JPH07306307A - フレネルレンズの製造方法 - Google Patents
フレネルレンズの製造方法Info
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- JPH07306307A JPH07306307A JP9976194A JP9976194A JPH07306307A JP H07306307 A JPH07306307 A JP H07306307A JP 9976194 A JP9976194 A JP 9976194A JP 9976194 A JP9976194 A JP 9976194A JP H07306307 A JPH07306307 A JP H07306307A
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- Japan
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- photosensitive resin
- film
- light
- fresnel lens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フレネルレンズの製造方法の改良に関し、マ
スク露光と同程度の高いパターン精度をもってフレネル
レンズの無効面上のみに遮光性の高い遮光膜を形成する
方法を提供することを目的とする。 【構成】 透明基板１の表面に、透明基板１の裏面から
入射した光を所望の方向に選択的に出射させるための凹
凸部が同心円状に形成されているフレネルレンズの凹凸
部が形成されている表面に透明導電体膜２を形成し、透
明導電体膜２上に電着法を使用して感光性樹脂膜３を形
成し、透明基板１に対して垂直露光または斜方露光をな
して現像し、凹凸部の形状に対応して選択的に感光性樹
脂膜３を残留する工程を含み構成する。
スク露光と同程度の高いパターン精度をもってフレネル
レンズの無効面上のみに遮光性の高い遮光膜を形成する
方法を提供することを目的とする。 【構成】 透明基板１の表面に、透明基板１の裏面から
入射した光を所望の方向に選択的に出射させるための凹
凸部が同心円状に形成されているフレネルレンズの凹凸
部が形成されている表面に透明導電体膜２を形成し、透
明導電体膜２上に電着法を使用して感光性樹脂膜３を形
成し、透明基板１に対して垂直露光または斜方露光をな
して現像し、凹凸部の形状に対応して選択的に感光性樹
脂膜３を残留する工程を含み構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フレネルレンズの製造
方法の改良に関し、さらに詳しくいえば、フレネルレン
ズの無効面上に遮光膜を形成する方法に関する。
方法の改良に関し、さらに詳しくいえば、フレネルレン
ズの無効面上に遮光膜を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光学部品、特にレンズの大型化、
大口径化に伴って軽量化が求められている。このため、
樹脂を素材として使用したフレネルレンズが提供されて
いる。フレネルレンズの中心を通る断面は図３に示すよ
うな形状をなしており、樹脂よりなる透明基板１の表面
に凹凸部が同心円状に形成されている。図中に記号４を
もって示す面は裏面から入射した光を所望の方向に出射
する有効面であり、記号５をもって示す面は所望の方向
以外に光を出射する無効面である。
大口径化に伴って軽量化が求められている。このため、
樹脂を素材として使用したフレネルレンズが提供されて
いる。フレネルレンズの中心を通る断面は図３に示すよ
うな形状をなしており、樹脂よりなる透明基板１の表面
に凹凸部が同心円状に形成されている。図中に記号４を
もって示す面は裏面から入射した光を所望の方向に出射
する有効面であり、記号５をもって示す面は所望の方向
以外に光を出射する無効面である。
【０００３】レンズ効果を持たない無効面５から出射す
る光が有効面４から出射する光とは別の場所に結像する
ことによって光学品位を低下させるので、無効面５を遮
光することが必要である。
る光が有効面４から出射する光とは別の場所に結像する
ことによって光学品位を低下させるので、無効面５を遮
光することが必要である。
【０００４】従来のフレネルレンズの無効面５の遮光方
法としては、樹脂をプレス加工してフレネルレンズを製
造するときのプレス金型の無効面に対応する面に微小凹
凸を形成しておき、プレス加工時にレンズの無効面５に
微小凹凸を形成して光を散乱させるようにする方法やス
ピンナー等を使用して凹凸部の表面に感光性樹脂膜を形
成した後、フォトリソグラフィー法を使用してパターニ
ングして無効面５上のみに樹脂膜を選択的に形成する方
法が知られている。
法としては、樹脂をプレス加工してフレネルレンズを製
造するときのプレス金型の無効面に対応する面に微小凹
凸を形成しておき、プレス加工時にレンズの無効面５に
微小凹凸を形成して光を散乱させるようにする方法やス
ピンナー等を使用して凹凸部の表面に感光性樹脂膜を形
成した後、フォトリソグラフィー法を使用してパターニ
ングして無効面５上のみに樹脂膜を選択的に形成する方
法が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】プレス金型の無効面に
対応する面に微小凹凸を形成する前者の方法は、フレネ
ルレンズの凹凸部の寸法が例えばピッチが１００μｍ、
高さが７０μｍというように極めて微小であるため、金
型の極めて微細な領域に微小凹凸を形成することは難し
く、プレス加工の精度や再現性が悪くなる。
対応する面に微小凹凸を形成する前者の方法は、フレネ
ルレンズの凹凸部の寸法が例えばピッチが１００μｍ、
高さが７０μｍというように極めて微小であるため、金
型の極めて微細な領域に微小凹凸を形成することは難し
く、プレス加工の精度や再現性が悪くなる。
【０００６】スピンナーを使用してフレネルレンズの凹
凸部の表面に感光性樹脂膜を形成してパターニングする
後者の方法は、凹凸部の谷部に樹脂が溜まるため、フォ
トリソグラフィー法を使用してパターニングしたときに
無効面上のみに選択的に樹脂膜を形成することが難し
い。
凸部の表面に感光性樹脂膜を形成してパターニングする
後者の方法は、凹凸部の谷部に樹脂が溜まるため、フォ
トリソグラフィー法を使用してパターニングしたときに
無効面上のみに選択的に樹脂膜を形成することが難し
い。
【０００７】本発明の目的は、これらの欠点を解消する
ことにあり、マスク露光と同程度の高いパターン精度を
もってフレネルレンズの無効面上のみに遮光性の高い遮
光膜を形成する方法を提供することにある。
ことにあり、マスク露光と同程度の高いパターン精度を
もってフレネルレンズの無効面上のみに遮光性の高い遮
光膜を形成する方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、透明基板
（１）の表面に、この透明基板（１）の裏面から入射し
た光を所望の方向に選択的に出射させるための凹凸部が
同心円状に形成されているフレネルレンズの前記の凹凸
部が形成されている表面に透明導電体膜（２）を形成
し、この透明導電体膜（２）上に電着法を使用して感光
性樹脂膜（３）を形成し、前記の透明基板（１）に対し
て垂直露光または斜方露光をなして現像し、前記の凹凸
部の形状に対応して選択的に前記の感光性樹脂膜（３）
を残留する工程を有するフレネルレンズの製造方法によ
って達成される。
（１）の表面に、この透明基板（１）の裏面から入射し
た光を所望の方向に選択的に出射させるための凹凸部が
同心円状に形成されているフレネルレンズの前記の凹凸
部が形成されている表面に透明導電体膜（２）を形成
し、この透明導電体膜（２）上に電着法を使用して感光
性樹脂膜（３）を形成し、前記の透明基板（１）に対し
て垂直露光または斜方露光をなして現像し、前記の凹凸
部の形状に対応して選択的に前記の感光性樹脂膜（３）
を残留する工程を有するフレネルレンズの製造方法によ
って達成される。
【０００９】さらに詳しくは、下記いずれの方法によっ
ても達成される。第１の方法は、前記の感光性樹脂膜
（３）の形成にポジ型感光性樹脂を使用し、前記の凹凸
部が形成されている前記の透明基板（１）の表面のう
ち、不所望の方向に光が出射する領域のみに選択的に前
記のポジ型感光性樹脂膜（３１）を残留して遮光膜
（６）を形成する方法である。なお、前記のポジ型感光
性樹脂に黒色顔料または染料が分散されていることが好
ましい。
ても達成される。第１の方法は、前記の感光性樹脂膜
（３）の形成にポジ型感光性樹脂を使用し、前記の凹凸
部が形成されている前記の透明基板（１）の表面のう
ち、不所望の方向に光が出射する領域のみに選択的に前
記のポジ型感光性樹脂膜（３１）を残留して遮光膜
（６）を形成する方法である。なお、前記のポジ型感光
性樹脂に黒色顔料または染料が分散されていることが好
ましい。
【００１０】第２の方法は、前記の感光性樹脂膜（３）
の形成にネガ型感光性樹脂を使用し、前記の凹凸部が形
成されている前記の透明基板（１）の表面のうち、所望
の方向に光が出射する領域のみに選択的にネガ型感光性
樹脂膜（３２）を残留し、このネガ型感光性樹脂膜（３
２）上を含む前記の透明基板（１）の表面に遮光膜
（７）を形成し、前記のネガ型感光性樹脂膜（３２）を
剥離して、前記の凹凸部が形成されている前記の透明基
板（１）の表面のうち、不所望の方向に光が出射する領
域のみに選択的に前記の遮光膜（７）を残留する方法で
ある。なお、前記の遮光膜（７）は非ＥＣＡ溶剤系樹脂
よりなることが好ましい。また、前記の遮光膜（６・
７）の屈折率は前記の透明基板（１）の屈折率より大き
いことが好ましい。
の形成にネガ型感光性樹脂を使用し、前記の凹凸部が形
成されている前記の透明基板（１）の表面のうち、所望
の方向に光が出射する領域のみに選択的にネガ型感光性
樹脂膜（３２）を残留し、このネガ型感光性樹脂膜（３
２）上を含む前記の透明基板（１）の表面に遮光膜
（７）を形成し、前記のネガ型感光性樹脂膜（３２）を
剥離して、前記の凹凸部が形成されている前記の透明基
板（１）の表面のうち、不所望の方向に光が出射する領
域のみに選択的に前記の遮光膜（７）を残留する方法で
ある。なお、前記の遮光膜（７）は非ＥＣＡ溶剤系樹脂
よりなることが好ましい。また、前記の遮光膜（６・
７）の屈折率は前記の透明基板（１）の屈折率より大き
いことが好ましい。
【００１１】
【作用】図３に示すフレネルレンズの中心を通る断面図
の記号Ａをもって示す範囲の拡大図を図１に示す。同図
（ａ）に示すように、透明基板１の凹凸部の形成されて
いる表面に透明導電体膜２を形成し、その上に、同図
（ｂ）に示すように、電着法を使用してポジ型感光性樹
脂膜３１を電着すると膜厚はほゞ均一に形成され、凹凸
部の谷部に樹脂が溜まることはない。背面側または表面
側から露光して現像すると、無効面５の傾斜角が有効面
４の傾斜角に比べて大きいため無効面５上に形成された
ポジ型感光性樹脂膜３１の受光量は有効面４上に形成さ
れたポジ型感光性樹脂膜３１に比べて少なくなる。その
ため、同図（ｃ）に示すように、有効面４上のポジ型感
光性樹脂膜３１のみが選択的に除去され、無効面５上の
みにポジ型感光性樹脂膜３１が残留して遮光膜６がセル
フアライメントにより形成される。
の記号Ａをもって示す範囲の拡大図を図１に示す。同図
（ａ）に示すように、透明基板１の凹凸部の形成されて
いる表面に透明導電体膜２を形成し、その上に、同図
（ｂ）に示すように、電着法を使用してポジ型感光性樹
脂膜３１を電着すると膜厚はほゞ均一に形成され、凹凸
部の谷部に樹脂が溜まることはない。背面側または表面
側から露光して現像すると、無効面５の傾斜角が有効面
４の傾斜角に比べて大きいため無効面５上に形成された
ポジ型感光性樹脂膜３１の受光量は有効面４上に形成さ
れたポジ型感光性樹脂膜３１に比べて少なくなる。その
ため、同図（ｃ）に示すように、有効面４上のポジ型感
光性樹脂膜３１のみが選択的に除去され、無効面５上の
みにポジ型感光性樹脂膜３１が残留して遮光膜６がセル
フアライメントにより形成される。
【００１２】また、透明基板１上にネガ型感光性樹脂膜
を形成して前記と同様に露光・現像すると、図２（ａ）
に示すように有効面４上のみにネガ型感光性樹脂膜３２
が残留する。同図（ｂ）に示すように、残留したネガ型
感光性樹脂膜３２上を含む透明基板１の表面に遮光膜７
を形成してネガ型感光性樹脂膜３２を剥離すると、リフ
トオフにより無効面５上のみに遮光膜７が残留する。
を形成して前記と同様に露光・現像すると、図２（ａ）
に示すように有効面４上のみにネガ型感光性樹脂膜３２
が残留する。同図（ｂ）に示すように、残留したネガ型
感光性樹脂膜３２上を含む透明基板１の表面に遮光膜７
を形成してネガ型感光性樹脂膜３２を剥離すると、リフ
トオフにより無効面５上のみに遮光膜７が残留する。
【００１３】なお、露光方法としては垂直露光が最も簡
単であるが、図４に示すように、有効面４の方線におゝ
むね平行する方向に斜方露光（表面側からでも裏面側か
らでもよい。）すれば、無効面５の受光量が一層減少し
て遮光膜の選択的形成に有効である。
単であるが、図４に示すように、有効面４の方線におゝ
むね平行する方向に斜方露光（表面側からでも裏面側か
らでもよい。）すれば、無効面５の受光量が一層減少し
て遮光膜の選択的形成に有効である。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の二つの実施例
に係るフレネルレンズの製造方法について説明する。
に係るフレネルレンズの製造方法について説明する。
【００１５】第１例 図１参照 図１にフレネルレンズの断面の一部を拡大したものを示
す。この例においては、透明基板１として厚さ３ｍｍの
アクリル樹脂（屈折率ｎ＝１．５）を使用し、金型プレ
スを使用してこの基板１の表面に凹凸部を同心円状に形
成してある。そして、凹凸部のピッチは１００μｍであ
り、高さは７０μｍであり、有効面４の傾斜角は３０°
であり、無効面５の傾斜角は７０°である。
す。この例においては、透明基板１として厚さ３ｍｍの
アクリル樹脂（屈折率ｎ＝１．５）を使用し、金型プレ
スを使用してこの基板１の表面に凹凸部を同心円状に形
成してある。そして、凹凸部のピッチは１００μｍであ
り、高さは７０μｍであり、有効面４の傾斜角は３０°
であり、無効面５の傾斜角は７０°である。
【００１６】同図（ａ）に示すように、凹凸部の形成さ
れているレンズ表面にスパッタ法を使用して、ＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）よりなる透明導電体膜２を１００
０Å厚に形成する。
れているレンズ表面にスパッタ法を使用して、ＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）よりなる透明導電体膜２を１００
０Å厚に形成する。
【００１７】同図（ｂ）に示すように、黒色染料を溶解
させたポジ型の感光性電着レジスト膜３１（屈折率ｎ＝
１．６８）をＩＴＯ膜２上に以下に示す条件で電着す
る。
させたポジ型の感光性電着レジスト膜３１（屈折率ｎ＝
１．６８）をＩＴＯ膜２上に以下に示す条件で電着す
る。
【００１８】電流密度 ５０ｍＡ／ｄｍ2 電着時間 １２０ｓｅｃ 膜厚 ５．０μｍ
【００１９】スピンナーによる塗布方式の成膜時に起こ
りやすい膜厚むら（レンズ凹部への樹脂溜まり）が発生
せず、膜厚は均一に形成される。
りやすい膜厚むら（レンズ凹部への樹脂溜まり）が発生
せず、膜厚は均一に形成される。
【００２０】レンズの裏面側より露光量１００ｍｊをも
って紫外線を照射した後、アルカリ現像液（苛性カリ
０．７５％）を使用して３０秒間現像した後熱硬化する
と、同図（ｃ）に示すように、無効面５上のみに選択的
にポジ型感光性電着レジスト膜３１が残留し、遮光膜６
が形成される。なお、紫外線を表面側から照射してもよ
く、また、図４に示すように、有効面４の法線におゝむ
ね並行する方向に紫外線を照射しても同様に選択的に遮
光膜を形成することが可能である。
って紫外線を照射した後、アルカリ現像液（苛性カリ
０．７５％）を使用して３０秒間現像した後熱硬化する
と、同図（ｃ）に示すように、無効面５上のみに選択的
にポジ型感光性電着レジスト膜３１が残留し、遮光膜６
が形成される。なお、紫外線を表面側から照射してもよ
く、また、図４に示すように、有効面４の法線におゝむ
ね並行する方向に紫外線を照射しても同様に選択的に遮
光膜を形成することが可能である。
【００２１】レンズ材料のアクリル樹脂１の屈折率に比
べて遮光膜６の屈折率の方が大きいので、レンズ裏面か
ら無効面に入射した光はほとんど遮光膜側に屈折して吸
収され、表面側に出射されることはなくなる。
べて遮光膜６の屈折率の方が大きいので、レンズ裏面か
ら無効面に入射した光はほとんど遮光膜側に屈折して吸
収され、表面側に出射されることはなくなる。
【００２２】第２例 図２参照 感光性のない遮光膜を選択的に無効面５上に形成する場
合は、まず第１例と同様にレンズ表面にＩＴＯ膜よりな
る透明導電体膜２を形成した後、ネガ型電着レジスト膜
３２を電着形成し、露光・現像すると、同図（ａ）に示
すように有効面４上のみにネガ型電着レジスト膜３２が
形成される。
合は、まず第１例と同様にレンズ表面にＩＴＯ膜よりな
る透明導電体膜２を形成した後、ネガ型電着レジスト膜
３２を電着形成し、露光・現像すると、同図（ａ）に示
すように有効面４上のみにネガ型電着レジスト膜３２が
形成される。
【００２３】同図（ｂ）に示すように、非ＥＣＡ（エチ
ルセロソルブアセテート）溶剤系樹脂、例えばＰＶＡ
（ポリビニールアルコール）または石油溶剤系樹脂に顔
料を分散した樹脂よりなる遮光膜７をレンズ表面にスピ
ンナーを使用して塗布成膜（回転数：１５００ｒｐｍ，
時間：６０ｓｅｃ）する。
ルセロソルブアセテート）溶剤系樹脂、例えばＰＶＡ
（ポリビニールアルコール）または石油溶剤系樹脂に顔
料を分散した樹脂よりなる遮光膜７をレンズ表面にスピ
ンナーを使用して塗布成膜（回転数：１５００ｒｐｍ，
時間：６０ｓｅｃ）する。
【００２４】ＥＣＡによりネガ型電着レジスト膜３２を
剥離すると、同図（ｃ）に示すように、有効面４上の非
ＥＣＡ溶剤系樹脂膜よりなる遮光膜７はリフトオフによ
り剥離除去され、無効面５上のみに非ＥＣＡ溶剤系樹脂
膜よりなる遮光膜７が残留する。
剥離すると、同図（ｃ）に示すように、有効面４上の非
ＥＣＡ溶剤系樹脂膜よりなる遮光膜７はリフトオフによ
り剥離除去され、無効面５上のみに非ＥＣＡ溶剤系樹脂
膜よりなる遮光膜７が残留する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るフレ
ネルレンズの製造方法においては、電着法を使用してレ
ンズ表面に感光性電着レジストを均一な膜厚に形成し、
これに垂直露光または斜方露光を施して現像することに
より、感光性電着レジストにポジ型を使用する場合には
無効面上のみにポジ型電着レジストが残留して遮光膜が
形成される。また、ネガ型を使用する場合には有効面上
のみにネガ型電着レジスト膜が残留するので、全面に遮
光膜を形成してネガ型電着レジスト膜を剥離すると、有
効面上から遮光膜がリフトオフにより除去され、無効面
上のみに遮光膜が形成される。このように従来の方法に
比べて極めて高精度でしかもセルフアライメントにより
無効面上のみに遮光膜を選択成膜することができるの
で、有効面上には遮光膜が全く残存しなくなってレンズ
自体の透過率を損なうことなくゴーストの発生を防止す
ることができ、高品位なフレネルレンズを提供すること
が可能になる。
ネルレンズの製造方法においては、電着法を使用してレ
ンズ表面に感光性電着レジストを均一な膜厚に形成し、
これに垂直露光または斜方露光を施して現像することに
より、感光性電着レジストにポジ型を使用する場合には
無効面上のみにポジ型電着レジストが残留して遮光膜が
形成される。また、ネガ型を使用する場合には有効面上
のみにネガ型電着レジスト膜が残留するので、全面に遮
光膜を形成してネガ型電着レジスト膜を剥離すると、有
効面上から遮光膜がリフトオフにより除去され、無効面
上のみに遮光膜が形成される。このように従来の方法に
比べて極めて高精度でしかもセルフアライメントにより
無効面上のみに遮光膜を選択成膜することができるの
で、有効面上には遮光膜が全く残存しなくなってレンズ
自体の透過率を損なうことなくゴーストの発生を防止す
ることができ、高品位なフレネルレンズを提供すること
が可能になる。
【図１】フレネルレンズの無効面上への遮光膜形成工程
図（実施例１に対応）である。
図（実施例１に対応）である。
【図２】フレネルレンズの無効面上への遮光膜形成工程
図（実施例２に対応）である。
図（実施例２に対応）である。
【図３】フレネルレンズの中心を通る断面図である。
【図４】斜方露光時の紫外線照射方向を示す図である。
１ 透明基板（アクリル樹脂基板） ２ 透明導電体膜（ＩＴＯ膜） ３ 感光性樹脂膜 ３１ ポジ型感光性樹脂膜 ３２ ネガ型感光性樹脂膜 ４ 有効面 ５ 無効面 ６・７ 遮光膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯ヶ浜 行生 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 透明基板（１）の表面に、該透明基板
（１）の裏面から入射した光を所望の方向に選択的に出
射させるための凹凸部が同心円状に形成されてなるフレ
ネルレンズの前記凹凸部が形成されてなる表面に透明導
電体膜（２）を形成し、 該透明導電体膜（２）上に電着法を使用して感光性樹脂
膜（３）を形成し、 前記透明基板（１）に対して垂直露光または斜方露光を
なして現像し、前記凹凸部の形状に対応して選択的に前
記感光性樹脂膜（３）を残留する工程を有することを特
徴とするフレネルレンズの製造方法。 - 【請求項２】 前記感光性樹脂膜（３）の形成にポジ型
感光性樹脂を使用し、前記凹凸部が形成されてなる前記
透明基板（１）の表面のうち、不所望の方向に光が出射
する領域のみに選択的に前記ポジ型感光性樹脂膜（３
１）を残留して遮光膜（６）を形成することを特徴とす
る請求項１記載のフレネルレンズの製造方法。 - 【請求項３】 前記ポジ型感光性樹脂に黒色顔料または
染料が分散されてなることを特徴とする請求項２記載の
フレネルレンズの製造方法。 - 【請求項４】 前記感光性樹脂膜（３）の形成にネガ型
感光性樹脂を使用し、前記凹凸部が形成されてなる前記
透明基板（１）の表面のうち、所望の方向に光が出射す
る領域のみに選択的にネガ型感光性樹脂膜（３２）を残
留し、 該ネガ型感光性樹脂膜（３２）上を含む前記透明基板
（１）の表面に遮光膜（７）を形成し、 前記ネガ型感光性樹脂膜（３２）を剥離して、前記凹凸
部が形成されてなる前記透明基板（１）の表面のうち、
不所望の方向に光が出射する領域のみに選択的に前記遮
光膜（７）を残留することを特徴とする請求項１記載の
フレネルレンズの製造方法。 - 【請求項５】 前記遮光膜（７）は非ＥＣＡ溶剤系樹脂
よりなることを特徴とする請求項４記載のフレネルレン
ズの製造方法。 - 【請求項６】 前記遮光膜（６・７）の屈折率は前記透
明基板（１）の屈折率より大きいことを特徴とする請求
項２乃至５記載のフレネルレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9976194A JPH07306307A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | フレネルレンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9976194A JPH07306307A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | フレネルレンズの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306307A true JPH07306307A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14255967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9976194A Withdrawn JPH07306307A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | フレネルレンズの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07306307A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107044A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Konica Minolta Holdings Inc | ディスプレイ用フレネルレンズ |
| US7079318B2 (en) | 2001-10-05 | 2006-07-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Transmission screen and projection display |
| JP2010245292A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Panasonic Corp | 光学デバイス、電子機器、及びその製造方法 |
| WO2017138480A1 (ja) | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 株式会社ソニー・インタラクティブエンタテインメント | フレネルレンズ及びフレネルレンズの製造方法 |
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