JPH0746447B2 - 光磁気記録媒体の製造法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造法Info
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- JPH0746447B2 JPH0746447B2 JP61177980A JP17798086A JPH0746447B2 JP H0746447 B2 JPH0746447 B2 JP H0746447B2 JP 61177980 A JP61177980 A JP 61177980A JP 17798086 A JP17798086 A JP 17798086A JP H0746447 B2 JPH0746447 B2 JP H0746447B2
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、希土類−遷移金属非晶質磁性合金光磁気記録
媒体の製造法に関する。
媒体の製造法に関する。
〔従来の技術〕 従来の光磁気記録媒体の製造においては、洗浄、ガス出
し等を終えた円盤状透明基体上に、無反射条件をみたす
ように透明誘電体膜を保護層として形成し、その上に希
土類−遷移金属からなる非晶質磁性合金薄膜を記録層と
して、保護膜層表面をプラズマエツチング処理を行なわ
ずに形成していた。
し等を終えた円盤状透明基体上に、無反射条件をみたす
ように透明誘電体膜を保護層として形成し、その上に希
土類−遷移金属からなる非晶質磁性合金薄膜を記録層と
して、保護膜層表面をプラズマエツチング処理を行なわ
ずに形成していた。
しかしながら、保護膜層表面をプラズマエツチング処理
をせずに製造された光磁気記録媒体は、フアラデー回転
角やカー回転角の磁場依存性を観察してみると、磁場零
でのフアラデー回転角やカー回転角（それぞれ残留フア
ラデー回転角，残留カー回転角と呼ぶ）や保磁力が小さ
くなり、またループの角型性が悪くなり、磁性膜の本来
もつ性能が充分生かされない。このように静特性が悪く
なると必然的にC/N比等の動特性もさがつてしまい、好
ましくない。さらに長期信頼性において重要な耐候性も
悪くしており、好ましくない。
をせずに製造された光磁気記録媒体は、フアラデー回転
角やカー回転角の磁場依存性を観察してみると、磁場零
でのフアラデー回転角やカー回転角（それぞれ残留フア
ラデー回転角，残留カー回転角と呼ぶ）や保磁力が小さ
くなり、またループの角型性が悪くなり、磁性膜の本来
もつ性能が充分生かされない。このように静特性が悪く
なると必然的にC/N比等の動特性もさがつてしまい、好
ましくない。さらに長期信頼性において重要な耐候性も
悪くしており、好ましくない。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、希土類−遷移金属を主たる成分
とする非晶質磁性合金薄膜光磁気記録層の本来の性能、
特性を出し、耐候性に秀れた光磁気記録媒体の製造法を
提供することにある。
の目的とするところは、希土類−遷移金属を主たる成分
とする非晶質磁性合金薄膜光磁気記録層の本来の性能、
特性を出し、耐候性に秀れた光磁気記録媒体の製造法を
提供することにある。
本発明によれば、少なくとも円盤状透明基板上に、保護
層として透明誘電体膜層を形成し、その上に膜面に垂直
な方向に磁気異方性を有する希土類−遷移金属非晶質合
金を主たる成分とする記録層を形成した構造をその一部
にもつ光磁気記録媒体の製造法において、該記録層を形
成する直前に、該保護層表面に対して0.01W/cm2以上0.9
W/cm2以下のエッチングエネルギー密度によってプラズ
マエッチングを行うことを特徴とする。
層として透明誘電体膜層を形成し、その上に膜面に垂直
な方向に磁気異方性を有する希土類−遷移金属非晶質合
金を主たる成分とする記録層を形成した構造をその一部
にもつ光磁気記録媒体の製造法において、該記録層を形
成する直前に、該保護層表面に対して0.01W/cm2以上0.9
W/cm2以下のエッチングエネルギー密度によってプラズ
マエッチングを行うことを特徴とする。
〔実施例１〕 実施例により、本発明の効果について述べる。第１図に
本発明実施例における光磁気記録媒体の構造を示す。本
発明実施例では円盤状透明基体としてポリカーボネイト
基板、透明誘電体膜として、窒化アルミニウムと窒化ケ
イ素の混合物をもちいた。記録膜の成膜はすべて溶解・
鋳造ターゲツトをもちいて行なつた。作製した光磁気記
録媒体の組成を第１表に示す。それぞれの組成で、誘電
体保護膜表面をプラズマエツチングをしたものとしない
ものの２種類を作製した。プラズマエツチングの条件
は、Arガス圧2mTorr,パワー0.1W/cm2で10分間であつ
た。
本発明実施例における光磁気記録媒体の構造を示す。本
発明実施例では円盤状透明基体としてポリカーボネイト
基板、透明誘電体膜として、窒化アルミニウムと窒化ケ
イ素の混合物をもちいた。記録膜の成膜はすべて溶解・
鋳造ターゲツトをもちいて行なつた。作製した光磁気記
録媒体の組成を第１表に示す。それぞれの組成で、誘電
体保護膜表面をプラズマエツチングをしたものとしない
ものの２種類を作製した。プラズマエツチングの条件
は、Arガス圧2mTorr,パワー0.1W/cm2で10分間であつ
た。
第２表に第１表の記録媒体のフアラデー方式による再生
信号のCN比を示す。なお、線速4.7m/sec、記録周波数1M
Hz分解能帯域幅30KHzである。表２からわかるように、
誘電体保護層表面をプラズマエツチングすることによ
り、CN比が３〜4.5dB向上することがわかり、エツチン
グの効果がはつきり認められた。第２図に試料番号１の
フアラデー回転角の磁場依存性を示す。これから、再生
信号のシグナル強度にエツチングが効果があることがわ
かる。
信号のCN比を示す。なお、線速4.7m/sec、記録周波数1M
Hz分解能帯域幅30KHzである。表２からわかるように、
誘電体保護層表面をプラズマエツチングすることによ
り、CN比が３〜4.5dB向上することがわかり、エツチン
グの効果がはつきり認められた。第２図に試料番号１の
フアラデー回転角の磁場依存性を示す。これから、再生
信号のシグナル強度にエツチングが効果があることがわ
かる。
〔実施例２〕 試料番号１と同じ組成で、誘電体保護層面のエツチング
時のパワーを変えて、光磁気記録媒体を作製した。その
光磁気記録媒体のCN比を実施例１と同様な方法で評価し
た。エツチングのパワーとCN比との関係を第３図に示
す。エツチングはArガスでガス圧2mTorr,10分間行つ
た。図からわかるようにあまり高いパワーで行なうとCN
比が低下するが、これはエツチングにより、ノイズが高
くなるためと考えられる。
時のパワーを変えて、光磁気記録媒体を作製した。その
光磁気記録媒体のCN比を実施例１と同様な方法で評価し
た。エツチングのパワーとCN比との関係を第３図に示
す。エツチングはArガスでガス圧2mTorr,10分間行つ
た。図からわかるようにあまり高いパワーで行なうとCN
比が低下するが、これはエツチングにより、ノイズが高
くなるためと考えられる。
〔実施例３〕 試料番号１及び４と同じ組成で誘電体表面をエツチング
をしたおよびしない光磁気記録媒体を作製し、恒温恒湿
槽内で温度60℃、相対湿度90％の環境におき、CN比の変
化を測定した。エツチングの条件は、高周波0.1W/cm2,1
0分、アルゴンガス圧2mTorrであつた。CN比の測定は実
施例１と同様におこなつた。CN比の経時変化を第４図に
示す。図からわかるようにエツチングをしたものはエツ
チングをしないものに比べて、CN比の落ちが非常に少な
く、エツチングが信頼性の面においても効果があること
がわかつた。
をしたおよびしない光磁気記録媒体を作製し、恒温恒湿
槽内で温度60℃、相対湿度90％の環境におき、CN比の変
化を測定した。エツチングの条件は、高周波0.1W/cm2,1
0分、アルゴンガス圧2mTorrであつた。CN比の測定は実
施例１と同様におこなつた。CN比の経時変化を第４図に
示す。図からわかるようにエツチングをしたものはエツ
チングをしないものに比べて、CN比の落ちが非常に少な
く、エツチングが信頼性の面においても効果があること
がわかつた。
以上述べたように発明によれば、希土類−遷移金属系の
光磁気記録媒体の性能を充分ひきだすことが可能で、ま
た長期信頼性も向上させるという効果を有する。さら
に、カーヒステリシス曲線の角型性が向上するだけでな
く、C/Nが1dB以上向上し、C/Nの経時変化が少なくなり
信頼性が向上するという有利な効果を有する。
光磁気記録媒体の性能を充分ひきだすことが可能で、ま
た長期信頼性も向上させるという効果を有する。さら
に、カーヒステリシス曲線の角型性が向上するだけでな
く、C/Nが1dB以上向上し、C/Nの経時変化が少なくなり
信頼性が向上するという有利な効果を有する。
第１図は、本発明の実施例で用いた光磁気記録媒体の構
造を示す図。 第２図（ａ），（ｂ）は、それぞれ、本発明の製造方法
を用いた光磁気記録媒体と従来の製造方法による光磁気
記録媒体のフアラデー回転角の磁場依存性のを表わす
図。 第３図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体の
エツチング時のパワーのCN比に対する影響をあらわす
図。 第４図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体と
の従来の発明法による光磁気記録媒体の、温度60℃，湿
度90％でのCN比の時間変化をあらわす図。なお、●，○
は試料番号１、▲，△は試料番号４をあらわす。またそ
れぞれ白ぬきは本発明の製造方法を用いて作製した光磁
気記録媒体、黒ぬりは従来の製造方法により製造した光
磁気記録媒体を表わす。 １……窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（厚さ1000
Å） ２……記録層（500Å） ３……窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（1000Å） ４……透明基体（ポリカーボネイト）
造を示す図。 第２図（ａ），（ｂ）は、それぞれ、本発明の製造方法
を用いた光磁気記録媒体と従来の製造方法による光磁気
記録媒体のフアラデー回転角の磁場依存性のを表わす
図。 第３図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体の
エツチング時のパワーのCN比に対する影響をあらわす
図。 第４図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体と
の従来の発明法による光磁気記録媒体の、温度60℃，湿
度90％でのCN比の時間変化をあらわす図。なお、●，○
は試料番号１、▲，△は試料番号４をあらわす。またそ
れぞれ白ぬきは本発明の製造方法を用いて作製した光磁
気記録媒体、黒ぬりは従来の製造方法により製造した光
磁気記録媒体を表わす。 １……窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（厚さ1000
Å） ２……記録層（500Å） ３……窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（1000Å） ４……透明基体（ポリカーボネイト）
Claims (1)
- 【請求項１】少なくとも円盤状透明基板上に、保護層と
して透明誘電体膜層を形成し、その上に膜面に垂直な方
向に磁気異方性を有する希土類−遷移金属非晶質合金を
主たる成分とする記録層を形成した構造をその一部にも
つ光磁気記録媒体の製造法において、 該記録層を形成する直前に、該保護層表面に対して0.01
W/cm2以上0.9W/cm2以下のエッチングエネルギー密度に
よってプラズマエッチングを行うことを特徴とする光磁
気記録媒体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61177980A JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61177980A JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334754A JPS6334754A (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0746447B2 true JPH0746447B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=16040431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61177980A Expired - Lifetime JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746447B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH061888Y2 (ja) * | 1987-08-05 | 1994-01-19 | 株式会社東海理化電機製作所 | オ−トマチックシ−トベルト装置 |
| JP2819177B2 (ja) * | 1990-02-15 | 1998-10-30 | 株式会社ケットアンドケット | 金属ガスケット用プレス順送型のビード成形型 |
| US5848563A (en) * | 1992-07-21 | 1998-12-15 | Amada Metrecs Company Limited | Multiple tool for punch press |
| KR0148842B1 (ko) * | 1993-07-22 | 1998-10-15 | 가나이 쯔또무 | 자기기록매체 및 그의 제조방법과 자기기록 시스템 |
| JPH07182711A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-07-21 | Mitsubishi Chem Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| KR0183938B1 (ko) * | 1995-10-28 | 1999-04-15 | 삼성전자주식회사 | 비정질 경희토류-천이금속과 반금속의 합금,이로부터 형성되는 광자기 기록막 및 이 기록막을 채용한 광자기 디스크 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0673197B2 (ja) * | 1985-02-25 | 1994-09-14 | 株式会社東芝 | 光磁気記録媒体とその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP61177980A patent/JPH0746447B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334754A (ja) | 1988-02-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |