JPH0742255B2 - 第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法 - Google Patents
第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法Info
- Publication number
- JPH0742255B2 JPH0742255B2 JP27875486A JP27875486A JPH0742255B2 JP H0742255 B2 JPH0742255 B2 JP H0742255B2 JP 27875486 A JP27875486 A JP 27875486A JP 27875486 A JP27875486 A JP 27875486A JP H0742255 B2 JPH0742255 B2 JP H0742255B2
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- JP
- Japan
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- carbonate
- quaternary ammonium
- reaction
- ammonium bicarbonate
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- Prior art date
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- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法に関
する。
する。
第四級アンモニウム重炭酸塩は、界面活性剤として、ま
た界面活性剤の原料として広く使用されており、あるい
は医薬品、化粧品の原料としても有用なものである。
た界面活性剤の原料として広く使用されており、あるい
は医薬品、化粧品の原料としても有用なものである。
近年、第四級アンモニウム重炭酸塩から誘導される第四
級アンモニウム水酸化物は電子工業、半導体産業におい
てIC、LSIなどの製造工程でウエハーの洗浄液、エッチ
ング液、現像液などへと多岐にわたり使用されている。
級アンモニウム水酸化物は電子工業、半導体産業におい
てIC、LSIなどの製造工程でウエハーの洗浄液、エッチ
ング液、現像液などへと多岐にわたり使用されている。
本発明にかかる第四級アンモニウム重炭酸塩は、一般に
例えば（１）第四級アンモニウム水酸化物を炭酸化する
か、あるいは（２）第四級アンモニウムクロライドに炭
酸ガスとアンモニア水とを反応させることにより得るこ
とができる。
例えば（１）第四級アンモニウム水酸化物を炭酸化する
か、あるいは（２）第四級アンモニウムクロライドに炭
酸ガスとアンモニア水とを反応させることにより得るこ
とができる。
しかし、上記の（１）の方法は工業的には実用的でな
く、又（２）の方法は反応工程が煩雑でまた副生物が多
いなどの問題点がある。
く、又（２）の方法は反応工程が煩雑でまた副生物が多
いなどの問題点がある。
本発明は、上記の現状に鑑み、純度の高い第四級アンモ
ニウム重炭酸塩を製造する方法を提供するにある。
ニウム重炭酸塩を製造する方法を提供するにある。
本発明者らは、上記した問題点を解決すべく種々の検討
を行った結果、水の存在下、第三級アミンと炭酸ジアル
キルあるいは炭酸ジアリールを反応させることによる新
規な第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法を見出し
た。
を行った結果、水の存在下、第三級アミンと炭酸ジアル
キルあるいは炭酸ジアリールを反応させることによる新
規な第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法を見出し
た。
すなわち、本発明は、水の存在下に、炭酸ジアルキルも
しくは炭酸ジアリールと第三級アミンとを反応させるこ
とを特徴とする第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法
に関する。
しくは炭酸ジアリールと第三級アミンとを反応させるこ
とを特徴とする第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法
に関する。
本発明の方法は下記式で表される。
本発明に用いられる第三級アミンは、一般式（R1,R2,
R3）3N（式中、R1,R2,R3はC1〜C8のアルキル基、アルケ
ニル基、フェニル基、ベンジル基を示す）で表され、具
体的には、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリ
プロピルアミン、トリブチルアミン、トリオクチルアミ
ン、ジメチルエチルアミン、ジエチルメチルアミン、N,
N′−ジメチルベンジルアミン、N,N′−ジメチルアニリ
ン、N,N′−ジメチルシクロヘキシルアミン、N,N′−ジ
エチルベンジルアミンN,N′−ジメチルエタノールアミ
ン、N,N′−ジエチルエタノールアミン、Ｎ−メチルジ
エタノールアミン、トリエタノールアミン、N,N′ジエ
チルエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン
等が例示される。
R3）3N（式中、R1,R2,R3はC1〜C8のアルキル基、アルケ
ニル基、フェニル基、ベンジル基を示す）で表され、具
体的には、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリ
プロピルアミン、トリブチルアミン、トリオクチルアミ
ン、ジメチルエチルアミン、ジエチルメチルアミン、N,
N′−ジメチルベンジルアミン、N,N′−ジメチルアニリ
ン、N,N′−ジメチルシクロヘキシルアミン、N,N′−ジ
エチルベンジルアミンN,N′−ジメチルエタノールアミ
ン、N,N′−ジエチルエタノールアミン、Ｎ−メチルジ
エタノールアミン、トリエタノールアミン、N,N′ジエ
チルエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン
等が例示される。
また、本発明に用いられる炭酸ジアルキルあるいは炭酸
ジアリールは、一般式 で表され、（式中、R4,R5はC1〜C8のアルキル基または
アリール基を示す）具体的には、炭酸ジメチル、炭酸ジ
エチル、炭酸ジプロピル、炭酸ジブチル、炭酸ジフェニ
ル、炭酸ジベンジル、炭酸ジシクロヘキシル、炭酸メチ
ルプロピル、炭酸エチルプロピル、等が例示される。
ジアリールは、一般式 で表され、（式中、R4,R5はC1〜C8のアルキル基または
アリール基を示す）具体的には、炭酸ジメチル、炭酸ジ
エチル、炭酸ジプロピル、炭酸ジブチル、炭酸ジフェニ
ル、炭酸ジベンジル、炭酸ジシクロヘキシル、炭酸メチ
ルプロピル、炭酸エチルプロピル、等が例示される。
本発明においては、水は反応に不可欠な成分であると共
に溶媒としての作用をも有するものであり、理論量より
過剰に使用しても差支えない。
に溶媒としての作用をも有するものであり、理論量より
過剰に使用しても差支えない。
本発明において、上記の炭酸ジアルキルあるいは炭酸ジ
アリールおよび第三級アミンの使用量は使用される炭酸
ジアルキルあるいは炭酸ジアリールまたは第三級アミン
の種類、反応条件等を勘案して適宜選択されるが、一般
的には、炭酸ジアルキルあるいは炭酸ジアリールと第三
級アミンとのモル比が、0.05〜20の範囲、好ましくは0.
1〜10の範囲で使用される。また、水の量は基本的には
炭酸ジアルキル、炭酸ジアリールまたは第三級アミンに
対して反応量論量以上添加すればよいが、余りに多いと
反応後の分離、除去に多くの時間を要し、経済的に得策
でない。
アリールおよび第三級アミンの使用量は使用される炭酸
ジアルキルあるいは炭酸ジアリールまたは第三級アミン
の種類、反応条件等を勘案して適宜選択されるが、一般
的には、炭酸ジアルキルあるいは炭酸ジアリールと第三
級アミンとのモル比が、0.05〜20の範囲、好ましくは0.
1〜10の範囲で使用される。また、水の量は基本的には
炭酸ジアルキル、炭酸ジアリールまたは第三級アミンに
対して反応量論量以上添加すればよいが、余りに多いと
反応後の分離、除去に多くの時間を要し、経済的に得策
でない。
本発明の方法においては、アルコール類、ニトリル類、
酸アミド類等の極性溶媒を使用することができる。極性
溶媒を使用することにより、反応初期の反応速度を高め
ることができ全体の反応を短時間に行うことができる。
さらにこのような極性溶媒を使用することは反応収率を
高める効果をもある。
酸アミド類等の極性溶媒を使用することができる。極性
溶媒を使用することにより、反応初期の反応速度を高め
ることができ全体の反応を短時間に行うことができる。
さらにこのような極性溶媒を使用することは反応収率を
高める効果をもある。
この様な極性溶媒としては、例えば、メタノール、エタ
ノール、プロパノール、等の脂肪族低級アルコール類、
ベンアルアルコールの様な一価芳香族アルコール、エチ
レングリコールの様なグリコール類、N,N−ジメチルホ
ルムアミドの様な酸アミド類、アセトニトリルの様なニ
トリル類が例示されるが、これら極性溶媒はその沸点が
余り高くないものが好ましく、沸点50〜200℃の範囲に
あるものがよく、好ましくはメタノール、エタノール、
プロパノール、アセトニトリル等が反応後の分離操作な
どの点から好適である。
ノール、プロパノール、等の脂肪族低級アルコール類、
ベンアルアルコールの様な一価芳香族アルコール、エチ
レングリコールの様なグリコール類、N,N−ジメチルホ
ルムアミドの様な酸アミド類、アセトニトリルの様なニ
トリル類が例示されるが、これら極性溶媒はその沸点が
余り高くないものが好ましく、沸点50〜200℃の範囲に
あるものがよく、好ましくはメタノール、エタノール、
プロパノール、アセトニトリル等が反応後の分離操作な
どの点から好適である。
これら極性溶媒の使用量は原料炭酸ジアルキル、炭酸ジ
アリールまたは第三級アミンに対して0.5〜30倍量（重
量）であり、通常は１〜20倍量、好ましくは２〜10倍量
が使用される。
アリールまたは第三級アミンに対して0.5〜30倍量（重
量）であり、通常は１〜20倍量、好ましくは２〜10倍量
が使用される。
本発明の方法を実施する際の反応温度は、一般的には30
〜300℃の範囲であるが、実際には反応速度、原料の炭
酸ジアルキル、炭酸ジアリールおよび目的生成物の第四
級アンモニウム重炭酸塩の分解等を考慮する必要があ
り、通常は40〜250℃好ましくは50〜200℃である。
〜300℃の範囲であるが、実際には反応速度、原料の炭
酸ジアルキル、炭酸ジアリールおよび目的生成物の第四
級アンモニウム重炭酸塩の分解等を考慮する必要があ
り、通常は40〜250℃好ましくは50〜200℃である。
なお、本発明は、必要に応じて、窒素、アルゴンヘリウ
ム、あるいは水素ガス等の反応に影響を与えない不活性
ガス雰囲気下で反応させることもできる。又、本発明は
回分式、半回分式あるいは連続式何れの方法でも実施し
得る。
ム、あるいは水素ガス等の反応に影響を与えない不活性
ガス雰囲気下で反応させることもできる。又、本発明は
回分式、半回分式あるいは連続式何れの方法でも実施し
得る。
本発明は、炭酸ジアルキルあるいは炭酸ジアリールと第
三級アミンおよび水とを反応させることにより、高収率
で第四級アンモニウム重炭酸塩を得ることができる新規
な方法でり、工業的にきわめて有意義な方法である。
三級アミンおよび水とを反応させることにより、高収率
で第四級アンモニウム重炭酸塩を得ることができる新規
な方法でり、工業的にきわめて有意義な方法である。
以下に本発明の実施例を示す。
実施例 １ 300mlの内容積のオートクレーブに、炭酸ジメチル60.4
g、トリメチルアミン39.4g、水60.0gを導入し、加熱、
撹拌した。反応器内の温度が100℃に達した後その温度
で３時間反応を継続させた。反応終了後、生成物を分析
した結果、テトラメチルアンモニウム重炭酸塩が86.8％
（モル）（トリメチルアミン基準）の収率で得られた。
g、トリメチルアミン39.4g、水60.0gを導入し、加熱、
撹拌した。反応器内の温度が100℃に達した後その温度
で３時間反応を継続させた。反応終了後、生成物を分析
した結果、テトラメチルアンモニウム重炭酸塩が86.8％
（モル）（トリメチルアミン基準）の収率で得られた。
実施例 ２ 実施例１に使用したと同様な反応器に炭酸ジメチル60.4
g、トリメチルアミン39.4g、水30.0gおよびメタノール5
0.0gを導入した以外は実施例１と同様に行った。その結
果、テトラメチルアンモニウム重炭酸塩が90.3％（モ
ル）（トリメチルアミン基準）の収率で得られた。
g、トリメチルアミン39.4g、水30.0gおよびメタノール5
0.0gを導入した以外は実施例１と同様に行った。その結
果、テトラメチルアンモニウム重炭酸塩が90.3％（モ
ル）（トリメチルアミン基準）の収率で得られた。
実施例 ３ 実施例１に使用したと同様な反応器に炭酸ジエチル63.
g、トリエチルアミン63.4g、水50.0gを導入し、加熱撹
拌した。反応器内の温度が140℃に達した後、５時間そ
の温度で反応を継続した。反応終了後、生成物を分析し
た結果、テトラエチルアンモニウム重炭酸塩が87.9％
（モル）（トリエチルアミン基準）の収率で得られた。
g、トリエチルアミン63.4g、水50.0gを導入し、加熱撹
拌した。反応器内の温度が140℃に達した後、５時間そ
の温度で反応を継続した。反応終了後、生成物を分析し
た結果、テトラエチルアンモニウム重炭酸塩が87.9％
（モル）（トリエチルアミン基準）の収率で得られた。
実施例 ４ 実施例１に使用したと同様な反応器に炭酸ジベンジル10
1.6g、トリメチルアミン23.6g、水60.5g、メタノール2
0.0g、を導入し、加熱撹拌した。反応器内の温度が150
℃に達した後その温度で５時間反応を継続した。反応終
了後生成物を分析し、トリメチルベンジルアンモニウム
炭酸塩が81.0％（トリメチルアミン基準）の収率で得ら
れた。
1.6g、トリメチルアミン23.6g、水60.5g、メタノール2
0.0g、を導入し、加熱撹拌した。反応器内の温度が150
℃に達した後その温度で５時間反応を継続した。反応終
了後生成物を分析し、トリメチルベンジルアンモニウム
炭酸塩が81.0％（トリメチルアミン基準）の収率で得ら
れた。
実施例 ５ 実施例１に使用したと同様な反応器に炭酸ジメチル30.2
g、トリ−ｎ−ブチルアミン62.1g、水30.0gおよびメタ
ノール15.0gを導入し、加熱撹拌した。反応器内の温度
が140℃に達した後、その温度で７時間反応を継続し、
メチルトリブチルアンモニウム重炭酸塩が84.3％（トリ
−ｎ−ブチルアミン基準）の収率で得られた。
g、トリ−ｎ−ブチルアミン62.1g、水30.0gおよびメタ
ノール15.0gを導入し、加熱撹拌した。反応器内の温度
が140℃に達した後、その温度で７時間反応を継続し、
メチルトリブチルアンモニウム重炭酸塩が84.3％（トリ
−ｎ−ブチルアミン基準）の収率で得られた。
実施例 ６ 実施例１に使用したと同様な反応器に炭酸ジメチル60.4
g、トリメチルアミン39.4g、水25.0gを導入し、加熱撹
拌した。反応器内の温度が100℃に達した後、その温度
で６時間反応を行ない、テトチメチルアンモニウム重炭
酸塩が90.1％（トリメチルアミン基準）の収率で得られ
た。
g、トリメチルアミン39.4g、水25.0gを導入し、加熱撹
拌した。反応器内の温度が100℃に達した後、その温度
で６時間反応を行ない、テトチメチルアンモニウム重炭
酸塩が90.1％（トリメチルアミン基準）の収率で得られ
た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特公 昭31−7164（ＪＰ，Ｂ１) 米国特許2635100（ＵＳ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】水の存在下に、炭酸ジアルキルもしくは炭
酸ジアリールと第三級アミンとを反応させることを特徴
とする第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27875486A JPH0742255B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法 |
| US07/120,150 US4776929A (en) | 1986-11-25 | 1987-11-12 | Process for production of quaternary ammonium hydroxides |
| EP87117020A EP0269949B1 (en) | 1986-11-25 | 1987-11-18 | Process for producing a high purity quaternary ammonium hydroxide |
| DE87117020T DE3785548T2 (de) | 1986-11-25 | 1987-11-18 | Verfahren zur Herstellung eines hochreinen quaternären Ammonium-Hydroxides. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27875486A JPH0742255B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63132862A JPS63132862A (ja) | 1988-06-04 |
| JPH0742255B2 true JPH0742255B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=17601731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27875486A Expired - Lifetime JPH0742255B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 第四級アンモニウム重炭酸塩の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742255B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102391370B1 (ko) | 2018-04-05 | 2022-04-27 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 웨이퍼의 표면 처리 방법 및 당해 방법에 이용하는 조성물 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2635100A (en) | 1949-11-15 | 1953-04-14 | Du Pont | Monoquaternary ammonium carbonates and their preparation |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP27875486A patent/JPH0742255B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2635100A (en) | 1949-11-15 | 1953-04-14 | Du Pont | Monoquaternary ammonium carbonates and their preparation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63132862A (ja) | 1988-06-04 |
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