JPH0739281B2

JPH0739281B2 - カセツト移送装置

Info

Publication number: JPH0739281B2
Application number: JP61079164A
Authority: JP
Inventors: 重男勝
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-04-08
Filing date: 1986-04-08
Publication date: 1995-05-01
Anticipated expiration: 2010-05-01
Also published as: JPS62240226A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、カセツト移送装置に関し、さらに詳しくは半
導体製造工程におけるウエハカセツトの装置間あるいは
テーブル内のレーン間の移送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は従来のカセツト移送装置の斜視図である。図に
おいて、（１）は平行なレーン（Ａ），（Ｂ）及び
（Ｃ）を有するカセツト移送テーブル、（２）はカセツ
ト（７）を持つて上下するリフト、（３）はリフト
（２）のカセツト置き台、（４）は走行ロボツトで、レ
ール（５）上を走行し、ハンド（６）でカセット（７）
をそれぞれのレーン（Ａ）〜（Ｃ）のうちいずれかのレ
ーンに配送する。（８）は各レーンのカセツト置き台
で、カセツト（７）が置かれるとテーブル（１）上を移
動し所定の位置へカセツト（７）を搬送する。

次に動作について説明する。

カセツトをリフトよりカセツト移送テーブルの方へ移送
する場合について説明すると、まずカセツト（７）はリ
フト（２）のカセツト置き台（３）上に載置されてカセ
ツト移送テーブル（１）の所定位置に下降してくる。

次に、走行ロボツト（４）のハンド（６）によつてカセ
ツト置き台（３）上のカセツト（７）を把持し、所定の
レーン、例えば図示の場合レーン（Ｂ）のカセツト置き
台（８）上に載置する。カセツト（７）がこのようにし
てカセツト置き台（８）上に置かれるとカセツト置き台
（８）は所定の位置へ移動し次の工程に供える。

なお、カセツト（７）をカセツト移送テーブル（１）よ
りリフト（２）の方へ移送する場合は上記と逆に行えば
よい。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のカセツト移送装置は上記のように構成されている
ので、カセツトをリフトよりカセツト移送テーブルの方
へ、あるいはその反対方向へ移送するにはリフトとカセ
ツト移送テーブルの間にあつて専用の高価な走行ロボツ
トが必要であつた。

また、走行ロボツトを使用するとハンドによるカセツト
の掴みや載置動作に時間がかかり、移送時間のロスが大
きかつた。

本発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たものであり、カセツトが正面からみたときＴ字状をな
していることに着目し、簡単で安価なカセツト移送装置
を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係るカセツト移送装置は、両側面に突起片が形
成された箱状のカセットを搬送するためのレーンを複数
有するカセット移送テーブルと、上記カセットをカセッ
ト移送テーブルのレーン近傍に搬送するリフトとを有す
るカセット移送装置において、上記カセット移送テーブ
ルを貫通した垂直部、及び該垂直部の上部から上記レー
ン側に直角に折り曲げられ、その先端部にほぼコの字状
に形成されたハンド部を有する水平部からなる支持腕
と、該支持腕の垂直部に設けられ、その支持部を垂直方
向に上下動するプッシャーと、該プッシャーを介して上
記支持腕を支持し、その支持腕を上記レーンの幅方向に
移動する腕移動機構部とを備え、上記カセットをリフト
から所定のレーンに移送する際、あるいは所定のレーン
からリフトに移送する際、コの字状のハンド部にカセッ
トの突起片が係止するようにしたものである。

〔作用〕

本発明においては、カセツトをリフトのカセツト置き台
より支持腕の方へ移送する場合、支持腕の先端部に設け
られたコの字状のハンド部を前もって所定の位置に待機
させておき、次いでリフトのカセツト置き台を下降させ
てコの字状のハンド部内を通過させれば、カセツトの両
側の突起片がコの字状のハンド部に引掛り、これにより
カセツトを持ち上げ支持した状態となる。したがつて次
に、この支持腕をカセツト移送テーブルの所定のレーン
上に移動させその位置で支持腕を下降させると、支持腕
に支持されたカセツトはレーンのカセツト置き台上に載
置されることになり、次にそのカセツト置き台を移動さ
せればカセツトは支持腕より抜き取られる。

なお、以上と逆の動作によりカセツトをカセツト移送テ
ーブルよりリフトの方へ移送できることはいうまでもな
い。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図について説明する。

第１図は本発明の実施例の斜視図であり、図において、
（10）は先端がハンド部（以下、「二股腕部（11）」と
いう）となつている支持腕である。この支持腕（10）は
各レーンに対し直角方向に配設されたボールネジ（12）
に沿つて移動し得るようになつており、ボールネジ（1
2）に螺合するナツト部材（13）にプツシヤー（14）を
介し支持されている。支持腕（10）の二股腕部（11）は
コ字状ないしＵ字状に形成されている。カセツト（７）
は第２図に示すように、正面から見たときにＴ字状にな
つているので、カセツト（７）の両側の突起片（以下、
「取手部（7a）」という）にこの二股腕部（11）が引掛
ることになる。したがつて、二股腕部（11）の間隔はカ
セツト（７）の胴部（7b）よりも若干広くなつている。
また、この胴部（7b）を支持するカセツト置き台（３）
及び（８）の幅も二股腕部（11）の間隔より小さくなつ
ている。

支持腕（10）の二股腕部（11）の各先端は第３図に一部
拡大して示すように、カセツト（７）を確実に保持する
ように爪先形状に形成されている。

また、支持腕（10）は第１図に示すように中間部を逆Ｌ
字状に屈曲され、その垂直部（10a）がカセツト移送テ
ーブル（１）に設けられたスリツト（15）に沿つて移動
する。スリツト（15）はカセツト移送テーブル（１）上
においてレーン（Ａ）〜（Ｃ）の一側にこれらのレーン
と直角方向に延設されている。したがつて、ボールネジ
（12）はカセツト移送テーブル（１）の内部においてこ
のスリツト（15）の下方に平行に延設される。プツシヤ
ー（14）はこの垂直部（10a）に連結され支持腕（10）
を上下動させる。なお、支持腕（10）を上下動させず固
定とした場合はカセツト置き台（８）をレーンに沿つて
移動させるほか上下方向にも移動させる。（16）はボー
ルネジ（12）の駆動用モータであり、（17）はナツト部
材（13）の回り止めをなすガイドである。上述したボー
ルネジ（12）、ナット部材（13）、駆動用モータ（16）
及びガイド（17）で本発明の腕移動機構部が構成されて
いる。

次に上記実施例の動作を説明する。

カセツト（７）をリフト（２）よりカセツト移送テーブ
ル（１）の方へ移送する場合について説明すると、まず
支持腕（10）の二股腕部（11）を第１図のカセツト置き
台（３）がある位置に待機させておく。

次にリフト（２）のカセツト置き台（３）上に載置され
たカセツト（７）を下降させカセツト置き台（３）及び
その上のカセツト（７）の胴部（7b）が支持腕（10）の
二股腕部（11）の間を通るようにすると、カセツト
（７）の両側の取手部（7a）が二股腕部（11）に引掛り
カセツト（７）を持ち上げた状態に支持する。したがつ
て、次に支持腕（10）をボールネジ（12）の駆動によつ
て所定のレーン位置まで移動させ支持腕（10）に支持さ
れたカセツト（７）を移送する。

図示のレーン（Ｂ）にカセツト（７）を移送する場合、
支持腕（10）の二股腕部（11）をレーン（Ｂ）のカセツ
ト置き台（８）の上方に位置させ、次いで支持腕（10）
をプツシヤー（14）により下降させる。すると、支持腕
（10）に支持されたカセツト（７）は二股腕部（11）よ
り離れカセツト置き台（８）上に支持される。したがつ
て、次にこのカセツト置き台（８）をレーン（Ｂ）に沿
つて移動させればカセツト（７）は二股腕部（11）より
抜き取られ支持腕（10）より完全に離れることになる。

カセツト（７）を抜き取られた支持腕（10）は最初の位
置に戻り、次のカセツトを受け取るべく待機する。

以上のようにしてカセツト（７）のリフト（２）よりカ
セツト移送テーブル（１）の所定のレーンへの移送が終
了する。なお、これと反対方向への移送は上記と逆の動
作を行わせればよい。

なお、上記実施例では１つのカセツト移送テーブルに対
する移送について説明したが、支持腕（10）をその垂直
部（10a）で首振り自在とすれば２以上の隣接して配置
されたカセツト移送テーブルに対しても移送を行うこと
ができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば次のような効果がある。

（１）極めて簡単な形式の支持腕をリフトとカセツト
移送テーブルの間に介在させるだけであるので、簡単で
安価なカセツト移送装置が得られる。

（２）カセツトの移送にあたつては、支持腕を所定の
位置に直線移動させるだけで特別にカセツトの掴み動作
や載置動作を必要としないので、移送時間の大幅の短縮
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図（ａ）（ｂ）
はカセツトの正面図と平面図、第３図は支持腕の一部拡
大平面図、第４図は従来例の斜視図である。（１）：カセツト移送テーブル、（３）：カセツト置き
台、（７）：カセツト、（８）：カセツト置き台、（1
0）：支持腕、（11）：二股腕部、（Ａ），（Ｂ），
（Ｃ）：レーン。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】両側面に突起片が形成された箱状のカセッ
トを搬送するためのレーンを複数有するカセット移送テ
ーブルと、上記カセットをカセット移送テーブルのレー
ン近傍に搬送するリフトとを有するカセット移送装置に
おいて、上記カセット移送テーブルを貫通した垂直部、及び該垂
直部の上部から上記レーン側に直角に折り曲げられ、そ
の先端部にほぼコの字状に形成されたハンド部を有する
水平部からなる支持腕と、該支持腕の垂直部に設けられ、その支持部を垂直方向に
上下動するプッシャーと、該プッシャーを介して上記支持腕を支持し、その支持腕
を上記レーンの幅方向に移動する腕移動機構部とを備
え、上記カセットをリフトから所定のレーンに移送する際、
あるいは所定のレーンからリフトに移送する際、コの字
状のハンド部にカセットの突起片が係止することを特徴
とするカセット移送装置。