JPH0743428A - 基板検査用位置合わせ装置 - Google Patents
基板検査用位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPH0743428A JPH0743428A JP5205677A JP20567793A JPH0743428A JP H0743428 A JPH0743428 A JP H0743428A JP 5205677 A JP5205677 A JP 5205677A JP 20567793 A JP20567793 A JP 20567793A JP H0743428 A JPH0743428 A JP H0743428A
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- Japan
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- prober
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 品種交換の際における基板とコンタクトプロ
ーブとの位置合せを迅速に且つ容易に成し得る基板検査
用位置合わせ装置を提供すること。 【構成】 接触子１Ａが固定され且つ認識マーク１Ｂが
付されたプローバユニット１と、予め被検査物たる基板
７を着脱自在に装備し且つプローバユニット１を着脱自
在に装着する三次元位置合わせが可能な位置合わせ台２
とを備えている。位置合わせ台２のプローバユニット１
部分の上方には、プローバユニット１の認識マーク１Ｂ
を読み取って該プローバユニット１の位置情報を出力す
る位置情報検出センサ６が配設され、この位置情報検出
センサ６で検出される位置情報に基づいて位置合わせ台
２を駆動制御しプローバユニット１を予め定めた所定位
置に設定制御する検査位置設定制御部１０が設けられて
いる。
ーブとの位置合せを迅速に且つ容易に成し得る基板検査
用位置合わせ装置を提供すること。 【構成】 接触子１Ａが固定され且つ認識マーク１Ｂが
付されたプローバユニット１と、予め被検査物たる基板
７を着脱自在に装備し且つプローバユニット１を着脱自
在に装着する三次元位置合わせが可能な位置合わせ台２
とを備えている。位置合わせ台２のプローバユニット１
部分の上方には、プローバユニット１の認識マーク１Ｂ
を読み取って該プローバユニット１の位置情報を出力す
る位置情報検出センサ６が配設され、この位置情報検出
センサ６で検出される位置情報に基づいて位置合わせ台
２を駆動制御しプローバユニット１を予め定めた所定位
置に設定制御する検査位置設定制御部１０が設けられて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板検査用位置合わせ
装置に係り、とくに基板と測定子との位置合せ機構を備
えた基板検査用位置合わせ装置に関する。
装置に係り、とくに基板と測定子との位置合せ機構を備
えた基板検査用位置合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板検査に関する位置合せは、例
えば、実開昭６２─１５０６７７号公報に開示されるよ
うに、検査位置に対して自動的に位置決可能なテーブル
に複数の基板を装着し、基板の交換による中断を排除し
た連続検査方式が比較的多く使用されている。
えば、実開昭６２─１５０６７７号公報に開示されるよ
うに、検査位置に対して自動的に位置決可能なテーブル
に複数の基板を装着し、基板の交換による中断を排除し
た連続検査方式が比較的多く使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の方式では、同一品種のものにつては連続検査が可能で
且つ迅速に処理し得るが、品種の変更時には、基板とコ
ンタクトプローブとの位置合せが必要となり、品種交換
の際における基板とコンタクトプローブとの位置合せが
煩雑で手間がかかるという不都合が生じていた。
の方式では、同一品種のものにつては連続検査が可能で
且つ迅速に処理し得るが、品種の変更時には、基板とコ
ンタクトプローブとの位置合せが必要となり、品種交換
の際における基板とコンタクトプローブとの位置合せが
煩雑で手間がかかるという不都合が生じていた。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに品種交換の際における基板とコンタク
トプローブとの位置合せを迅速に且つ容易に成し得る基
板検査用位置合わせ装置を提供することを、その目的と
する。
を改善し、とくに品種交換の際における基板とコンタク
トプローブとの位置合せを迅速に且つ容易に成し得る基
板検査用位置合わせ装置を提供することを、その目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、接触子が固
定され且つ認識マークが付されたプローバユニットと、
このプローバユニットを着脱自在に装着すると共に任意
の三次元位置合わせが可能な位置合わせ台と、この位置
合わせ台上に装備され前記プローバユニットを位置決め
する位置決め治具と、前述したプローバユニットの認識
マークを読み取って当該プローバユニットの位置情報を
出力する位置情報検出センサとを備えている。
定され且つ認識マークが付されたプローバユニットと、
このプローバユニットを着脱自在に装着すると共に任意
の三次元位置合わせが可能な位置合わせ台と、この位置
合わせ台上に装備され前記プローバユニットを位置決め
する位置決め治具と、前述したプローバユニットの認識
マークを読み取って当該プローバユニットの位置情報を
出力する位置情報検出センサとを備えている。
【０００６】更に、位置情報検出センサで検出される位
置情報に基づいて作動し位置合わせ台を駆動制御し、前
述したプローバユニットを予め定めた所定位置に設定制
御する検査位置設定制御部を設ける、という構成を採っ
ている。これによって前述した目的を達成しようとする
ものである。
置情報に基づいて作動し位置合わせ台を駆動制御し、前
述したプローバユニットを予め定めた所定位置に設定制
御する検査位置設定制御部を設ける、という構成を採っ
ている。これによって前述した目的を達成しようとする
ものである。
【０００７】
【作用】プロバーユニット１の交換時に際しては、載置
台５上のプローバユニット１を搬送手段４により位置合
せ台２に搬送して装備し、位置合せ治具３により所定の
位置決めを行う。そしてその状態を位置情報検出センサ
６により読み取り、位置ずれ量を算定して自動的に位置
合せ台２にて修正を行い、所望の位置出しが行われる。
また、他の品種のものに対しては、対応するプローバユ
ニットを載置台５の所定の位置に予め設置することによ
り、上記方法で自動的に対応可能となっている。
台５上のプローバユニット１を搬送手段４により位置合
せ台２に搬送して装備し、位置合せ治具３により所定の
位置決めを行う。そしてその状態を位置情報検出センサ
６により読み取り、位置ずれ量を算定して自動的に位置
合せ台２にて修正を行い、所望の位置出しが行われる。
また、他の品種のものに対しては、対応するプローバユ
ニットを載置台５の所定の位置に予め設置することによ
り、上記方法で自動的に対応可能となっている。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３に基
づいて説明する。この図１乃至図３に示す実施例は、接
触子１Ａが固定され且つ認識マーク１Ｂが付されたプロ
ーバユニット１と、このプローバユニット１を着脱自在
に装着すると共に任意の三次元位置合わせが可能な位置
合わせ台２とを備えている。この位置合わせ台２には、
予め被検査物としての基板７が着脱自在に装備されてい
る。また、前述した位置合わせ台２上には、前述したプ
ローバユニット１を位置決めする位置決め治具３が着脱
自在に装備されている。
づいて説明する。この図１乃至図３に示す実施例は、接
触子１Ａが固定され且つ認識マーク１Ｂが付されたプロ
ーバユニット１と、このプローバユニット１を着脱自在
に装着すると共に任意の三次元位置合わせが可能な位置
合わせ台２とを備えている。この位置合わせ台２には、
予め被検査物としての基板７が着脱自在に装備されてい
る。また、前述した位置合わせ台２上には、前述したプ
ローバユニット１を位置決めする位置決め治具３が着脱
自在に装備されている。
【０００９】また、位置合わせ台２のプローバユニット
１部分の上方には、プローバユニット１の認識マーク１
Ｂを読み取って当該プローバユニット１の位置情報を出
力する位置情報検出センサ６が配設されている。また、
この位置情報検出センサ６で検出される位置情報に基づ
いて作動し位置合わせ台２を駆動制御してプローバユニ
ット１を予め定めた所定位置に設定制御する検査位置設
定制御部１０が設けられている。
１部分の上方には、プローバユニット１の認識マーク１
Ｂを読み取って当該プローバユニット１の位置情報を出
力する位置情報検出センサ６が配設されている。また、
この位置情報検出センサ６で検出される位置情報に基づ
いて作動し位置合わせ台２を駆動制御してプローバユニ
ット１を予め定めた所定位置に設定制御する検査位置設
定制御部１０が設けられている。
【００１０】位置合わせ台２の近くには、プローバユニ
ット１を載置する載置台５が設けられている。そして、
この載置台５上のプローバユニット１を前述した位置合
わせ台２上に移送する搬送手段４が当該載置台５に併設
され、この搬送手段４の固定枠体４Ａ部分に所定の支持
部材（図示せず）を介して前述した位置情報検出センサ
６が装備されている。
ット１を載置する載置台５が設けられている。そして、
この載置台５上のプローバユニット１を前述した位置合
わせ台２上に移送する搬送手段４が当該載置台５に併設
され、この搬送手段４の固定枠体４Ａ部分に所定の支持
部材（図示せず）を介して前述した位置情報検出センサ
６が装備されている。
【００１１】ここで、位置合わせ台２は、装着したプロ
ーバユニット１を所定の位置に自動的に移動可能な、Ｘ
軸２１，Ｙ軸２２，および回転軸２３を有している。こ
の位置合せ台２上に装着されるプローバユニット１は、
位置決め治具３により固定される。この位置決め治具３
は、位置合せ台２上に固定されている駆動部３３に付勢
されて作動するようになっている。
ーバユニット１を所定の位置に自動的に移動可能な、Ｘ
軸２１，Ｙ軸２２，および回転軸２３を有している。こ
の位置合せ台２上に装着されるプローバユニット１は、
位置決め治具３により固定される。この位置決め治具３
は、位置合せ台２上に固定されている駆動部３３に付勢
されて作動するようになっている。
【００１２】搬送手段４は、プローバユニット１を所定
の位置に設定可能であり、多品種に対応できる構造を備
えている。この搬送手段４は、チャック４Ａを有し、位
置合せ台２と載置台５との間を自動的にプローバユニッ
ト１を搬送する機能を備えている。
の位置に設定可能であり、多品種に対応できる構造を備
えている。この搬送手段４は、チャック４Ａを有し、位
置合せ台２と載置台５との間を自動的にプローバユニッ
ト１を搬送する機能を備えている。
【００１３】また、位置情報検出センサ６は、前述した
ように所定の支持部材を介して搬送手段４上に固定され
ており、プローバユニット１の認識マーク１Ａを読み取
ってこれを検査位置設定制御部１０に送り込むように機
能する。検査位置設定制御部１０は、この位置情報検出
センサ６から送られて来る位置情報を基準データと比較
してその位置ずれを算出し、これを補正値として前述し
た位置合せ台２のＸ軸２１，Ｙ軸２２および回転軸２３
により自動的に移動し、プローバユニット１を正規に測
定位置に設定する。
ように所定の支持部材を介して搬送手段４上に固定され
ており、プローバユニット１の認識マーク１Ａを読み取
ってこれを検査位置設定制御部１０に送り込むように機
能する。検査位置設定制御部１０は、この位置情報検出
センサ６から送られて来る位置情報を基準データと比較
してその位置ずれを算出し、これを補正値として前述し
た位置合せ台２のＸ軸２１，Ｙ軸２２および回転軸２３
により自動的に移動し、プローバユニット１を正規に測
定位置に設定する。
【００１４】一方、検査位置設定制御部１０に設定され
る位置ずれ判定用の基準データは、予め、対象となる基
板７とプロバーユニット１の位置合せを行い、その状態
から認識マーク１Ａを読み取ると共に、当該最初の位置
合せにかかる位置データを基準データとして登録するよ
うになっている。
る位置ずれ判定用の基準データは、予め、対象となる基
板７とプロバーユニット１の位置合せを行い、その状態
から認識マーク１Ａを読み取ると共に、当該最初の位置
合せにかかる位置データを基準データとして登録するよ
うになっている。
【００１５】プロバーユニット１の交換時に際しては、
載置台５上のプローバユニット１を搬送手段４により位
置合せ台２に搬送して装備し、位置合せ治具３により所
定の位置決めを行う。そしてその状態を位置情報検出セ
ンサ６により読み取り、位置ずれ量を算定して自動的に
位置合せ台２にて修正を行い、所望の位置出しが行われ
る。また、他の品種のものに対しては、対応するプロー
バユニットを載置台５の所定の位置に予め設置すること
により、上記方法で自動的に対応可能となっている。
載置台５上のプローバユニット１を搬送手段４により位
置合せ台２に搬送して装備し、位置合せ治具３により所
定の位置決めを行う。そしてその状態を位置情報検出セ
ンサ６により読み取り、位置ずれ量を算定して自動的に
位置合せ台２にて修正を行い、所望の位置出しが行われ
る。また、他の品種のものに対しては、対応するプロー
バユニットを載置台５の所定の位置に予め設置すること
により、上記方法で自動的に対応可能となっている。
【００１６】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、異なった品種の基板の検査に際し
ても、プローバユニットの搬入と設定装備とが自動的に
なされるので、位置合わせ時の煩雑さが解消され、迅速
且つ正確に基板に対するプローバユニットの位置合わせ
を行うことができるという従来にない優れた基板検査用
位置合わせ装置を提供することができる。
ので、これによると、異なった品種の基板の検査に際し
ても、プローバユニットの搬入と設定装備とが自動的に
なされるので、位置合わせ時の煩雑さが解消され、迅速
且つ正確に基板に対するプローバユニットの位置合わせ
を行うことができるという従来にない優れた基板検査用
位置合わせ装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略平面図である。
【図２】図１に示す実施例の位置合わせ台部分を示す概
略正面図である。
略正面図である。
【図３】図１に示す実施例の位置合わせ台部分の動作を
制御するためのブロック図である。
制御するためのブロック図である。
１ プローバユニット １Ａ 接触子 １Ｂ 認識マーク ２ 位置合せ台 ３ 位置合せ治具 ４ 搬送手段 ５ 載置台 ６ 位置情報検出センサ １０ 検査位置設定制御部
Claims (2)
- 【請求項１】 接触子が固定され且つ認識マークが付さ
れたプローバユニットと、このプローバユニットを着脱
自在に装着すると共に任意の三次元位置合わせが可能な
位置合わせ台と、この位置合わせ台上に装備され前記プ
ローバユニットを位置決めする位置決め治具と、前記プ
ローバユニットの認識マークを読み取って当該プローバ
ユニットの位置情報を出力する位置情報検出センサとを
備え、 前記位置情報検出センサで検出される位置情報に基づい
て作動し位置合わせ台を駆動制御して前記プローバユニ
ットを予め定めた所定位置に設定制御する検査位置設定
制御部を設けたことを特徴とする基板検査用位置合わせ
装置。 - 【請求項２】 接触子が固定され且つ認識マークが付さ
れたプローバユニットと、このプローバユニットを着脱
自在に装着すると共に任意の三次元位置合わせが可能な
位置合わせ台と、この位置合わせ台上に装備され前記プ
ローバユニットを位置決めする位置決め治具と、前記プ
ローバユニットの認識マークを読み取って当該プローバ
ユニットの位置情報を出力する位置情報検出センサとを
備え、 前記位置情報検出センサで検出される位置情報に基づい
て作動し位置合わせ台を駆動制御して前記プローバユニ
ットを予め定めた所定位置に設定制御する検査位置設定
制御部を設け、 前記プローバユニット用の載置台を設けると共に，この
載置台上のプローバユニットを前記位置合わせ台上に移
送する搬送手段を設け、この搬送手段の固定枠体部分に
前記位置情報検出センサを装備したことを特徴とする基
板検査用位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205677A JPH0743428A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 基板検査用位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5205677A JPH0743428A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 基板検査用位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743428A true JPH0743428A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16510869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5205677A Pending JPH0743428A (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 基板検査用位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743428A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8997817B2 (en) | 2011-03-30 | 2015-04-07 | Totani Corporation | Plastic bag making apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164165A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Tokyo Erekutoron Kk | プロ−ブ装置 |
| JPS62169341A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ |
| JPH03220742A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プロービングマシン |
-
1993
- 1993-07-28 JP JP5205677A patent/JPH0743428A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164165A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Tokyo Erekutoron Kk | プロ−ブ装置 |
| JPS62169341A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ |
| JPH03220742A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プロービングマシン |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8997817B2 (en) | 2011-03-30 | 2015-04-07 | Totani Corporation | Plastic bag making apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970107 |