JPH07308086A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
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- JPH07308086A JPH07308086A JP6130744A JP13074494A JPH07308086A JP H07308086 A JPH07308086 A JP H07308086A JP 6130744 A JP6130744 A JP 6130744A JP 13074494 A JP13074494 A JP 13074494A JP H07308086 A JPH07308086 A JP H07308086A
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Landscapes
- Jigging Conveyors (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】軟質のもの、厚さのきわめて薄いもの等その形
状及び物性に対する制限を大幅に緩和した搬送物であっ
ても、駆動搬送可能な圧電アクチュエータを提供するこ
と。 【構成】角柱状又は角板状の弾性体に圧電素子３を貼着
した圧電駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈
曲振動における腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触
させて又は接触させずして一又は二以上の回転駆動子４
を配設する構成と前記回転駆動子４に加圧接触させて又
は加圧接触させずして加圧部材を配設する構成からなる
圧電アクチュエータ。 【効果】第一の効果は搬送物として硬質物はもとより軟
質の長尺薄物をも搬送し得ることにより、搬送物の種類
及び形状に対する制限を大幅に緩和した圧電アクチュエ
ータを提供できることである。第二の効果は小型軟量に
してかつその構成がきわめて簡易な圧電アクチュエータ
を提供できることである。
状及び物性に対する制限を大幅に緩和した搬送物であっ
ても、駆動搬送可能な圧電アクチュエータを提供するこ
と。 【構成】角柱状又は角板状の弾性体に圧電素子３を貼着
した圧電駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈
曲振動における腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触
させて又は接触させずして一又は二以上の回転駆動子４
を配設する構成と前記回転駆動子４に加圧接触させて又
は加圧接触させずして加圧部材を配設する構成からなる
圧電アクチュエータ。 【効果】第一の効果は搬送物として硬質物はもとより軟
質の長尺薄物をも搬送し得ることにより、搬送物の種類
及び形状に対する制限を大幅に緩和した圧電アクチュエ
ータを提供できることである。第二の効果は小型軟量に
してかつその構成がきわめて簡易な圧電アクチュエータ
を提供できることである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電効果を利用した圧電
アクチュエータに係るものである。
アクチュエータに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を図５を用いて以下説明す
る。従来圧電効果を利用した圧電アクチュエータ１０は
圧電素子１１を貼着した基体２１（以下、駆動体とい
う）と当該駆動体から突出する一又は二以上の駆動子３
１と当該駆動子３１に加圧接触するスライダ４１と当該
スライダ４１に加圧を付与する加圧機構から構成され
る。
る。従来圧電効果を利用した圧電アクチュエータ１０は
圧電素子１１を貼着した基体２１（以下、駆動体とい
う）と当該駆動体から突出する一又は二以上の駆動子３
１と当該駆動子３１に加圧接触するスライダ４１と当該
スライダ４１に加圧を付与する加圧機構から構成され
る。
【０００３】前記構成でなる圧電アクチュエータ１０に
おいて基体２１に貼着された圧電素子１１の両面に形成
された電極に交番圧電が印加されれば圧電横効果によつ
て圧電素子１１から電界と直交する方向に伸縮歪が発生
し、その結果圧電素子１１を貼着した基体２１に屈曲モ
ードでなる振動が生じる。
おいて基体２１に貼着された圧電素子１１の両面に形成
された電極に交番圧電が印加されれば圧電横効果によつ
て圧電素子１１から電界と直交する方向に伸縮歪が発生
し、その結果圧電素子１１を貼着した基体２１に屈曲モ
ードでなる振動が生じる。
【０００４】前記振動を受けて基体２１から突出してい
る駆動子３１は、スライダ４１に直進駆動力又は回転駆
動力を付与する。
る駆動子３１は、スライダ４１に直進駆動力又は回転駆
動力を付与する。
【０００５】
【従来技術の問題点】前記構成でなる従来の圧電アクチ
ュエータにおいて、その構成要素の一つとされるスライ
ダは一定の厚さを有する剛性体であることを要し、加え
て駆動子との組合せにおいて、より高い摩擦係数と、よ
り高い耐摩耗性を有するものでなければならない。しか
るに駆動搬送させたいスライダである搬送物の中には前
記条件を全く具備しないものもあり、かかる搬送物にあ
っては駆動搬送は事実上不可能である。例えば紙類、プ
ラスチックフィルム、アルミニウム箔の如きものであ
る。
ュエータにおいて、その構成要素の一つとされるスライ
ダは一定の厚さを有する剛性体であることを要し、加え
て駆動子との組合せにおいて、より高い摩擦係数と、よ
り高い耐摩耗性を有するものでなければならない。しか
るに駆動搬送させたいスライダである搬送物の中には前
記条件を全く具備しないものもあり、かかる搬送物にあ
っては駆動搬送は事実上不可能である。例えば紙類、プ
ラスチックフィルム、アルミニウム箔の如きものであ
る。
【０００６】前記したように駆動搬送させたいスライダ
である搬送物はきわめて多種多様であり、そのすべてを
駆動搬送し得ないこと、即ち駆動搬送し得る搬送物の種
類が限られる上にその形状及び物性に制限が付加されて
いることである。
である搬送物はきわめて多種多様であり、そのすべてを
駆動搬送し得ないこと、即ち駆動搬送し得る搬送物の種
類が限られる上にその形状及び物性に制限が付加されて
いることである。
【０００７】
【本発明が解決しようとする課題】本発明は前記した従
来の圧電アクチュエータが具有していた問題点を解決し
た新規な構成でなる圧電アクチュエータを提供するもの
である。即ちスライダである搬送物の種類を問わず、軟
質のもの、厚さがきわめて薄いもの、その表面に凸凹が
あるもの等その形状及び物性に対する制限を有するもの
であっても、それを大幅に緩和した搬送物を駆動搬送可
能ならしめる圧電アクチュエータを提供するものであ
る。
来の圧電アクチュエータが具有していた問題点を解決し
た新規な構成でなる圧電アクチュエータを提供するもの
である。即ちスライダである搬送物の種類を問わず、軟
質のもの、厚さがきわめて薄いもの、その表面に凸凹が
あるもの等その形状及び物性に対する制限を有するもの
であっても、それを大幅に緩和した搬送物を駆動搬送可
能ならしめる圧電アクチュエータを提供するものであ
る。
【０００８】
【課題を解消するための手段】以下、本発明を図１を用
いて説明する。本発明は前記課題解決の手段として角柱
状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した圧電駆
動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振動にお
ける腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触させて又は
接触させずして一又は二以上の回転駆動子４を配設する
構成と前記回転駆動子４に加圧接触させて又は加圧接触
させずして加圧部材５を配設する構成からなるものであ
る。
いて説明する。本発明は前記課題解決の手段として角柱
状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した圧電駆
動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振動にお
ける腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触させて又は
接触させずして一又は二以上の回転駆動子４を配設する
構成と前記回転駆動子４に加圧接触させて又は加圧接触
させずして加圧部材５を配設する構成からなるものであ
る。
【０００９】ところで前記弾性体２は当該弾性体２に貼
着される圧電素子３のヤング率との関係で、それより大
なるヤング率を有するものでなければならない。即ちこ
の条件が充足されないときは圧電素子３への交流電圧印
加によって生じた屈曲振動が弾性体２に吸収されてしま
い、弾性体２に屈曲振動が生じ得ず圧電駆動モータとし
て機能しないからである。
着される圧電素子３のヤング率との関係で、それより大
なるヤング率を有するものでなければならない。即ちこ
の条件が充足されないときは圧電素子３への交流電圧印
加によって生じた屈曲振動が弾性体２に吸収されてしま
い、弾性体２に屈曲振動が生じ得ず圧電駆動モータとし
て機能しないからである。
【００１０】通常ＰＺＴと称されるチタン酸ジルコン酸
鉛でなる圧電素子のヤング率は６．７×１０１０Ｎ／ｍ
２である。よって弾性体に求められるヤング率はこれよ
り大なるものでなければならない。ヤング率２０．１×
１０１０Ｎ／ｍ２を有するステンレス鋼、１４．５×１
０１０Ｎ／ｍ２を有する４２Ｎｉ合金はその好適なもの
の一例である。
鉛でなる圧電素子のヤング率は６．７×１０１０Ｎ／ｍ
２である。よって弾性体に求められるヤング率はこれよ
り大なるものでなければならない。ヤング率２０．１×
１０１０Ｎ／ｍ２を有するステンレス鋼、１４．５×１
０１０Ｎ／ｍ２を有する４２Ｎｉ合金はその好適なもの
の一例である。
【００１１】前記弾性体２に貼着される圧電素子３には
チタン酸ジルコン酸鉛等のきわめて圧電性の高いものが
選定される。当該圧電素子３は適宜の大きさの薄板状で
なり、その表裏両面には銀焼付、真空蒸着等の手段によ
り電極が形成され、次いで電気双極子を揃えるべく分極
処理が施される。
チタン酸ジルコン酸鉛等のきわめて圧電性の高いものが
選定される。当該圧電素子３は適宜の大きさの薄板状で
なり、その表裏両面には銀焼付、真空蒸着等の手段によ
り電極が形成され、次いで電気双極子を揃えるべく分極
処理が施される。
【００１２】前記圧電素子３は前記弾性体２の一面又は
両面に一又は二以上貼着される。しかして当該貼着部所
は圧電素子３に外部から交流電圧を印加して弾性体２に
屈曲振動を生じさせたとき、節部と節部の中間部所であ
る。ここで圧電素子３の貼着部所を前記の如き中間部所
に限定したのはそれ以外の部所を貼着部所としたのでは
弾性体の屈曲振動が効率よく生じ得ないからである。
両面に一又は二以上貼着される。しかして当該貼着部所
は圧電素子３に外部から交流電圧を印加して弾性体２に
屈曲振動を生じさせたとき、節部と節部の中間部所であ
る。ここで圧電素子３の貼着部所を前記の如き中間部所
に限定したのはそれ以外の部所を貼着部所としたのでは
弾性体の屈曲振動が効率よく生じ得ないからである。
【００１３】前記圧電素子３を貼着した弾性体２の面と
反対の面には弾性体２に接触して又は接触させずして回
転駆動子４が一又は二以上配設される。ここで回転駆動
子４が弾性体２と接触しているときは回転駆動子４に弾
性体から一方向のみにけり出す駆動力が付与され、当該
駆動力を受けて回転駆動子４は回転する。
反対の面には弾性体２に接触して又は接触させずして回
転駆動子４が一又は二以上配設される。ここで回転駆動
子４が弾性体２と接触しているときは回転駆動子４に弾
性体から一方向のみにけり出す駆動力が付与され、当該
駆動力を受けて回転駆動子４は回転する。
【００１４】これに対し回転駆動子４が弾性体２と接触
していないときは弾性体２からけり出しによる駆動力が
付与されないため回転するに至らない。しかし回転駆動
子４と加圧部材５との間に搬送物６が挿入されたとき、
回転駆動子４が弾性体２と接触する構成にしておけば回
転駆動子４は弾性体２からけり出しによる駆動力を付与
されて回転するに至り、その結果、回転駆動子４からの
回転駆動力を受けて搬送物６は搬送される。
していないときは弾性体２からけり出しによる駆動力が
付与されないため回転するに至らない。しかし回転駆動
子４と加圧部材５との間に搬送物６が挿入されたとき、
回転駆動子４が弾性体２と接触する構成にしておけば回
転駆動子４は弾性体２からけり出しによる駆動力を付与
されて回転するに至り、その結果、回転駆動子４からの
回転駆動力を受けて搬送物６は搬送される。
【００１５】回転駆動子４の外方には回転駆動子４と接
触して又は接触させずして加圧部材５が一又は二以上配
設される。当該加圧部材５は搬送せんとする搬送物６が
回転駆動子４と加圧部材５との間に挿入されたとき搬送
物６に加圧接触をさせるために配設されるものである。
搬送物６が加圧部材５から加圧接触を受けると搬送物６
は同時に回転駆動子４からも加圧接触を受け、その結
果、回転駆動子４からの回転駆動力を受けて搬送物６は
駆動搬送される。
触して又は接触させずして加圧部材５が一又は二以上配
設される。当該加圧部材５は搬送せんとする搬送物６が
回転駆動子４と加圧部材５との間に挿入されたとき搬送
物６に加圧接触をさせるために配設されるものである。
搬送物６が加圧部材５から加圧接触を受けると搬送物６
は同時に回転駆動子４からも加圧接触を受け、その結
果、回転駆動子４からの回転駆動力を受けて搬送物６は
駆動搬送される。
【００１６】本発明の別の構成として図２に示す如く角
柱状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した圧電
駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振動に
おける腹部と節部の中間部所に弾性体に接触させて一又
は二以上の回転駆動子４を配設する構成と、弾性体２又
は弾性体以外の適宜の部所に遊車７を配設する構成と回
転駆動子４と遊車７との間にベルト８を懸架する構成か
らなる圧電アクチュエータがある。
柱状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した圧電
駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振動に
おける腹部と節部の中間部所に弾性体に接触させて一又
は二以上の回転駆動子４を配設する構成と、弾性体２又
は弾性体以外の適宜の部所に遊車７を配設する構成と回
転駆動子４と遊車７との間にベルト８を懸架する構成か
らなる圧電アクチュエータがある。
【００１７】かかる構成でなる圧電アクチュエータは回
転駆動子４とベルト８とは常に接触していることからベ
ルト８は回転駆動子４からの駆動力を受けてベルト８は
回転するに至る。本構成でなる圧電アクチュエータでは
搬送物６はベルト８上に載置するのみで搬送可能である
ことから搬送物６と加圧接触するための加圧部材は不可
欠の構成要素ではない。
転駆動子４とベルト８とは常に接触していることからベ
ルト８は回転駆動子４からの駆動力を受けてベルト８は
回転するに至る。本構成でなる圧電アクチュエータでは
搬送物６はベルト８上に載置するのみで搬送可能である
ことから搬送物６と加圧接触するための加圧部材は不可
欠の構成要素ではない。
【００１８】更に本発明の別の構成として図３に示す如
く角柱状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した
圧電駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振
動における腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触させ
て又は接触させずして少なくとも搬送物の挿入側に一又
は二以上の回転駆動子４を配設する構成と前記回転駆動
子４を配設する側の弾性体２の面の垂線上に回転駆動子
４と加圧部材５の中心を一致させて前記回転駆動子４の
外方に加圧部材５を配設する構成からなるものでなる。
く角柱状又は角板状の弾性体２に圧電素子３を貼着した
圧電駆動モータ１を用いる構成と前記弾性体２の屈曲振
動における腹部と節部の中間部所に弾性体２に接触させ
て又は接触させずして少なくとも搬送物の挿入側に一又
は二以上の回転駆動子４を配設する構成と前記回転駆動
子４を配設する側の弾性体２の面の垂線上に回転駆動子
４と加圧部材５の中心を一致させて前記回転駆動子４の
外方に加圧部材５を配設する構成からなるものでなる。
【００１９】本構成になる圧電アクチュエータは軽量の
長尺物の搬送に好適である。即ち長尺物の搬送をするに
は搬送の駆動力を付与する回転駆動子４が一のみでは搬
送速度一定にしての高速搬送は容易でない。しかし本構
成の如く加圧部材５と対面させて回転駆動子４を二以上
配設し回転駆動子４と加圧部材５との間に搬送物６を挿
入すれば搬送物６はそれぞれの回転駆動子４から搬送駆
動力を付与されるため搬送速度一定にして高速搬送が可
能となる。
長尺物の搬送に好適である。即ち長尺物の搬送をするに
は搬送の駆動力を付与する回転駆動子４が一のみでは搬
送速度一定にしての高速搬送は容易でない。しかし本構
成の如く加圧部材５と対面させて回転駆動子４を二以上
配設し回転駆動子４と加圧部材５との間に搬送物６を挿
入すれば搬送物６はそれぞれの回転駆動子４から搬送駆
動力を付与されるため搬送速度一定にして高速搬送が可
能となる。
【００２０】本構成になる圧電アクチュエータにおいて
加圧部材５は搬送物６が回転駆動子４との間に挿入され
たとき搬送物６に加圧を付加し、搬送の駆動力を付与す
るために不可欠の構成要素であり、その配設は固定して
の配設又は上下動可能にしての配設のいずれでもよい。
加圧部材５は搬送物６が回転駆動子４との間に挿入され
たとき搬送物６に加圧を付加し、搬送の駆動力を付与す
るために不可欠の構成要素であり、その配設は固定して
の配設又は上下動可能にしての配設のいずれでもよい。
【００２１】次に本発明の具体的実施例を示す。弾性体
として長さ６０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ４ｍｍのステン
レス鋼板の一面に長さ１５ｍｍ、幅９ｍｍ、厚さ０．６
ｍｍの圧電素子を貼着する。前記弾性体の側面から回転
駆動子支持体を突出させ、当該回転駆動子支持体の先端
に弾性体に接触して外径３ｍｍの回転駆動子を二個配設
した圧電アクチュエータにおいて弾性体に貼着した圧電
素子に周波数２８ＫＨｚの交流電圧５〜２０Ｖを印加し
たとき厚さ０．２ｍｍのプラスチックフィルムの搬送に
おいて搬送速度１００〜１５０ｍｍ／ｓｅｃを得てい
る。
として長さ６０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ４ｍｍのステン
レス鋼板の一面に長さ１５ｍｍ、幅９ｍｍ、厚さ０．６
ｍｍの圧電素子を貼着する。前記弾性体の側面から回転
駆動子支持体を突出させ、当該回転駆動子支持体の先端
に弾性体に接触して外径３ｍｍの回転駆動子を二個配設
した圧電アクチュエータにおいて弾性体に貼着した圧電
素子に周波数２８ＫＨｚの交流電圧５〜２０Ｖを印加し
たとき厚さ０．２ｍｍのプラスチックフィルムの搬送に
おいて搬送速度１００〜１５０ｍｍ／ｓｅｃを得てい
る。
【００２２】
【作用】次に本発明に係る圧電アクチュエータの作用を
図４を用いて説明する。図４は回転駆動子４が弾性体２
と接触する部所の屈曲振動による時間的変化を示す状態
図である。図４において回転駆動子４の弾性体２との接
触点Ｐが屈曲振動により上方に△Ｚ、下方に△Ｚの振動
振幅をもつて移動するとき、それにつれて横方向には△
Ｘだけの振動振幅が生じる。
図４を用いて説明する。図４は回転駆動子４が弾性体２
と接触する部所の屈曲振動による時間的変化を示す状態
図である。図４において回転駆動子４の弾性体２との接
触点Ｐが屈曲振動により上方に△Ｚ、下方に△Ｚの振動
振幅をもつて移動するとき、それにつれて横方向には△
Ｘだけの振動振幅が生じる。
【００２３】しかるに回転駆動子４が弾性体２と接触
し、前記振動振幅の運動に完全に追随するとき、回転駆
動子４は一方向のみに回転する駆動力を付与されない。
しかし前記屈曲振動が超音波領域の周波数の場合には回
転駆動子４は弾性体２の屈曲振動の運動に追随して接触
し得なくなる。即ち前記Ｐ点が上方に持ち上がるときに
のみ、回転駆動子４は弾性体２と接触して斜め上方にけ
り出す駆動力を付与され、Ｐ点が下方に沈下するときは
非接触となって何らの駆動力も付与されない。即ちＰ点
が下方に沈下する過程では回転駆動子４は弾性体２から
接触解除され、瞬間的ながら空中に浮上しているため下
方にけり出す駆動力は付与されないのである。よって弾
性体２の屈曲振動が続く限りは回転駆動子４は一方向の
みの回転をし、当該回転は回転駆動子４と加圧接触する
搬送物６に駆動搬送力を付与するのである。
し、前記振動振幅の運動に完全に追随するとき、回転駆
動子４は一方向のみに回転する駆動力を付与されない。
しかし前記屈曲振動が超音波領域の周波数の場合には回
転駆動子４は弾性体２の屈曲振動の運動に追随して接触
し得なくなる。即ち前記Ｐ点が上方に持ち上がるときに
のみ、回転駆動子４は弾性体２と接触して斜め上方にけ
り出す駆動力を付与され、Ｐ点が下方に沈下するときは
非接触となって何らの駆動力も付与されない。即ちＰ点
が下方に沈下する過程では回転駆動子４は弾性体２から
接触解除され、瞬間的ながら空中に浮上しているため下
方にけり出す駆動力は付与されないのである。よって弾
性体２の屈曲振動が続く限りは回転駆動子４は一方向の
みの回転をし、当該回転は回転駆動子４と加圧接触する
搬送物６に駆動搬送力を付与するのである。
【００２４】
【発明の効果】前記した本発明に係る圧電アクチュエー
タが発揮する第一の効果は搬送物として硬質物はもとよ
り軟質の長尺薄物をも搬送し得ることである。従来の圧
電アクチュエータでは軟質薄物の高分子フィルム等の搬
送が困難であったのに対し、本発明に係る圧電アクチュ
エータではかかるものの搬送をも可能ならしめたことで
ある。かかる効果を受けて搬送物の種類の制限は大きく
緩和される。
タが発揮する第一の効果は搬送物として硬質物はもとよ
り軟質の長尺薄物をも搬送し得ることである。従来の圧
電アクチュエータでは軟質薄物の高分子フィルム等の搬
送が困難であったのに対し、本発明に係る圧電アクチュ
エータではかかるものの搬送をも可能ならしめたことで
ある。かかる効果を受けて搬送物の種類の制限は大きく
緩和される。
【００２５】第二の効果は前記実施例でも示したように
小型軽量化を可能ならしめたことであり、またその構成
がきわめて簡易であることである。近時、軟質薄物の搬
送において小型軽量化された圧電アクチュエータが強く
求められている要請に合致するものとして本発明の効果
はきわめて大である。
小型軽量化を可能ならしめたことであり、またその構成
がきわめて簡易であることである。近時、軟質薄物の搬
送において小型軽量化された圧電アクチュエータが強く
求められている要請に合致するものとして本発明の効果
はきわめて大である。
【図１】は本発明に係る圧電アクチュエータの正面図で
ある。
ある。
【図２】は本発明に係る圧電アクチュエータの正面図で
ある。
ある。
【図３】は本発明に係る圧電アクチュエータの正面図で
ある。
ある。
【図４】は本発明に係る圧電アクチュエータの作用を説
明する説明図である。
明する説明図である。
【図５】は従来の圧電アクチュエータの正面図である。
１．圧電駆動モータ ２．弾性体 ３．圧電素子 ４．回転駆動子 ５．加圧部材 ６．搬送物 １０．圧電アクチュエータ １１．圧電素子 ２１．基体 ３１．駆動子 ４１．スライダ
Claims (3)
- 【請求項１】角柱状又は角板状の弾性体に圧電素子を貼
着した圧電駆動モータを用いる構成と前記弾性体の屈曲
振動における腹部と節部の中間部所に弾性体に接触させ
て又は接触させずして一又は二以上の回転駆動子を配設
する構成と前記回転駆動子に加圧接触させて又は加圧接
触させずして加圧部材を配設する構成からなる圧電アク
チュエータ。 - 【請求項２】角柱状又は角板状の弾性体に圧電素子を貼
着した圧電駆動モータを用いる構成と前記弾性体の屈曲
振動における腹部と節部の中間部所に弾性体に接触させ
て一又は二以上の回転駆動子を配設する構成と弾性体又
は弾性体以外の適宜の部所に遊車を配設する構成と回転
駆動子と遊車との間にベルトを懸架する構成からなる圧
電アクチュエータ。 - 【請求項３】角柱状又は角板状の弾性体に圧電素子を貼
着した圧電駆動モータを用いる構成と前記弾性体の屈曲
振動における腹部と節部の中間部所に弾性体に接触させ
て又は接触させずして少なくとも搬入物の挿入側に一又
は二以上の回転駆動子を配設する構成と前記回転駆動子
を配設する側の弾性体の面の垂線上に回転駆動子と加圧
部材の中心を一致させて前記回転駆動子の外方に加圧部
材を配設する構成からなる圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6130744A JPH07308086A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6130744A JPH07308086A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07308086A true JPH07308086A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=15041600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6130744A Pending JPH07308086A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07308086A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104118695A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-10-29 | 江苏金沃机械有限公司 | 棉类长纤维原料递进喂料式喂料装置 |
| JP2018186501A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | キヤノン株式会社 | 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 |
-
1994
- 1994-05-10 JP JP6130744A patent/JPH07308086A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104118695A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-10-29 | 江苏金沃机械有限公司 | 棉类长纤维原料递进喂料式喂料装置 |
| JP2018186501A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | キヤノン株式会社 | 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 |
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