JPH0740064U - 電解複合研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 砥粒混合電解液の供給を確実に行って研磨性
能を良好にできるとともに、長時間使用しても工具不良
を生じない電解複合研磨工具を提供すること。 【構成】 電極板２１の研磨面１９側の中心部に凹部２
４、その表面に粘弾性研磨体１１、反対側面にカバー２
２および回転軸１２を設置、電極板２１のカバー２２内
に凹部２４内へ抜ける電極板貫通孔１５、これに連続的
に研磨体１１を貫通して研磨面１９側へ抜ける研磨体貫
通孔１６を形成、カバー２２内に供給される電解液１８
を研磨面１９へ直接的に供給する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、回転式の研磨円盤を用いて平面等の電解研磨を行う電解複合研磨工 具に関する。

【０００２】

【背景技術】

従来より、金属材料などの表面研磨加工には、電解メッキとは逆の作用により 研磨対象の表面から素材を除去して加工を行う電解研磨が利用されている。 電解研磨のうち、電解液にNaCl等を用いる動態加工方式は加工効率が高いが、 加工精度を適切に設定しにくい。一方、電解液にNaNO3 等を用いる不動態加工方 式は、不動態被膜（酸化膜あるいは不活性膜）により電解電流が抑えられるため 、精度を高めやすい。

【０００３】 従って、精密研磨には不動態方式が好ましく、さらに研磨効率を高めるために は物理的（機械的）研磨と組合わせることが好ましく、電解式と研磨式とを組合 わせた電解複合研磨が利用されている。 電解複合研磨としては、固形の研磨材に電解液を供給する固体方式のほか、電 解液に研磨用の砥粒を混合させておく遊離砥粒方式が多用されるようになってい る。

【０００４】 遊離砥粒方式としては、例えば回転軸に支持された回転円盤状の電極にウレタ ンスポンジ等の粘弾性研磨体を装着して回転させ、予め砥粒を混入しておいた電 解液を粘弾性研磨体の上側から供給する構成が知られている。 このような構成においては、研磨体に供給された電解液が下側の研磨面まで浸 透することで、電解液中の砥粒が研磨面により研磨対象表面に擦りつけられて基 本的な研磨が行われる。そして、電極から研磨体に浸透した電解液を通して研磨 対象へと電流を流すことで、研磨対象表面を電気分解して精密研磨仕上が行われ る（特開昭61ー219525 号等参照）。

【０００５】 固体方式における電解液供給には、電極上面の回転軸付根近傍から滴下供給し て研磨体へ抜ける貫通孔を通して供給する「電解バフ研磨方式」（特開昭53ー132 893 号等参照）が採用されており、その中に回転軸を管状にしてその内部を通し て回転円盤状の電極下面側へ供給する「スピンドルスルー方式」が採用されてい る。 このスピンドルスルー方式は、スピンドルを開店させる必要があるところから 、電解液の供給をロータリージョイントを介して行わなければならず、電解液に 砥粒を混入した複合電解液では、その砥粒によりシール部の寿命が短くなること が問題となる。

【０００６】 図５において、遊離砥粒方式の研磨工具９０は、回転軸９１の先端に電極板９ ２を取り付け、その表面にはウレタンスポンジ等の粘弾性研磨体９３が貼られる 。 電極板９２は中空円盤状とされ、回転軸９１との間の隙間に挿入された供給管 ９４から電解液９５が供給される。供給された電解液９５は電極板９２の貫通孔 ９６を通して研磨体９３に浸潤され、研磨体９３表面（研磨面９７）に供給され る。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、前述した遊離砥粒方式では、研磨にあたってウレタンスポンジ製の 粘弾性研磨体９３を研磨対象表面に押しつける必要がある。この圧着荷重により 、研磨体９３が徐々にへたり、この研磨体９３内を透過するべき電解液９５の通 路が狭くなり、研磨面９７に達する電解液９５の液量が不足する。

【０００８】 このような研磨面９７における電解液９５の不足が生じると、電解液９５に混 入された砥粒が不足して基本的な研磨性能が低下するとともに、電解液９５の不 足に伴って通電も不足し、電気分解による研磨性能も不足し、結果として研磨不 良を招くことになる。 一方、研磨体９３がへたりを生じない状態でも、電解液９５の濃度や混入され た砥粒濃度が高いと研磨体９３の内部で目詰まりを生じ、同様に研磨面９７への 通電および通液不足が生じ、研磨不良を招くことになる。

【０００９】 さらに、遊離砥粒方式には、特有の問題として、回転中心領域９８への通液不 良が生じやすいという問題がある。 つまり、粘弾性研磨体９３に供給された電解液９５は、研磨体９３の回転に伴 って遠心力により周方向へと移動し、周辺に偏って浸潤した状態となり、研磨体 ９３の回転中心領域９８には電解液９５が行き渡らなくなる。この状態で回転研 磨を行っても、回転中心領域９８では電解液９５およびそれに含まれる砥粒の不 足によって研磨不良を招くことになる。 また、十分な電解液９５がない状態で研磨体９３が研磨対象に擦りつけられる ことで、摩擦発熱による焼けや研磨体９３のウレタン材料等が電気抵抗発熱によ り溶解して研磨対象表面に付着するといった障害を招くことになる。

【００１０】 本考案の目的は、砥粒混合電解液の供給を確実に行って研磨性能を良好にでき るとともに、長時間使用しても工具不良を生じない電解複合研磨工具を提供する ことにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

本考案は、研磨面側の中心部に凹部を有する円盤状の電極板と、前記電極板の 前記凹部とは反対側面の中心に接続されて前記電極板を回転させる回転軸と、前 記電極板の凹部側表面に貼られた粘弾性研磨体と、前記電極板の前記凹部を貫通 する電極板貫通孔と、前記電極板貫通孔と連続する位置に配置されて前記粘弾性 研磨体を貫通する研磨体貫通孔と、前記電極板の前記回転軸の周囲に前記電極板 と同軸で前記電極板貫通孔を囲うように形成されたカバーとを備えて構成された ことを特徴とする。

【００１２】 また、前記凹部は円錐台状に形成されて周面が前記回転軸に対して傾斜されて おり、前記電極板貫通孔は前記周面に貫通形成されており、前記粘弾性研磨体は 前記凹部に沿って湾曲して貼られており、前記研磨体貫通孔の前記電極板と反対 側の開口は前記粘弾性研磨体の前記凹部に沿って湾曲した部分内に形成されてい ることを特徴とする。 さらに、前記カバーは前記電極板の前記凹部とは反対側面を覆うカップ状に形 成され、その中心には前記回転軸が挿通される導入孔が形成され、この導入孔の 内径は前記回転軸の外形より大きくかつ前記電極板貫通孔の前記回転軸の中心か らの距離よりも小さく設定されていることを特徴とする。

【００１３】

【作用】

このような本考案においては、回転軸により電極板を回転させてカバー内に砥 粒を混合した電解液を供給しながら、この電極板に貼られた粘弾性研磨体を研磨 対象に押し着ける。 供給された電解液はカバー内の空間に溜り、電極板貫通孔を通して凹部内に抜 ける。続いて、電解液は粘弾性研磨体の研磨体貫通孔を通してこの研磨体の研磨 面側の凹部に対応した中心凹み内に抜け、遠心力により順次外周部分へと拡がっ て研磨面の全面に行き渡ることになる。なお、研磨体貫通孔の内面は駅が通過で きないことが望ましい。

【００１４】 従って、粘弾性研磨体の研磨面を研磨対象に押し着ければ、研磨面の全面に行 き渡った電解液および砥粒により複合研磨が行われる。 この際、砥粒を含んだ電解液は、電極板貫通孔および研磨体貫通孔を通して研 磨面へと確実に導入され、研磨面の液切れ等の不都合を未然に解消することが可 能である。 さらに、研磨面への導入位置は電極板の中心近傍の凹部内であるため、中心部 分の液切れ等にも確実に対応できるとともに、研磨体は電極板の凹部により中心 部分が研磨対象に圧着されることがなく、中心部分の液切れに伴う障害等を確実 に解消できる。

【００１５】 これらにより、研磨面の液切れによる研磨不良や研磨対象の焼け等が回避され 、良好な研磨性能が得られる。そして、研磨体のへたりによる液切れが回避でき る上、スピンドルスルー方式のようなシール部の寿命低下も回避できることから 、長期間に渡って良好な性能を維持することができるようになる。

【００１６】 特に、凹部を円錐台状とすることで、この凹部に抜ける貫通孔を下向きとする ことができ、カバー内に溜った電解液を重力により各貫通孔へ導くことが容易か つ確実にできるようになる。 さらに、研磨体を凹部内に沿わせることで、中心部分が研磨対象に接触しなく なり中心部分液切れによる障害の回避が一層確実化される。 また、カバーをカップ状とすることで、回転時の周囲への洩れ出しを確実に防 止できるとともに、供給用の開口を電極板貫通孔よりも中心寄りに配置すること で、遠心力が生じる場合においても電極板貫通孔への電解液供給を確実化できる ようになる。

【００１７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１には本考案の第一実施例が示されている。 本実施例の研磨工具１０は、中空円盤状の本体２０を有し、この本体２０は図 中下側の電極板２１とその上面を覆うカバー２２とを一体に形成したものである 。

【００１８】 電極板２１の中央部分には図中上向きに円錐台状の隆起部２３が形成されてお り、その下側には凹部２４が形成されている。 カバー２２は全体が円錐台状のカップ状に形成され、その周囲は電極板２１の 全周に接合されている。 カバー２２の周辺部傾斜面と隆起部２３の周辺部傾斜面とは所定間隔で配置さ れているとともに、カバー２２の上面と隆起部２３の上面とは所定間隔で平行配 置され、各の間隔により本体２０の内部には所定の広さの閉鎖空間２６が形成さ れている。

【００１９】 本体２０の図中下面側にはウレタンスポンジ等の多孔質の粘弾性研磨体１１が 貼られている。 粘弾性研磨体１１は、電極板２１の表面に沿って貼り付けられ、中心部分は凹 部２４に沿って湾曲され、他の部分よりも凹んだ中心凹み２７が形成されている 。また、電極板２１から外側へはみ出した周辺部は巻き上げられてカバー２２の 周辺部傾斜面に貼り付けられている。 なお、研磨体１１の表面のうち、電極板２１に沿った下面側の部分が研磨面１ ９となっている。

【００２０】 カバー２２の上面中央には挿通孔２８が形成され、図中上方から延びる回転軸 １２の下端は挿通孔２８を通して隆起部２３の上面中央に接合されている。 詳細には、回転軸１２は先端にねじ軸部１３を有し、このねじ軸部１３は隆起 部２３の上面および粘弾性研磨体１１の中心部を貫通している。 ねじ軸部１３にはナット１４が螺合されており、このナット１４で電極板２１ および研磨体１１を一体に締め付けることにより回転軸１２と本体２０および研 磨体１１との固定が行われている。 なお、本体２０と研磨体１１との周辺部がスリップする時にはねじ３０で更に 固定することが望ましい。

【００２１】 回転軸１２は上方に設置された図示しないモータ等で回転駆動され、これによ り本体２０および研磨体１１が回転駆動されるようになっている。 なお、回転軸１２の外形をr0としたとき、挿通孔２８の内径r1はr1>r0 となっ ている。 回転軸１２に沿って、挿通孔２８には電解液供給管１７が挿入されて いる。この供給管１７は図示しない供給装置から砥粒を混合した電解液１８を供 給され、挿通孔２８を通して差し込まれた先端から本体２０内の閉鎖空間２６内 に電解液１８を供給するものである。

【００２２】 電極板２１の隆起部２３の周辺傾斜面には、複数の電極板貫通孔１５が周方向 に所定間隔で形成されている。 粘弾性研磨体１１には、電極板貫通孔１５の延長上にあたる位置に、同数の研 磨体貫通孔１６が形成されている。 これらの電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６により、本体２０内部の閉 鎖空間２６は電極板２１の凹部２４内に連通され、粘弾性研磨体１１の中心凹み ２７に連通されている。 なお、電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６は、研磨体貫通孔１６の下側 開口が中心凹み２７の外周縁部分に位置するように設定されており、これらの電 極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６の外エッジの回転軸１２中心からの距離 r2はr2>r1 とされている。

【００２３】 このように構成された本実施例においては、研磨面１９を研磨対象の表面に当 て、本体２０と研磨対象との間に電圧をかけておく。この状態で、本体２０を回 転させるとともに、供給管１７から砥粒を混合した電解液１８を供給する。 供給された電解液１８は、閉鎖空間２６内に溜まり、電極板貫通孔１５および 研磨体貫通孔１６を通して研磨面１９の内側の中心凹み２７内に送り出される。 なお、一部は研磨体貫通孔１６外から研磨体１１内に浸潤されることになる。

【００２４】 中心凹み２７内に送り出された電解液１８および研磨体１１に浸潤された電解 液１８は、遠心力により周囲の研磨面１９および研磨体１１のさらに外側の部分 へと移動し、順次外周部分へと拡がって研磨面１９全面に十分に行き渡ることに なる。 電解液１８が研磨面１９に十分に供給されると、電解液１８に混入されていた 砥粒が研磨体１１の回転によって研磨対象の表面を研磨するとともに、本体２０ と研磨対象との間の電解液１８により電流が流れ、電気分解により研磨対象の表 面の化学的研磨が行われることになる。

【００２５】 このような本実施例によれば、本体２０内に供給された電解液１８を電極板貫 通孔１５および研磨体貫通孔１６を通して研磨面１９の内側の中央凹み２７内に 導入し、遠心力で広げて研磨面１９の全体に行き渡らせることができ、研磨面１ ９の全面に行き渡った電解液１８およびこれに含まれる砥粒により複合研磨を確 実に行うことができる。

【００２６】 特に、砥粒を含んだ電解液１８は、電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６ を通して直接的に研磨面１９まで導入されるため、研磨体のへたりによる通過不 良に起因する液切れが回避でき、研磨面１９の液切れ等の不都合を確実に解消す ることができ、研磨性能を良好にすることができる。 また、研磨面１９への導入位置は電極板２１の凹部２４内に形成される研磨体 １１の中心凹み２７であるため、研磨面１９の中心近傍の液切れ等に伴う障害等 を確実に解消できる。

【００２７】 さらに、電解液１８の供給は回転軸１２に沿った供給管１７で行うため、スピ ンドルスルー方式のようなシール部の寿命低下も回避でき、長期間に渡って良好 な性能を維持することができる。 そして、電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６を挿通孔２８より外側に配 置したため、供給管１７からの電解液１８が遠心力で外側に移動することで自然 に各貫通孔１５、１６に導入され、確実な電解液１８の供給が図れる。

【００２８】 また、カバー２２により本体２０内を閉鎖空間２６としたため、供給される電 解液１８のこぼれや漏れ出しを防止することができる。

【００２９】 図２には本考案の第二実施例が示されている。 本実施例の研磨工具１０は、基本的に前記第一実施例と同様に構成されている が、電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６の配置が異なる。従って、同様の 部分については簡略化のため説明を省略し、以下には異なる部分だけ説明する すなわち、本実施例では電極板貫通孔１５が隆起部２３の上面周辺部に形成さ れ、研磨体貫通孔１６は電極板貫通孔１５から真下に向けて配置されている。た だし、本実施例においても各貫通孔１５、１６の中心軸位置は回転軸１２の中心 からr3>r1 となっている。

【００３０】 このような本実施例では、前記第一実施例と同様の手順により研磨が行われ、 前記第一実施例と同様な効果を得ることができるとともに、各貫通孔１５、１６ がより中心にあるため、研磨体１１に対してより均一かつ確実に電解液１８の供 給を行うことができる。

【００３１】 図３には本考案の第三実施例が示されている。 本実施例の研磨工具１０は、基本的に前記第一実施例と同様に構成されている が、本体２０の形状、より具体的にはカバー２２および粘弾性研磨体１１の形状 が異なる。従って、同様の部分については簡略化のため説明を省略し、以下には 異なる部分だけ説明する すなわち、本実施例ではカバー２２は電極板２１の上側全面を覆うのではなく 、隆起部２３の上側のみを覆うような有筒円筒状に形成されている。

【００３２】 また、研磨体１１は辺縁部が上方に折り返されておらず、端部近傍を研磨面１ ９側からねじ２９で貫通係止されている。 ただし、カバー２２内に閉鎖空間２６が形成される点、閉鎖空間２６内に電極 板貫通孔１５が開口される点は前記第一実施例と同様である。 このような本実施例では、前記第一実施例と同様の手順により研磨が行われ、 前記第一実施例と同様な効果を得ることができるとともに、閉鎖空間２６が電極 板貫通孔１５のすぐ外側までになるため、供給された電解液１８が貫通孔１５の 外側に余分に溜まることがなく、無駄を解消することができる。

【００３３】 図４には本考案の第四実施例が示されている。 本実施例の研磨工具１０は、基本的に前記第三実施例と同様に構成されている が、電極板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６の配置が異なるとともに、カバー ２２の大きさが異なる。従って、同様の部分については簡略化のため説明を省略 し、以下には異なる部分だけ説明する すなわち、本実施例では電極板貫通孔１５が隆起部２３の上面周辺部に形成さ れ、研磨体貫通孔１６は電極板貫通孔１５から真下に向けて配置されている。た だし、本実施例においても各貫通孔１５、１６の孔外側位置r3は回転軸１２の中 心からr3>r1 となっている。

【００３４】 また、本実施例では有底筒状のカバー２２が前記第三実施例よりも小径とされ 、電極板２１の隆起部２３の上面のみを覆うように構成されている。 このような本実施例では、前記第一実施例と同様の手順により研磨が行われ、 前記第一実施例と同様な効果を得ることができるとともに、前記第三実施例と同 様に電極板貫通孔１５の外側に余分の電解液１８が溜まる等の無駄を解消でき、 これに加えて各貫通孔１５、１６がより中心にあるため研磨体１１に対してより 均一かつ確実に電解液１８の供給を行うことができる。

【００３５】 なお、本考案は前記各実施例に限定されるものではなく、以下に示すような変 形なども本考案に含まれるものである。 前記各実施例において、電極板貫通孔１５および研磨材貫通孔１６の個数や周 方向の間隔、配置は実施にあたって適宜選択すればよい。 例えば、各貫通孔１５、１６は、通常は周方向に適宜個数を均等配置（４個の 孔を９０度間隔、６個の孔を６０度間隔等）すればよいが、必要に応じて周方向 の３箇所に１２０度間隔でそれぞれ二個づつ並べて計６個の孔を配置してもよい 。

【００３６】 また、電極板貫通孔１５の穿孔方向は電極板２１の面材直交方向であればよい が、必要に応じて傾斜させてもよく、前記第一および第三の実施例のように隆起 部２３の傾斜面部分に設ける場合には電極板２１に対して傾斜させて回転軸１２ と平行な方向となるようにしてもよい。 さらに、研磨材貫通孔１６の穿孔方向は前記各実施例のような略垂直方向に限 らず、下側が径方向外向きになるように傾斜させてもよく、このようにすれば貫 通孔１６を通して流下する電解液１８を遠心力により積極的に研磨面１９へと導 くことができる。

【００３７】 そして、電極板２１の上面側に隆起部２３を形成し、下面側に凹部２４を形成 したが、その加工手段としては板材のプレス加工等の適宜な手段を利用すればよ い。 また、隆起部２３はねじ１３が研磨面と衝突するのを防止するために設けられ たものであり、本考案に必須ではなく、厚みのある板材の下面側に切削等により 凹部２４を形成して電極板２１を形成してもよく、凹部２４の形状は円錐台状に 限らず円筒状等であってもよく、要するに研磨面側に研磨面１９（研磨対象表面 ）との間に所定の中心凹み２７が形成できるような凹部２４を有する電極板２１ を用いるということである。

【００３８】 一方、回転軸１２を回転駆動する手段はモータ等、既存の回転式研磨工具に用 いられる手段を適宜採用すればよい。 また、粘弾性研磨体１１の材質も既存のもの等を適宜利用すればよく、電解液 １８の成分や濃度、混入する砥粒の材質、粒度や分量、通電状態などは既存のも のを適宜流用し、かつ本考案に基づく構成とした際に最適の結果が得られるよう に適宜調整すればよい。

【００３９】

【考案の効果】

以上に述べたように、本考案によれば、電極板および研磨体を貫通する各孔に より研磨面への砥粒混合電解液の供給を確実に行って研磨性能を良好にできると ともに、回転シール等も必要がないため長時間使用しても工具不良を生じないよ うにでき、良好な研磨性能を長期間維持することができる。

【提出日】平成６年４月１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【背景技術】

従来より、金属材料などの表面研磨加工には、電解メッキとは逆の作用により 研磨対象の表面から素材を除去して加工を行う電解研磨が利用されている。 電解研磨のうち、電解液にNaCl等を用いる動態加工方式は加工効率が高いが、 加工精度を適切に設定しにくい。一方、電解液にNaNO3 等を用いる不動態加工方 式は、不動態被膜（酸化膜あるいは不活性膜）により電解電流による溶出が抑え られるため、精度を高めやすい。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】 固体方式における電解液供給には、電極上面の回転軸付根近傍から滴下供給し て研磨体へ抜ける貫通孔を通して供給する「電解バフ研磨方式」（特開昭53ー132 893 号等参照）が採用されており、その中に回転軸を管状にしてその内部を通し て回転円盤状の電極下面側へ供給する「スピンドルスルー方式」が採用されてい る。 このスピンドルスルー方式は、スピンドルを回転させる必要があるところから 、電解液の供給をロータリージョイントを介して行わなければならず、電解液に 砥粒を混入した複合電解液では、その砥粒によりシール部の寿命が短くなること が問題となる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】 さらに、図５の遊離砥粒方式の工具には、特有の問題として、回転中心領域９ ８への通液不良が生じやすいという問題がある。 つまり、粘弾性研磨体９３に供給された電解液９５は、研磨体９３の回転に伴 って遠心力により周方向へと移動し、周辺に偏って浸潤した状態となり、研磨体 ９３の回転中心領域９８には電解液９５が行き渡らなくなる。この状態で回転研 磨を行っても、回転中心領域９８では電解液９５およびそれに含まれる砥粒の不 足によって研磨不良を招くことになる。 また、十分な電解液９５がない状態で研磨体９３が研磨対象に擦りつけられる ことで、摩擦発熱による焼けや研磨体９３のウレタン材料等が電気抵抗発熱によ り溶解して研磨対象表面に付着するといった障害を招くことになる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】

【作用】

このような本考案においては、回転軸により電極板を回転させてカバー内に砥 粒を混合した電解液を供給しながら、この電極板に貼られた粘弾性研磨体を研磨 対象に押し着ける。 供給された電解液はカバー内の空間に溜り、電極板貫通孔を通して凹部内に抜 ける。続いて、電解液は粘弾性研磨体の研磨体貫通孔を通してこの研磨体の研磨 面側の凹部に対応した中心凹み内に抜け、遠心力により順次外周部分へと拡がっ て研磨面の全面に行き渡ることになる。なお、研磨体貫通孔の内面は液が通過で きないことが望ましい。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】 中心凹み２７内に送り出された電解液１８および研磨体１１に浸潤された電解 液１８は、遠心力により周囲の研磨面１９および研磨体１１のさらに外側の部分 へと移動し、順次外周部分へと拡がって研磨面１９全面に十分に行き渡ることに なる。 電解液１８が研磨面１９に十分に供給されると、電解液１８に混入されていた 砥粒が研磨体１１の回転によって研磨対象の表面を研磨するとともに、本体２０ と研磨対象との間の電解液１８を介して別の電源より電流が流れ、電気分解によ り研磨対象の表面の電解研磨が行われることになる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】 なお、研磨体貫通孔１６の開孔を、例えば加熱体等で溶融して行うと、孔内壁 が緻密となり、より一層確実な電解液の供給が図れる上、溶解液が孔から外に出 れば研磨体内に充満できるので通電も可能である。 また、カバー２２により本体２０内を閉鎖空間２６としたため、供給される電 解液１８のこぼれや漏れ出しを防止することができる。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】 また、研磨体１１は辺縁部が上方に折り返されておらず、端部近傍を研磨面１ ９側からねじ２９で貫通係止されている。 ただし、カバー２２内に閉鎖空間２６が形成される点、閉鎖空間２６内に電極 板貫通孔１５および研磨体貫通孔１６が開孔される点は前記第一実施例と同様で ある。 このような本実施例では、前記第一実施例と同様の手順により研磨が行われ、 前記第一実施例と同様な効果を得ることができるとともに、閉鎖空間２６が電極 板貫通孔１５のすぐ外側までになるため、供給された電解液１８が貫通孔１５の 外側に余分に溜まることがなく、無駄を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第一実施例を示す断面図。

【図２】本考案の第二実施例を示す断面図。

【図３】本考案の第三実施例を示す断面図。

【図４】本考案の第四実施例を示す断面図。

【図５】従来例を示す断面図。

【符号の説明】

１０ 電解複合研磨工具 １１ 粘弾性研磨体 １２ 回転軸 １５ 電極板貫通孔 １６ 研磨体貫通孔 １８ 電解液 １９ 研磨面 ２０ 本体 ２１ 電極板 ２２ カバー ２３ 隆起部 ２４ 凹部 ２７ 中心凹み

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【手続補正書】

【提出日】平成６年４月１日

【手続補正８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨面側の中心部に凹部を有する円盤状
   の電極板と、前記電極板の前記凹部とは反対側面の中心
   に接続されて前記電極板を回転させる回転軸と、前記電
   極板の凹部側表面に貼られた粘弾性研磨体と、前記電極
   板の前記凹部を貫通する電極板貫通孔と、前記電極板貫
   通孔と連続する位置に配置されて前記粘弾性研磨体を貫
   通する研磨体貫通孔と、前記電極板の前記回転軸の周囲
   に前記電極板と同軸で前記電極板貫通孔を囲うように形
   成されたカバーとを備えて構成されたことを特徴とする
   電解複合研磨工具。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載した電解複合研磨工
   具において、前記凹部は円錐台状に形成されて周面が前
   記回転軸に対して傾斜されており、前記電極板貫通孔は
   前記周面に貫通形成されており、前記粘弾性研磨体は前
   記凹部に沿って湾曲して貼られており、前記研磨体貫通
   孔の前記電極板と反対側の開口は前記粘弾性研磨体の前
   記凹部に沿って湾曲した部分内に形成されていることを
   特徴とする電解複合研磨工具。
3. 【請求項３】 前記請求項１または請求項２に記載した
   電解複合研磨工具において、前記カバーは前記電極板の
   前記凹部とは反対側面を覆うカップ状に形成され、その
   中心には前記回転軸が挿通される導入孔が形成され、こ
   の導入孔の内径は前記回転軸の外形より大きくかつ前記
   電極板貫通孔の前記回転軸の中心からの距離よりも小さ
   く設定されていることを特徴とする電解複合研磨工具。