JPH0743224B2 - Ｕ字形発熱体による抵抗炉 - Google Patents
Ｕ字形発熱体による抵抗炉Info
- Publication number
- JPH0743224B2 JPH0743224B2 JP2164822A JP16482290A JPH0743224B2 JP H0743224 B2 JPH0743224 B2 JP H0743224B2 JP 2164822 A JP2164822 A JP 2164822A JP 16482290 A JP16482290 A JP 16482290A JP H0743224 B2 JPH0743224 B2 JP H0743224B2
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- Japan
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- shaped heating
- furnace
- heating element
- resistance furnace
- heating elements
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Description
本発明はＵ字形発熱体による抵抗加熱炉（以下抵抗炉と
いう）に関し、とくに酸化物単結晶の育成等の処理・加
工に用いられる抵抗炉に関する。
いう）に関し、とくに酸化物単結晶の育成等の処理・加
工に用いられる抵抗炉に関する。
高温を発生させる装置として、高周波誘導炉や輻射加熱
炉に比して簡単な構造の抵抗炉が産業用及び実験用に使
われている。第４図に井桁配置の棒状発熱体による抵抗
炉の一例を示す。棒状発熱体21a、21bが耐熱性周壁３内
の均熱管４の両側に同管と直交する平面上に平行配置さ
れ、この平面から適宜隔てられた平面上の均熱管４の両
側に上記棒状発熱体21a、21bとそれぞれ平行に棒状発熱
体23a、23bが配置され、同様な間隔毎に棒状発熱体25
a、25b等が平行配置される。これら平行棒状発熱体の対
21a、21b;23a、23b;25a、25bの中間にこれらと直角に棒
状発熱体の対22a、22b;24a、24bが均熱管４を挾んで平
行配置される。第5A図及び第5B図はその抵抗炉の平面図
及び縦断面図をそれぞれ示す。 図示例における従来の棒状発熱体は例えばカーボン、Si
C、LaCrO3、NrO2等の材料によって構成される。従来の
抵抗炉においては、発熱体の形状や配置を、所要の温度
分布条件、使用される雰囲気、経済性等を考慮して製作
の都度設計しなければならなかった。
炉に比して簡単な構造の抵抗炉が産業用及び実験用に使
われている。第４図に井桁配置の棒状発熱体による抵抗
炉の一例を示す。棒状発熱体21a、21bが耐熱性周壁３内
の均熱管４の両側に同管と直交する平面上に平行配置さ
れ、この平面から適宜隔てられた平面上の均熱管４の両
側に上記棒状発熱体21a、21bとそれぞれ平行に棒状発熱
体23a、23bが配置され、同様な間隔毎に棒状発熱体25
a、25b等が平行配置される。これら平行棒状発熱体の対
21a、21b;23a、23b;25a、25bの中間にこれらと直角に棒
状発熱体の対22a、22b;24a、24bが均熱管４を挾んで平
行配置される。第5A図及び第5B図はその抵抗炉の平面図
及び縦断面図をそれぞれ示す。 図示例における従来の棒状発熱体は例えばカーボン、Si
C、LaCrO3、NrO2等の材料によって構成される。従来の
抵抗炉においては、発熱体の形状や配置を、所要の温度
分布条件、使用される雰囲気、経済性等を考慮して製作
の都度設計しなければならなかった。
カーボン製の場合を除き、上記棒状発熱体による抵抗炉
は高温の酸化性雰囲気中で使用できるという利点を有す
るものの、均熱管４の外周方向における熱源配置がいわ
ば点状の熱源となり一様でないために加熱効率が低いだ
けでなく周方向の温度分布が不均一となる傾向をもつと
いう欠点があった。また、均熱管４の長さ方向において
も、同様の理由により温度勾配の制御に不便であり、さ
らに作業員に対する安全確保のため棒状発熱体の突出部
を覆う耐熱性の絶縁カバー（図示せず）を必要とし大形
化する欠点も認められた。 これらの欠点の一解決策として、本出願人の１名は特公
平６−84869号（特願平１−224702号）において、第６
図に示すように棒状発熱体27a−27fを均熱管４の軸線５
に対しねじれ角度を以て取付ける構造を提案した。しか
し、この棒状発熱体ねじれ角度配置には、均熱管４の長
さ方向における炉温の完全な一様性が得られない点、及
び炉構造の単純性の点においてなお改良の余地が認めら
れる。 従って、本発明の目的は高温領域において炉の周方向及
び長さ方向の温度分布が一様であり且つ加熱効率及び安
全性に優れ小形化が容易である抵抗炉を提供するにあ
る。
は高温の酸化性雰囲気中で使用できるという利点を有す
るものの、均熱管４の外周方向における熱源配置がいわ
ば点状の熱源となり一様でないために加熱効率が低いだ
けでなく周方向の温度分布が不均一となる傾向をもつと
いう欠点があった。また、均熱管４の長さ方向において
も、同様の理由により温度勾配の制御に不便であり、さ
らに作業員に対する安全確保のため棒状発熱体の突出部
を覆う耐熱性の絶縁カバー（図示せず）を必要とし大形
化する欠点も認められた。 これらの欠点の一解決策として、本出願人の１名は特公
平６−84869号（特願平１−224702号）において、第６
図に示すように棒状発熱体27a−27fを均熱管４の軸線５
に対しねじれ角度を以て取付ける構造を提案した。しか
し、この棒状発熱体ねじれ角度配置には、均熱管４の長
さ方向における炉温の完全な一様性が得られない点、及
び炉構造の単純性の点においてなお改良の余地が認めら
れる。 従って、本発明の目的は高温領域において炉の周方向及
び長さ方向の温度分布が一様であり且つ加熱効率及び安
全性に優れ小形化が容易である抵抗炉を提供するにあ
る。
第1A図及び第1B図の実施例を参照するに、本発明の抵抗
炉30に用いられるＵ字形発熱体１は、一端の連結部102
（第２図）で相互に結合された２本の平行脚部101を有
する。本発明は、炉30の軸線５と直交する所定径Ｄの炉
内仮想円６に沿って複数のＵ字形発熱体１を等間隔で配
置し各Ｕ字形発熱体１の平行脚部101を前記軸線６と平
行にしてなる構成を用いる。好ましくは、各Ｕ字形発熱
体１の各平行脚部101の自由端に端子部２を形成し、す
べてのＵ字形発熱体１の端子部２を前記軸線６に直交す
る一平面上、例えば第３図の耐熱性底壁10と絶縁固定台
11との間に配置する。 垂直な炉30の前記仮想円６の内側に同軸的に均熱管４を
配置しその中心軸線に相当する軸線５と直交する径Ｄの
仮想円６に沿い、複数本、例えば記号1A、1B・・・、1
K、1Lで示される12本のＵ字形発熱体１を垂直且つ等間
隔で取付ける。好ましくは、各Ｕ字形発熱体１の連結部
102を上に、端子部２を下にし、炉30の耐熱性頂壁９、
耐熱性底壁10、及び絶縁固定台11によりＵ字形発熱体１
を固定する。しかし、Ｕ字形発熱体１の数及び固定方法
は図示例に限定されるものではない。 Ｕ字形発熱体１に対する電気的接続は、炉30内における
各Ｕ字形発熱体１の発熱量が等しくなるように行なう。
例えば、各Ｕ字形発熱体１の抵抗値を実質上等しくした
上ですべてのＵ字形発熱体１を第１図のように直列に接
続する。抵抗値が等しい複数のＵ字形発熱体１を同一電
源に並列接続してもＵ字形発熱体１ごとに等しい発熱が
得られることは当業者には明らかである。すべてのＵ字
形発熱体１の端子部２を第３図のように実質的に同一平
面上に配置し、それらを例えば制御回路７から接続線8
a、8b、・・・、8mによって直列に接続する手法は、炉3
0の小形化のために有効であるのみでなく組立時の接続
作業が簡単になる。しかし、Ｕ字形発熱体１の電気的接
続方法は図示例に限定されるものではない。 ２本の平行脚部101を有するＵ字形発熱体１の使用は、
均熱管４の周囲におけるヒータの高密度化を容易にし、
しかも均熱管４に沿うＵ字形発熱体１の平行配置は、炉
の周壁からの突出部無しに実施できるので、作業員に対
する安全性を高める。また炉下部の底壁10と固定台11と
の間における端子部２の接続は、接続作業を容易にする
と共にその安全性を確保する。 仮想円６は抵抗炉30内にあることを要するが、軸線５は
均熱管４の中心軸線に限定されるものではなく、抵抗炉
30内の任意の軸線であれば足りる。
炉30に用いられるＵ字形発熱体１は、一端の連結部102
（第２図）で相互に結合された２本の平行脚部101を有
する。本発明は、炉30の軸線５と直交する所定径Ｄの炉
内仮想円６に沿って複数のＵ字形発熱体１を等間隔で配
置し各Ｕ字形発熱体１の平行脚部101を前記軸線６と平
行にしてなる構成を用いる。好ましくは、各Ｕ字形発熱
体１の各平行脚部101の自由端に端子部２を形成し、す
べてのＵ字形発熱体１の端子部２を前記軸線６に直交す
る一平面上、例えば第３図の耐熱性底壁10と絶縁固定台
11との間に配置する。 垂直な炉30の前記仮想円６の内側に同軸的に均熱管４を
配置しその中心軸線に相当する軸線５と直交する径Ｄの
仮想円６に沿い、複数本、例えば記号1A、1B・・・、1
K、1Lで示される12本のＵ字形発熱体１を垂直且つ等間
隔で取付ける。好ましくは、各Ｕ字形発熱体１の連結部
102を上に、端子部２を下にし、炉30の耐熱性頂壁９、
耐熱性底壁10、及び絶縁固定台11によりＵ字形発熱体１
を固定する。しかし、Ｕ字形発熱体１の数及び固定方法
は図示例に限定されるものではない。 Ｕ字形発熱体１に対する電気的接続は、炉30内における
各Ｕ字形発熱体１の発熱量が等しくなるように行なう。
例えば、各Ｕ字形発熱体１の抵抗値を実質上等しくした
上ですべてのＵ字形発熱体１を第１図のように直列に接
続する。抵抗値が等しい複数のＵ字形発熱体１を同一電
源に並列接続してもＵ字形発熱体１ごとに等しい発熱が
得られることは当業者には明らかである。すべてのＵ字
形発熱体１の端子部２を第３図のように実質的に同一平
面上に配置し、それらを例えば制御回路７から接続線8
a、8b、・・・、8mによって直列に接続する手法は、炉3
0の小形化のために有効であるのみでなく組立時の接続
作業が簡単になる。しかし、Ｕ字形発熱体１の電気的接
続方法は図示例に限定されるものではない。 ２本の平行脚部101を有するＵ字形発熱体１の使用は、
均熱管４の周囲におけるヒータの高密度化を容易にし、
しかも均熱管４に沿うＵ字形発熱体１の平行配置は、炉
の周壁からの突出部無しに実施できるので、作業員に対
する安全性を高める。また炉下部の底壁10と固定台11と
の間における端子部２の接続は、接続作業を容易にする
と共にその安全性を確保する。 仮想円６は抵抗炉30内にあることを要するが、軸線５は
均熱管４の中心軸線に限定されるものではなく、抵抗炉
30内の任意の軸線であれば足りる。
第1A図及び第1B図の実施例において12本のＵ字形発熱体
1A-1Lが付勢されて発熱すると、均熱管４の前記仮想円
６に囲まれた部分は高温度に加熱され、しかも複数のＵ
字形発熱体１が均熱管４に近接し且つＵ字形発熱体１相
互は等間隔を以て均熱管４に臨んでいるので、炉30の周
方向の温度分布の一様性が向上する。また、Ｕ字形発熱
体１の平行脚部101は軸線５と平行に配置されているの
で、軸方向、即ち炉30の長さ方向の温度分布の一様性も
同様に向上する。この長さ方向の一様性は、第４図の従
来構造では必ずしも確保されず、上記特願平１−224702
号の第６図構造によっても炉30の全長に亘っては必ずし
も充分に実現されなかったものである。 さらに本発明による上記周方向及び長さ方向の両方向温
度分布一様性は、とくに大口径の均熱管４を使用する場
合に顕著な効果を奏する。 非常に高温度分布一様性が要求される場合には、炉30の
周方向におけるＵ字形発熱体１の密度を高くすればよ
い。 炉30の長さ方向における高い温度分布一様性が上記のよ
うに確保されるので、同じ長さ方向に温度勾配が必要な
場合にも適切に対応することができる。即ち、Ｕ字形発
熱体１の一端又は中間部分に、所要の温度勾配に応じた
断熱材を配置するか又は放熱機構を併設すればかなり広
範囲の温度勾配を正確に実現することができる。 炉30の一方の端末部分、とくに図示実施例の如くＵ字形
発熱体１を垂直配置した場合の炉下端部分を、炉高温部
分から熱的に遮断してこれを室温に保持すると共に開放
凹部を形成し、制御回路７（電源を含む）とＵ字形発熱
体１との接続をこの端末部分の開放凹部内で行なえば、
放熱による接点の過熱防止と絶縁構造物自体による感電
防止とによって充分な安全性が具備される。従って、本
発明によるＵ字形発熱体１の炉軸線と平行な配置は、発
熱体突出部に対する作業員保護を不要とするだけでなく
Ｕ字形発熱体と電源との接続部構造を簡単にできるの
で、従来の抵抗炉に比しコンパクト即ち小形である抵抗
炉を提供することができる。 即ち、棒状発熱体を用いた第４図及び第６図の従来構造
では、単に炉長さ方向の温度勾配の制御が困難であるだ
けでなく発熱体の一部が炉の耐熱性周壁から外部へ突出
するので保護カバー（図示せず）が必要となり抵抗炉の
大形化が免れなかった。 均熱管４を用いない場合であっても、本発明による上記
炉周方向及び長さ方向の温度分布一様性の改善、炉長さ
方向温度勾配の制御の容易化、及び抵抗炉小形化が確保
されることは当業者には明らかである。 従って、本発明の目的である「高温領域において炉の周
方向及び長さ方向の温度分布が一様であり且つ加熱効率
及び安全性に優れ小形化が容易である抵抗炉」の提供が
達成される。
1A-1Lが付勢されて発熱すると、均熱管４の前記仮想円
６に囲まれた部分は高温度に加熱され、しかも複数のＵ
字形発熱体１が均熱管４に近接し且つＵ字形発熱体１相
互は等間隔を以て均熱管４に臨んでいるので、炉30の周
方向の温度分布の一様性が向上する。また、Ｕ字形発熱
体１の平行脚部101は軸線５と平行に配置されているの
で、軸方向、即ち炉30の長さ方向の温度分布の一様性も
同様に向上する。この長さ方向の一様性は、第４図の従
来構造では必ずしも確保されず、上記特願平１−224702
号の第６図構造によっても炉30の全長に亘っては必ずし
も充分に実現されなかったものである。 さらに本発明による上記周方向及び長さ方向の両方向温
度分布一様性は、とくに大口径の均熱管４を使用する場
合に顕著な効果を奏する。 非常に高温度分布一様性が要求される場合には、炉30の
周方向におけるＵ字形発熱体１の密度を高くすればよ
い。 炉30の長さ方向における高い温度分布一様性が上記のよ
うに確保されるので、同じ長さ方向に温度勾配が必要な
場合にも適切に対応することができる。即ち、Ｕ字形発
熱体１の一端又は中間部分に、所要の温度勾配に応じた
断熱材を配置するか又は放熱機構を併設すればかなり広
範囲の温度勾配を正確に実現することができる。 炉30の一方の端末部分、とくに図示実施例の如くＵ字形
発熱体１を垂直配置した場合の炉下端部分を、炉高温部
分から熱的に遮断してこれを室温に保持すると共に開放
凹部を形成し、制御回路７（電源を含む）とＵ字形発熱
体１との接続をこの端末部分の開放凹部内で行なえば、
放熱による接点の過熱防止と絶縁構造物自体による感電
防止とによって充分な安全性が具備される。従って、本
発明によるＵ字形発熱体１の炉軸線と平行な配置は、発
熱体突出部に対する作業員保護を不要とするだけでなく
Ｕ字形発熱体と電源との接続部構造を簡単にできるの
で、従来の抵抗炉に比しコンパクト即ち小形である抵抗
炉を提供することができる。 即ち、棒状発熱体を用いた第４図及び第６図の従来構造
では、単に炉長さ方向の温度勾配の制御が困難であるだ
けでなく発熱体の一部が炉の耐熱性周壁から外部へ突出
するので保護カバー（図示せず）が必要となり抵抗炉の
大形化が免れなかった。 均熱管４を用いない場合であっても、本発明による上記
炉周方向及び長さ方向の温度分布一様性の改善、炉長さ
方向温度勾配の制御の容易化、及び抵抗炉小形化が確保
されることは当業者には明らかである。 従って、本発明の目的である「高温領域において炉の周
方向及び長さ方向の温度分布が一様であり且つ加熱効率
及び安全性に優れ小形化が容易である抵抗炉」の提供が
達成される。
第３図は、引上げ法による酸化物の育生等に適する本発
明の抵抗炉30の実施例を示す。この種用途は炉長さ方向
の強い温度勾配を要求するので、抵抗炉上端に蓋部材15
付の冷却部16を設ける。均熱管12内に置かれたルツボ13
の中の原料は、複数のＵ字形発熱体１によって一様な周
方向温度分布を維持しながら加熱・溶融され、溶融原料
14となる。同様に周方向温度分布を以て加熱された均熱
管12内の空気は上昇気流となり均熱管12の上端即ち冷却
部16へ一旦進入するが、ここで冷却され重い低温空気と
なって均熱管12内へ戻る。 この戻り空気のため、均熱管12内部及び溶融原料14冷却
されるが、この冷却効果と複数のＵ字形発熱体１による
一様な加熱効果との均衡によりルツボ13内の溶融原料14
は固化されることなく高温に保たれる。このようにし
て、単結晶育成に必要な炉長さ方向の温度勾配が形成・
維持される。とくに近年は単結晶の水形化の必要性が高
く炉上端の冷却部16も大形化の傾向にあるので、本発明
の抵抗炉30における複数のＵ字形発熱体１による効率的
で一様な加熱が果す効果はとくに顕著である。 大きな温度勾配が求められる用例について説明したが、
温度勾配が僅かであるか又は不用である場合には、冷却
部16を縮小又は省略することがで、いる。 本発明で使われるＵ字形発熱体１の材料としては、耐熱
性及び耐酸化性が高くしかも市販されているSiC又はMoS
iO2を用いることができる。また他の材料例えばLaCrO3
又はZrO2等を使用することも可能である。本発明の一特
徴は、入手容易なＵ字形発熱体により高温用の抵抗炉を
短時間に低コストで製作可能とすることにある。
明の抵抗炉30の実施例を示す。この種用途は炉長さ方向
の強い温度勾配を要求するので、抵抗炉上端に蓋部材15
付の冷却部16を設ける。均熱管12内に置かれたルツボ13
の中の原料は、複数のＵ字形発熱体１によって一様な周
方向温度分布を維持しながら加熱・溶融され、溶融原料
14となる。同様に周方向温度分布を以て加熱された均熱
管12内の空気は上昇気流となり均熱管12の上端即ち冷却
部16へ一旦進入するが、ここで冷却され重い低温空気と
なって均熱管12内へ戻る。 この戻り空気のため、均熱管12内部及び溶融原料14冷却
されるが、この冷却効果と複数のＵ字形発熱体１による
一様な加熱効果との均衡によりルツボ13内の溶融原料14
は固化されることなく高温に保たれる。このようにし
て、単結晶育成に必要な炉長さ方向の温度勾配が形成・
維持される。とくに近年は単結晶の水形化の必要性が高
く炉上端の冷却部16も大形化の傾向にあるので、本発明
の抵抗炉30における複数のＵ字形発熱体１による効率的
で一様な加熱が果す効果はとくに顕著である。 大きな温度勾配が求められる用例について説明したが、
温度勾配が僅かであるか又は不用である場合には、冷却
部16を縮小又は省略することがで、いる。 本発明で使われるＵ字形発熱体１の材料としては、耐熱
性及び耐酸化性が高くしかも市販されているSiC又はMoS
iO2を用いることができる。また他の材料例えばLaCrO3
又はZrO2等を使用することも可能である。本発明の一特
徴は、入手容易なＵ字形発熱体により高温用の抵抗炉を
短時間に低コストで製作可能とすることにある。
以上説明したように本発明の抵抗炉は、炉の軸線と直交
する炉内仮想円に沿って複数のＵ字形発熱体を等間隔で
適当に配置し各Ｕ字形発熱体の平行脚部を前記軸線と平
行にするので、次の効果を奏する。 （イ）抵抗炉の周方向の温度分布の一様性を改善するこ
とができる。 （ロ）抵抗炉の軸線に沿った長さ方向の温度分布の一様
性を高めることができる。 （ハ）発熱体がすべて炉壁内に収められ突出部がないの
で、安全性を高め且つコンパクトな構造とすることがで
きる。 （ニ）発熱体の発熱部の全長が実質的に炉内空間に接す
るので、加熱効率を高めることができる。
する炉内仮想円に沿って複数のＵ字形発熱体を等間隔で
適当に配置し各Ｕ字形発熱体の平行脚部を前記軸線と平
行にするので、次の効果を奏する。 （イ）抵抗炉の周方向の温度分布の一様性を改善するこ
とができる。 （ロ）抵抗炉の軸線に沿った長さ方向の温度分布の一様
性を高めることができる。 （ハ）発熱体がすべて炉壁内に収められ突出部がないの
で、安全性を高め且つコンパクトな構造とすることがで
きる。 （ニ）発熱体の発熱部の全長が実質的に炉内空間に接す
るので、加熱効率を高めることができる。
第1A図及び第1B図は一実施例の図式的平面図及び図式的
縦断面図、第２図はＵ字形発熱体の説明図、第３図は他
の実施例の図式的縦断面図、第４図は従来の抵抗炉の斜
視図、第5A図及び第5B図は第４図の抵抗炉の平面図及び
要部断面図、第６図は他の従来例の説明図である。 1A−1L……Ｕ字形発熱体、２……端子部、３……耐熱性
周壁、４、12……均熱管、５……軸線、６……仮想円、
７……制御回路、8a−8m……接続線、９……耐熱性頂
壁、10……耐熱性底壁、11……絶縁固定台、13……ルツ
ボ、14……溶融原料、15……蓋部材、16……冷却部、21
a,21b,22a,22b,23a,23b,24a,24b,25a,25b,27a−27f……
棒状発熱体、30……抵抗炉、101……平行脚部、102……
連結部。
縦断面図、第２図はＵ字形発熱体の説明図、第３図は他
の実施例の図式的縦断面図、第４図は従来の抵抗炉の斜
視図、第5A図及び第5B図は第４図の抵抗炉の平面図及び
要部断面図、第６図は他の従来例の説明図である。 1A−1L……Ｕ字形発熱体、２……端子部、３……耐熱性
周壁、４、12……均熱管、５……軸線、６……仮想円、
７……制御回路、8a−8m……接続線、９……耐熱性頂
壁、10……耐熱性底壁、11……絶縁固定台、13……ルツ
ボ、14……溶融原料、15……蓋部材、16……冷却部、21
a,21b,22a,22b,23a,23b,24a,24b,25a,25b,27a−27f……
棒状発熱体、30……抵抗炉、101……平行脚部、102……
連結部。
Claims (4)
- 【請求項１】炉の軸線と直交する所定径の炉内仮想円に
沿って複数のＵ字形発熱体の発熱部のみを等間隔で配置
し、各Ｕ字形発熱体の平行脚部を前記軸線と平行にし、
前記仮想円に沿う発熱体の内側に均熱管を前記炉と同軸
的に配置してなるＵ字形発熱体による抵抗炉。 - 【請求項２】請求項１記載の抵抗炉において、前記各Ｕ
字形発熱体の各平行脚部の自由端に端子部を形成し、す
べてのＵ字形発熱体の端子部を前記軸線に直交する抵抗
炉炉の発熱部外の一平面上に配置し、前記一平面に沿う
炉壁外面に周方向の凹部を形成し、前記複数の発熱体の
端子部を前記凹部内で相互に接続してなるＵ字形発熱体
による抵抗炉。 - 【請求項３】請求項１又は２記載の抵抗炉において、前
記各Ｕ字形発熱体の材料をSiC、MoSiO2、LaCrO3、又はZ
rO2としてなるＵ字形発熱体を用いた抵抗炉。 - 【請求項４】請求項１、２又は３記載の抵抗炉におい
て、前記各Ｕ字形発熱体の抵抗値を実質上等しくし、前
記各Ｕ字形発熱体の電力が等しくなるように接続してな
るＵ字形発熱体による抵抗炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164822A JPH0743224B2 (ja) | 1990-06-23 | 1990-06-23 | Ｕ字形発熱体による抵抗炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164822A JPH0743224B2 (ja) | 1990-06-23 | 1990-06-23 | Ｕ字形発熱体による抵抗炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455687A JPH0455687A (ja) | 1992-02-24 |
| JPH0743224B2 true JPH0743224B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=15800578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2164822A Expired - Lifetime JPH0743224B2 (ja) | 1990-06-23 | 1990-06-23 | Ｕ字形発熱体による抵抗炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743224B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| ATE468427T1 (de) * | 2004-08-05 | 2010-06-15 | Amosov Vladimir Iljich | Verfahren zum ziehen von einkristallen aus einer schmelze |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0431518Y2 (ja) * | 1986-05-16 | 1992-07-29 |
-
1990
- 1990-06-23 JP JP2164822A patent/JPH0743224B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0455687A (ja) | 1992-02-24 |
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