JPH07314370A - 真空チャック及び真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 - Google Patents
真空チャック及び真空チャックにおける被吸着物の吸着方法Info
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- JPH07314370A JPH07314370A JP11139194A JP11139194A JPH07314370A JP H07314370 A JPH07314370 A JP H07314370A JP 11139194 A JP11139194 A JP 11139194A JP 11139194 A JP11139194 A JP 11139194A JP H07314370 A JPH07314370 A JP H07314370A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の面
積より小さい被吸着物を吸着することができる真空チャ
ックを提供する。 【構成】ワークＷに板材５の上面５ｂをシート部材８を
介して当接させ、吸出通路４から空気を吸引するとその
吸引力によりワークＷがシート部材８を介して板材５に
吸着される。又、吸着面が板材５の上面５ｂの面積より
小さいワークＷの場合、吸出通路４から空気を吸引する
と板材５のワークＷと当接していない部分から板材５の
下面５ｂに向かって空気が流れる。この空気の流量は板
材５の上面５ｂに設けられたシート部材８によりワーク
Ｗを十分に吸着できる程度に抑えられる。そのため、ワ
ークＷにそのワークＷを板材５に十分に吸着させる大き
さの吸引力が働き、吸着面が板材５の上面５ｂの面積よ
り小さいワークＷの場合でも、そのワークＷはシート部
材８を介して板材５の上面５ｂに吸着される。
積より小さい被吸着物を吸着することができる真空チャ
ックを提供する。 【構成】ワークＷに板材５の上面５ｂをシート部材８を
介して当接させ、吸出通路４から空気を吸引するとその
吸引力によりワークＷがシート部材８を介して板材５に
吸着される。又、吸着面が板材５の上面５ｂの面積より
小さいワークＷの場合、吸出通路４から空気を吸引する
と板材５のワークＷと当接していない部分から板材５の
下面５ｂに向かって空気が流れる。この空気の流量は板
材５の上面５ｂに設けられたシート部材８によりワーク
Ｗを十分に吸着できる程度に抑えられる。そのため、ワ
ークＷにそのワークＷを板材５に十分に吸着させる大き
さの吸引力が働き、吸着面が板材５の上面５ｂの面積よ
り小さいワークＷの場合でも、そのワークＷはシート部
材８を介して板材５の上面５ｂに吸着される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空チャック及び真空チ
ャックにおける被吸着物の吸着方法に関するものであ
る。
ャックにおける被吸着物の吸着方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワークの搬送等に用いられる真空
チャックとしては、実開平１─１１８９４２号公報に示
す真空チャックが知られている。この真空チャックのチ
ャック本体の下面には凹部が形成されている。そして、
凹部とチャック本体内に形成されたチャンバとの間には
複数の吸込孔が形成され、その各吸込孔により凹部とチ
ャンバが連通している。又、チャック本体には前記チャ
ンバと真空チャックの外部とを連通する接続通路が形成
されている。そして、前記凹部には軟質で微細な孔を有
する軟質多孔板が付着され、軟質多孔板の下面は平らに
形成されている。又、軟質多孔板の下面はチャック本体
の下面より若干下方に突出している。
チャックとしては、実開平１─１１８９４２号公報に示
す真空チャックが知られている。この真空チャックのチ
ャック本体の下面には凹部が形成されている。そして、
凹部とチャック本体内に形成されたチャンバとの間には
複数の吸込孔が形成され、その各吸込孔により凹部とチ
ャンバが連通している。又、チャック本体には前記チャ
ンバと真空チャックの外部とを連通する接続通路が形成
されている。そして、前記凹部には軟質で微細な孔を有
する軟質多孔板が付着され、軟質多孔板の下面は平らに
形成されている。又、軟質多孔板の下面はチャック本体
の下面より若干下方に突出している。
【０００３】そして、軟質多孔板を例えば薄いフィルム
状のワークに当接させ、接続通路から空気を吸い出すと
その吸引力によりワークが軟質多孔板の下面に吸着され
るようになっている。又、軟質多孔板にワークを吸着し
た時にはワークを吸着する吸引力により軟質多孔板が上
方に縮み、軟質多孔質板の下面がチャック本体の下面と
同じ高さ位置となる。従って、ワークが薄いフィルム状
の場合でもそのワークを湾曲させることなく吸着するこ
とができるようになっている。
状のワークに当接させ、接続通路から空気を吸い出すと
その吸引力によりワークが軟質多孔板の下面に吸着され
るようになっている。又、軟質多孔板にワークを吸着し
た時にはワークを吸着する吸引力により軟質多孔板が上
方に縮み、軟質多孔質板の下面がチャック本体の下面と
同じ高さ位置となる。従って、ワークが薄いフィルム状
の場合でもそのワークを湾曲させることなく吸着するこ
とができるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワーク
の吸着される部分の面積が軟質多孔板の下面の面積より
小さい場合、そのワークに軟質多孔板を当接させて接続
通路から空気を吸い出すと軟質多孔板のワークに当接し
ていない部分から空気が大量にチャンバ内に吸い込まれ
る。そのため、ワークにそのワークを吸着するのに十分
な吸引力が働かず、ワークを吸着することができないと
いう問題点があった。
の吸着される部分の面積が軟質多孔板の下面の面積より
小さい場合、そのワークに軟質多孔板を当接させて接続
通路から空気を吸い出すと軟質多孔板のワークに当接し
ていない部分から空気が大量にチャンバ内に吸い込まれ
る。そのため、ワークにそのワークを吸着するのに十分
な吸引力が働かず、ワークを吸着することができないと
いう問題点があった。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、第１の目的は、吸着面が板材の被吸
着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を吸着
することができる真空チャックを提供することにある。
れたものであって、第１の目的は、吸着面が板材の被吸
着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を吸着
することができる真空チャックを提供することにある。
【０００６】又、本発明の第２の目的は、吸着面が板材
の被吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物
を吸着することができ、しかも低コストでその被吸着物
を吸着させることができる真空チャックを提供すること
にある。
の被吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物
を吸着することができ、しかも低コストでその被吸着物
を吸着させることができる真空チャックを提供すること
にある。
【０００７】更に、本発明の第３の目的は、すでに製造
されている真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を
吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着
可能にすることができる真空チャックにおける被吸着物
の吸着方法を提供することにある。
されている真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を
吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着
可能にすることができる真空チャックにおける被吸着物
の吸着方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１記載の発明は、表裏両面に連通する多数の
透孔を有する板材の一方の面から空気を吸引することに
より他方の面に被吸着物を吸着する真空チャックにおい
て、前記板体の他方の面に、前記透孔より小さく透孔と
同方向に延びる多数の貫通孔が形成されるとともにその
貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口面積の総和よ
り小さいシート部材を設けた。
め、請求項１記載の発明は、表裏両面に連通する多数の
透孔を有する板材の一方の面から空気を吸引することに
より他方の面に被吸着物を吸着する真空チャックにおい
て、前記板体の他方の面に、前記透孔より小さく透孔と
同方向に延びる多数の貫通孔が形成されるとともにその
貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口面積の総和よ
り小さいシート部材を設けた。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の真
空チャックにおいて、シート部材を紙により形成した。
請求項３記載の発明は、真空チャックに、表裏両面に連
通する多数の透孔を有する板材を設け、その板材の一方
の面から空気を吸引することにより他方の面に被吸着物
を吸着させる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法
において、前記板材の他方の面に、その板材の透孔より
小さく透孔と同方向に延びる多数の貫通孔が形成される
とともにその貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口
面積の総和より小さいシート部材を吸着させ、そのシー
ト部材に被吸着物を吸着させる。
空チャックにおいて、シート部材を紙により形成した。
請求項３記載の発明は、真空チャックに、表裏両面に連
通する多数の透孔を有する板材を設け、その板材の一方
の面から空気を吸引することにより他方の面に被吸着物
を吸着させる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法
において、前記板材の他方の面に、その板材の透孔より
小さく透孔と同方向に延びる多数の貫通孔が形成される
とともにその貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口
面積の総和より小さいシート部材を吸着させ、そのシー
ト部材に被吸着物を吸着させる。
【００１０】
【作用】従って、請求項１の発明によれば、被吸着物に
板材の他方の面をシート部材を介して当接させ、板材の
一方の面から空気を吸引するとその吸引力により被吸着
物がシート部材を介して板材の他方の面に吸着される。
又、吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の面積よ
り小さい被吸着物の場合、板材の一方の面から空気を吸
引すると板材の他方の面における被吸着物の当接してい
ない部分から板材の他方の面に向かって空気が流れる。
この空気の流量は板材の他方の面に設けられたシート部
材により被吸着物を十分に吸着できる程度に抑えられ
る。そのため、被吸着物にその被吸着物を板材に十分に
吸着させる大きさの吸引力が働き、吸着面が板材の被吸
着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物の場合
でも、その被吸着物はシート部材を介して板材の他方の
面に吸着される。
板材の他方の面をシート部材を介して当接させ、板材の
一方の面から空気を吸引するとその吸引力により被吸着
物がシート部材を介して板材の他方の面に吸着される。
又、吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の面積よ
り小さい被吸着物の場合、板材の一方の面から空気を吸
引すると板材の他方の面における被吸着物の当接してい
ない部分から板材の他方の面に向かって空気が流れる。
この空気の流量は板材の他方の面に設けられたシート部
材により被吸着物を十分に吸着できる程度に抑えられ
る。そのため、被吸着物にその被吸着物を板材に十分に
吸着させる大きさの吸引力が働き、吸着面が板材の被吸
着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物の場合
でも、その被吸着物はシート部材を介して板材の他方の
面に吸着される。
【００１１】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
の作用に加えて、シート部材を紙により構成したため、
吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の面積より小
さい被吸着物を吸着することができる真空チャックを低
コストで製造することが可能となる。
の作用に加えて、シート部材を紙により構成したため、
吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の面積より小
さい被吸着物を吸着することができる真空チャックを低
コストで製造することが可能となる。
【００１２】請求項３の発明によれば、板材の他方の面
にシート部材を当接させて板材の一方の面から空気を吸
引すると、板材の他方の面にシート部材が吸着される。
そのシート部材を介して板材を吸着面が板材の被吸着物
を吸着させる側の面の面積より小さくなるような被吸着
物に当接させれば、その被吸着物はシート部材を介して
板材に吸着される。即ち、板材の他方の面における被吸
着物の接触していない部分から板材の他方の面に向かっ
て流れる空気の流量が、シート部材により被吸着物を十
分に吸着できる程度に抑えられるため、前記被吸着物は
板材に吸着される。従って、シート部材を板材の他方の
面に吸着させれば、すでに製造された真空チャックを、
容易に吸着面が板材の被吸着物を吸着させる側の面の面
積より小い被吸着物を吸着可能にすることができる。
にシート部材を当接させて板材の一方の面から空気を吸
引すると、板材の他方の面にシート部材が吸着される。
そのシート部材を介して板材を吸着面が板材の被吸着物
を吸着させる側の面の面積より小さくなるような被吸着
物に当接させれば、その被吸着物はシート部材を介して
板材に吸着される。即ち、板材の他方の面における被吸
着物の接触していない部分から板材の他方の面に向かっ
て流れる空気の流量が、シート部材により被吸着物を十
分に吸着できる程度に抑えられるため、前記被吸着物は
板材に吸着される。従って、シート部材を板材の他方の
面に吸着させれば、すでに製造された真空チャックを、
容易に吸着面が板材の被吸着物を吸着させる側の面の面
積より小い被吸着物を吸着可能にすることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図１〜
図３に従って説明する。図１，図２に示すように、真空
チャック１のチャック本体２は直方体状に形成され、そ
の上面には例えば幅３ｍｍの複数の吸込溝３が田の字状
となるように交差して形成されている。又、チャック本
体２にはその長手方向と直交する方向に延びる吸出通路
４が形成され、その吸出通路４には前記各吸込溝３の交
差する部分にそれぞれ形成された吸込孔３ａが連通して
いる。
図３に従って説明する。図１，図２に示すように、真空
チャック１のチャック本体２は直方体状に形成され、そ
の上面には例えば幅３ｍｍの複数の吸込溝３が田の字状
となるように交差して形成されている。又、チャック本
体２にはその長手方向と直交する方向に延びる吸出通路
４が形成され、その吸出通路４には前記各吸込溝３の交
差する部分にそれぞれ形成された吸込孔３ａが連通して
いる。
【００１４】チャック本体２の上面には、板材５が各吸
込溝３を覆うようにエポキシ樹脂接着剤により接着され
ている。そのエポキシ樹脂接着剤は板材５の下面５ａの
外縁部のみに塗布されているため、板材５とチャック本
体２との接合面から空気が漏れないようになっている。
又、板材５はその上面５ｂが平らになるように形成され
ている。
込溝３を覆うようにエポキシ樹脂接着剤により接着され
ている。そのエポキシ樹脂接着剤は板材５の下面５ａの
外縁部のみに塗布されているため、板材５とチャック本
体２との接合面から空気が漏れないようになっている。
又、板材５はその上面５ｂが平らになるように形成され
ている。
【００１５】板材５は銅，ステンレス及び樹脂等の粒子
をプレスすることにより形成されているため、図３に示
すように、板材５にはその上下両面５ａ，５ｂを連通す
る多数の透孔６が形成されている。この透孔６は、その
平均径が約１００μｍで１ｃｍ2 当たり約５３００個形
成されている。そして、板材５の上面５ｂの面積に対す
る透孔６の総開口面積の割合（以下、板材５の気孔率と
いう）は４２％となっている。又、板材５の外側部分に
は前記透孔６が形成されていないシール部７が設けられ
ている。
をプレスすることにより形成されているため、図３に示
すように、板材５にはその上下両面５ａ，５ｂを連通す
る多数の透孔６が形成されている。この透孔６は、その
平均径が約１００μｍで１ｃｍ2 当たり約５３００個形
成されている。そして、板材５の上面５ｂの面積に対す
る透孔６の総開口面積の割合（以下、板材５の気孔率と
いう）は４２％となっている。又、板材５の外側部分に
は前記透孔６が形成されていないシール部７が設けられ
ている。
【００１６】板材５の上側には、板材５の上面５ｂ及び
側面を覆うように断面略コの状状に形成された例えば紙
製のシート部材８が配設されている。シート部材８の下
端外縁部には板材５と反対方向に向かって突出する取付
部９が形成され、その取付部９の下面をチャック本体２
の上面に固着することにより、シート部材８はチャック
本体２に取り付けられている。又、シート部材８の板材
５の上面に対応する部分には吸着部１０が設けられ、吸
着部１０にはシート部材８を上下方向に貫通する図３に
示すような多数の貫通孔１１が形成されている。この貫
通孔１１の径は約１０μｍとなっている。そして、吸着
部１０の上面の面積に対する貫通孔１１の総開口面積の
割合（以下、シート部材８の気孔率という）は板材５の
気孔率４２％より小さい値であるＸ％となっている。
側面を覆うように断面略コの状状に形成された例えば紙
製のシート部材８が配設されている。シート部材８の下
端外縁部には板材５と反対方向に向かって突出する取付
部９が形成され、その取付部９の下面をチャック本体２
の上面に固着することにより、シート部材８はチャック
本体２に取り付けられている。又、シート部材８の板材
５の上面に対応する部分には吸着部１０が設けられ、吸
着部１０にはシート部材８を上下方向に貫通する図３に
示すような多数の貫通孔１１が形成されている。この貫
通孔１１の径は約１０μｍとなっている。そして、吸着
部１０の上面の面積に対する貫通孔１１の総開口面積の
割合（以下、シート部材８の気孔率という）は板材５の
気孔率４２％より小さい値であるＸ％となっている。
【００１７】次に、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの
面積より小さいワークを上記の真空チャック１で吸着す
る場合の作用を説明する。真空チャック１の板材５をシ
ート部材８を介して図２の２点鎖線で示す被吸着物とし
てのワークＷに当接させる。このワークＷは吸着面の面
積が板材５の上面５ｂの面積の約半分となっている。そ
して、吸出通路４から空気を吸い出すと、吸込孔３ａ，
吸込溝３及び透孔６を介してワークＷが接触する貫通孔
１１内の空気が板材５側に吸い出されてワークＷの吸着
面に吸引力が働く。又、シート部材８のワークＷが当接
していない部分において、真空チャック１の外部の空気
が貫通孔１１，透孔６を介して吸込溝３内に流れる。貫
通孔１１が形成されたシート部材８はその気孔率Ｘ％が
板材５の気孔率４２％より小さい値であるため、吸込溝
３内に流れ込む空気の流量はシート部材８のない場合に
比べて少なくなる。従って、ワークＷの吸着面に働く吸
引力はワークＷを板材５に吸着するのに十分な大きさに
なり、その吸引力によりワークＷはシート部材８を介し
て板材５に吸着される。
面積より小さいワークを上記の真空チャック１で吸着す
る場合の作用を説明する。真空チャック１の板材５をシ
ート部材８を介して図２の２点鎖線で示す被吸着物とし
てのワークＷに当接させる。このワークＷは吸着面の面
積が板材５の上面５ｂの面積の約半分となっている。そ
して、吸出通路４から空気を吸い出すと、吸込孔３ａ，
吸込溝３及び透孔６を介してワークＷが接触する貫通孔
１１内の空気が板材５側に吸い出されてワークＷの吸着
面に吸引力が働く。又、シート部材８のワークＷが当接
していない部分において、真空チャック１の外部の空気
が貫通孔１１，透孔６を介して吸込溝３内に流れる。貫
通孔１１が形成されたシート部材８はその気孔率Ｘ％が
板材５の気孔率４２％より小さい値であるため、吸込溝
３内に流れ込む空気の流量はシート部材８のない場合に
比べて少なくなる。従って、ワークＷの吸着面に働く吸
引力はワークＷを板材５に吸着するのに十分な大きさに
なり、その吸引力によりワークＷはシート部材８を介し
て板材５に吸着される。
【００１８】尚、この場合のシート部材８の気孔率Ｘ％
の最適な値の範囲として２０〜２５％，好ましい範囲と
して１５〜３０％，実施可能な範囲として１０〜３５％
があげられる。
の最適な値の範囲として２０〜２５％，好ましい範囲と
して１５〜３０％，実施可能な範囲として１０〜３５％
があげられる。
【００１９】以上詳述したように本実施例では、気孔率
Ｘ％が板材５の気孔率４２％より小さいシート部材８を
板材５の上面５ｂに設けたため、吸着面の面積が板材５
の上面５ｂの面積より小さいワークＷを吸着することが
できる。
Ｘ％が板材５の気孔率４２％より小さいシート部材８を
板材５の上面５ｂに設けたため、吸着面の面積が板材５
の上面５ｂの面積より小さいワークＷを吸着することが
できる。
【００２０】又、シート部材８を紙により形成したた
め、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さい
ワークＷを吸着可能な真空チャック１を低コストで製造
することができる。
め、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さい
ワークＷを吸着可能な真空チャック１を低コストで製造
することができる。
【００２１】更に、板材５の上面５ｂは平らに形成され
ているため、例えば薄いフィルム状のワークを吸着する
場合でもそのワークＷを湾曲変形させることなく吸着す
ることができる。
ているため、例えば薄いフィルム状のワークを吸着する
場合でもそのワークＷを湾曲変形させることなく吸着す
ることができる。
【００２２】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、例えば以下のように変更して具体化してもよ
い。 （１）シート部材８をチャック本体２に固着しなくても
よい。即ち、板材５の上面５ｂにシート部材８を当接さ
せ、吸出通路４から空気を吸い出して板材５の上面５ｂ
にシート部材８を吸着させる。そして、その後に吸着面
の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さいワークＷを
吸着するようにしてもよい。この場合、ワークＷの吸着
面の面積に応じて、シート部材８を板材５に吸着させた
り吸着させなかったりすることができる。即ち、ワーク
Ｗの吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積と同じか又
は大きい時、シート部材８を板材５に吸着させずに直接
そのワークＷを吸着することができ、より確実にワーク
Ｗを吸着することができる。更に、すでに製造されてい
る真空チャックの場合でもその板材にシート部材８を吸
着させることにより、容易に吸着面の面積が板材の上面
の面積より小さいワークＷを吸着できるようにすること
ができる。
ではなく、例えば以下のように変更して具体化してもよ
い。 （１）シート部材８をチャック本体２に固着しなくても
よい。即ち、板材５の上面５ｂにシート部材８を当接さ
せ、吸出通路４から空気を吸い出して板材５の上面５ｂ
にシート部材８を吸着させる。そして、その後に吸着面
の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さいワークＷを
吸着するようにしてもよい。この場合、ワークＷの吸着
面の面積に応じて、シート部材８を板材５に吸着させた
り吸着させなかったりすることができる。即ち、ワーク
Ｗの吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積と同じか又
は大きい時、シート部材８を板材５に吸着させずに直接
そのワークＷを吸着することができ、より確実にワーク
Ｗを吸着することができる。更に、すでに製造されてい
る真空チャックの場合でもその板材にシート部材８を吸
着させることにより、容易に吸着面の面積が板材の上面
の面積より小さいワークＷを吸着できるようにすること
ができる。
【００２３】又、シート部材８を複数重ねて板材５に吸
着させるようにしてもよい。即ち、シート部材８は重ね
ることにより気孔率が低くなり、シート部材８を多く重
ねるごとに吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より
更に小さいワークＷでも吸着できるようになる。この場
合、ワークＷの吸着面の面積に応じてシート部材８の重
ねる枚数を調節すれば、ワークＷの吸着面の面積が変わ
る場合でもそのワークを吸着することができる。
着させるようにしてもよい。即ち、シート部材８は重ね
ることにより気孔率が低くなり、シート部材８を多く重
ねるごとに吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より
更に小さいワークＷでも吸着できるようになる。この場
合、ワークＷの吸着面の面積に応じてシート部材８の重
ねる枚数を調節すれば、ワークＷの吸着面の面積が変わ
る場合でもそのワークを吸着することができる。
【００２４】（２）本実施例では、シート部材８を紙に
より形成したが、これに代えてシート部材８を布により
形成してもよい。この場合、布は紙と異なり破れにくい
ため、ワークＷを吸着する時等にシート部材８が破損す
るのを防止することができる。
より形成したが、これに代えてシート部材８を布により
形成してもよい。この場合、布は紙と異なり破れにくい
ため、ワークＷを吸着する時等にシート部材８が破損す
るのを防止することができる。
【００２５】（３）本実施例では、板材５に径が約１０
０μｍの透孔６を１ｃｍ2 当たり約５３００個設け、板
材５の気孔率を４２％としたが、透孔６の径及び１ｃｍ
2 当たりの個数を変えて板材５の気孔率を変更してもよ
い。この場合、シート部材８の貫通孔１１の径や１ｃｍ
2 当たりの個数を変えてシート部材８の気孔率Ｘ％を適
宜変更すれば、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積
より小さいワークＷを吸着することができる。
０μｍの透孔６を１ｃｍ2 当たり約５３００個設け、板
材５の気孔率を４２％としたが、透孔６の径及び１ｃｍ
2 当たりの個数を変えて板材５の気孔率を変更してもよ
い。この場合、シート部材８の貫通孔１１の径や１ｃｍ
2 当たりの個数を変えてシート部材８の気孔率Ｘ％を適
宜変更すれば、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積
より小さいワークＷを吸着することができる。
【００２６】（４）本実施例では、吸着面の面積が板材
５の上面５ｂの面積の約半分であるワークＷを吸着した
が、吸着面の面積がそれ以外の値のワークＷを吸着して
もよい。この場合、シート部材８の気孔率Ｘ％を適宜変
更すれば、そのワークＷを吸着することができる。
５の上面５ｂの面積の約半分であるワークＷを吸着した
が、吸着面の面積がそれ以外の値のワークＷを吸着して
もよい。この場合、シート部材８の気孔率Ｘ％を適宜変
更すれば、そのワークＷを吸着することができる。
【００２７】（５）ワークＷを板材５より大きく、孔が
上下方向に延びるように形成されたワークとしてもよ
い。この場合、孔が形成された分だけ板材５とそのワー
クとが接触していない部分ができ、その部分において板
材５の上面５ｂから下面５ａに向かって空気が流れる。
しかし、板材５の上面５ｂにシート部材８を設けること
により、そのワークを吸着することができる。
上下方向に延びるように形成されたワークとしてもよ
い。この場合、孔が形成された分だけ板材５とそのワー
クとが接触していない部分ができ、その部分において板
材５の上面５ｂから下面５ａに向かって空気が流れる。
しかし、板材５の上面５ｂにシート部材８を設けること
により、そのワークを吸着することができる。
【００２８】次に、以上の実施例から把握することがで
きる請求項以外の技術的思想をその効果とともに以下に
記載する。 （１）請求項１記載の真空チャックにおいて、シート部
材を布により形成した真空チャック。
きる請求項以外の技術的思想をその効果とともに以下に
記載する。 （１）請求項１記載の真空チャックにおいて、シート部
材を布により形成した真空チャック。
【００２９】この場合、被吸着物を吸着する時等にシー
ト部材が破損するのを防止することができる。 （２）請求項３記載の真空チャックにおける被吸着物の
吸着方法において、板材の一方の面に複数のシート部材
を積層して吸着させ、被吸着物と板材の一方の面との接
触面積に応じてシート部材の枚数を変更する真空チャッ
クにおける被吸着物の吸着方法。
ト部材が破損するのを防止することができる。 （２）請求項３記載の真空チャックにおける被吸着物の
吸着方法において、板材の一方の面に複数のシート部材
を積層して吸着させ、被吸着物と板材の一方の面との接
触面積に応じてシート部材の枚数を変更する真空チャッ
クにおける被吸着物の吸着方法。
【００３０】この場合、被吸着物の吸着面の面積に応じ
てシート部材の重ねる枚数を調節すれば、被吸着物の吸
着面の面積が変わる場合でもその被吸着物を吸着するこ
とができる。
てシート部材の重ねる枚数を調節すれば、被吸着物の吸
着面の面積が変わる場合でもその被吸着物を吸着するこ
とができる。
【００３１】尚、本明細書において、シート部材とは紙
及び布のみならず多数の貫通孔が形成されたシート部材
なら材質は何でもよい。
及び布のみならず多数の貫通孔が形成されたシート部材
なら材質は何でもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の発明
によれば、吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の
面積より小さい被吸着物を吸着することができる。
によれば、吸着面が板材の被吸着物を吸着する側の面の
面積より小さい被吸着物を吸着することができる。
【００３３】請求項２記載の発明によれば、吸着面が板
材の被吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着
物を吸着することができ、しかも低コストでその被吸着
物を吸着させることができる。
材の被吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着
物を吸着することができ、しかも低コストでその被吸着
物を吸着させることができる。
【００３４】請求項３記載の発明によれば、すでに製造
されている真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を
吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着
可能にすることができる。
されている真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を
吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着
可能にすることができる。
【図１】本実施例の真空チャックを示す分解斜視図であ
る。
る。
【図２】本実施例の真空チャックを示す断面図である。
【図３】板材及びシート部材を示す概略断面図である。
１…真空チャック、５…板材、５ａ…一方の面としての
下面、５ｂ…他方の面としての上面、６…透孔、８…シ
ート部材、１１…貫通孔、Ｗ…被吸着物としてのワー
ク。
下面、５ｂ…他方の面としての上面、６…透孔、８…シ
ート部材、１１…貫通孔、Ｗ…被吸着物としてのワー
ク。
Claims (3)
- 【請求項１】 表裏両面（５ａ，５ｂ）に連通する多数
の透孔（６）を有する板材（５）の一方の面（５ａ）か
ら空気を吸引することにより他方の面（５ｂ）に被吸着
物（Ｗ）を吸着する真空チャックにおいて、 前記板材（５）の他方の面（５ｂ）に、前記透孔（６）
より小さく透孔（６）と同方向に延びる多数の貫通孔
（１１）が形成されるとともにその貫通孔（１１）の開
口面積の総和が前記透孔（６）の開口面積の総和より小
さいシート部材（８）を設けた真空チャック。 - 【請求項２】 請求項１記載の真空チャックにおいて、
シート部材（８）を紙により形成した真空チャック。 - 【請求項３】 真空チャック（１）に、表裏両面（５
ａ，５ｂ）に連通する多数の透孔（６）を有する板材
（５）を設け、その板材（５）の一方の面（５ａ）から
空気を吸引することにより他方の面（５ｂ）に被吸着物
（Ｗ）を吸着させる真空チャックにおける被吸着物の吸
着方法において、 前記板材（５）の他方の面（５ｂ）に、その板材（５）
の透孔（６）より小さく透孔（６）と同方向に延びる多
数の貫通孔（１１）が形成されるとともにその貫通孔
（１１）の開口面積の総和が前記透孔（６）の開口面積
の総和より小さいシート部材（８）を吸着させ、そのシ
ート部材（８）に被吸着物を吸着させる真空チャックに
おける被吸着物の吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111391A JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111391A JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07314370A true JPH07314370A (ja) | 1995-12-05 |
| JP2693720B2 JP2693720B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=14559983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6111391A Expired - Fee Related JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2693720B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009117552A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 吸着ステージ |
| JP5250147B1 (ja) * | 2012-05-31 | 2013-07-31 | 株式会社 鮮一技研 | 順次密着できる構造を有するシート型ｆｐｃｂ自動真空吸脱着装置 |
| JP2015507558A (ja) * | 2012-07-10 | 2015-03-12 | エルジー・ケム・リミテッド | 被印刷物固定具、印刷装置および印刷方法｛ａｐｐａｒａｔｕｓｆｏｒｆｉｘｉｎｇｐｒｉｎｔｅｄｍａｔｔｅｒ、ｐｒｉｎｔｉｎｇｄｅｖｉｃｅａｎｄｐｒｉｎｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄ｝ |
| KR20160027895A (ko) * | 2014-08-29 | 2016-03-10 | 주식회사 태성기연 | 디스플레이용 패널 흡착장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011114253A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Nanotemu:Kk | 真空チャック |
| WO2017154085A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社ナノテム | 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 | ||
| JPS4855268U (ja) * | 1972-02-08 | 1973-07-16 | ||
| JPS62153091U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-28 |
-
1994
- 1994-05-25 JP JP6111391A patent/JP2693720B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 | ||
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| KR20160027895A (ko) * | 2014-08-29 | 2016-03-10 | 주식회사 태성기연 | 디스플레이용 패널 흡착장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2693720B2 (ja) | 1997-12-24 |
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