JPH07317752A - 動圧気体軸受 - Google Patents
動圧気体軸受Info
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- JPH07317752A JPH07317752A JP13781194A JP13781194A JPH07317752A JP H07317752 A JPH07317752 A JP H07317752A JP 13781194 A JP13781194 A JP 13781194A JP 13781194 A JP13781194 A JP 13781194A JP H07317752 A JPH07317752 A JP H07317752A
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Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転軸４とティルティングパッド３とが直接
接触する起動時などに、摩擦抵抗が小さく、摩耗が少な
く、焼損の発生を防止する。 【構成】 ティルティングパッド３の内周面及びこれに
対向する回転軸４の外周面にセラミックコーティング３
ａ及び４ａを施し、この各セラミックコーティング３ａ
及び４ａの面上にそれぞれ固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを付
着した。
接触する起動時などに、摩擦抵抗が小さく、摩耗が少な
く、焼損の発生を防止する。 【構成】 ティルティングパッド３の内周面及びこれに
対向する回転軸４の外周面にセラミックコーティング３
ａ及び４ａを施し、この各セラミックコーティング３ａ
及び４ａの面上にそれぞれ固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを付
着した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高速回転する回転軸
とティルティングパッドとの間に気体の動圧を発生させ
て無接触支承させる動圧気体軸受に関するものである。
とティルティングパッドとの間に気体の動圧を発生させ
て無接触支承させる動圧気体軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の動圧気体軸受を示す。軸受
ハウジング１に調節可能に固定されたピボット２の先端
に支持されて断面円弧状のティルティングパッド３が傾
斜自由に設けられ、このティルティングパッド３に囲ま
れるように回転軸４が設けられている。回転軸４が高速
回転すると、回転軸４に接触している気体が、ティルテ
ィングパッド３の内周面と回転軸４の外周面との間に引
き込まれて圧縮されることにより動圧が発生し、この動
圧により回転軸４の表面にティルティングパッド３の表
面が直接接触することなく支承される。しかし、起動時
などの回転が低いときは、発生する気体の動圧は小さい
ので、回転軸４とティルティングパッド３とが固体接触
して大きな摩擦抵抗が生じる。この問題に対して、特開
平３−１２１３６０では、ティルティングパッド３の内
周面にセラミックコーティング３ａを施し、このセラミ
ックコーティング３ａの面上に固体潤滑膜３ｂを付着し
て摩擦抵抗を低減するという解決手段が開示されてい
る。
ハウジング１に調節可能に固定されたピボット２の先端
に支持されて断面円弧状のティルティングパッド３が傾
斜自由に設けられ、このティルティングパッド３に囲ま
れるように回転軸４が設けられている。回転軸４が高速
回転すると、回転軸４に接触している気体が、ティルテ
ィングパッド３の内周面と回転軸４の外周面との間に引
き込まれて圧縮されることにより動圧が発生し、この動
圧により回転軸４の表面にティルティングパッド３の表
面が直接接触することなく支承される。しかし、起動時
などの回転が低いときは、発生する気体の動圧は小さい
ので、回転軸４とティルティングパッド３とが固体接触
して大きな摩擦抵抗が生じる。この問題に対して、特開
平３−１２１３６０では、ティルティングパッド３の内
周面にセラミックコーティング３ａを施し、このセラミ
ックコーティング３ａの面上に固体潤滑膜３ｂを付着し
て摩擦抵抗を低減するという解決手段が開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の動圧気体軸受は
上記のようであるが、ティルティングパッド３の内周面
にセラミックコーティング３ａ及び固体潤滑膜３ｂを施
工したものでも、軸受荷重が大きいものでは、起動時な
どの回転が低いときにティルティングパッド３に回転軸
４が接触するときの摩擦抵抗がまだ相当にあるため、大
きな駆動トルクが必要となる。また、回転軸４がティル
ティングパッド３に接触する固体接触箇所で固体潤滑膜
３ｂの損耗が早いため、当該軸受表面の形状がくずれ
て、回転が上昇しても気体の動圧が発生し難くなり、そ
のため摩耗が早くなり焼損が発生するというような課題
があった。
上記のようであるが、ティルティングパッド３の内周面
にセラミックコーティング３ａ及び固体潤滑膜３ｂを施
工したものでも、軸受荷重が大きいものでは、起動時な
どの回転が低いときにティルティングパッド３に回転軸
４が接触するときの摩擦抵抗がまだ相当にあるため、大
きな駆動トルクが必要となる。また、回転軸４がティル
ティングパッド３に接触する固体接触箇所で固体潤滑膜
３ｂの損耗が早いため、当該軸受表面の形状がくずれ
て、回転が上昇しても気体の動圧が発生し難くなり、そ
のため摩耗が早くなり焼損が発生するというような課題
があった。
【０００４】この発明は上記課題を解消するためになさ
れたもので、軸受荷重が大きいものでも、回転軸４とテ
ィルティングパッド３とが直接接触するときに、摩擦抵
抗すなわち駆動トルクが小さく、摩耗が少なく、焼損が
発生し難い動圧気体軸受を得ることを目的とする。
れたもので、軸受荷重が大きいものでも、回転軸４とテ
ィルティングパッド３とが直接接触するときに、摩擦抵
抗すなわち駆動トルクが小さく、摩耗が少なく、焼損が
発生し難い動圧気体軸受を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る動圧気体
軸受は、ティルティングパッドの内周面及びこれに対向
する回転軸の外周面にそれぞれセラミックコーティング
を施し、この各セラミックコーティング面上にそれぞれ
固体潤滑膜を付着したものである。
軸受は、ティルティングパッドの内周面及びこれに対向
する回転軸の外周面にそれぞれセラミックコーティング
を施し、この各セラミックコーティング面上にそれぞれ
固体潤滑膜を付着したものである。
【０００６】
【作用】この発明における動圧気体軸受は、回転軸とテ
ィルティングパッドとが直接接触するとき、回転軸のセ
ラミックコーティング面に付着した固体潤滑膜が、ティ
ルティングパッドのセラミックコーティング面に付着し
た固体潤滑膜に接触して摺動するので、両固体潤滑膜の
潤滑作用により摩擦抵抗すなわち駆動トルクが小さくな
る。また、セラミックコーティングの滑らかな堅い表面
は本質的に耐摩耗性，耐熱性が優れているので、摩耗が
少なく、焼損の発生が防止される。
ィルティングパッドとが直接接触するとき、回転軸のセ
ラミックコーティング面に付着した固体潤滑膜が、ティ
ルティングパッドのセラミックコーティング面に付着し
た固体潤滑膜に接触して摺動するので、両固体潤滑膜の
潤滑作用により摩擦抵抗すなわち駆動トルクが小さくな
る。また、セラミックコーティングの滑らかな堅い表面
は本質的に耐摩耗性，耐熱性が優れているので、摩耗が
少なく、焼損の発生が防止される。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、１は軸受ハウジング、２はピボッ
ト、３はティルティングパッド、４は回転軸である。軸
受ハウジング１は、図示しないガス圧縮機などの回転流
体機械の本体静止部に一体的に形成されている。ピボッ
ト２はボルト状に形成され、軸受ハウジング１に形成さ
れたねじ穴に螺入して固定ナット６で止めることにより
半径方向内方への突出量が調節可能に締着固定される。
ティルティングパッド３は断面円弧状のかわら煎餅状に
形成され、その外周面の中央部より回転軸４の回転下流
方向に偏位した箇所に凹みが形成されており、この凹み
にピボット２の先端が当接し、これを支点として小角度
の傾斜は自由に支持されている。回転軸４は、図示しな
い前記回転流体機械の高速回転する回転体の回転軸であ
り、この回転体の重量や慣性力をこの軸受に支持させる
ものである。
する。図１において、１は軸受ハウジング、２はピボッ
ト、３はティルティングパッド、４は回転軸である。軸
受ハウジング１は、図示しないガス圧縮機などの回転流
体機械の本体静止部に一体的に形成されている。ピボッ
ト２はボルト状に形成され、軸受ハウジング１に形成さ
れたねじ穴に螺入して固定ナット６で止めることにより
半径方向内方への突出量が調節可能に締着固定される。
ティルティングパッド３は断面円弧状のかわら煎餅状に
形成され、その外周面の中央部より回転軸４の回転下流
方向に偏位した箇所に凹みが形成されており、この凹み
にピボット２の先端が当接し、これを支点として小角度
の傾斜は自由に支持されている。回転軸４は、図示しな
い前記回転流体機械の高速回転する回転体の回転軸であ
り、この回転体の重量や慣性力をこの軸受に支持させる
ものである。
【０００８】図１に示すように、ティルティングパッド
３の内周面にはセラミックコーティング３ａが施され、
セラミックコーティング３ａの表面には固体潤滑膜３ｂ
が付着されている。また、この軸受部の回転軸４の外周
面にもセラミックコーティング４ａが施され、セラミッ
クコーティング４ａの表面には固体潤滑膜４ｂが付着さ
れている。セラミックコーティング３ａ及び４ａの材料
としては、窒化チタン（ＴｉＮ），炭化チタン（Ｔｉ
Ｃ），酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ），酸化クロム
（Ｃｒ2 Ｏ3 ），クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ2 ），タ
ングステンカーバイド（ＷＣ）等の耐摩耗性，耐熱性に
優れたものを用いる。これらのセラミック材料を超高温
かつ超高速の高エネルギー溶射法により、ティルティン
グパッド３の内周面及び回転軸４の外周面に溶射して、
高密度，高硬度，高密着力の溶射膜すなわちセラミック
コーティング３ａ及び４ａを形成させる。その後、その
セラミックコーティング３ａ及び４ａの表面を０．２Ｒ
ａ（中心線平均粗さ）よりも良い仕上げ面になるように
精密研削，ラッピング仕上げ等を行う。
３の内周面にはセラミックコーティング３ａが施され、
セラミックコーティング３ａの表面には固体潤滑膜３ｂ
が付着されている。また、この軸受部の回転軸４の外周
面にもセラミックコーティング４ａが施され、セラミッ
クコーティング４ａの表面には固体潤滑膜４ｂが付着さ
れている。セラミックコーティング３ａ及び４ａの材料
としては、窒化チタン（ＴｉＮ），炭化チタン（Ｔｉ
Ｃ），酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ），酸化クロム
（Ｃｒ2 Ｏ3 ），クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ2 ），タ
ングステンカーバイド（ＷＣ）等の耐摩耗性，耐熱性に
優れたものを用いる。これらのセラミック材料を超高温
かつ超高速の高エネルギー溶射法により、ティルティン
グパッド３の内周面及び回転軸４の外周面に溶射して、
高密度，高硬度，高密着力の溶射膜すなわちセラミック
コーティング３ａ及び４ａを形成させる。その後、その
セラミックコーティング３ａ及び４ａの表面を０．２Ｒ
ａ（中心線平均粗さ）よりも良い仕上げ面になるように
精密研削，ラッピング仕上げ等を行う。
【０００９】図１に示すように、ティルティングパッド
３及び回転軸４のセラミックコーティング３ａ及び４ａ
の表面にはそれぞれ固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを付着させ
る。固体潤滑膜３ｂ及び４ｂの材料としては、二硫化モ
リブデン（ＭｏＳ2 ），ダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）
等の摩擦係数の小さいものを用い、これらの材料を物理
蒸着法（ＰＶＤ），化学蒸着法（ＣＶＤ）等の手段によ
って、セラミックコーティング３ａ，４ａの表面に強固
に付着させ、その厚さが約０．１乃至１０μｍになるよ
うに形成する。
３及び回転軸４のセラミックコーティング３ａ及び４ａ
の表面にはそれぞれ固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを付着させ
る。固体潤滑膜３ｂ及び４ｂの材料としては、二硫化モ
リブデン（ＭｏＳ2 ），ダイヤモンド状炭素（ＤＬＣ）
等の摩擦係数の小さいものを用い、これらの材料を物理
蒸着法（ＰＶＤ），化学蒸着法（ＣＶＤ）等の手段によ
って、セラミックコーティング３ａ，４ａの表面に強固
に付着させ、その厚さが約０．１乃至１０μｍになるよ
うに形成する。
【００１０】次に、図１に示す実施例の動作について説
明する。回転軸４が高速回転している時は、回転軸４の
外周面に接する気体は回転軸４の回転に引きずられて回
転する。ティルティングパッド３は、その背面の中央よ
り回転軸４の回転下流側の箇所でピボット２の先端に傾
斜自由に支持されているので、ティルティングパッド３
が回転軸４に接する圧力は回転上流部より下流部が大き
くなる。したがって、回転軸４の外周に接してその回転
に引きずられて回転する気体は、回転軸４とティルティ
ングパッド３との隙間に上流側から容易に入り、隙間の
下流部に進むとともに隙間は狭くなり、回転軸４の回転
に引きずられて隙間内を流れる気体は圧縮されて圧力が
上昇する。このようにして、高速回転する回転軸４につ
れ回りする気体が回転軸４とティルティングパッド３と
の隙間において発生する動圧によって、回転軸４はティ
ルティングパッド３に直接固体接触することなく支承さ
れる。したがって、小さな回転トルクで回転軸を高速回
転させることができる。
明する。回転軸４が高速回転している時は、回転軸４の
外周面に接する気体は回転軸４の回転に引きずられて回
転する。ティルティングパッド３は、その背面の中央よ
り回転軸４の回転下流側の箇所でピボット２の先端に傾
斜自由に支持されているので、ティルティングパッド３
が回転軸４に接する圧力は回転上流部より下流部が大き
くなる。したがって、回転軸４の外周に接してその回転
に引きずられて回転する気体は、回転軸４とティルティ
ングパッド３との隙間に上流側から容易に入り、隙間の
下流部に進むとともに隙間は狭くなり、回転軸４の回転
に引きずられて隙間内を流れる気体は圧縮されて圧力が
上昇する。このようにして、高速回転する回転軸４につ
れ回りする気体が回転軸４とティルティングパッド３と
の隙間において発生する動圧によって、回転軸４はティ
ルティングパッド３に直接固体接触することなく支承さ
れる。したがって、小さな回転トルクで回転軸を高速回
転させることができる。
【００１１】しかし、起動時などの回転軸４の低速回転
時には、回転軸４の回転にともなう気体のつれ回り速度
も小さく、回転軸４を支承するほどの動圧は発生せず、
回転軸４がティルティングパッド３に直接接触する。回
転軸４がティルティングパッド３に直接接触しながら回
転すれば、従来の動圧気体軸受では、前記先行技術に記
載された図３に示すティルティングパッド３の内周面に
セラミックコーティング３ａ及び固体潤滑膜３ｂを施工
したものでも、摩擦抵抗が相当に大きく、大きな回転駆
動トルクを必要とし、多量の摩擦熱が発生するので、軸
受荷重の大きなものでは、軸受面の焼損等の事故が発生
することがあった。
時には、回転軸４の回転にともなう気体のつれ回り速度
も小さく、回転軸４を支承するほどの動圧は発生せず、
回転軸４がティルティングパッド３に直接接触する。回
転軸４がティルティングパッド３に直接接触しながら回
転すれば、従来の動圧気体軸受では、前記先行技術に記
載された図３に示すティルティングパッド３の内周面に
セラミックコーティング３ａ及び固体潤滑膜３ｂを施工
したものでも、摩擦抵抗が相当に大きく、大きな回転駆
動トルクを必要とし、多量の摩擦熱が発生するので、軸
受荷重の大きなものでは、軸受面の焼損等の事故が発生
することがあった。
【００１２】これに対して、図１に示す動圧気体軸受で
は、回転軸４がティルティングパッド３に直接接触して
回転する時に、回転軸４の外周面のセラミックコーティ
ング４ａの表面に付着した固体潤滑膜４ｂが、ティルテ
ィングパッド３の内周面のセラミックコーティング３ａ
の表面に付着した固体潤滑膜３ｂに接触して摺動するの
で、セラミックコーティング４ａ及び３ａの表面に付着
された両固体潤滑膜４ｂ及び３ｂの潤滑作用により、摩
擦抵抗が小さくなり、必要とする回転駆動トルクが小さ
くなり、摩擦熱の発生量が少なくなる。したがって、軸
受荷重の大きなものであっても、軸受面の焼損の発生が
防止される。また、セラミックコーティング４ａ及び３
ａの滑らかな堅い表面は本質的に摩擦抵抗が小さく、耐
摩耗性，耐熱性が優れているので、直接接触部の摩耗変
形が防止され、気体動圧を発生させて支持するという軸
受機能の喪失が防止される。また、これにより焼損の発
生が防止される。なお、図１に示す動圧気体軸受ではテ
ィルティングパッド３を３個設けたものを示したが、２
個又は４個以上設けたものでも同様な構成により同様な
作用効果が得られる。
は、回転軸４がティルティングパッド３に直接接触して
回転する時に、回転軸４の外周面のセラミックコーティ
ング４ａの表面に付着した固体潤滑膜４ｂが、ティルテ
ィングパッド３の内周面のセラミックコーティング３ａ
の表面に付着した固体潤滑膜３ｂに接触して摺動するの
で、セラミックコーティング４ａ及び３ａの表面に付着
された両固体潤滑膜４ｂ及び３ｂの潤滑作用により、摩
擦抵抗が小さくなり、必要とする回転駆動トルクが小さ
くなり、摩擦熱の発生量が少なくなる。したがって、軸
受荷重の大きなものであっても、軸受面の焼損の発生が
防止される。また、セラミックコーティング４ａ及び３
ａの滑らかな堅い表面は本質的に摩擦抵抗が小さく、耐
摩耗性，耐熱性が優れているので、直接接触部の摩耗変
形が防止され、気体動圧を発生させて支持するという軸
受機能の喪失が防止される。また、これにより焼損の発
生が防止される。なお、図１に示す動圧気体軸受ではテ
ィルティングパッド３を３個設けたものを示したが、２
個又は４個以上設けたものでも同様な構成により同様な
作用効果が得られる。
【００１３】図２は動圧気体軸受の摩擦係数を調べた試
験結果を示す図である。黒丸は従来例による動圧気体軸
受を示し、回転軸４は鋼材のままで、ティルティングパ
ッド３の内周面にセラミックコーティング３ａ及び固体
潤滑膜３ｂを付着したものである。白丸は本発明の実施
例による動圧気体軸受を示し、ティルティングパッド３
の内周面及び回転軸４の外周面に酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ
3 ）を高エネルギーガス溶射法により溶射して、セラミ
ックコーティング３ａ及び４ａを形成し、その各表面を
０．２Ｒａ（中心線平均粗さ）よりも良い仕上げ面にな
るように精密研削，ラッピング仕上げを行い、さらに、
これらの仕上げられたセラミックコーティング３ａ及び
４ａの表面に、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2 ）をスパッ
タリングにより付着させ、その厚さが約０．１乃至１０
μｍになるように固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを形成したも
のである。図２はこれらの動圧気体軸受を同一試験条件
で試験した結果を示すものであり、本発明による動圧気
体軸受の摩擦が従来のものに比べて小さいことが明らか
に示されている。
験結果を示す図である。黒丸は従来例による動圧気体軸
受を示し、回転軸４は鋼材のままで、ティルティングパ
ッド３の内周面にセラミックコーティング３ａ及び固体
潤滑膜３ｂを付着したものである。白丸は本発明の実施
例による動圧気体軸受を示し、ティルティングパッド３
の内周面及び回転軸４の外周面に酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ
3 ）を高エネルギーガス溶射法により溶射して、セラミ
ックコーティング３ａ及び４ａを形成し、その各表面を
０．２Ｒａ（中心線平均粗さ）よりも良い仕上げ面にな
るように精密研削，ラッピング仕上げを行い、さらに、
これらの仕上げられたセラミックコーティング３ａ及び
４ａの表面に、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2 ）をスパッ
タリングにより付着させ、その厚さが約０．１乃至１０
μｍになるように固体潤滑膜３ｂ及び４ｂを形成したも
のである。図２はこれらの動圧気体軸受を同一試験条件
で試験した結果を示すものであり、本発明による動圧気
体軸受の摩擦が従来のものに比べて小さいことが明らか
に示されている。
【００１４】なお、セラミックコーティング３ａ及び４
ａの表面粗さが約０．２Ｒａよりも悪いと、良好な軸受
表面（摺動面）とならず、低速回転中の摩擦抵抗が大き
く、気体動圧支持の高速回転中に固体接触しやすくなる
ので、上記表面粗さより良い仕上げ面になるように精密
研削，ラッピング仕上げを行うことが望ましい。
ａの表面粗さが約０．２Ｒａよりも悪いと、良好な軸受
表面（摺動面）とならず、低速回転中の摩擦抵抗が大き
く、気体動圧支持の高速回転中に固体接触しやすくなる
ので、上記表面粗さより良い仕上げ面になるように精密
研削，ラッピング仕上げを行うことが望ましい。
【００１５】また、固体潤滑膜３ｂ及び４ｂの厚さは、
０．１μｍ以下では安定した潤滑膜の形成施工が困難で
あり、また、潤滑膜の摩耗消失が早く、潤滑機能の発揮
が不十分となる。また、厚さが１０μｍ以上になると、
運転にともなう潤滑膜自体の摩耗により軸受表面の当該
箇所が陥没した形状に変化して、気体動圧の生成が遅れ
るなど正常な軸受機能が保持できなくなる。したがっ
て、固体潤滑膜３ｂ及び４ｂの厚さは、０．１μｍ乃至
１０μｍとすることが望ましい。
０．１μｍ以下では安定した潤滑膜の形成施工が困難で
あり、また、潤滑膜の摩耗消失が早く、潤滑機能の発揮
が不十分となる。また、厚さが１０μｍ以上になると、
運転にともなう潤滑膜自体の摩耗により軸受表面の当該
箇所が陥没した形状に変化して、気体動圧の生成が遅れ
るなど正常な軸受機能が保持できなくなる。したがっ
て、固体潤滑膜３ｂ及び４ｂの厚さは、０．１μｍ乃至
１０μｍとすることが望ましい。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、起動
時などの回転軸がティルティングパッドに接触するとき
に、回転軸のセラミックコーティング面に付着した固体
潤滑膜が、ティルティングパッドのセラミックコーティ
ング面に付着した固体潤滑膜に接触して摺動するので、
両固体潤滑膜の潤滑作用により、摩擦抵抗すなわち駆動
トルクが小さくなる。また、セラミックコーティングの
表面は堅く、耐摩耗性，耐熱性が優れており、摩耗が少
なく焼損の発生が防止される。
時などの回転軸がティルティングパッドに接触するとき
に、回転軸のセラミックコーティング面に付着した固体
潤滑膜が、ティルティングパッドのセラミックコーティ
ング面に付着した固体潤滑膜に接触して摺動するので、
両固体潤滑膜の潤滑作用により、摩擦抵抗すなわち駆動
トルクが小さくなる。また、セラミックコーティングの
表面は堅く、耐摩耗性，耐熱性が優れており、摩耗が少
なく焼損の発生が防止される。
【図１】この発明の一実施例による動圧気体軸受の横断
面図である。
面図である。
【図２】動圧気体軸受の摩擦係数の比較試験結果を示す
グラフである。
グラフである。
【図３】従来の動圧気体軸受の横断面図である。
１：軸受ハウジング、 ２：ピボット、３：ティルティ
ングパッド、 ４：回転軸、３ａ，４ａ：セラミックコ
ーティング、３ｂ，４ｂ：固体潤滑膜。
ングパッド、 ４：回転軸、３ａ，４ａ：セラミックコ
ーティング、３ｂ，４ｂ：固体潤滑膜。
Claims (1)
- 【請求項１】 軸受ハウジングに傾斜自由に支持された
ティルティングパッドの内周面と高速回転する回転軸の
外周面との間に気体の動圧を発生させて前記回転軸を支
承させるようにした動圧気体軸受において、前記ティル
ティングパッドの内周面及びこれに対向する前記回転軸
の外周面にそれぞれセラミックコーティングを施し、こ
の各セラミックコーティング面上にそれぞれ固体潤滑膜
を付着したことを特徴とする動圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13781194A JPH07317752A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 動圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13781194A JPH07317752A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 動圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07317752A true JPH07317752A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=15207414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13781194A Pending JPH07317752A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 動圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07317752A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10176744A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 遊星ローラ式増減速装置 |
| JPH1148241A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成形機の樹脂材料供給装置 |
| JP2002349571A (ja) * | 2002-04-12 | 2002-12-04 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 軸受装置 |
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| WO2016089680A1 (en) | 2014-12-03 | 2016-06-09 | Us Synthetic Corporation | Bearing apparatus including a bearing assembly having a continuous bearing element and a tilting pad bearing assembly |
| WO2017134963A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 三菱重工業株式会社 | ティルティングパッドガス軸受 |
| JP2018096479A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 三菱重工業株式会社 | ティルティングパッドジャーナル軸受の製造方法及びティルティングパッドジャーナル軸受、並びに圧縮機 |
| CN109519343A (zh) * | 2017-09-20 | 2019-03-26 | 西门子歌美飒可再生能源公司 | 用于风力涡轮机的流体膜轴承 |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP13781194A patent/JPH07317752A/ja active Pending
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