JPH0810935Y2 - 電界装置 - Google Patents
電界装置Info
- Publication number
- JPH0810935Y2 JPH0810935Y2 JP1990034927U JP3492790U JPH0810935Y2 JP H0810935 Y2 JPH0810935 Y2 JP H0810935Y2 JP 1990034927 U JP1990034927 U JP 1990034927U JP 3492790 U JP3492790 U JP 3492790U JP H0810935 Y2 JPH0810935 Y2 JP H0810935Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- electric field
- discharge
- dielectric substrate
- field device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、オゾン発生装置やイオン発生装置等に用
いる電界装置に関するもので、更に述べると、電界装置
の線状放電電極に関するものである。
いる電界装置に関するもので、更に述べると、電界装置
の線状放電電極に関するものである。
従来の技術 オゾン発生装置で用いられている電界装置は、線状放
電電極と面状誘電電極とを誘電体基板を介して一体的に
設けているが、この線状放電電極は薄く、例えば、５μ
ｍの厚さに形成されている。
電電極と面状誘電電極とを誘電体基板を介して一体的に
設けているが、この線状放電電極は薄く、例えば、５μ
ｍの厚さに形成されている。
考案が解決しようとする課題 従来例の電界装置では、同一種類の製品間において、
オゾン発生量にバラツキがあり、又、放電開始電圧にも
バラツキがあり、特性が不安定であった。そこで、本考
案者は、上記問題を解決するため研究を重ねたところ、
その原因は放電電極の厚さにあることを発見した。
オゾン発生量にバラツキがあり、又、放電開始電圧にも
バラツキがあり、特性が不安定であった。そこで、本考
案者は、上記問題を解決するため研究を重ねたところ、
その原因は放電電極の厚さにあることを発見した。
そして、この発見に基いて本考案を完成せしめたもの
である。
である。
この考案の目的は、前記事情に鑑み、各電界装置のオ
ゾン発生量や放電開始電圧にバラツキが少なくなるよう
にすることを目的とする。
ゾン発生量や放電開始電圧にバラツキが少なくなるよう
にすることを目的とする。
他の目的は、オゾン発生量を多くすると共に放電開始電
圧を低くすることである。
圧を低くすることである。
課題を解決するための手段 この考案は、線状放電電極と面状誘導電極とを誘電体
基板を介して一体的に設けた電界装置において、該放電
電極の厚さが、７μｍ以上に形成することにより、前記
目的を達成しようとするものである。
基板を介して一体的に設けた電界装置において、該放電
電極の厚さが、７μｍ以上に形成することにより、前記
目的を達成しようとするものである。
作用 線状放電電極と面状誘導電極との間に高周波高電圧を
印加すると、高周波コロナ放電が発生し、オゾンが誘電
体基板の表面に沿って発生する。この時、線状放電電極
は厚さが７μｍ以上なので、従来例に比べオゾンの発生
量は多く、又、放電開始電圧は低い。
印加すると、高周波コロナ放電が発生し、オゾンが誘電
体基板の表面に沿って発生する。この時、線状放電電極
は厚さが７μｍ以上なので、従来例に比べオゾンの発生
量は多く、又、放電開始電圧は低い。
実施例 この考案の実施例を添付図面により説明するが、同一
図面符号はその名称も機能も同一である。
図面符号はその名称も機能も同一である。
アルミナ粉末に、MgO2％（重量比、以下同じ）CaO2
％、SiO2４％を混合して、ボールミルで50〜80時間、湿
式粉砕した後脱水乾燥する。この粉末に、メタクリル酸
イソブチルエステル３％、ニトロセルロース１％、ジオ
クチルフタレート0.5％を加え、更に溶剤としてトリク
ロールエチレン、ｎ−ブタノールを加えて、ボールミル
で混合して流動性のあるスラリーとする。
％、SiO2４％を混合して、ボールミルで50〜80時間、湿
式粉砕した後脱水乾燥する。この粉末に、メタクリル酸
イソブチルエステル３％、ニトロセルロース１％、ジオ
クチルフタレート0.5％を加え、更に溶剤としてトリク
ロールエチレン、ｎ−ブタノールを加えて、ボールミル
で混合して流動性のあるスラリーとする。
これを、減圧脱泡後平板状に流し出して除熱し、溶剤
を発散させて厚さ0.5mmの高純度のアルミナグリーンシ
ート1a、1bを形成する。又、同様の方法により、タング
ステン粉末をスラリー状として、メタライズインク７と
する。次に、前記アルミナグリーンシート1aに、通常の
スクリーン印刷法にて面状の誘導電極３をタングステン
メタライズインクにより印刷して、前記アルミナグリー
ンシート1bを載置し、誘電体基板２を形成する。
を発散させて厚さ0.5mmの高純度のアルミナグリーンシ
ート1a、1bを形成する。又、同様の方法により、タング
ステン粉末をスラリー状として、メタライズインク７と
する。次に、前記アルミナグリーンシート1aに、通常の
スクリーン印刷法にて面状の誘導電極３をタングステン
メタライズインクにより印刷して、前記アルミナグリー
ンシート1bを載置し、誘電体基板２を形成する。
更に、アルミナグリーンシート1bの上面にタングステ
ンの線状の放電電極４を印刷するが、該電極４の厚みｔ
は、10μｍ以上となるようにする。一回だけの印刷で、
10μｍとならないときは２〜３回印刷をする。
ンの線状の放電電極４を印刷するが、該電極４の厚みｔ
は、10μｍ以上となるようにする。一回だけの印刷で、
10μｍとならないときは２〜３回印刷をする。
線状放電電極４の全周縁4aと面状誘導電極３の全周縁
3aとの間の長さＬは、実験の結果によると、誘電体基板
２がファインセラミックであり、線状放電電極４と面状
誘導電極３との間における誘電体基板の厚さが0.5mm
で、この間の電圧が２〜3KV（実効値）で、周波数が１
〜10KHzの場合、少なくとも2mm、好ましくは5mm以上で
あり、又、線状放電電極４の全周縁4aと誘電体基板２の
全端縁2aとの間の長さＷは、少なくとも10mm以上、好ま
しくは15mm以上であるが、これらの長さＬ、Ｗは夫々基
板の厚さの変化に伴って変化することは勿論である。
3aとの間の長さＬは、実験の結果によると、誘電体基板
２がファインセラミックであり、線状放電電極４と面状
誘導電極３との間における誘電体基板の厚さが0.5mm
で、この間の電圧が２〜3KV（実効値）で、周波数が１
〜10KHzの場合、少なくとも2mm、好ましくは5mm以上で
あり、又、線状放電電極４の全周縁4aと誘電体基板２の
全端縁2aとの間の長さＷは、少なくとも10mm以上、好ま
しくは15mm以上であるが、これらの長さＬ、Ｗは夫々基
板の厚さの変化に伴って変化することは勿論である。
このように、面状誘導電極３の全周縁3aを線状放電電
極４の全周縁4aより外側に向かって長さＬだけ張り出す
と、誘導電極３の周縁3aに接する誘電体基板２内局部に
形成される電気力線は分散するので、該局部の電界強度
は大幅に低下し、電界が一点に集中することはない。
又、放電電極４の周縁4aからは電界強度が一定値をこえ
ると沿面放電が伸展し、その為、周縁4aの電界は該一定
値をこえないので、周縁4aに接する誘電体内局部の電界
強度も大幅に低下する。
極４の全周縁4aより外側に向かって長さＬだけ張り出す
と、誘導電極３の周縁3aに接する誘電体基板２内局部に
形成される電気力線は分散するので、該局部の電界強度
は大幅に低下し、電界が一点に集中することはない。
又、放電電極４の周縁4aからは電界強度が一定値をこえ
ると沿面放電が伸展し、その為、周縁4aの電界は該一定
値をこえないので、周縁4aに接する誘電体内局部の電界
強度も大幅に低下する。
従って、誘電体基板２を局部的に絶縁破壊するおそれ
がないので、長期間の使用に耐えることができる。
がないので、長期間の使用に耐えることができる。
更に、誘電体基板２の全周縁2aを放電電極４の全周縁
4aより外方に張り出すと、誘電体基板２をアースされた
取付枠等に取り付けた場合に、放電電極４によって誘電
体基板２の面に生じた沿面放電で前記アースされた枠体
等にスパークを生ずることを防止することができる。
4aより外方に張り出すと、誘電体基板２をアースされた
取付枠等に取り付けた場合に、放電電極４によって誘電
体基板２の面に生じた沿面放電で前記アースされた枠体
等にスパークを生ずることを防止することができる。
このようにして、形成した電界装置Ｅを1400〜1600℃
の非酸化雰囲気で焼成する。この焼成によりアルミナグ
リーンシート1bと細線放電電極４との介面では、タング
ステンの粒界にアルミナグリーシート中のわずかな不純
物SiO2、MgO、AlO3が拡散し、反応してガラス相部分を
生じる。この部分が所謂、メタライズ層といわれるもの
で、あたかもタングステン中に根が伸びたような状態と
なり、アルミナグリーンシート1bと放電電極４を強度に
固着せしめる。
の非酸化雰囲気で焼成する。この焼成によりアルミナグ
リーンシート1bと細線放電電極４との介面では、タング
ステンの粒界にアルミナグリーシート中のわずかな不純
物SiO2、MgO、AlO3が拡散し、反応してガラス相部分を
生じる。この部分が所謂、メタライズ層といわれるもの
で、あたかもタングステン中に根が伸びたような状態と
なり、アルミナグリーンシート1bと放電電極４を強度に
固着せしめる。
従って、誘電体基板の表面と放電電極をその部分に生
じる沿面放電により高温に加熱し、それらが夫々膨張し
てもその際の膨張率が互いにほぼ等しいので、両者は同
時に伸縮し、それらの間に熱応力が発生しないし、又、
仮に熱応力が生じても、メタライズ層６により強固に固
着されているので放電電極４が誘電体基板２から剥離す
ることはない。放電電極４に、保護コートを施すのであ
れば、放電電極印刷後に、アルミナペーストを塗布して
も良いし、又は、焼成後にグレーズを焼付してもよい。
じる沿面放電により高温に加熱し、それらが夫々膨張し
てもその際の膨張率が互いにほぼ等しいので、両者は同
時に伸縮し、それらの間に熱応力が発生しないし、又、
仮に熱応力が生じても、メタライズ層６により強固に固
着されているので放電電極４が誘電体基板２から剥離す
ることはない。放電電極４に、保護コートを施すのであ
れば、放電電極印刷後に、アルミナペーストを塗布して
も良いし、又は、焼成後にグレーズを焼付してもよい。
なお、第１図において10は誘導電極３と放電電極４と
の間に高周波高電圧を印加するための電源である。
の間に高周波高電圧を印加するための電源である。
本考案者は、放電電極４の厚さｔが各々、５μｍ、10
μｍ、30μｍである３種類の電界装置を形成し、60Hzで
運転して各電界装置の放電開始電圧とオゾン発生量とを
調べてみた。その結果、10μｍおよび30μｍの放電電極
４では放電開始電圧が3.8KVppであるのに対し、５μｍ
の放電電極では7.0KVppであり、前者は後者の約半分の
電圧で足りることがわかった。
μｍ、30μｍである３種類の電界装置を形成し、60Hzで
運転して各電界装置の放電開始電圧とオゾン発生量とを
調べてみた。その結果、10μｍおよび30μｍの放電電極
４では放電開始電圧が3.8KVppであるのに対し、５μｍ
の放電電極では7.0KVppであり、前者は後者の約半分の
電圧で足りることがわかった。
又、オゾン発生量は電圧8.0KVppで比較したところ、
５μｍの放電電極では0.5mg/hであるのに対し、10μｍ
及び30μｍの放電電極では2.5mg/hであり、後者は前者
に比べ約５倍のオゾン発生量であった。
５μｍの放電電極では0.5mg/hであるのに対し、10μｍ
及び30μｍの放電電極では2.5mg/hであり、後者は前者
に比べ約５倍のオゾン発生量であった。
又、同一種類の電界装置間におけるオゾン発生量や放
電開始電圧のバラツキも、５μｍの放電電極では±20％
であるのに対し、10μｍ及び30μｍの放電電極では±６
％であり、後者が前者に比べてバラツキが極めて少ない
ことがわかった。
電開始電圧のバラツキも、５μｍの放電電極では±20％
であるのに対し、10μｍ及び30μｍの放電電極では±６
％であり、後者が前者に比べてバラツキが極めて少ない
ことがわかった。
又、本考案者は、第３図のように放電電極４の厚さＴ
に形成した電界装置を放電させた後、該電界装置を縦方
向に切断してみたところ、セラミック製の誘電体基板２
とタングステン製の線状放電電極４との介面からの距離
ｔが、７μｍの部分ｐが若干白く変色し、一部溶融した
様になっていた。即ち、この距離ｔ＝７μｍの位置に放
電が強く起こっていることがわかった。
に形成した電界装置を放電させた後、該電界装置を縦方
向に切断してみたところ、セラミック製の誘電体基板２
とタングステン製の線状放電電極４との介面からの距離
ｔが、７μｍの部分ｐが若干白く変色し、一部溶融した
様になっていた。即ち、この距離ｔ＝７μｍの位置に放
電が強く起こっていることがわかった。
要するに、放電は誘電体基板と放電電極との介面からの
距離ｔが７μｍのところが一番強くて安定に放電して優
れた特性を示し、又、距離ｔ＝７μｍ以上でもこの特性
に影響を与えないが、この距離ｔが７μｍより小さい
と、その特性が低下してしまうことがわかったのであ
る。
距離ｔが７μｍのところが一番強くて安定に放電して優
れた特性を示し、又、距離ｔ＝７μｍ以上でもこの特性
に影響を与えないが、この距離ｔが７μｍより小さい
と、その特性が低下してしまうことがわかったのであ
る。
考案の効果 この考案に係る電界装置は、以上のように放電電極の
厚さを７μｍ以上に形成したので、従来に比べ放電開始
電圧は低くなり、又、オゾン発生量は多くなった。
厚さを７μｍ以上に形成したので、従来に比べ放電開始
電圧は低くなり、又、オゾン発生量は多くなった。
又、放電開始電圧及びオゾン発生量も従来例に比べ製
品間におけるバラツキが少なくなった。
品間におけるバラツキが少なくなった。
さらに線状放電電極と誘電体基板とをメタラズの層６
で強固に固着しているので、それら両者の間に熱応力が
生じても放電電極が誘電体基板から剥離することがな
い。
で強固に固着しているので、それら両者の間に熱応力が
生じても放電電極が誘電体基板から剥離することがな
い。
第１図〜第３図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は縦断面図、第２図は平面図、第３図は要部の縦断面
拡大図である。 ２……誘電体基板 ３……面状誘導電極 ４……線状放電電極
図は縦断面図、第２図は平面図、第３図は要部の縦断面
拡大図である。 ２……誘電体基板 ３……面状誘導電極 ４……線状放電電極
Claims (1)
- 【請求項１】線状放電電極と面状誘導電極とを誘電体基
板を介して一体的に設けた電界装置において、該線状放
電電極と誘電体基板とをメタライズ層で強固に固着し、
その放電電極の厚さが、７μｍ以上であることを特徴と
する電界装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990034927U JPH0810935Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電界装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990034927U JPH0810935Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電界装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03124586U JPH03124586U (ja) | 1991-12-17 |
| JPH0810935Y2 true JPH0810935Y2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=31539833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990034927U Expired - Lifetime JPH0810935Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電界装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810935Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010033914A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Kyocera Corp | 誘電性構造体、並びに誘電性構造体を用いた放電装置および流体改質装置 |
| JP2010047435A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生素子及びその製造方法 |
| CN110383611A (zh) * | 2017-03-10 | 2019-10-25 | 日本碍子株式会社 | 电荷产生元件及微粒数检测器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5944782A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | 増田 閃一 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
| JPH01154482A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-16 | Senichi Masuda | 電界装置 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP1990034927U patent/JPH0810935Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03124586U (ja) | 1991-12-17 |
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