JPH0734927Y2 - マグネットチャック式基板ホルダー - Google Patents
マグネットチャック式基板ホルダーInfo
- Publication number
- JPH0734927Y2 JPH0734927Y2 JP6183692U JP6183692U JPH0734927Y2 JP H0734927 Y2 JPH0734927 Y2 JP H0734927Y2 JP 6183692 U JP6183692 U JP 6183692U JP 6183692 U JP6183692 U JP 6183692U JP H0734927 Y2 JPH0734927 Y2 JP H0734927Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mask
- chuck type
- magnet chuck
- mounting base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 80
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、スパッタ装置等の成膜
装置に使用されるマグネットチャック式基板ホルダーに
関するものである。
装置に使用されるマグネットチャック式基板ホルダーに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、前記マグネットチャック式基板ホ
ルダーとしては、種々の形式のものが提案されている
が、その一つに特開平３−２８１７２２号公報に開示さ
れたものがある。このマグネットチャック式基板ホルダ
ーは、図５に示すように、外周縁部と中心部とにマグネ
ット２を設けた基板取付台１と、この基板取付台１に載
置したドーナツ状基板３の外周縁部および中心部に位置
させて前記マグネット２により基板３を挟着するマスク
４ａ，４ｂとからなる。そして、前記マスク４ａの基板
３の成膜面側に複数箇所にわたって径方向の溝５ａが、
また、マスク４ｂの外周縁にも複数箇所にわたって径方
向の溝５ｂが設けられている。このようにマスク４ａ，
４ｂに溝５ａ，５ｂを設け、基板取付台１に基板３を、
マグネット２によりマスク４ａ，４ｂを吸着して取り付
けるようにすると、マスク４ａ，４ｂと基板３との間に
空気層が閉じこめられず、マスク４ａ，４ｂが成膜中に
脱落することを防止することができる。
ルダーとしては、種々の形式のものが提案されている
が、その一つに特開平３−２８１７２２号公報に開示さ
れたものがある。このマグネットチャック式基板ホルダ
ーは、図５に示すように、外周縁部と中心部とにマグネ
ット２を設けた基板取付台１と、この基板取付台１に載
置したドーナツ状基板３の外周縁部および中心部に位置
させて前記マグネット２により基板３を挟着するマスク
４ａ，４ｂとからなる。そして、前記マスク４ａの基板
３の成膜面側に複数箇所にわたって径方向の溝５ａが、
また、マスク４ｂの外周縁にも複数箇所にわたって径方
向の溝５ｂが設けられている。このようにマスク４ａ，
４ｂに溝５ａ，５ｂを設け、基板取付台１に基板３を、
マグネット２によりマスク４ａ，４ｂを吸着して取り付
けるようにすると、マスク４ａ，４ｂと基板３との間に
空気層が閉じこめられず、マスク４ａ，４ｂが成膜中に
脱落することを防止することができる。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記溝
５ａ，５ｂがマスク４ａ，４ｂ側に設けてあるため、成
膜中に、基板取付台１、基板３、マスク４ａ，４ｂの各
々当接する部分からのアウトガスが、また、前記溝５
ａ，５ｂ内に存在する残留ガスが基板３の成膜面側に流
れ、基板３の表面に作成する膜と反応したりして良好な
成膜処理ができなくなることがあった。本考案は簡単な
構成で、前記課題を解決することのできるマグネットチ
ャック式基板ホルダーを提供することを目的とする。
５ａ，５ｂがマスク４ａ，４ｂ側に設けてあるため、成
膜中に、基板取付台１、基板３、マスク４ａ，４ｂの各
々当接する部分からのアウトガスが、また、前記溝５
ａ，５ｂ内に存在する残留ガスが基板３の成膜面側に流
れ、基板３の表面に作成する膜と反応したりして良好な
成膜処理ができなくなることがあった。本考案は簡単な
構成で、前記課題を解決することのできるマグネットチ
ャック式基板ホルダーを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は前記目的を達成
するために、基板取付台に設けたマグネットによりマス
クを吸着してドーナツ状基板を保持するマグネットチャ
ック式基板ホルダーにおいて、前記基板取付台に開口部
とこの開口部に連通する気体通過用溝を形成し、ドーナ
ツ状基板の成膜面側両周縁部にマスクを密着させるよう
に構成したものである。
するために、基板取付台に設けたマグネットによりマス
クを吸着してドーナツ状基板を保持するマグネットチャ
ック式基板ホルダーにおいて、前記基板取付台に開口部
とこの開口部に連通する気体通過用溝を形成し、ドーナ
ツ状基板の成膜面側両周縁部にマスクを密着させるよう
に構成したものである。
【０００５】
【実施例】つぎに、本考案にかかるマグネットチャック
式基板ホルダーの実施例を図にしたがって説明する。図
１，図２は本考案の第１実施例を示し、マグネットチャ
ック式基板ホルダーＡは、基板取付台１０と、この基板
取付台１０に装着したドーナツ状基板Ｗを保持するマス
ク２１とからなる。
式基板ホルダーの実施例を図にしたがって説明する。図
１，図２は本考案の第１実施例を示し、マグネットチャ
ック式基板ホルダーＡは、基板取付台１０と、この基板
取付台１０に装着したドーナツ状基板Ｗを保持するマス
ク２１とからなる。
【０００６】前記基板取付台１０は、大略円板状をな
し、その外周縁に環状突条１１を備え、この環状突条１
１の内周面は内方に傾斜した傾斜面１２ａを有する。一
方、基板取付台１０の中央部にも内周面が内方に傾斜し
た傾斜面１４ａを備えた環状突条１３が設けられ、この
環状突条１３で下記する内マスク２１Ａの嵌合部１５が
形成されている。また、前記基板取付台１０の環状突条
１１と１３との間には、複数の貫通した開口部１６が、
前記環状突条１３の表面には複数の溝１７が、前記開口
部１６の外方裏面には開口部１６と連通する溝１８が設
けてある。
し、その外周縁に環状突条１１を備え、この環状突条１
１の内周面は内方に傾斜した傾斜面１２ａを有する。一
方、基板取付台１０の中央部にも内周面が内方に傾斜し
た傾斜面１４ａを備えた環状突条１３が設けられ、この
環状突条１３で下記する内マスク２１Ａの嵌合部１５が
形成されている。また、前記基板取付台１０の環状突条
１１と１３との間には、複数の貫通した開口部１６が、
前記環状突条１３の表面には複数の溝１７が、前記開口
部１６の外方裏面には開口部１６と連通する溝１８が設
けてある。
【０００７】なお、１９は基板取付台１０の環状突条１
１の近傍に設けたシリコンゴム等からなる突起である。
さらに、前記嵌合部１５と環状突起１１にはマグネット
２０ａ，２０ｂが基板取付台１０を貫通するように設け
てある。
１の近傍に設けたシリコンゴム等からなる突起である。
さらに、前記嵌合部１５と環状突起１１にはマグネット
２０ａ，２０ｂが基板取付台１０を貫通するように設け
てある。
【０００８】前記マスク２１は、内マスク２１Ａと外マ
スク２１Ｂとからなり、前記内マスク２１Ａは前記基板
取付台１０の嵌合部１５にマグネット２０ａにより吸着
保持される円板状のもので、前記基板取付台１０の前記
傾斜面１４ａに嵌合する傾斜面１４ｂを有するととも
に、その外周部には基板押え２２を備えている。外マス
ク２１Ｂは環状形状をなし、前記基板取付台１０の前記
傾斜面１２ａに嵌合する傾斜面１２ｂを有するととも
に、その内周部には基板押え２３を備え、マグネット２
０ｂにより吸着され、前記基板押え２２，２３および突
起１９で基板Ｗを基板取付台１０に挟着保持するもので
ある。
スク２１Ｂとからなり、前記内マスク２１Ａは前記基板
取付台１０の嵌合部１５にマグネット２０ａにより吸着
保持される円板状のもので、前記基板取付台１０の前記
傾斜面１４ａに嵌合する傾斜面１４ｂを有するととも
に、その外周部には基板押え２２を備えている。外マス
ク２１Ｂは環状形状をなし、前記基板取付台１０の前記
傾斜面１２ａに嵌合する傾斜面１２ｂを有するととも
に、その内周部には基板押え２３を備え、マグネット２
０ｂにより吸着され、前記基板押え２２，２３および突
起１９で基板Ｗを基板取付台１０に挟着保持するもので
ある。
【０００９】そして、前記ドーナツ状基板Ｗを基板取付
台１０に取り付けるには、図に示すように、基板取付台
１０の環状突条１１と１３との間に基板Ｗを装着し、内
マスク２１Ａと外マスク２１Ｂとをそれぞれマグネット
２０ａ，２０ｂにより吸着し、基板取付台１０に基板Ｗ
を突起１９と基板押え２２，２３とで保持する。この場
合、前記両基板押え２２，２３の基板Ｗとの当接面は、
基板Ｗの当接面と密着するようになっている。
台１０に取り付けるには、図に示すように、基板取付台
１０の環状突条１１と１３との間に基板Ｗを装着し、内
マスク２１Ａと外マスク２１Ｂとをそれぞれマグネット
２０ａ，２０ｂにより吸着し、基板取付台１０に基板Ｗ
を突起１９と基板押え２２，２３とで保持する。この場
合、前記両基板押え２２，２３の基板Ｗとの当接面は、
基板Ｗの当接面と密着するようになっている。
【００１０】したがって、前記マグネットチャック式基
板ホルダーを使用して基板Ｗの成膜面ａを成膜すると、
基板Ｗの非成膜面ｂ、基板取付台１０、内外マスク２１
Ａ，２１Ｂの各当接面から発生するアウトガスおよび基
板Ｗと基板取付台１０内に存在する残留ガスは基板取付
台１０に設けた開口部１６、溝１７，１８から基板Ｗの
非成膜面ｂ側に流出し、基板Ｗの成膜面ａ側に流れて成
膜と反応することがない。
板ホルダーを使用して基板Ｗの成膜面ａを成膜すると、
基板Ｗの非成膜面ｂ、基板取付台１０、内外マスク２１
Ａ，２１Ｂの各当接面から発生するアウトガスおよび基
板Ｗと基板取付台１０内に存在する残留ガスは基板取付
台１０に設けた開口部１６、溝１７，１８から基板Ｗの
非成膜面ｂ側に流出し、基板Ｗの成膜面ａ側に流れて成
膜と反応することがない。
【００１１】前記実施例では、基板取付台１０にシリコ
ンゴム等からなる突起１９を設けたが、この突起１９は
図３に示すように、基板取付台１０に一体成形したもの
でよい。また、内マスク２１Ａと外マスク２１Ｂは基板
取付台１０の傾斜面１２ａ，１４ａに嵌合するようにし
たが、これは必ずしも設ける必要はない。しかし、実施
例のように構成すると、内外マスク２１Ａ，２１Ｂの基
板取付台１０への脱着作業が確実にかつ容易となる。
ンゴム等からなる突起１９を設けたが、この突起１９は
図３に示すように、基板取付台１０に一体成形したもの
でよい。また、内マスク２１Ａと外マスク２１Ｂは基板
取付台１０の傾斜面１２ａ，１４ａに嵌合するようにし
たが、これは必ずしも設ける必要はない。しかし、実施
例のように構成すると、内外マスク２１Ａ，２１Ｂの基
板取付台１０への脱着作業が確実にかつ容易となる。
【００１２】前記実施例では、ドーナツ状基板Ｗを一方
側に保持する型式のものを説明したが、図４に示すよう
に、図３の基板取付台１０を背中合わせに一体化し、ド
ーナツ状基板Ｗを両側に保持するよう構成するようにし
てもよく、この場合、アウトガス等の気体はホルダー周
縁から抜けることになる。
側に保持する型式のものを説明したが、図４に示すよう
に、図３の基板取付台１０を背中合わせに一体化し、ド
ーナツ状基板Ｗを両側に保持するよう構成するようにし
てもよく、この場合、アウトガス等の気体はホルダー周
縁から抜けることになる。
【００１３】
【考案の効果】以上の説明で明らかなように、本考案に
かかるマグネットチャック式基板ホルダーは、基板取付
台に設けたマグネットによりマスクを吸着してドーナツ
状基板を保持するマグネットチャック式基板ホルダーに
おいて、前記基板取付台に開口部とこの開口部に連通す
る気体通過用溝を形成し、基板の成膜面側両周縁部にマ
スクを密着させるようにしたため、基板の装着にあたっ
て、基板と基板取付台との間に封じ込められようとする
空気は気体通過用溝，開口部を介して外方に流出するた
め、使用中に基板が基板取付台から脱落することはな
い。また、基板取付台，基板，マスクの各当接面から発
生するアウトガスは、気体通過用溝，開口部から流出
し、基板の成膜面に流出しないため、成膜がアウトガス
と反応することもない。
かかるマグネットチャック式基板ホルダーは、基板取付
台に設けたマグネットによりマスクを吸着してドーナツ
状基板を保持するマグネットチャック式基板ホルダーに
おいて、前記基板取付台に開口部とこの開口部に連通す
る気体通過用溝を形成し、基板の成膜面側両周縁部にマ
スクを密着させるようにしたため、基板の装着にあたっ
て、基板と基板取付台との間に封じ込められようとする
空気は気体通過用溝，開口部を介して外方に流出するた
め、使用中に基板が基板取付台から脱落することはな
い。また、基板取付台，基板，マスクの各当接面から発
生するアウトガスは、気体通過用溝，開口部から流出
し、基板の成膜面に流出しないため、成膜がアウトガス
と反応することもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案にかかるマグネットチャック式基板ホ
ルダーの第１実施例を示す断面図。
ルダーの第１実施例を示す断面図。
【図２】 図１の基板取付台の平面図。
【図３】 本考案の第２実施例を示す断面図。
【図４】 本考案の第３実施例を示す断面図。
【図５】 従来のマグネットチャック式基板ホルダーの
断面図。
断面図。
１０…基板取付台、１１，１３…環状突条、１５…嵌合
部、１６…開口部、１７，１８…溝、１９…突起、２０
ａ，２０ｂ…マグネット、２１Ａ…内マスク、２１Ｂ…
外マスク、２２，２３…基板押え、Ｗ…基板。
部、１６…開口部、１７，１８…溝、１９…突起、２０
ａ，２０ｂ…マグネット、２１Ａ…内マスク、２１Ｂ…
外マスク、２２，２３…基板押え、Ｗ…基板。
Claims (1)
- 【請求項１】 基板取付台に設けたマグネットによりマ
スクを吸着してドーナツ状基板を保持するマグネットチ
ャック式基板ホルダーにおいて、前記基板取付台に開口
部とこの開口部に連通する気体通過用溝を形成し、ドー
ナツ状基板の成膜面側両周縁部にマスクを密着させるよ
うにしたことを特徴とするマグネットチャック式基板ホ
ルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183692U JPH0734927Y2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | マグネットチャック式基板ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183692U JPH0734927Y2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | マグネットチャック式基板ホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0625358U JPH0625358U (ja) | 1994-04-05 |
| JPH0734927Y2 true JPH0734927Y2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=13182581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6183692U Expired - Lifetime JPH0734927Y2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | マグネットチャック式基板ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734927Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3096258B2 (ja) * | 1997-07-18 | 2000-10-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 毎葉式マグネトロンスパッタ装置 |
| JP4667573B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2011-04-13 | オリンパス株式会社 | 基板ホルダー及び該基板ホルダーを用いた光学部品の製造方法 |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP6183692U patent/JPH0734927Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625358U (ja) | 1994-04-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |