JPH0740167Y2 - 非接触式キャリパー計 - Google Patents
非接触式キャリパー計Info
- Publication number
- JPH0740167Y2 JPH0740167Y2 JP1100390U JP1100390U JPH0740167Y2 JP H0740167 Y2 JPH0740167 Y2 JP H0740167Y2 JP 1100390 U JP1100390 U JP 1100390U JP 1100390 U JP1100390 U JP 1100390U JP H0740167 Y2 JPH0740167 Y2 JP H0740167Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- web
- target
- detection head
- distance
- sensor coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、走行するウェブの厚さを、ウェブ上下に一定
厚の空気層を作り、下方側コイルと上方側ターゲット間
の距離を測定することによりオンラインで求める非接触
式キャリパー計に関するものである。
厚の空気層を作り、下方側コイルと上方側ターゲット間
の距離を測定することによりオンラインで求める非接触
式キャリパー計に関するものである。
〈従来の技術〉 従来、この種の技術としては、空気吹出しによりウェブ
から一定量だけ浮上している上側検出ヘッドと、このウ
ェブの下側に配置されたセンサコイルを有する下側検出
ヘッドを供えて、センサコイルのインピーダンス変化か
らウェブ厚を求めるにあたり、下側検出ヘッドを、セン
サコイルを収納し表面に複数の空気吹出穴を持つセンサ
ブロックをウェブ表面に対して垂直方向に押圧し、この
時の押圧力と前記空気吹出穴からの空気吹出しによる反
発力とセンサーブロック自重とをバランスさせて、セン
サコイルからウェブを一定量浮上させるように構成した
ものが知られている（例えば、特開昭63−308503号公報
参照）。
から一定量だけ浮上している上側検出ヘッドと、このウ
ェブの下側に配置されたセンサコイルを有する下側検出
ヘッドを供えて、センサコイルのインピーダンス変化か
らウェブ厚を求めるにあたり、下側検出ヘッドを、セン
サコイルを収納し表面に複数の空気吹出穴を持つセンサ
ブロックをウェブ表面に対して垂直方向に押圧し、この
時の押圧力と前記空気吹出穴からの空気吹出しによる反
発力とセンサーブロック自重とをバランスさせて、セン
サコイルからウェブを一定量浮上させるように構成した
ものが知られている（例えば、特開昭63−308503号公報
参照）。
〈考案が解決しようとする課題〉 従来の上下から単に空気を吹出している機構にあって、
ウェブと上下検出ヘッド（ターゲット）の距離は吹出圧
とパスラインによる力によって決まるから、ウェブとタ
ーゲットの距離を一定にしておくために、パスラインの
変動に対してウェブと空気を吹出しているターゲットの
上下機構が一定の力を保持したままパスラインに追従し
ていく必要がある。しかしながら、この従来の機構にあ
っては、上述のパスラインに追従し且つ一定の力を保持
することは極めて難しく、センサに要求される性能を充
分に発揮できない、という問題点があった。
ウェブと上下検出ヘッド（ターゲット）の距離は吹出圧
とパスラインによる力によって決まるから、ウェブとタ
ーゲットの距離を一定にしておくために、パスラインの
変動に対してウェブと空気を吹出しているターゲットの
上下機構が一定の力を保持したままパスラインに追従し
ていく必要がある。しかしながら、この従来の機構にあ
っては、上述のパスラインに追従し且つ一定の力を保持
することは極めて難しく、センサに要求される性能を充
分に発揮できない、という問題点があった。
本考案は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、下側
検出ヘッドについて、ウェブに空気や窒素等の気体を吹
出しながら吸着させる機構を開発することにより、片側
に、固定した吸着式の非接触基準面にウェブを吸着して
パスラインを固定させて性能の向上を図った両面非接触
で且つ安定したプロフィールを得る非接触式キャリパー
計を提供するものである。
てなされたものであり、その目的とするところは、下側
検出ヘッドについて、ウェブに空気や窒素等の気体を吹
出しながら吸着させる機構を開発することにより、片側
に、固定した吸着式の非接触基準面にウェブを吸着して
パスラインを固定させて性能の向上を図った両面非接触
で且つ安定したプロフィールを得る非接触式キャリパー
計を提供するものである。
〈課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、本考案は、ウェブから一定
量浮上して位置する上側検出ヘッド及び前記ウェブの下
側に一定量はなれて位置する下側検出ヘッドを用いて前
記ウェブの厚みを測定する非接触式キャリパー計におい
て、前記上側検出ヘッドは気体を吹出して前記ウェブか
ら一定量浮上する導体で形成されたターゲットを保持す
る機構を有して成り、前記下側検出ヘッドは噴流のコア
ンダ効果を利用して非接触で前記ウェブを一定間隔に固
定する機構及び該機構の内側に収納・配置されて渦電流
を発生するセンサコイルを有して成り、“ターゲット／
センサコイル間距離”から“ターゲット／ウェブ上面間
距離とセンサコイル／ウェブ下面間距離の加算値”を引
算して前記ウェブの厚さを算出する非接触式キャリパー
計である。
量浮上して位置する上側検出ヘッド及び前記ウェブの下
側に一定量はなれて位置する下側検出ヘッドを用いて前
記ウェブの厚みを測定する非接触式キャリパー計におい
て、前記上側検出ヘッドは気体を吹出して前記ウェブか
ら一定量浮上する導体で形成されたターゲットを保持す
る機構を有して成り、前記下側検出ヘッドは噴流のコア
ンダ効果を利用して非接触で前記ウェブを一定間隔に固
定する機構及び該機構の内側に収納・配置されて渦電流
を発生するセンサコイルを有して成り、“ターゲット／
センサコイル間距離”から“ターゲット／ウェブ上面間
距離とセンサコイル／ウェブ下面間距離の加算値”を引
算して前記ウェブの厚さを算出する非接触式キャリパー
計である。
〈実施例〉 実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本考案の非接触式キャリパー計の具体的実施例
を示す断面構造図、第２図は第１図の説明に供する図で
あり、第１図のＸ−Ｘ断面図を表わし、第３図は第１図
の説明に供する図であり、気体配管経路図を表わす。
を示す断面構造図、第２図は第１図の説明に供する図で
あり、第１図のＸ−Ｘ断面図を表わし、第３図は第１図
の説明に供する図であり、気体配管経路図を表わす。
第１図乃至第３図において、Ａは下側検出ヘッドを示
し、Ｂは上側検出ヘッド、Ｗは被測定体であるウェブを
示す。下側検出ヘッドＡにおいて、11は下部タンク、12
は気体配管経路、13はノズル、14はセンサコイル、15は
下部タンク導入口を示す。上側検出ヘッドＢにおいて、
21はターゲット、22はダイアフラム、23はバネ、24は導
圧口、25は上部タンク、26は上部タンク導入口を示す。
し、Ｂは上側検出ヘッド、Ｗは被測定体であるウェブを
示す。下側検出ヘッドＡにおいて、11は下部タンク、12
は気体配管経路、13はノズル、14はセンサコイル、15は
下部タンク導入口を示す。上側検出ヘッドＢにおいて、
21はターゲット、22はダイアフラム、23はバネ、24は導
圧口、25は上部タンク、26は上部タンク導入口を示す。
夫々の関係は次のとおりとなる。
ウェブＷの下側に一定の距離をおいて位置する下側検出
ヘッドＡの、高周波を流して渦電流を発生するセンサコ
イル14を内蔵し、噴流のコアンダ効果を利用して非接触
でウェブＷを一定間隔に固定する機構は、導入口15から
下部タンク11に空気或はN2等の気体を導入し、この下部
タンク11内に貯蔵される気体を気体配管経路12を通じて
センサコイル14の周囲に複数配置されるノズル13から空
気或はN2等の噴流PA1として出すように構成される。こ
のとき、噴流PA1が方向を変える際に流速により負圧を
生じる現象（コアンダ効果）を利用して、負圧ポイント
PAPにウェブＷを吸着させることができる。
ヘッドＡの、高周波を流して渦電流を発生するセンサコ
イル14を内蔵し、噴流のコアンダ効果を利用して非接触
でウェブＷを一定間隔に固定する機構は、導入口15から
下部タンク11に空気或はN2等の気体を導入し、この下部
タンク11内に貯蔵される気体を気体配管経路12を通じて
センサコイル14の周囲に複数配置されるノズル13から空
気或はN2等の噴流PA1として出すように構成される。こ
のとき、噴流PA1が方向を変える際に流速により負圧を
生じる現象（コアンダ効果）を利用して、負圧ポイント
PAPにウェブＷを吸着させることができる。
ウェブＷとセンサコイル14との距離τは、噴流の流量Ｑ
によって定まる。
によって定まる。
一方、ウェブから一定量浮上して位置する上側検出ヘッ
ドＢは、導圧口24より流入される空気或はN2等の気体は
ターゲット内タンクに貯蔵された上でターゲット下面の
吹出穴21aから吹出され、この時できる空気層PB1により
導体材質で形成されたターゲット21をウェブＷから一定
量浮上する保持する機構と、導入口26から上部タンク25
に空気或はN2等の気体を導入し、この上部タンク内に貯
蔵される気体のターゲット21を保持するダイアフラム22
への押圧PC1とターゲットの導圧口24の外側に組付けら
れたバネ23の力との関係による構成されるターゲット上
下機構とから成る。
ドＢは、導圧口24より流入される空気或はN2等の気体は
ターゲット内タンクに貯蔵された上でターゲット下面の
吹出穴21aから吹出され、この時できる空気層PB1により
導体材質で形成されたターゲット21をウェブＷから一定
量浮上する保持する機構と、導入口26から上部タンク25
に空気或はN2等の気体を導入し、この上部タンク内に貯
蔵される気体のターゲット21を保持するダイアフラム22
への押圧PC1とターゲットの導圧口24の外側に組付けら
れたバネ23の力との関係による構成されるターゲット上
下機構とから成る。
そしてこれ等の配管系統は、第３図に示すように、導入
口15への気体PAの流入調整は吸着圧調整弁（減圧弁）15
Aを介して行われ、導圧口24への気体PBの流入調整はタ
ーゲット吹出圧調整弁（減圧弁）24Aを介して行われ、
導入口26への気体PCの流入調整はは上部タンク圧調整弁
（減圧弁）26Aにより設定された圧力をターゲットON時
に上部タンク25に流すためのバルブ（電磁弁）26Bを介
して行われるように構成される。
口15への気体PAの流入調整は吸着圧調整弁（減圧弁）15
Aを介して行われ、導圧口24への気体PBの流入調整はタ
ーゲット吹出圧調整弁（減圧弁）24Aを介して行われ、
導入口26への気体PCの流入調整はは上部タンク圧調整弁
（減圧弁）26Aにより設定された圧力をターゲットON時
に上部タンク25に流すためのバルブ（電磁弁）26Bを介
して行われるように構成される。
このように構成されたときの動作について以下に説明す
る。
る。
吸着圧調整弁15Aによりノズル13から吹出す噴流の圧力
を一定に保ち、下側検出ヘッドＡに関し吸着力及びセン
サコイル14とウェブＷとの距離τを一定にする。又、上
部タンク圧調整弁26Aにより上部タンク内圧（ダイアフ
ラムへの押圧PC1）を一定にする。この結果、ダイアフ
ラム面積が一定であれば一定の荷重がターゲット22に加
わる。その上でターゲット吹出圧調整弁24Aによりター
ゲット下面からの吹出圧を一定にする。以上により上部
タンク圧，ターゲット吹出圧が一定の場合、ウェブＷか
らの浮上量δは一定にできる。
を一定に保ち、下側検出ヘッドＡに関し吸着力及びセン
サコイル14とウェブＷとの距離τを一定にする。又、上
部タンク圧調整弁26Aにより上部タンク内圧（ダイアフ
ラムへの押圧PC1）を一定にする。この結果、ダイアフ
ラム面積が一定であれば一定の荷重がターゲット22に加
わる。その上でターゲット吹出圧調整弁24Aによりター
ゲット下面からの吹出圧を一定にする。以上により上部
タンク圧，ターゲット吹出圧が一定の場合、ウェブＷか
らの浮上量δは一定にできる。
ところで、このようにして一定の設定値に吸着圧調整弁
15A,ターゲット吹出圧調整弁24A及び上部タンク圧調整
弁26Aが定められていれば、ウェブＷからの距離、即
ち、ターゲット／ウェブ上面間距離δ，とセンサコイル
／ウェブ下面間距離τは共に決定することができる。
15A,ターゲット吹出圧調整弁24A及び上部タンク圧調整
弁26Aが定められていれば、ウェブＷからの距離、即
ち、ターゲット／ウェブ上面間距離δ，とセンサコイル
／ウェブ下面間距離τは共に決定することができる。
そしてウェブがある一定の定められた既知の厚さｔχで
あるとすれば、“δ＋τ＋ｔχ”がターゲット／センサ
コイル間距離ｌとなる。
あるとすれば、“δ＋τ＋ｔχ”がターゲット／センサ
コイル間距離ｌとなる。
以上のことから、“ターゲット／センサコイル間距離l"
から“ターゲット／ウェブ上面間距離δとセンサコイル
／ウェブ下面間距離τの加算値”を引算してウェブの厚
さｔχを算出することが可能となる。従って、実際の使
用にあたっては、定められた厚さの異なる（例えば100
μm,500μｍ）２つのウェブを基準サンプルとして、セ
ンサコイル14からの出力に基づく出力データを図示しな
い出力回路から、100μｍ時の出力を例えば1V（ゼ
ロ）、500μｍ時の出力を例えば5V（フル）となるよう
にゼロ，スパン調整すれば、この間にある厚さ未知のウ
ェブ厚について測定が可能となる。
から“ターゲット／ウェブ上面間距離δとセンサコイル
／ウェブ下面間距離τの加算値”を引算してウェブの厚
さｔχを算出することが可能となる。従って、実際の使
用にあたっては、定められた厚さの異なる（例えば100
μm,500μｍ）２つのウェブを基準サンプルとして、セ
ンサコイル14からの出力に基づく出力データを図示しな
い出力回路から、100μｍ時の出力を例えば1V（ゼ
ロ）、500μｍ時の出力を例えば5V（フル）となるよう
にゼロ，スパン調整すれば、この間にある厚さ未知のウ
ェブ厚について測定が可能となる。
〈考案の効果〉 本考案は、以上説明したように構成されているので、次
に記載するような効果を奏する。
に記載するような効果を奏する。
ウェブに空気等の気体を吹出しながら吸着させる機構を
用いたことにより、両面非接触で且つ安定したプロフィ
ールを得ることができる。
用いたことにより、両面非接触で且つ安定したプロフィ
ールを得ることができる。
又、ウェブに空気等の気体を吹出しながら吸着させる機
構を用いたことにより、下側に固定した吸着式の非接触
基準面にウェブを吸着してパスラインを固定させること
ができるから、ウェブの厚さ測定の性能の向上を図るこ
とができる。
構を用いたことにより、下側に固定した吸着式の非接触
基準面にウェブを吸着してパスラインを固定させること
ができるから、ウェブの厚さ測定の性能の向上を図るこ
とができる。
第１図は本考案の非接触式キャリパー計の具体的実施例
を示す断面構造図、第２図は第１図のＸ−Ｘ断面図、第
３図は第１図の気体配管経路図である。 Ａ……下側検出ヘッド、Ｂ……上側検出ヘッド、Ｗ……
ウェブ、11……下部タンク、12……気体配管経路、13…
…ノズル、14……センサコイル、15……下部タンク導入
口、21……ターゲット、22……ダイアフラム、23……バ
ネ、24……導圧口、25……上部タンク、26……上部タン
ク導入口。
を示す断面構造図、第２図は第１図のＸ−Ｘ断面図、第
３図は第１図の気体配管経路図である。 Ａ……下側検出ヘッド、Ｂ……上側検出ヘッド、Ｗ……
ウェブ、11……下部タンク、12……気体配管経路、13…
…ノズル、14……センサコイル、15……下部タンク導入
口、21……ターゲット、22……ダイアフラム、23……バ
ネ、24……導圧口、25……上部タンク、26……上部タン
ク導入口。
Claims (1)
- 【請求項１】ウェブから一定量浮上して位置する上側検
出ヘッド及び前記ウェブの下側に一定量はなれて位置す
る下側検出ヘッドを用いて前記ウェブの厚みを測定する
非接触式キャリパー計において、 前記上側検出ヘッドは、気体を吹出して前記ウェブから
一定量浮上する導体で形成されたターゲットを保持する
機構を有して成り、 前記下側検出ヘッドは、噴流のコアンダ効果を利用して
非接触で前記ウェブを一定間隔に固定する機構及び該機
構の内側に収納・配置されて渦電流を発生するセンサコ
イルを有して成り、 “ターゲット／センサコイル間距離”から“ターゲット
／ウェブ上面間距離とセンサコイル／ウェブ下面間距離
の加算値”を引算して前記ウェブの厚さを算出する非接
触式キャリパー計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100390U JPH0740167Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 非接触式キャリパー計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100390U JPH0740167Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 非接触式キャリパー計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104805U JPH03104805U (ja) | 1991-10-30 |
| JPH0740167Y2 true JPH0740167Y2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=31514547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1100390U Expired - Fee Related JPH0740167Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 非接触式キャリパー計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740167Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5403524B2 (ja) * | 2010-12-08 | 2014-01-29 | レーザーテック株式会社 | 電池用電極材の厚さ測定装置、及び厚さ測定方法 |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP1100390U patent/JPH0740167Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03104805U (ja) | 1991-10-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |