JPH0732571U - ピンカードデータ自動取得装置用プローブヘッド部の構造。 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体試験装置に搭載するピンカードの、特
性データ自動取得装置に用いられるプローブヘッドにお
いて、高周波領域でもインピーダンスのマッチング（整
合）がとれて、高精度で、かつ高確度な測定が可能な構
造を得る。 【構成】 信号が入力されるプローブピン・１は誘電
体３を通じて、同軸コネクタ５に接続し、グランド側と
なるプローブピン・２は、同軸コネクタ５のグランド
側に接続された、導体・４に直接接続して、高周波領
域でのインピーダンスのマッチング（整合）するプロー
ブヘッドの構造とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体試験装置に搭載するピンカードの、特性データ自動取得装置 に用いられるプローブヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体試験装置によって、ICデバイスの特性を測定するとき、ICデバイスに所 定の周波数領域の測定用信号を加える必要がある。それはピンカード（Pin Elec tronics Card）群などで構成されるテストヘッド（Test Head）から、該被測定I C デバイスに加えられる。また、該ピンカードは、試験装置のメーカー側からユ ーザー側に対し提供するものであり、そこからICデバイスに加えられる信号波形 などの特性データが、ICデバイスの測定周波全領域にわたって仕様規格（Specif ication） に合致しているかどうか、を確認して提供しなければならず、高い測 定精度が要求される。

【０００３】 ピンカードの特性データの確認は、図１・（１A）及び図２・（２A）に示すよ うに、ユーザ側に提供され実際に使用される状況に近似した状態の中で、特性測 定専用パフォーマンスボードを介してサンプリングオシロスコープなどによって 行われる。しかし、ICデバイスの高集積・高機能化に伴い、該試験装置に必要と される機能も格段に高まり、高周波領域（1.3ns〜500ps）に広がり、チャンネル 数も1000ch. に及び取得すべき特性データは、20項目にも達している。 従来の 技術によるプローブヘッド部は、図２・（２A）及び同・（２B）に示すような構 造となっていた。該プローブヘッド部の構造では、高周波領域におけるインピー ダンスのマッチング（整合）がとりにくく、波形データなどで測定精度が得られ ないという問題点を有していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

前記問題点を解決するために、本考案では、従来までの周波数領域に加えて、 超高周波領域に対してもマッチングがとれて、測定精度を落とさない構造を得る ことを目的とした。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するために、図１・（１A）〜（１C）に示すように、信号が入 力される導体12及びGND.（接地）側となる導体13に代えて、プローブピン ・１及びプローブピン・２とし、それぞれ本考案による構造の信号を入力する 同軸コネクタ５とGND.側となる導体・４に接続する。さらに、誘電体３によっ てインピーダンスマッチング（50Ω）をとった構造とした。

【０００６】

【作用】

（1） プローブピン11は、ポゴピン（Pogo Pin）構造であったが、プローブピ ン・１とプローブピン・２もポゴピン構造としたのでパフォーマンスボード 10の接触パッドとの接触特性機能は保たれる。 （2） プローブピン・２は、本考案の導体・４に直接接続され、これとプ ローブピン・１と誘電体３とによってインピーダンスのマッチングをとること が可能となった。

【０００７】

【実施例】

図１・（１A）〜（１C）に、本考案の実施例の、ピンカードデータ自動取得装 置用プローブヘッド部の構造を示す。（１A）は、平面図を示し、（１B）は、右 側面図を示し、（１C）は、（１B）のプローブヘッド部の一部拡大図である。 （1） 図１・（１A）〜（１C）に示すように、図２・（２A）〜（２B）に示す従 来の技術による信号ラインである導体・12と、グランドラインである導体・ 13とは、ジャンパー線（メッキ線など）で構成されていたが、これをなくしてプ ローブピン・１とプローブピン・２に代えた。 （2） また、同時に、同軸ソケット14であったものを同軸コネクタ５に代えて、 それと信号ラインであるプローブピン・１とを直結した。グランド側であるプ ローブピン・２は、導体・４に直接接続し、さらに導体・４はベースであ る導体・７にネジ６によって取り付けられる。導体・７と導体・４はアル ミニューム材などよりなる。 （3） さらに、ローレットネジ９とオシロスコープ用プローブ押さえ８によって 、図示はしていないサンプリングオシロスコープなどのプローブを係留し、同軸 コネクタ５に接続する。 （4） そして、該プローブヘッド部全体を上下動させて、ピンカード15の上に接 触しているピンカードデータ自動取得装置用専用のパフォーマンスボード10に設 けられた測定用パッドに、プローブピン・１とプローブピン・２とによって 接触させ測定を行う。

【０００８】

【考案の効果】

本考案の、ピンカードデータ自動取得装置用プローブヘッド部の構造は、以上 説明したように構成されているので、インピーダンスマッチングが可能となり、 従来の技術では不可能であった超高周波領域（1.3ns〜500ps）におけるピンカー ドの出力信号の波形をはじめとする諸特性を、高精度にかつ高確度で測定するこ とが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の、ピンカードデータ自動取得
装置用プローブヘッド部の構造を示す。 （１A）：本考案の実施例のプローブヘッド部の構造を
示す平面図である （１B）：同じく、プローブヘッド部の構造を示す右側
面図である。 （１C）：同じく、（１B）に示すプローブヘッド部の一
部拡大図を示す

【図２】従来の技術の、ピンカードデータ自動取得装置
用プローブヘッドの構造を示す （２A）：従来技術のプローブヘッド部の構造を示す平
面図である。 （２B）：同じく、従来技術のプローブヘッド部の構造
を示す右側面図で ある。

【符号の説明】

１ プローブピン ２ プローブピン ３ 誘電体 ４ 導体 ５ 同軸コネクタ ６ ネジ ７ 導体 ８ オシロ用プローブ押え ９ ローレットネジ 10 パフォーマンスボード 11 プローブピン 12 導体 13 導体 14 同軸ソケット 15 ピンカード

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体試験装置に搭載するピンカード
   の、特性データ自動取得装置に用いられるプローブヘッ
   ドの構造において、 信号が入力されるプローブピン（１）を誘電体（３）
   を通じて、同軸コネクタ（５）に接続し、 グランド側となるプローブピン（２）を、同軸コネク
   タ（５）のグランド側に接続された導体（４）に接続
   し、 高周波領域でのインピーダンスのマッチング（整合）が
   可能としたことを特徴とするピンカードデータ自動取得
   装置用プローブヘッド部の構造。