JPH0734064B2 - 回転多面鏡の製造方法 - Google Patents
回転多面鏡の製造方法Info
- Publication number
- JPH0734064B2 JPH0734064B2 JP20112188A JP20112188A JPH0734064B2 JP H0734064 B2 JPH0734064 B2 JP H0734064B2 JP 20112188 A JP20112188 A JP 20112188A JP 20112188 A JP20112188 A JP 20112188A JP H0734064 B2 JPH0734064 B2 JP H0734064B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- polygonal
- mounting reference
- base body
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 レーザプリンタ等のレーザビーム走査に使用される回転
多面鏡の製造方法に関し、 回転多面鏡を高能率、かつ高品質に製造することを目的
とし、 多面形状に形成された基体の全多角面を切削して鏡面に
する回転多面鏡の製造において、多面形状に形成された
基体の両側の取付基準面を半鏡面に形成し、この基体を
複数個、半鏡面の取付基準面を互いに接触させた状態で
同軸上に並設してから、それぞれの多角面を同時に切削
して鏡面に仕上げた後、密着した接触状態にある複数個
の基体を液体中に浸漬して各基体の接触面に向けて超音
波エネルギを加え、密着状態の各基体を分離するように
構成している。
多面鏡の製造方法に関し、 回転多面鏡を高能率、かつ高品質に製造することを目的
とし、 多面形状に形成された基体の全多角面を切削して鏡面に
する回転多面鏡の製造において、多面形状に形成された
基体の両側の取付基準面を半鏡面に形成し、この基体を
複数個、半鏡面の取付基準面を互いに接触させた状態で
同軸上に並設してから、それぞれの多角面を同時に切削
して鏡面に仕上げた後、密着した接触状態にある複数個
の基体を液体中に浸漬して各基体の接触面に向けて超音
波エネルギを加え、密着状態の各基体を分離するように
構成している。
この発明は、レーザプリンタ等のレーザビーム走査に使
用される回転多面鏡の製造方に関するものである。
用される回転多面鏡の製造方に関するものである。
ポリゴンミラーとも称する回転多面鏡は、レーザプリン
タ等のレーザスキャナ用、ファクシミリ等の光学系の反
射鏡などに広く使用されている。レーザプリンタ、ファ
クシミリなどのOA機器にあっては、近年ますます普及し
高精細でかつ高品質な画像出力が要求され、それに伴っ
て高速回転下で高い光反射精度を有する回転多面鏡の大
量生産が望まれている。
タ等のレーザスキャナ用、ファクシミリ等の光学系の反
射鏡などに広く使用されている。レーザプリンタ、ファ
クシミリなどのOA機器にあっては、近年ますます普及し
高精細でかつ高品質な画像出力が要求され、それに伴っ
て高速回転下で高い光反射精度を有する回転多面鏡の大
量生産が望まれている。
従来、回転多面鏡は、アルミニウムまたはアルミニウム
合金等の素材を単体（以下基体と記す）の多面体形状に
粗加工した後、この基体の全多角面および基体側面の取
付基準面を超精密切削加工にて鏡面に形成する方法によ
り製作されるのが普通であった。が、この方法では１個
製作するのに多大な工数と時間とが必要で大量生産に不
向きであることから、現在は以下のような製造方法が実
施されている。
合金等の素材を単体（以下基体と記す）の多面体形状に
粗加工した後、この基体の全多角面および基体側面の取
付基準面を超精密切削加工にて鏡面に形成する方法によ
り製作されるのが普通であった。が、この方法では１個
製作するのに多大な工数と時間とが必要で大量生産に不
向きであることから、現在は以下のような製造方法が実
施されている。
すなわち、この大量生産向きの製造方法は、まず基体の
取付基準面のみを鏡面加工する。次にこの基体を複数
個、それぞれの取付基準面を互いに接触させ（取付基準
面が鏡面のため接触は密着状態となる）、かつそれぞれ
の多角面を一致させた状態で超精密切削機械の割出盤の
軸に並設してから、ダイヤモンドからなるバイトを複数
本用いて各基体の所定の多角面を同時に切削し鏡面仕上
げする。そして各基体の全多角面を鏡面加工後、密着し
た状態の基体を、それらの間隙部にヘラ等の棒材を挿入
しこじ開けるようにして分離し、複数個の回転多面鏡を
得る方法である。
取付基準面のみを鏡面加工する。次にこの基体を複数
個、それぞれの取付基準面を互いに接触させ（取付基準
面が鏡面のため接触は密着状態となる）、かつそれぞれ
の多角面を一致させた状態で超精密切削機械の割出盤の
軸に並設してから、ダイヤモンドからなるバイトを複数
本用いて各基体の所定の多角面を同時に切削し鏡面仕上
げする。そして各基体の全多角面を鏡面加工後、密着し
た状態の基体を、それらの間隙部にヘラ等の棒材を挿入
しこじ開けるようにして分離し、複数個の回転多面鏡を
得る方法である。
ところが、従来の大量生産向き重ね鏡面加工にあって
は、密着状態にある複数個の基体を分離する際に、ヘラ
によって基体の取付基準面にこじ開け跡（スリ傷）が残
ったり、あるいは基体の鏡面部のエッジが一部欠けたり
鏡面部表面を傷つけるなどの問題があった。このような
傷ついた回転多面鏡は、装置に組み込んでも面倒れを生
じたり、光反射性を悪化し、結果的に光走査や光反射精
度の不良を誘発する問題があった。
は、密着状態にある複数個の基体を分離する際に、ヘラ
によって基体の取付基準面にこじ開け跡（スリ傷）が残
ったり、あるいは基体の鏡面部のエッジが一部欠けたり
鏡面部表面を傷つけるなどの問題があった。このような
傷ついた回転多面鏡は、装置に組み込んでも面倒れを生
じたり、光反射性を悪化し、結果的に光走査や光反射精
度の不良を誘発する問題があった。
また、その分離作業にも慎重さを要することから可成り
の時間を費やしていた。
の時間を費やしていた。
この発明は、以上のような従来の状況から、重ね鏡面加
工後の複数個の基体を、取付基準面おおび鏡面部を損傷
することなく容易に、かつ短時間で分離することのでき
る回転多面鏡の製造方法を提供することを目的とする。
工後の複数個の基体を、取付基準面おおび鏡面部を損傷
することなく容易に、かつ短時間で分離することのでき
る回転多面鏡の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するためこの発明は、第１図の原理図に
示すように、まず工程１において多面形状に形成された
基体の両側の取付基準面を半鏡面に形成する。次の工程
２において取付基準面を半鏡面に形成された複数個の基
体を、該取付基準面を互いに接触させた状態で同軸上に
並設し、それぞれの多角面を同時に切削して鏡面に仕上
げる。次の工程３において全多角面の鏡面加工後、密着
した接触状態にある複数個の基体を液体中に浸漬し、液
体中でそれらの接触面に向けて超音波エネルギを加え
て、複数個の基体を分離する。
示すように、まず工程１において多面形状に形成された
基体の両側の取付基準面を半鏡面に形成する。次の工程
２において取付基準面を半鏡面に形成された複数個の基
体を、該取付基準面を互いに接触させた状態で同軸上に
並設し、それぞれの多角面を同時に切削して鏡面に仕上
げる。次の工程３において全多角面の鏡面加工後、密着
した接触状態にある複数個の基体を液体中に浸漬し、液
体中でそれらの接触面に向けて超音波エネルギを加え
て、複数個の基体を分離する。
この発明のように、多面体形状の基体の取付基準面を半
鏡面に形成するとその面は木目の細かい平坦な面となる
ので、基体同士を互いに接触させた際にはその境界面に
微小な隙間が生じる。要するに従来の鏡面の取付基準面
よりも密着度を低下させる。このような接触状態で重ね
られた複数個の基体を鏡面加工後に、液体中に浸漬して
下方より超音波エネルギを加えると、その波動力により
基体全体が微少振動する結果、各基体の微少な隙間を有
する境界面すなわち接触面がその振動により一斉に分離
される。この分離は数分間で済み、しかも基体の鏡面部
および取付基準面に全く傷を生じない。従って、高品質
な回転多面鏡を能率的に製造することができる。
鏡面に形成するとその面は木目の細かい平坦な面となる
ので、基体同士を互いに接触させた際にはその境界面に
微小な隙間が生じる。要するに従来の鏡面の取付基準面
よりも密着度を低下させる。このような接触状態で重ね
られた複数個の基体を鏡面加工後に、液体中に浸漬して
下方より超音波エネルギを加えると、その波動力により
基体全体が微少振動する結果、各基体の微少な隙間を有
する境界面すなわち接触面がその振動により一斉に分離
される。この分離は数分間で済み、しかも基体の鏡面部
および取付基準面に全く傷を生じない。従って、高品質
な回転多面鏡を能率的に製造することができる。
以下この発明の好ましい実施例につき図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第２図は、アルミニウムの素材を例えば６面形状（外径
69φ，内径22φ，厚み6mm）に加工した基体１を示す。
この基体１は、外周面に鏡面部となる６個の多角面（長
さ26mm,幅5mm）、厚み方向の両側に円柱状の取付基準面
（外径52φ，高さ0.5mm）２が設けられている。
69φ，内径22φ，厚み6mm）に加工した基体１を示す。
この基体１は、外周面に鏡面部となる６個の多角面（長
さ26mm,幅5mm）、厚み方向の両側に円柱状の取付基準面
（外径52φ，高さ0.5mm）２が設けられている。
本実施例では、まず基体１の取付基準面２を、バイトを
用いた切削加工により半鏡面（例えば平面度約0.3μ
ｍ）に形成する。
用いた切削加工により半鏡面（例えば平面度約0.3μ
ｍ）に形成する。
次に取付基準面２を半鏡面にされた基体１を例えば６
個、第３図で示すように、中空の芯材（図示せず）にそ
れぞれの中心穴３を挿通し、さらに各取付基準面２を相
互に接触させかつ各多角面４の位置を合わせて並設す
る。そして従来同様に、この並設された基体群１を図示
しない超精密切削機械の割出盤の軸にセットし、かつ複
数本のバイトをそれぞれの基体１の同じ列にある１多角
面４に当てて、その多角面４を同時に切削処理し鏡面
（例えば平坦度約0.06μｍ）に仕上げる。
個、第３図で示すように、中空の芯材（図示せず）にそ
れぞれの中心穴３を挿通し、さらに各取付基準面２を相
互に接触させかつ各多角面４の位置を合わせて並設す
る。そして従来同様に、この並設された基体群１を図示
しない超精密切削機械の割出盤の軸にセットし、かつ複
数本のバイトをそれぞれの基体１の同じ列にある１多角
面４に当てて、その多角面４を同時に切削処理し鏡面
（例えば平坦度約0.06μｍ）に仕上げる。
次に全多角面４を鏡面加工された６個の基体１を密着し
たままの状態で切削機械から外した後、基体群１の中心
穴３より芯材（図示せず）を抜いて代わりに線材よりな
る吊り具５を挿入し、第４図で示されるフレオン液体６
を入れた超音波槽７に漬ける。そして超音波槽７の底部
に設置した超音波振動子（例えば周波数50Hz）８を２〜
３分間作動して、その波動エネルギを基体群１に与え
る。これによって基体群１は、先の〔作用〕項で述べた
ように微少振動が起こる結果、それぞれの接触面すなわ
ち取付基準面２から分離されることになる。
たままの状態で切削機械から外した後、基体群１の中心
穴３より芯材（図示せず）を抜いて代わりに線材よりな
る吊り具５を挿入し、第４図で示されるフレオン液体６
を入れた超音波槽７に漬ける。そして超音波槽７の底部
に設置した超音波振動子（例えば周波数50Hz）８を２〜
３分間作動して、その波動エネルギを基体群１に与え
る。これによって基体群１は、先の〔作用〕項で述べた
ように微少振動が起こる結果、それぞれの接触面すなわ
ち取付基準面２から分離されることになる。
この後、分離された基体１を１個ずつ取り外せば６個の
回転多面鏡が同時に完成する。
回転多面鏡が同時に完成する。
なお、以上の実施例では金属素材としてアルミニウムを
使用したが、これに限らずアルミニウム合金を使用可能
であることは云うまでもない。
使用したが、これに限らずアルミニウム合金を使用可能
であることは云うまでもない。
以上説明したように、この発明によれば回転多面鏡を高
能率で、かつ高品質に製造することが可能であるという
効果を奏する。
能率で、かつ高品質に製造することが可能であるという
効果を奏する。
第１図は、この発明の原理説明図、 第２図は、この発明の一実施例に係る多面形状の基体を
示す斜視図、 第３図は、同実施例の一工程における重ね状態の基体群
を示す斜視図、 第４図は、同実施例における基体群の分離工程を示す図
である。 図において、 １は多面形状の基体、２は取付基準面、３は中心穴、４
は多角面、５は吊り具、６はフレオン液体、７は超音波
槽、８は超音波振動子をそれぞれ示す。
示す斜視図、 第３図は、同実施例の一工程における重ね状態の基体群
を示す斜視図、 第４図は、同実施例における基体群の分離工程を示す図
である。 図において、 １は多面形状の基体、２は取付基準面、３は中心穴、４
は多角面、５は吊り具、６はフレオン液体、７は超音波
槽、８は超音波振動子をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】多面形状に形成された基体の全多角面を切
削して鏡面にする回転多面鏡の製造において、 多面形状に形成された基体（１）の両側の取付基準面
（２）を半鏡面に形成し、 取付基準面（２）を半鏡面に形成された複数個の基体
（１）を、該取付基準面を互いに接触させた状態で同軸
上に並設してから、それぞれの多角面（４）を同時に切
削して鏡面に仕上げ、 全多角面（４）の鏡面加工後、密着した接触状態にある
複数個の基体（１）を液体（５）中に浸漬し、その液体
中で各基体（１）の接触面に向けて超音波エネルギ
（８）を加えて、前記密着状態の各基体（１）を分離す
る ことを特徴とする回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20112188A JPH0734064B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 回転多面鏡の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20112188A JPH0734064B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 回転多面鏡の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0248632A JPH0248632A (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0734064B2 true JPH0734064B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=16435759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20112188A Expired - Lifetime JPH0734064B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 回転多面鏡の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734064B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998029916A1 (en) | 1996-12-27 | 1998-07-09 | Japan Storage Battery Co., Ltd. | Gas diffusion electrode, solid polymer electrolyte membrane, method of producing them, and solid polymer electrolyte type fuel cell using them |
| US7569302B2 (en) | 2002-11-05 | 2009-08-04 | Panasonic Corporation | Fuel cell for generating electric power |
| WO2011040059A1 (ja) | 2009-09-29 | 2011-04-07 | 凸版印刷株式会社 | 燃料電池用電極触媒層の製造方法、それを用いた膜電極接合体および固体高分子形燃料電池ならびに複合粒子 |
| CN118686832B (zh) * | 2024-08-23 | 2024-11-08 | 宁波明虹智能科技有限公司 | 一种汽车激光雷达转塔反光镜贴附设备 |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP20112188A patent/JPH0734064B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0248632A (ja) | 1990-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6718612B2 (en) | Method for manufacturing a magnetic disk comprising a glass substrate using a protective layer over a glass workpiece | |
| US9649775B2 (en) | Workpiece dividing method | |
| JP2004111606A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
| EP0706066B1 (en) | Method of manufacturing a metal polygon mirror | |
| US3753322A (en) | Methods for the manufacture of lightweight optical parts | |
| JP2010142890A (ja) | 切削部材の外周形状の修正方法、ドレッサーボード及び切削装置 | |
| US7488237B2 (en) | Optical filter, production method for this optical filter and optical device using this optical filter and housing structure for this optical filter | |
| JPH0734064B2 (ja) | 回転多面鏡の製造方法 | |
| JPH06170629A (ja) | 面取り工具 | |
| EP0294219A2 (en) | Polygon mirror | |
| JP2007503607A (ja) | レーザーシステムにおける偏向装置のためのミラー、その製造方法およびレーザーシステムのための偏向装置 | |
| US10761293B2 (en) | Systems and methods for providing mirrors with high stiffness and low inertia involving chemical etching | |
| JPH0431370B2 (ja) | ||
| EP1287994B1 (en) | Ink jet printer head and method for fabricating same | |
| JP3347085B2 (ja) | 集積回路上の端面を調製する方法 | |
| JPH08142325A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH08146331A (ja) | 光ビーム走査装置の回転多面鏡 | |
| JPH01293313A (ja) | 回転多面鏡の製造法 | |
| JP2964722B2 (ja) | 浮上型薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2727108B2 (ja) | レーザビーム走査用ポリゴンミラー | |
| JP2640194B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| KR100712736B1 (ko) | 마이크로 미러 제조방법 | |
| JPS58177217A (ja) | 切削加工方法 | |
| JPH0590404A (ja) | チツプ切削方法および装置 | |
| JPH08229811A (ja) | 研磨加工用治具 |