JPH0744444Y2 - 研磨廃液処理装置 - Google Patents
研磨廃液処理装置Info
- Publication number
- JPH0744444Y2 JPH0744444Y2 JP10592191U JP10592191U JPH0744444Y2 JP H0744444 Y2 JPH0744444 Y2 JP H0744444Y2 JP 10592191 U JP10592191 U JP 10592191U JP 10592191 U JP10592191 U JP 10592191U JP H0744444 Y2 JPH0744444 Y2 JP H0744444Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coolant
- liquid
- filter
- storage tank
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、研磨廃液処理装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、研磨廃液の再生利用は広く実施さ
れており、例えば、特公昭５８−３０１１２号公報等に
おいて開示されているように、一般に、研磨廃液を固液
分離処理した後、その処理液に必要量のクーラントを補
給して再生している。
れており、例えば、特公昭５８−３０１１２号公報等に
おいて開示されているように、一般に、研磨廃液を固液
分離処理した後、その処理液に必要量のクーラントを補
給して再生している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、従来の再生処
理は、スクリーンや遠心分離機等により固液分離してい
る関係上、金属微粒子の分離が十分でなかったり、ある
いは固液分離した処理液にクーラントを補給混合しなが
ら、その混合液のＰＨを測定してクーラントの補給量を
所定に制御している関係上、迅速な調整が困難であると
いった諸々の欠点を有していた。
理は、スクリーンや遠心分離機等により固液分離してい
る関係上、金属微粒子の分離が十分でなかったり、ある
いは固液分離した処理液にクーラントを補給混合しなが
ら、その混合液のＰＨを測定してクーラントの補給量を
所定に制御している関係上、迅速な調整が困難であると
いった諸々の欠点を有していた。
【０００４】本考案は、このようなことに着目し、これ
を解決すべく各方面から鋭意検討の結果、研磨廃液をプ
リコートフイルタ装置で処理した後、静電フイルタで処
理した二次濾過液の流量及び濃度に基いてクーラントの
補給量を制御するようにすれば、上述した欠点を一挙に
解消し得ることを見出したのである。
を解決すべく各方面から鋭意検討の結果、研磨廃液をプ
リコートフイルタ装置で処理した後、静電フイルタで処
理した二次濾過液の流量及び濃度に基いてクーラントの
補給量を制御するようにすれば、上述した欠点を一挙に
解消し得ることを見出したのである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本考案に係る
研磨廃液処理装置は、研磨廃液を濾過するプリコートフ
イルタ装置と、前記プリコートフイルタ装置から直接若
しくは中間貯留タンクを経て供給される一次濾過液を濾
過する静電フイルタと、前記静電フイルタから供給され
る二次濾過液とクーラント補給装置から供給されるクー
ラントとを混合した再生液を貯留する再生液貯留タンク
と、前記二次濾過液の流量及び濃度に基いて前記クーラ
ントの供給量を制御するクーラント補給量制御装置とを
備えていることを特徴とするものである。
研磨廃液処理装置は、研磨廃液を濾過するプリコートフ
イルタ装置と、前記プリコートフイルタ装置から直接若
しくは中間貯留タンクを経て供給される一次濾過液を濾
過する静電フイルタと、前記静電フイルタから供給され
る二次濾過液とクーラント補給装置から供給されるクー
ラントとを混合した再生液を貯留する再生液貯留タンク
と、前記二次濾過液の流量及び濃度に基いて前記クーラ
ントの供給量を制御するクーラント補給量制御装置とを
備えていることを特徴とするものである。
【０００６】
【実施例】以下、本考案に係る一実施例について図面に
基いて述べると、図１において、この処理装置は、プリ
コートフイルタ装置１と、静電フイルタ２と、クーラン
ト補給装置３と、クーラント補給量制御装置４と、原液
貯留タンク５と、中間貯留タンク６と、再生液貯留タン
ク７とを備え、かつプリコートフイルタ装置１は、プリ
コート材を投入するホッパー８と、スラリータンク９
と、ポンプ１０と、プリコートフイルタ１１と、脱水塔
１２と、コンプレッサー１３と、アフタークーラ１４
と、チャージタンク１５とを備えている。
基いて述べると、図１において、この処理装置は、プリ
コートフイルタ装置１と、静電フイルタ２と、クーラン
ト補給装置３と、クーラント補給量制御装置４と、原液
貯留タンク５と、中間貯留タンク６と、再生液貯留タン
ク７とを備え、かつプリコートフイルタ装置１は、プリ
コート材を投入するホッパー８と、スラリータンク９
と、ポンプ１０と、プリコートフイルタ１１と、脱水塔
１２と、コンプレッサー１３と、アフタークーラ１４
と、チャージタンク１５とを備えている。
【０００７】なお、プリコートフイルタ１１は、複数の
筒状メッシュフイルタエレメント１６を内蔵している
が、このエレメント１６の外周面には、ホッパー８から
供給されるプリコート材、例えば、硅藻土が付着されて
濾材層（プリコート層）が形成される。すなわち、スラ
リータンク９において、ホッパー８から供給されるプリ
コート材が水中に懸濁されてスラリー化され、次いで、
これがプリコートフイルタ１１に供給され、従って、メ
ッシュフイルタエレメント１６の外周面に濾材層を形成
することができる。その際、係るスラリーは、管路１７
から管路１８、１９を経てプリコートフイルタ１１内に
供給され、そして、メッシュフイルタエレメント１６の
外方からその内方に流入し、更に、管路２０，２１を経
てスラリータンク９に循環される。なお、バルブ２２，
２３，２４，２５が閉じられると共にバルブ２６，２
７，２８が開かれてポンプ１０により循環される。
筒状メッシュフイルタエレメント１６を内蔵している
が、このエレメント１６の外周面には、ホッパー８から
供給されるプリコート材、例えば、硅藻土が付着されて
濾材層（プリコート層）が形成される。すなわち、スラ
リータンク９において、ホッパー８から供給されるプリ
コート材が水中に懸濁されてスラリー化され、次いで、
これがプリコートフイルタ１１に供給され、従って、メ
ッシュフイルタエレメント１６の外周面に濾材層を形成
することができる。その際、係るスラリーは、管路１７
から管路１８、１９を経てプリコートフイルタ１１内に
供給され、そして、メッシュフイルタエレメント１６の
外方からその内方に流入し、更に、管路２０，２１を経
てスラリータンク９に循環される。なお、バルブ２２，
２３，２４，２５が閉じられると共にバルブ２６，２
７，２８が開かれてポンプ１０により循環される。
【０００８】また、コンプレッサー１３からチャージタ
ンク１５に供給される加圧エアーをプリコートフイルタ
１１に供給することにより、メッシュフイルタエレメン
ト１６を逆洗することができる。その際、管路２９，３
０，２１，２０を経てプリコートフイルタ１１内に加圧
エアーが供給される。すると、加圧エアーが、メッシュ
フイルタエレメント１６の内方からその外方へ流出し、
その為、劣化した濾材層が、メッシュフイルタエレメン
ト１６の外周面から剥離されて管路３０を経て脱水塔１
２に送られ、ここで、固液分離されると共にその水分が
管路３１を経て原液貯留タンク５に送られる。この逆洗
に際しては、弁２５，２７，２８，３３が閉じられると
共に弁２３，２４，３２が開かれる。
ンク１５に供給される加圧エアーをプリコートフイルタ
１１に供給することにより、メッシュフイルタエレメン
ト１６を逆洗することができる。その際、管路２９，３
０，２１，２０を経てプリコートフイルタ１１内に加圧
エアーが供給される。すると、加圧エアーが、メッシュ
フイルタエレメント１６の内方からその外方へ流出し、
その為、劣化した濾材層が、メッシュフイルタエレメン
ト１６の外周面から剥離されて管路３０を経て脱水塔１
２に送られ、ここで、固液分離されると共にその水分が
管路３１を経て原液貯留タンク５に送られる。この逆洗
に際しては、弁２５，２７，２８，３３が閉じられると
共に弁２３，２４，３２が開かれる。
【０００９】一方、発生源から送られてくる研磨廃液は
原液貯留タンク５に貯留されるが、この液を濾過する当
って、弁２３，２４，２６，２８，３３が閉じられると
共に弁２２，２５，２７が開かれる。而して、ポンプ１
０により研磨廃液が、管路１７，１８，１９を経てプリ
コートフイルタ１１内に供給されると共に、メッシュフ
イルタエレメント１６の外方からその内方へ流出して濾
過され、そして、係る一次濾過液が管路２０を経て中間
貯留タンク６に送られる。
原液貯留タンク５に貯留されるが、この液を濾過する当
って、弁２３，２４，２６，２８，３３が閉じられると
共に弁２２，２５，２７が開かれる。而して、ポンプ１
０により研磨廃液が、管路１７，１８，１９を経てプリ
コートフイルタ１１内に供給されると共に、メッシュフ
イルタエレメント１６の外方からその内方へ流出して濾
過され、そして、係る一次濾過液が管路２０を経て中間
貯留タンク６に送られる。
【００１０】このような一次濾過により研磨廃液中の金
属微粒子が高精度に除去されるが、この濾過液には、リ
ークしたプリコート材が含有されている。そこで、ポン
プ３４により、管路３５，３６を経て中間貯留タンク６
の一次濾過液が、静電フイルタ２に供給されて二次濾過
される。これにより一次濾過液中のプリコート材が除去
される。
属微粒子が高精度に除去されるが、この濾過液には、リ
ークしたプリコート材が含有されている。そこで、ポン
プ３４により、管路３５，３６を経て中間貯留タンク６
の一次濾過液が、静電フイルタ２に供給されて二次濾過
される。これにより一次濾過液中のプリコート材が除去
される。
【００１１】なお、係る二次濾過中、弁３７，３８が開
かれ、かつ二次濾過液が管路３９を経て再生液貯留タン
ク７に送られる。また、これと並行して、クーラント補
給装置３によりクーラントが再生液貯留タンク７に補給
される。この補給装置３は、弁４０を閉じ、かつ弁４１
を開いた状態で、タンク４２に貯留されているクーラン
トをポンプ４３で循環し得るが、その際、クーラント
は、管路４４，４５を経て循環される。また、弁４０，
４１を所定に開き、タンク４２から抜き出したクーラン
トの一部を循環させると共に残部を、管路４６を経て再
生液貯留タンク７に補給することができる。
かれ、かつ二次濾過液が管路３９を経て再生液貯留タン
ク７に送られる。また、これと並行して、クーラント補
給装置３によりクーラントが再生液貯留タンク７に補給
される。この補給装置３は、弁４０を閉じ、かつ弁４１
を開いた状態で、タンク４２に貯留されているクーラン
トをポンプ４３で循環し得るが、その際、クーラント
は、管路４４，４５を経て循環される。また、弁４０，
４１を所定に開き、タンク４２から抜き出したクーラン
トの一部を循環させると共に残部を、管路４６を経て再
生液貯留タンク７に補給することができる。
【００１２】係るクーラントの補給において、クーラン
ト補給量制御装置４でその補給量が所定に制御される。
この補給量制御装置４は、管路３９を経て再生液貯留タ
ンク７に供給される二次濾過液の流量を、この管路３９
に装着されている流量計４７で測定すると共にその濃度
を紫外線吸光度計４８で測定し、これらの測定信号に基
いて管路４６に装着されている流量計４９及び弁５０を
所定に制御してクーラントの補給量を制御する。すなわ
ち、弁５０は、再生液貯留タンク７において使用に適し
た一定組成の研磨液に調整することができるように、二
次濾過液の流量及び濃度に応じてクーラント補給量の増
減制御を行い、かつ流量計４９は、所定流量に制御する
ように補正信号を弁５０に送り、このような制御を二次
濾過液の供給中行う。
ト補給量制御装置４でその補給量が所定に制御される。
この補給量制御装置４は、管路３９を経て再生液貯留タ
ンク７に供給される二次濾過液の流量を、この管路３９
に装着されている流量計４７で測定すると共にその濃度
を紫外線吸光度計４８で測定し、これらの測定信号に基
いて管路４６に装着されている流量計４９及び弁５０を
所定に制御してクーラントの補給量を制御する。すなわ
ち、弁５０は、再生液貯留タンク７において使用に適し
た一定組成の研磨液に調整することができるように、二
次濾過液の流量及び濃度に応じてクーラント補給量の増
減制御を行い、かつ流量計４９は、所定流量に制御する
ように補正信号を弁５０に送り、このような制御を二次
濾過液の供給中行う。
【００１３】その際、紫外線吸光度計４８を用いている
ので、二次濾過液の供給中であっても迅速に測定するこ
とができ、従って、弁５０を高精度に制御することがで
きて常に一定組成の研磨液を調整することができる。な
お、図示されていないが、再生液貯留タンク７には、供
給される二次濾過液とクーラントとを循環させて混合す
る循環管路が装着され、また、所定に調整された再生液
（研磨液）はポンプ送りにより研磨箇所へ供給される。
ので、二次濾過液の供給中であっても迅速に測定するこ
とができ、従って、弁５０を高精度に制御することがで
きて常に一定組成の研磨液を調整することができる。な
お、図示されていないが、再生液貯留タンク７には、供
給される二次濾過液とクーラントとを循環させて混合す
る循環管路が装着され、また、所定に調整された再生液
（研磨液）はポンプ送りにより研磨箇所へ供給される。
【００１４】以上、本考案に係る一実施例について述べ
たが、本考案においては、中間貯留タンク６を設置しな
いで、プリコートフイルタ装置１から一次濾過液を直
接、静電フイルタ２に供給してもよい。また、プリコー
トフイルタ装置１において使用するプリコート材は、硅
藻土以外のものであってもよい。更に、静電フイルタ２
は通電しての使用が好ましいが、通電しないで使用して
もよく、かつクーラントは、界面活性剤等の研磨粉分散
剤や凝集剤あるいは研磨液用液体添加剤等が含有された
ものなど、いかなる組成のものであってもよい。
たが、本考案においては、中間貯留タンク６を設置しな
いで、プリコートフイルタ装置１から一次濾過液を直
接、静電フイルタ２に供給してもよい。また、プリコー
トフイルタ装置１において使用するプリコート材は、硅
藻土以外のものであってもよい。更に、静電フイルタ２
は通電しての使用が好ましいが、通電しないで使用して
もよく、かつクーラントは、界面活性剤等の研磨粉分散
剤や凝集剤あるいは研磨液用液体添加剤等が含有された
ものなど、いかなる組成のものであってもよい。
【００１５】なお、スラリータンク９において、プリコ
ート材のスラリーを形成する為に用いる液は、原液貯留
タンク５からの研磨廃液であってよいが、装置汚染の防
止化を図る為に、プリコートフイルタ１１の濾液や再生
液又は系外から別途、供給の清浄水を使用するのが好ま
しい。
ート材のスラリーを形成する為に用いる液は、原液貯留
タンク５からの研磨廃液であってよいが、装置汚染の防
止化を図る為に、プリコートフイルタ１１の濾液や再生
液又は系外から別途、供給の清浄水を使用するのが好ま
しい。
【００１６】
【考案の効果】上述したように、本考案によると、金属
微粒子及びリークしたプリコート材を十分に分離し得る
と共に二次濾過液の流量及び濃度に対応した所定量のク
ーラントを高精度に補給し得て、再使用に好適な再生液
（研磨液）を迅速に調整することができる研磨廃液処理
装置を得ることができる。
微粒子及びリークしたプリコート材を十分に分離し得る
と共に二次濾過液の流量及び濃度に対応した所定量のク
ーラントを高精度に補給し得て、再使用に好適な再生液
（研磨液）を迅速に調整することができる研磨廃液処理
装置を得ることができる。
【図１】研磨廃液処理装置のフローシート図である。
１ プリコートフイルタ装置 ２ 静電フイルタ ３ クーラント補給装置 ４ クーラント補給量制御装置 ５ 原液貯留タンク ６ 中間貯留タンク ７ 再生液貯留タンク １１ プリコートフイルタ １６ プリコートフイルタエレメント ４７ 流量計 ４８ 紫外線吸光度計 ４９ 流量計 ５０ 弁
Claims (1)
- 【請求項１】 研磨廃液を濾過するプリコートフイルタ
装置と、前記プリコートフイルタ装置から直接若しくは
中間貯留タンクを経て供給される一次濾過液を濾過する
静電フイルタと、前記静電フイルタから供給される二次
濾過液とクーラント補給装置から供給されるクーラント
とを混合した再生液を貯留する再生液貯留タンクと、前
記二次濾過液の流量及び濃度に基いて前記クーラントの
補給量を制御するクーラント補給量制御装置とを備えて
いることを特徴とする研磨廃液処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10592191U JPH0744444Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 研磨廃液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10592191U JPH0744444Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 研磨廃液処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611962U JPH0611962U (ja) | 1994-02-15 |
| JPH0744444Y2 true JPH0744444Y2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=14420334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10592191U Expired - Lifetime JPH0744444Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 研磨廃液処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744444Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023917U (ja) * | 1973-06-27 | 1975-03-18 | ||
| JP7485276B2 (ja) * | 2019-10-16 | 2024-05-16 | ＷＡＴＡＳＥ ｃａｓｔｉｎｇｓ 株式会社 | 切削水浄化システム |
| JP7326664B1 (ja) * | 2023-05-01 | 2023-08-16 | Dmg森精機株式会社 | クーラント管理装置、及びこれを備えた工作機械 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5830112B2 (ja) | 2008-11-25 | 2015-12-09 | ローデ ウント シュワルツ ゲーエムベーハー ウント コー カーゲー | コードドメインパワーとコードドメインエラーパワーの分析方法と装置 |
-
1991
- 1991-11-27 JP JP10592191U patent/JPH0744444Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5830112B2 (ja) | 2008-11-25 | 2015-12-09 | ローデ ウント シュワルツ ゲーエムベーハー ウント コー カーゲー | コードドメインパワーとコードドメインエラーパワーの分析方法と装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0611962U (ja) | 1994-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6340122B2 (ja) | ||
| GB2190603A (en) | Method and apparatus for clarifying beer | |
| JPH0744444Y2 (ja) | 研磨廃液処理装置 | |
| JP2010017183A (ja) | プリコートフィルタ | |
| US3162986A (en) | Method and apparatus for feeding abrasives | |
| JPH0744445Y2 (ja) | 研磨廃液処理装置 | |
| US5772872A (en) | Portable swimming pool water treatment system | |
| US4219414A (en) | Method for fluid purification and deionization | |
| JP3473132B2 (ja) | 上向流濾過方法 | |
| JP4219509B2 (ja) | 懸濁液濃縮方法及び濃縮装置 | |
| JP2960450B2 (ja) | 濾過助剤のプリコート方法及び装置 | |
| JP2914812B2 (ja) | プリコート式ろ過器のスラリー調整法 | |
| JPH085008Y2 (ja) | 研磨廃液処理装置 | |
| JPH0342921B2 (ja) | ||
| GB2125828A (en) | Extraction of copper from solutions | |
| EP0761276B1 (en) | Apparatus for separating effluent into solid and liquid phases | |
| JP2567190Y2 (ja) | フィルタ装置 | |
| JP3090347B2 (ja) | 電気めっき液の懸濁物処理方法 | |
| JP2001327813A (ja) | ろ過脱塩装置の再生設備 | |
| JPS6014610B2 (ja) | 粉末イオン交換樹脂のプレコ−テイング方法 | |
| JP3958635B2 (ja) | ろ過脱塩装置 | |
| JPH10131529A (ja) | プール水の浄化方法および装置 | |
| JP2000221693A (ja) | 水現像感光性フレキソ版溶出装置に用いるスカム除去方法および装置 | |
| JPH10305205A (ja) | 微小粒子を含む研削液の濾過方法及びその装置 | |
| JPS5847210B2 (ja) | 水の浄化方法 |