JPH0741093U - 除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 除振効果が良好でしかも小型化可能な除振装
置を提供する。 【構成】 外ケース１０内に、内ケース１１を嵌入する
と共に外ケース１０および内ケース１１の各上縁部間の
開口を、ゴムべローズ１２により気密に閉塞して空気室
１３を形成する。内ケース１１の内側において、同内ケ
ースの上部に吊り部材１５を介して下支持板１６を支持
し、また下支持板１６の上面に、適宜高さの支持柱１７
を介して荷重受け板１８を支承した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は精密機器等を除振するのに好適な除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の除振装置としては図５、図６に示されるように床１上に載置される外枠 ２と、この外枠２の内側に、ワイヤあるいはロッドのごとき１本の吊り部材３を 介して支持された内枠４と、この内枠４の上面に配置された周知の空気ばね５と を備えたものがある（例えば実開平３−１２６４３号参照）。

【０００３】 なお、外枠２と内枠４とは互いに交差しないように組み立てられ、中心部にお いて１本の吊り部材３により外枠の上部材２ａと内枠の底部材４ａとが揺動自在 に連結されている。このような除振装置は、精密機器等を搭載する定盤６の下に ３〜４台設置されて使用される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来の除振装置においては、床からの振動が外枠２、吊り部材３、内枠４ を順次経由し増幅して空気ばね５に伝達される。このため空気ばね５にて床振動 を十分吸収し得ないことがあり、この場合床振動が定盤６にまで伝わるという不 具合があった。図８に上記従来の除振装置による振動伝達率を示すが、同図に示 されるように高い周波数領域では除振効果が低下する傾向がある。また空気ばね ５が吊り部材３の上方に直列に配設されていることから、全体構造の高さが高く なるという難点もある。

【０００５】 本考案は、このような従来の難点を解消すべくなされたもので、除振効果が良 好でしかも小型化可能な除振装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】 本考案の除振装置は、外ケースと、前記外ケース内に嵌入された内ケースと、 前記外ケースおよび前記内ケースの各上縁部間の開口を気密に閉塞するべローズ と、前記外ケース、前記内ケースおよび前記べローズにより区画された空気室と 前記内ケースの内側に、同内ケースの上部に吊り部材を介して支持された下支持 板と、前記下支持板の上面に、適宜高さの支持柱を介して支承された荷重受け板 とを備えたことを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

本考案においては、外ケースと、この外ケース内に嵌入された内ケースとの間 に空気ばね機構が設けられている。使用時に空気室内に圧縮空気を封入してべロ ーズを介して内ケースを適宜浮上させることにより、吊り部材等を介して荷重受 け板を所定位置まで持ち上げる。荷重受け板上には精密機器類を直接あるいは定 盤を介して搭載する。床振動は初期の段階で外ケース内の空気ばね機構により吸 収されるから荷重受け板まではほとんど伝達されない。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案の除振装置を図に示した実施例に従い説明する。 図１および図２は本考案の一実施例を示す図である。これらの図において円筒 状の外ケース１０内に円筒状の内ケース１１が嵌入されている。両ケース１０、 １１の各上縁部間の開口が円環状のゴムべローズ１２により気密に閉塞されて空 気室１３が形成されている。

【０００９】 内ケース１１の上縁部に、内ケース１１の中心を横断する矩形の上支持板１４ が設けられ、その中心部からワイヤあるいはロッドのごとき１本の吊り部材１５ が垂下されている。吊り部材１５の下端には下支持板１６が連結されている。 吊り部材１５の両端部を支点としてそれぞれ上支持板１４および下支持板１６が 揺動可能である。下支持板１６の上面に、２枚の支持柱１７を介して荷重受け板 １８が支承されている。

【００１０】 空気室１３内の下部に必要に応じてシリコーンオイルのような粘性流体１９が 収容され、かつ内ケース１１の下部が同流体中に没入されることにより内ケース １１の振動減衰作用を行わせることができる。また図示を省略したが、外ケース １０の上部と下部には空気供給口と流体供給口とがそれぞれ設けられている。

【００１１】 この実施例は上記のように構成され、空気室１３内に圧縮空気が封入され荷重 受け板１８の上方には除振すべき精密機器類（図示せず）を載置させて使用され る。

【００１２】 床振動は初期の段階で外ケース１０内の空気ばね機構により吸収されるから増 幅されて荷重受け板１８まで伝達されることはない。図７にこの実施例の振動伝 達率を実線ａで示しているが、高い周波数領域でも除振効果は低下しない。また 外ケース１０内に空気ばね機構および吊り部材等を設けて荷重受け板を外ケース 上面近傍に配置したことから高さが低く全体構造の小型化が可能である。

【００１３】 図３、図４は本考案の他の実施例を示す図である。これらの図において円筒状 の外ケース２０内に円筒状の内ケース２１が嵌入されている。両ケース２０、２ １の各上縁部間の開口が円環状のゴムべローズ２２により気密に閉塞されて空気 室２３が形成されている。

【００１４】 内ケース２１の上縁部に、ワイヤあるいはロッドのごとき３〜４本の吊り部材 ２４が垂下されている。各吊り部材２４の下端には下支持板２５が揺動可能に連 結されている。下支持板２５の上面に、第１の支持柱２６が植設されている。第 １の支持柱２６の上面中心部から１本の吊り部材２７が垂下され、この１本の吊 り部材２７の下端に揺動可能に連結された第２の支持柱２８を介して荷重受け板 ２９が支承されている。

【００１５】 この実施例の場合も図１、図２の実施例と同様の態様で使用される。図７にこ の実施例の振動伝達率を破線ｂで示しているが、２種類の吊り部材２４および２ ７を使用したことにより図１の実施例よりもさらに高い周波数領域での除振効果 が良好である。

【００１６】 なお、図示を省略したがこの実施例の場合も空気室２３内の下部に、必要に応 じて粘性流体が収容され、かつ内ケース２１の下部が同流体中に没入されている 。また外ケース２０の上部と下部に空気供給口と流体供給口とがそれぞれ適宜設 けられている。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、床振動は初期の段階で外ケース内の空気 ばね作用により吸収されるから荷重受け板にはほとんど伝達されない。

【００１８】 また外ケース内に空気ばね機構および吊り部材等を設けて荷重受け板を外ケー スの上面近傍に配置したことから小型化が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わる除振装置の一実施例を示す縦断
面図。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う縦断面図。

【図３】本考案の他の実施例を示す縦断面図。

【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿う縦断面図。

【図５】従来の除振装置を示す縦断面図。

【図６】図５のＣ−Ｃ線に沿う縦断面図。

【図７】本考案の除振装置による振動伝達率を示す線
図。

【図８】従来の除振装置による振動伝達率を示す線図。

【符号の説明】

１０、２０…外ケース １１、２１…内ケース １２、２２…ゴムべローズ １３、２３…空気室 １４…………上支持板 １５、２４、２７…吊り部材 １６、２５…下支持板 １７、２８…支持柱 １８、２９…荷重受け板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 外ケースと、前記外ケース内に嵌入され
   た内ケースと、前記外ケースおよび前記内ケースの各上
   縁部間の開口を気密に閉塞するべローズと、前記外ケー
   ス、前記内ケースおよび前記べローズにより区画された
   空気室と、前記内ケースの内側に、同内ケースの上部に
   吊り部材を介して支持された下支持板と、前記下支持板
   の上面に、適宜高さの支持柱を介して支承された荷重受
   け板とを備えたことを特徴とする除振装置。