5列に連設してELディスプ
レイを構成した場合を示している。そして連設した各薄
膜ELパネル301〜310の上に1枚のカバーガラス
基板271を載置している。
【0059】前記カバーガラス基板271には横5列の
上部電極26をそれぞれ接続する帯状導電体291を形
成している。透明電極22は駆動系と接続するためその
電極の引出し部を上下にそれぞれ設け、上部電極26は
コモン電極のためその引出し部を一方の側にのみ設け
る。
【0060】こうして構成されるELディスプレイは表
示画面が比較的大きく、例えば16×16ドットの漢字
表示のみでなく、32×32ドットの大型漢字表示も可
能となる。
【0061】また、図12は20個の薄膜ELパネル4
01〜420を縦4列、横5列に連設してELディスプ
レイを構成した場合を示している。そして連設した各薄
膜ELパネル401〜420の上に1枚のカバーガラス
基板272を載置している。
【0062】前記各薄膜ELパネル401〜420は図
13に示すように、各薄膜ELパネル401〜420の
製造工程において、上部電極26を形成した後に、その
上にさらにパシベーション膜51を成膜する。
【0063】そしてその上に横配列した各薄膜ELパネ
ルの上部電極26間を接続する複数の帯状導電体291
を形成すると共に縦配列した各薄膜ELパネルの透明電
極22間を接続する比較的厚さの厚い複数の帯状導電体
292を形成したカバーガラス基板272を加圧固定す
る。
【0064】前記帯状導電体291は前記実施例同様に
各薄膜ELパネルの上部電極26間に圧着されて両電極
を接続する。また、前記帯状導電体292はその先端部
が各薄膜ELパネルの透明電極22間に圧着されて両電
極を接続する。
【0065】前記カバーガラス基板272に対する帯状
導電体292の形成は、帯状導電体291と同様にスク
リーン印刷法や樹脂ディスペンサを使用する方法により
可能である。
【0066】このようにすることによってさらに大画面
のELディスプレイを構成できる。
【0067】
【発明の効果】以上、本発明によれば、隣接する薄膜E
Lパネルの電極間の距離を短くでき、従って薄膜ELパ
ネルの連設部での表示画素の間隔を充分に小さくでき、
また、連設部における表示画素の間隔と同一パネル内の
隣接表示画素の間隔を等しくできる。これにより文字を
スクロール表示する場合に連設部で文字が跡切れるとい
うことがなく表示品位を確保できる。
【0068】また、各薄膜ELパネルの上を覆う第2の
絶縁性基板に予め帯状導電体を形成し、第2の絶縁性基
板で各薄膜ELパネルを覆ったときに帯状導電体が各薄
膜ELパネルの電極間に圧着して両電極間を接続する構
成にしているので、隣接する薄膜ELパネルの電極間の
接続が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の外観を示す斜視図。
【図2】同実施例の薄膜ELパネルの連設部の構成を示
す部分断面図。
【図3】同実施例の薄膜ELパネルの製造工程を説明す
るための図。
【図4】同実施例の薄膜ELパネルの透明電極のパター
ン例を示す図。
【図5】同実施例の薄膜ELパネルの構成を示す平面
図。
【図6】同実施例のカバーガラス基板に対する帯状導電
体の形成に使用するスクリーン印刷法を示す図。
【図7】同実施例の連設する2つの薄膜ELパネルの斜
視図。
【図8】同実施例の薄膜ELパネルとこのパネルに載置
するカバーガラス基板を示す斜視図。
【図9】本発明の他の実施例において薄膜ELパネルに
カバーガラス基板を載置して密着させるときの工程を説
明するための部分断面図。
【図10】カバーガラス基板に対する帯状導電体の形成
に使用する他の方法を示す図。
【図11】本発明の他の実施例の外観を示す一部切欠し
た斜視図。
【図12】本発明の他の実施例の外観を示す一部切欠し
た斜視図。
【図13】同実施例の薄膜ELパネルの連設部の構成を
示す部分断面図。
【図14】従来のELパネルの連設部の構成を示す部分
断面図。
【図15】同従来例のELパネルの構成を示す部分断面
図。
【図16】同従来例のELパネルの構成を示す平面図。
【符号の説明】
201,202…薄膜ELパネル 21…ガラス基板(第1の絶縁基板) 22…透明電極(下部電極) 24…EL発光層 26…上部電極 27…カバーガラス基板(第2の絶縁基板) 29…帯状導電体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 日吉 隆之 静岡県三島市南町6番78号 東京電気株式 会社技術研究所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透光性の第1の絶縁性基板上に複数の下
    部電極を配置し、この各下部電極の上にEL発光層を介
    して複数の上部電極をマトリックス状に配置して薄膜発
    光構造を形成した薄膜ELパネルを複数連設すると共
    に、一面側に前記各薄膜ELパネルの対応する上部電極
    間を接続するための複数の帯状導電体を形成した第2の
    絶縁性基板を用意し、その第2の絶縁性基板で前記各薄
    膜ELパネルの上を覆うことにより、前記各帯状導電体
    が各薄膜ELパネルの対応する電極間を接続したことを
    特徴とする薄膜ELディスプレイ。
  2. 【請求項2】 第2の絶縁性基板は1枚の基板からな
    り、その基板で各薄膜ELパネルの上を覆って一体化し
    たことを特徴とする請求項1記載の薄膜ELディスプレ
    イ。
  3. 【請求項3】 透光性の第1の絶縁性基板上に複数の下
    部電極を配置し、この各下部電極の上にEL発光層を介
    して複数の上部電極をマトリックス状に配置して薄膜発
    光構造を形成した薄膜ELパネルを複数連設すると共
    に、一面側に前記各薄膜ELパネルの対応する上部電極
    間を接続するための複数の帯状導電体を形成した第2の
    絶縁性基板を用意し、その第2の絶縁性基板で前記各薄
    膜ELパネルの上を覆うことにより、前記各帯状導電体
    が各薄膜ELパネルの対応する電極間を接続し、前記各
    絶縁性基板間に絶縁性樹脂を充填して硬化させたことを
    特徴とする薄膜ELディスプレイ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006201649A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Nishiyama Stainless Chem Kk 内包空隙の充填方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、及び、フラットパネルディスプレイ
US7443096B2 (en) 2004-02-19 2008-10-28 Seiko Epson Corporation Organic electroluminescent device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus

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