JPH073029U - 処理状態表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 処理状態表示装置８は、必要とする情報デー
タを指定データとして変更可能に格納する指定データ格
納部３と、イオン注入制御装置６から出力された情報デ
ータと指定データとを比較し、一致した情報データのみ
を出力する比較部２と、比較部２から出力された情報デ
ータを記録するデータ記録部４と、データ記録部４から
読み出された情報データを画面表示する表示装置を備え
た入出力部５とを有している。 【効果】 イオン注入制御装置６の動作を継続させなが
ら、情報データの所定期間の画面表示および変更が可能
になる。従って、ソフトウエアバグの発見やプログラム
の開発を行なう際の効率および作業性が向上する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、イオン注入制御装置等の制御装置から出力された情報データを画面 表示する処理状態表示装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

イオン注入装置は、イオン源および質量分析器により生成されたイオンビーム をイオン照射対象物に照射することによってイオン照射対象物に不純物を注入す るものであり、所定量の不純物を均一に注入させるため、イオン注入制御装置に よって注入状態が監視および制御されるようになっている。

【０００３】 上記のイオン注入制御装置は、イオン注入装置の複雑な動作を監視および制御 するため、多種類の情報データをデータ処理することが必要になっている。従っ て、イオン注入制御装置は、データ処理に要するプログラムが大規模化したもの になっており、これに伴って、ソフトウエアバグがプログラム内に存在し易いも のになっている。また、イオン注入制御装置は、大規模なプログラムを容易に開 発するため、プログラムの実行途中を確認できることが要望されている。

【０００４】 そこで、イオン注入制御装置には、プログラムの実行途中を示す処理状態表示 装置が接続されるようになっており、従来の処理状態表示装置には、図４に示す ように、イオン注入制御装置５１から出力された情報データを画面表示する表示 装置５３が用いられている。そして、この表示装置５３を用いてソフトウエアバ グの発見やプログラムの開発を行なう場合には、指定された情報データを出力す るデータ出力ルーチンをイオン注入制御装置５１の記憶領域に格納しておき、必 要な情報データをデータ出力部５２として指定し、イオン注入装置の運転中に、 データ出力部５２に対応する情報データを表示装置５３に出力させて画面表示さ せるようになっている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来の処理状態表示装置である表示装置５３では、イオン 注入装置の運転中、指定された情報データが連続して出力され、表示装置５３の 画面表示が最新の情報データに間断なく置き換えられるため、作業者が画面表示 から目を離すことができず、また、画面表示された情報データを記録する際に、 作業者による書き写し作業が必要になっている。

【０００６】 さらに、画面表示から必要な情報データが得られなかった場合には、データ出 力ルーチンのデータ出力部５２を変更および追加するため、イオン注入制御装置 ５１のプログラムの実行を停止させる必要がある。

【０００７】 従って、従来の処理状態表示装置では、ソフトウエアバグの発見やプログラム の開発を行なう際の効率および作業性が低下しているという問題を有しているた め、本考案においては、これらの問題を解決することができる処理状態表示装置 を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案の処理状態表示装置は、上記課題を解決するために、制御装置のプログ ラム実行時に出力される情報データのうち、必要とする情報データのみを画面表 示するものであり、下記の特徴を有している。

【０００９】 即ち、必要とする情報データを指定データとして変更可能に格納する指定デー タ格納手段と、上記制御装置から出力された情報データと指定データとを比較し 、一致した情報データのみを出力する比較手段と、上記比較手段から出力された 情報データを記録する記録手段と、上記記録手段に記録された情報データを画面 表示する表示手段とを有していることを特徴としている。

【００１０】

【作用】

上記の構成によれば、記録手段に一旦記録された情報データを読み出して表示 手段に画面表示する処理と、指定データ格納手段の指定データを変更する処理と 、制御装置からの情報データのうち、必要とする情報データを記録手段に記録さ せる処理とが独立して行なわれることになる。従って、新たな情報データが処理 状態表示装置に入力されている場合でも、情報データの表示時間を任意に設定す ることが可能になっていると共に、処理状態表示装置のプログラムの実行を停止 させなくても、必要とする情報データを指定データの変更により任意に選択する ことが可能になっている。従って、処理状態表示装置は、制御装置の動作を継続 させながら動作状況を充分に把握させることができるため、ソフトウエアバグの 発見やプログラムの開発を行なう際の効率および作業性を向上させることが可能 になっている。

【００１１】

【実施例】

本考案の一実施例を図１ないし図３に基づいて説明すれば、以下の通りである 。

【００１２】 本実施例に係る処理状態表示装置は、図１に示すように、例えばイオン注入制 御装置６に通信ケーブルを介して接続されている。イオン注入制御装置６は、デ ータ出力ルーチンを有しており、データ出力ルーチンは、プログラムの実行がデ ータ出力部７に到達したときに、データ出力部７において処理されている情報デ ータをＲＳ２３２Ｃの通信規格に適合した信号形態に変換して出力するようにな っている。尚、データ出力部７は、ソフトウエアバグの発見に必要と考えられる 全ての情報データを指定するようにプログラム中に設定されている。

【００１３】 上記のイオン注入制御装置６から出力される情報データは、処理状態表示装置 ８のバッファ部１に入力されるようになっている。このバッファ部１には、各情 報データに対応した記憶領域が形成されており、各情報データは、これらの記憶 領域にそれぞれ一時的に格納されるようになっている。

【００１４】 上記のバッファ部１は、比較部２（比較手段）の一方の入力端子に接続されて いる。比較部２の他方の入力端子には、指定データを格納した指定データ格納部 ３（指定データ格納手段）が接続されており、指定データ格納部３には、入出力 部５が接続されている。入出力部５は、キーボードを有しており、キーボードか ら操作データや指定データを入力することによって、指定データ格納部３に格納 された指定データを変更および追加できるようになっている。

【００１５】 上記の指定データ格納部３およびバッファ部１に接続された比較部２は、ハー ドディスク等のデータ記録部４（記録手段）に接続されており、バッファ部１に 格納された情報データと、指定データ格納部３に格納された指定データとを比較 し、一致した情報データのみをデータ記録部４に出力するようになっている。そ して、データ記録部４は、比較部２から入力された情報データを日時と共に順次 記録するようになっている。

【００１６】 上記のデータ記録部４は、上述の入出力部５に接続されている。この入出力部 ５は、キーボードの他、ＣＲＴ装置等の表示装置（表示手段）も有しており、表 示装置は、データ記録部４に記録された所望の情報データをキーボードの操作に より画面表示するようになっている。

【００１７】 上記の構成において、処理状態表示装置の動作について説明する。

【００１８】 先ず、イオン注入制御装置６に通信ケーブルを介して処理状態表示装置８が接 続されることになると共に、処理状態表示装置８の入出力部５からソフトウエア バグの発見に必要と考えられる情報データの種類が指定データとしてキー入力さ れることになる。この後、イオン注入制御装置６が動作状態にされ、イオン注入 装置を監視および制御するプログラムの実行が開始されることになる。

【００１９】 イオン注入制御装置６は、プログラムの実行処理がプログラム中に設定された データ出力部７に到達すると、データ出力ルーチンの実行によって、到達したデ ータ出力部７における情報データを出力することになる。この情報データは、通 信ケーブルを介して処理状態表示装置８に出力されることになり、図２に示すよ うに、処理状態表示装置８のバッファ部１に入力され（Ｓ１）、情報データに対 応した記憶領域に格納されることになる（Ｓ２）。

【００２０】 上記のＳ１およびＳ２は、プログラム中のデータ出力部７にプログラムの実行 処理が到達するごとに行なわれることになり、各データ出力部７における情報デ ータは、イオン注入制御装置６が動作している限り、間断なくバッファ部１に順 次格納されていくことになる。この際、図３に示すように、処理状態表示装置８ は、バッファ部１の記憶状態を監視しており、全データ出力部７の情報データが バッファ部１に格納されたことを確認すると（Ｓ３）、バッファ部１に格納され た情報データを先頭の記憶領域から順に読み出すことになる（Ｓ４）。

【００２１】 読み出された情報データは、指定データ格納部３に格納された指定データと比 較されることになり（Ｓ５）、情報データと指定データとが一致している場合に は、比較対象となっている情報データがデータ記録部４に記録された後（Ｓ６） 、バッファ部１に格納された全情報データと指定データとの比較が完了したか否 かが判定されることになる（Ｓ７）。一方、情報データと指定データとが不一致 の場合には、比較対象となっている情報データが記録されることなくＳ７が実行 され、バッファ部１に格納された全情報データと指定データとの比較が完了した か否かが判定されることになる（Ｓ７）。

【００２２】 Ｓ７において、全情報データの比較が完了していないとの判定結果が得られた 場合には、Ｓ４が再実行されることになり、バッファ部１から情報データが読み 出され、指定データと一致する情報データのみがデータ記録部４に記録されるこ とになる。一方、全情報データの比較が完了したとの判定結果が得られた場合に は、バッファ部１に格納された全情報データが消去された後（Ｓ８）、上述のＳ ３から再実行されることになる。

【００２３】 次に、イオン注入制御装置６の動作状況を確認する場合には、操作者が入出力 部５のキーボードを操作することによって、データ記録部４に記録された情報デ ータを表示装置に画面表示させることになる。この際、新しい情報データがイオ ン注入制御装置６に入力され、データ記録部４に間断なく記録されているが、画 面表示される情報データは、データ記録部４に一旦記録された情報データを読み 出したものであるため、表示時間を任意に設定することが可能になっていると共 に、任意の時間にプリントアウトすることが可能になっている。

【００２４】 また、表示装置に画面表示された情報データによっては動作状況を充分に把握 できず、ソフトウエアバグを発見することができなかった場合には、新たな指定 データが入出力部５からキー入力されることによって、指定データ格納部３のデ ータ内容が変更されることになる。この際、処理状態表示装置８は、イオン注入 制御装置６から出力された情報データのバッファ部１への格納、情報データと指 定データとの比較、指定データに一致した情報データのデータ記録部４への記録 を継続して行なっており、情報データの表示装置への画面表示および指定データ 格納部３のデータ内容の変更により情報データの収集を中断することがない。従 って、必要とする情報データは、イオン注入制御装置６の運転を維持しながらで も、指定データを任意に変更することにより取り出すことができることになる。

【００２５】 このように、本実施例の処理状態表示装置８は、イオン注入制御装置６のプロ グラム実行時に出力される情報データのうち、必要とする情報データのみを画面 表示するものであり、必要とする情報データを指定データとして変更可能に格納 する指定データ格納部３と、イオン注入制御装置６から出力された情報データと 指定データとを比較し、一致した情報データのみを出力する比較部２と、比較部 ２から出力された情報データを記録するデータ記録部４と、データ記録部４から 読み出された情報データを画面表示する表示装置を備えた入出力部５とを有して いる。

【００２６】 これにより、本実施例の処理状態表示装置８は、データ記録部４に一旦記録さ れた情報データを読み出して表示装置に画面表示する処理と、指定データ格納部 ３の指定データを変更する処理と、イオン注入制御装置６からの情報データのう ち、必要とする情報データをデータ記録部４に記録させる処理とが独立して行な われることになる。従って、新たな情報データが処理状態表示装置８に入力され ている場合でも、情報データの表示時間を任意に設定することが可能になってい ると共に、処理状態表示装置８のプログラムの実行を停止させなくても、必要と する情報データを指定データの変更により任意に選択することが可能になってい る。従って、処理状態表示装置８は、イオン注入制御装置６の動作を継続させな がら動作状況を充分に把握させることができるため、ソフトウエアバグの発見や プログラムの開発を行なう際の効率および作業性が向上したものになっている。

【００２７】

【考案の効果】

本考案の処理状態表示装置は、以上のように、制御装置のプログラム実行時に 出力される情報データのうち、必要とする情報データのみを画面表示するもので あり、必要とする情報データを指定データとして変更可能に格納する指定データ 格納手段と、上記制御装置から出力された情報データと指定データとを比較し、 一致した情報データのみを出力する比較手段と、上記比較手段から出力された情 報データを記録する記録手段と、上記記録手段に記録された情報データを画面表 示する表示手段とを有している構成である。

【００２８】 これにより、記録手段に一旦記録された情報データを読み出して表示手段に画 面表示する処理と、指定データ格納手段の指定データを変更する処理と、制御装 置からの情報データのうち、必要とする情報データを記録手段に記録させる処理 とが独立して行なわれる。よって、処理状態表示装置のプログラムの実行を停止 させなくても、必要とする情報データを指定データの変更により任意に選択して 画面表示させることが可能であるため、ソフトウエアバグの発見やプログラムの 開発を行なう際の効率および作業性を向上させることが可能であるという効果を 奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案を示すものであり、イオン注入制御装置
に接続された処理状態表示装置のブロック図である。

【図２】バッファ記憶ルーチンのフローチャートであ
る。

【図３】指定データ記録ルーチンのフローチャートであ
る。

【図４】従来例を示すものであり、イオン注入制御装置
に接続された処理状態表示装置のブロック図である。

【符号の説明】

１ バッファ部 ２ 比較部（比較手段） ３ 指定データ格納部（指定データ格納手段） ４ データ記録部（記録手段） ５ 入出力部（表示手段） ６ イオン注入制御装置 ７ データ出力部 ８ 処理状態表示装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/265

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】制御装置のプログラム実行時に出力される
   情報データのうち、必要とする情報データのみを画面表
   示する処理状態表示装置であって、 必要とする情報データを指定データとして変更可能に格
   納する指定データ格納手段と、 上記制御装置から出力された情報データと指定データと
   を比較し、一致した情報データのみを出力する比較手段
   と、 上記比較手段から出力された情報データを記録する記録
   手段と、 上記記録手段に記録された情報データを画面表示する表
   示手段とを有していることを特徴とする処理状態表示装
   置。